CN206273839U - 一种卷对卷柔性共蒸镀设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种蒸镀设备，尤其涉及一种卷对卷柔性共蒸镀设备，包括卷绕系统和蒸镀系统，卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊，蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源，蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件，挡板组件包括挡板以及水平移动机构，水平移动机构水平连接挡板，水平移动机构、温度传感器分别电连接控制器，控制器电连接操作平台。本实用新型避免了不能到达基体的源原子间形成粉状固体颗粒，以及能到达的源原子化合形成过低附着力的薄膜，以片状脱落，达到清洁生产，减小生产成本等目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蒸镀设备，尤其涉及一种卷对卷柔性共蒸镀设备。
背景技术
CIGS薄膜通常通过卷对卷柔性共蒸镀技术制造，传统的制造过程会产生粉状和片状固体物，其主要产生于预热和冷却过程。因为该过程源物质温度相对较低，蒸镀空间各源原子能量小，不能到达基体的源原子间形成粉状固体颗粒，能到达的源原子化合形成过低附着力的薄膜，以片状脱落。这些粉状和片状固体物会给生产过程带来不必要的清理过程和其它损失。
发明内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种设有挡板组件的卷对卷柔性共蒸镀设备，达到达到清洁生产，减小生产成本的目的。
本实用新型技术方案是：一种卷对卷柔性共蒸镀设备，包括卷绕系统和蒸镀系统，所述卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊，在放卷辊和收卷辊之间安装待蒸镀的基体，所述蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源，所述蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件，所述挡板组件包括挡板以及水平移动机构，所述水平移动机构水平连接挡板，水平移动机构、温度传感器分别电连接控制器，所述控制器电连接操作平台。
进一步的，所述水平移动机构为伺服气缸，所述伺服气缸的输出端水平连接挡板一侧。
进一步的，所述操作平台包括显示器、撤离、复位按键、指示灯以及报警器，所述显示器、撤离、复位按键、指示灯以及报警器分别电连接控制器。指示灯显示挡板的位置，当撤离、复位操作失败或温度异常，则报警器报警。
进一步的，所述蒸镀基台下表面呈向下的圆弧形。
进一步的，所述蒸镀腔有多个，多个蒸镀腔呈与蒸镀基台下表面相配合的圆弧形排布。蒸镀基台及蒸镀腔的圆弧形排布，有利于待蒸镀的基体在蒸镀机台上运转，同时蒸镀更加均匀。
本实用新型的有益效果是：在蒸发源上方设计一种可自动控制的挡板组件，通过温度传感器检测温度，并将温度信号通过控制器传送到操作平台，并在操作平台上显示温度，工作人员根据温度进行对挡板进行撤离、复位控制。当预热达到稳定工艺时，挡板撤离；当工艺结束进行冷却时，挡板复位。使得蒸发源在预热和冷却过程中，源原子在挡板上附着，避免了不能到达基体的源原子间形成粉状固体颗粒，以及能到达的源原子化合形成过低附着力的薄膜，以片状脱落，达到清洁生产，减小生产成本等目的。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型整体结构示意图；
图2是本实用新型挡板组件结构示意图；
图3是本实用新型连接框图；
图中，1卷绕系统、2蒸镀系统、11蒸镀基台、12放卷辊、13收卷辊、21蒸镀腔、22坩埚、23蒸镀源、24加热源、25挡板组件、251挡板、252水平移动机构、26温度传感器、27控制器、28操作平台、281显示器、282撤离按键、283复位按键、284指示灯、285报警器。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
结合附图1，一种卷对卷柔性共蒸镀设备，包括卷绕系,1和蒸镀系统2。
卷绕系统1包括蒸镀基台11以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊12和收卷辊13，在放卷辊12和收卷辊13之间安装待蒸镀的基体，通过放卷辊12放卷，收卷辊13收卷，使得基体在蒸镀基台11上匀速的运行。
蒸镀系统2包括多个蒸镀腔21、设置在蒸镀腔内的坩埚22、放置在坩埚内的蒸镀源23、设置在坩埚上方的加热源24、控制器27、温度传感器26、操作平台28以及水平设置在坩埚上方的挡板组件25。
具体地，卷绕系统1安装在导轨上，蒸镀基台11的下表面呈向下的圆弧形。蒸镀腔21有多个，多个蒸镀腔21呈与蒸镀基台11相配合的圆弧形排布。工作时，推动卷绕系统1使其与蒸镀系统2相配合；工作后，卷绕系统1与蒸镀系统2分离。蒸镀基台11及蒸镀腔21的圆弧形排布，有利于待蒸镀的基体在蒸镀基台11上运转，同时蒸镀更加均匀。
