CN206089791U - 镀膜机及其可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种镀膜机及其可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置后者包括具有挡板容置槽的支架、放置于所述挡板容置槽中的挡板，和取片机构；其中，所述支架通过旋转驱动结构安装于真空室底板，并在所述旋转驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向水平摆动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述挡板在所述取片机构的作用下脱离所述支架。这样，该蒸发源及辅助源遮挡装置能够在镀膜过程中，实现挡板的在线更换，避免了挡板上发生膜层过度累积，从而避免了挡板膜层脱落污染蒸发源，保证了镀膜层的纯度和质量。

Description

镀膜机及其可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置

技术领域

本实用新型涉及光学仪器的光学镀膜技术领域，具体涉及一种用于镀膜机的可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置。本实用新型还涉及一种包括该可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置的镀膜机。

背景技术

随着我国现代制造业的崛起，光学产品被广泛的应用到人们的实际生产和生活当中去，光学产品在使用时根据不同的使用需求需要在光学产品的表面进行镀膜。目前多使用镀膜机对光学器件进行镀膜，而蒸发源是镀膜机中的核心组件，一般安装在真空室底板上，通过加热镀膜材料或用电子流轰击镀膜材料等方式，使镀膜材料融化，然后蒸发并附着在基片上形成镀膜。在蒸发源刚开始融化镀膜材料的时候，蒸发速率不稳定，需要用蒸发源及辅助源遮挡装置挡住蒸发点，待蒸发速率稳定后再把遮挡装置打开。

请参考图1，图1为现有技术中一种典型的蒸发源及辅助源遮挡装置的结构示意图。

现有蒸发源及辅助源遮挡装置包括安装在真空室底板101上旋转机构104和安装在旋转机构104的挡板103，在工作过程中，旋转机构104可带动挡板103转动，从而实现对蒸发源102蒸发点的遮挡。但是，现有的挡板103为一体式结构，一个旋转机构104只能够控制相对应的一个挡板103；若所镀膜层数比较多或者镀膜时间比较长，膜料会不断蒸发到挡板103上，当膜层积累到一定厚度的时候，会逐渐开裂并落在蒸发源102的蒸发点上，落下来的膜层不是一次积累的，其中可能含有杂质，从而导致蒸发出去的镀膜材料也含有杂质，最终影响所镀膜层质量。

因此，提供一种用于镀膜机的可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置，以期能够在镀膜过程中，实现挡板的在线更换，避免挡板上发生膜层过度累积，从而避免挡板膜层脱落污染蒸发源，保证镀膜层的纯度和质量，就成为本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于镀膜机的可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置，以期能够在镀膜过程中，实现挡板的在线更换，避免挡板上发生膜层过度累积，从而避免挡板膜层脱落污染蒸发源，保证镀膜层的纯度和质量。本实用新型的另一目的是提供一种包括上述蒸发源及辅助源遮挡装置的镀膜机。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置，用于镀膜机，包括具有挡板容置槽的支架、放置于所述挡板容置槽中的挡板，和取片机构；所述支架通过旋转驱动结构安装于真空室底板，并在所述旋转驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向水平摆动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述挡板在所述取片机构的作用下脱离所述支架。

进一步地，所述取片机构包括伸缩动力件和与所述伸缩动力件传动连接的取片轴；所述挡板容置槽的侧壁开设有取片口；所述挡板外缘设置有通过所述取片口外露于所述挡板容置槽的凸耳，所述凸耳上开设有过孔，所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述取片轴插入所述过孔。

进一步地，所述伸缩动力件为气缸，所述气缸的伸缩杆与所述取片轴法兰连接。

进一步地，所述挡板容置槽的侧壁开设有推片口和出片口；所述取片机构包括输出旋转伸缩运动的动力件、与所述动力件传动连接的转接轴，和与所述转接轴固接的推板；所述推板在所述动力件的作用下水平转动，并穿过所述推片口将所述挡板自所述出片口推出所述挡板容置槽。

进一步地，所述推板朝向所述挡板的侧向外缘形状，和所述挡板的外缘形状相适配。

进一步地，所述取片机构包括驱动件、与所述驱动件传动连接的托盘、和设置于所述托盘两侧的导向片，所述托盘在所述驱动件的作用下向靠近或者远离所述真空腔底板方向运动，两所述导向片之间的距离小于或者等于所述挡板在该方向上的外径；所述挡板容置槽的侧壁开设有轴向贯通的避让开口，所述取片机构的上方还悬置有向所述挡板容置槽内补入挡板的挡板自动下落机构。