具体的，每个蒸镀腔21内都设有坩埚22，在坩埚22上方均设有挡板组件25。结合附图2，挡板组件15包括挡板251以及伺服气缸252，所述伺服气缸252的输出端水平连接挡板251一侧，伺服气缸252、温度传感器26、加热源24分别电连接控制器27，所述控制器27电连接操作平台28。
具体的，结合附图3，操作平台28安装在蒸镀系统2的正面，操作平台28上设有显示器281、撤离按键282、复位按键283、指示灯284以及报警器285，所述显示器281、撤离按键282、复位按键283、指示灯284以及报警器285分别电连接控制器27。温度传感器26监测到的温度通过控制器27将温度信号转化为数字信号在显示器281上显示。根据显示的温度值，工作人员通过撤离、复位按键完成挡板251的撤离、复位操作。指示灯284显示挡板251的位置，当撤离、复位操作失败或温度异常，则报警器285报警。
本实用新型的工作过程为:工作时，推动卷绕系统1使其与蒸镀系统2相配合；工作后，卷绕系统1与蒸镀系统2分离。当预热时，坩埚22上方设有挡板251，根据显示的温度，当达到稳定工艺温度时，控制挡板251撤离；当工艺结束进行冷却时，挡板251复位。在蒸发源在预热和冷却过程中，使得源原子在挡板251上附着，避免了不能到达基体的源原子间形成粉状固体颗粒，以及能到达的源原子化合形成过低附着力的薄膜，以片状脱落，达到清洁生产，减小生产成本等目的。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (5)
1.一种卷对卷柔性共蒸镀设备，包括卷绕系统和蒸镀系统，所述卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊，在放卷辊和收卷辊之间安装待蒸镀的基体，所述蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源，其特征在于：所述蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件，所述挡板组件包括挡板以及水平移动机构，所述水平移动机构水平连接挡板，水平移动机构、温度传感器、加热源分别电连接控制器，所述控制器电连接操作平台。
2.根据权利要求1所述的卷对卷柔性共蒸镀设备，其特征在于：所述水平移动机构为伺服气缸，所述伺服气缸的输出端水平连接挡板一侧。
3.根据权利要求1所述的卷对卷柔性共蒸镀设备，其特征在于：所述操作平台包括显示器、撤离、复位按键、指示灯以及报警器，所述显示器、撤离、复位按键、指示灯以及报警器分别电连接控制器。
4.根据权利要求1所述的卷对卷柔性共蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀基台下表面呈向下的圆弧形。
5.根据权利要求1所述的卷对卷柔性共蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀腔有多个，多个蒸镀腔呈与蒸镀基台下表面相配合的圆弧形排布。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201621466232.7U CN206273839U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 一种卷对卷柔性共蒸镀设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621466232.7U CN206273839U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 一种卷对卷柔性共蒸镀设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206273839U true CN206273839U (zh) | 2017-06-23 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201621466232.7U Active CN206273839U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 一种卷对卷柔性共蒸镀设备 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN206273839U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114672784A (zh) * | 2022-03-28 | 2022-06-28 | 尚越光电科技股份有限公司 | 一种柔性卷对卷铜铟镓硒蒸发羽流控制结构 |
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2016
- 2016-12-29 CN CN201621466232.7U patent/CN206273839U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114672784A (zh) * | 2022-03-28 | 2022-06-28 | 尚越光电科技股份有限公司 | 一种柔性卷对卷铜铟镓硒蒸发羽流控制结构 |
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