进一步地，所述导向片的上端面为倾斜设置的导向平面。

进一步地，所述挡板至少为一片，所述挡板在所述挡板容置槽的厚度方向上叠放。

进一步地，所述挡板为圆形挡板，且所述圆形挡板的内侧厚度大于其外缘厚度。

本实用新型还提供一种镀膜机，包括如上所述的蒸发源及辅助源遮挡装置。

本实用新型所提供的可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置用于镀膜机，该蒸发源及辅助源遮挡装置包括具有挡板容置槽的支架、放置于所述挡板容置槽中的挡板，和取片机构；其中，所述支架通过旋转驱动结构安装于真空室底板，并在所述旋转驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向水平摆动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述挡板在所述取片机构的作用下脱离所述支架。

在工作过程中，当需要更换挡板时，支架在旋转驱动结构的作用下靠近取片机构，并在到达指定位置时停止，而后取片机构升高至指定高度后将某一指定挡板自支架中取出，挡板容置槽中的后续挡板自动补位，以实现挡板更换。这样，该蒸发源及辅助源遮挡装置能够在镀膜过程中，实现挡板的在线更换，避免了挡板上发生膜层过度累积，从而避免了挡板膜层脱落污染蒸发源，保证了镀膜层的纯度和质量。体积比较小，便于安装，不需要占据额外的安装空间。同时，该装置只需在原有遮挡装置的基础上增加一套由伸缩机构带动的取片机构，改装成本较低，便于实现产业化，且取片机构能连续工作，不受前面取下来挡板的影响，保证了在线生产的连续性。

附图说明

图1为现有技术中一种典型的蒸发源及辅助源遮挡装置的结构示意图；

图2为本发明所提供的蒸发源及辅助源遮挡装置在实施例一中的结构示意图；

图3为图2所示蒸发源及辅助源遮挡装置中支架和挡板的组件图；

图4为图3所示组件中支架的结构示意图；

图5为图3所示组件中挡板的结构示意图；

图6为图2所示蒸发源及辅助源遮挡装置中取片机构的结构示意图；

图7为本发明所提供的蒸发源及辅助源遮挡装置在实施例二中的结构示意图；

图8为图7所示蒸发源及辅助源遮挡装置中支架的结构示意图；

图9为图7所示蒸发源及辅助源遮挡装置中挡板的结构示意图；

图10为图7所示蒸发源及辅助源遮挡装置中取片机构的结构示意图；

图11为本发明所提供的蒸发源及辅助源遮挡装置在实施例三中的结构示意图；

图12为图11所示蒸发源及辅助源遮挡装置中挡板下落机构的结构示意图；

图13为图11所示蒸发源及辅助源遮挡装置中支架的结构示意图；

图14为图11所示蒸发源及辅助源遮挡装置中挡板的结构示意图；

图15为图11所示蒸发源及辅助源遮挡装置中取片机构的结构示意图；

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

本实用新型所提供的可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置用于镀膜机，该蒸发源及辅助源遮挡装置包括具有挡板容置槽的支架、放置于所述挡板容置槽中的挡板，和取片机构；其中，所述支架通过旋转驱动结构安装于真空室底板，并在所述旋转驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向水平摆动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述挡板在所述取片机构的作用下脱离所述支架。

根据挡板容置槽的容纳空间以及取片机构的结构，上述挡板至少为一片，所述挡板在所述挡板容置槽的厚度方向上叠放。

具体地，上述挡板优选为圆形挡板，且为了减轻重量，所述圆形挡板的内侧厚度大于其外缘厚度，即靠近圆心一侧的厚度较薄，远离圆心一侧的厚度较厚。

在工作过程中，当需要更换挡板时，支架在旋转驱动结构的作用下靠近取片机构，并在到达指定位置时停止，而后取片机构升高至指定高度后将某一指定挡板自支架中取出，挡板容置槽中的后续挡板自动补位，以实现挡板更换。这样，该蒸发源及辅助源遮挡装置能够在镀膜过程中，实现挡板的在线更换，避免了挡板上发生膜层过度累积，从而避免了挡板膜层脱落污染蒸发源，保证了镀膜层的纯度和质量。体积比较小，便于安装，不需要占据额外的安装空间。同时，该装置只需在原有遮挡装置的基础上增加一套由伸缩机构带动的取片机构，改装成本较低，便于实现产业化，且取片机构能连续工作，不受前面取下来挡板的影响，保证了在线生产的连续性。

下面以三个实施例为例描述本实用新型所提供的蒸发源及辅助源遮挡装置的结构及工作过程，应当理解的是，不局限于下述各实施例的实现形式，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

实施例一

请参考图2-图6，在该实施例中，本实用新型所提供的蒸发源及辅助源遮挡装置包括具有挡板容置槽2011的支架201、放置于所述挡板容置槽2011中的挡板202，和取片机构；其中，所述支架201通过旋转驱动结构安装于真空室底板203，并在所述旋转驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向水平摆动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架201处于至近位置时，所述挡板202在所述取片机构的作用下脱离所述支架201。

具体地，上述取片机构包括伸缩动力件204和与所述伸缩动力件204传动连接的取片轴205；所述挡板容置槽的侧壁开设有取片口2012；所述挡板202外缘设置有通过所述取片口外露于所述挡板容置槽的凸耳2021，所述凸耳2021上开设有过孔2022，所述取片机构处于至高位置且与所述支架201处于至近位置时，所述取片轴205插入所述过孔2022。

上述伸缩动力件204可以为气缸，所述气缸的伸缩杆与所述取片轴205法兰连接，该伸缩动力件204也可以为电缸、电机带动的丝杠螺母副等能够提供伸缩动力的部件。

在该实施例中，支架201和挡板202不再固定在一起，而是形成分体式结构，支架201的挡板容置槽中可以放一片或者多片挡板202，支架201的挡板容置槽的侧壁下方开设有不规则形状的取片口，该取片口的结构形状不作限定，只要能够实现挡板202穿过即可，在挡板202更换时，最底层的挡板202需要通过该取片口从支架201中抽出来；在工作过程中，当需要更换挡板202时，把挡板202置于打开状态，然后取片机构的伸缩动力件带动取片轴伸出去，至取片轴插入最底层挡板202的过孔中，然后挡板202和支架201回位并调整到关闭状态；此时最底层的挡板202被取片轴从支架201中抽出来，上面叠加的干净挡板202落下来，最后取片机构的伸缩动力件带动取片轴缩回来，完成一次挡板202更换。

上述支架201的挡板容置槽包括底部的宽槽和宽槽上方的窄槽，该宽槽形成上述取片口，最底层的挡板202可以从这个宽槽中抽出来，宽槽上方开设的窄槽，用于给挡板202定位，保证最底层挡板202被抽走后，上面的挡板202每次都落到同一个位置，每个支架201可以放一片或多片挡板202。

实施例一提供的蒸发源及辅助源遮挡装置采用抽取的方式实现挡板202与支架201的分离，便于控制结构简单，且能够实现补位挡板的自动下落。

实施例二

请参考图7-图11，在该实施例中，本实用新型所提供的蒸发源及辅助源遮挡装置包括具有挡板容置槽304的支架301、放置于所述挡板容置槽304中的挡板302，和取片机构；其中，所述支架301通过旋转驱动结构安装于真空室底板303，并在所述旋转驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向水平摆动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板303，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述挡板在所述取片机构的作用下脱离所述支架。

具体地，所述挡板容置槽304的侧壁开设有推片口3041和出片口3042；所述取片机构包括输出旋转伸缩运动的动力件305、与所述动力件305传动连接的转接轴306，和与所述转接轴306固接的推板307；所述推板307在所述动力件305的作用下水平转动，并穿过所述推片口3041将所述挡板自所述出片口3042推出所述挡板容置槽304。

为了提高推板307与挡板之间的贴合性，避免推动过程发生卡滞，上述推板307朝向所述挡板302的侧向外缘形状，和所述挡板302的外缘形状相适配。即当挡板302为圆形结构时，其外缘形状为外凸的弧形结构，此时推板307的侧向外缘形状为与该外凸的弧形结构相适配的内凹的弧形结构。

在该实施例中，支架301和挡板302为分体式结构，支架301的挡板容置槽中可以放一片或者多片挡板302，支架301下面开不规则槽，该槽的两侧形成推片口3041和出片口3042，最底层的挡板302可以从支架301中被推出来；当需要更换挡板302时，取片机构在动力件的带动下升高，然后挡板302顺时针转动，取片机构的推板307把支架中最底层的挡板推出来，最后支架重新返回蒸发源上方的时候，会有新的挡板302落到工作位置，同时取片机构在动力件的带动下降低，从而完成一次蒸发源挡板更换。

实施例二提供的蒸发源及辅助源遮挡装置通过推动的方式实现挡板和支架的分离，结构稳定性较高，便于实现。

实施例三

请参考图12-图15，在该实施例中，本实用新型所提供的蒸发源及辅助源遮挡装置包括具有挡板容置槽的支架401、放置于所述挡板容置槽中的挡板402，和取片机构；其中，所述支架401通过旋转驱动结构安装于真空室底板403，并在所述旋转驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向水平摆动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板403，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架401处于至近位置时，所述挡板402在所述取片机构的作用下脱离所述支架401。

具体地，所述取片机构包括驱动件404、与所述驱动件404传动连接的托盘405，和设置于所述托盘405两侧的导向片406，所述托盘405在所述驱动件404的作用下向靠近或者远离所述真空腔底板方向运动，两所述导向片406之间的距离小于或者等于所述挡板402在该方向上的外径；所述挡板402容置槽的侧壁开设有轴向贯通的避让开口4011，所述取片机构的上方还悬置有向所述挡板容置槽内补入挡板402的挡板自动下落机构407。上述导向片406的上端面为倾斜设置的导向平面，可将取出的挡板402导向滑落至真空腔底部。

在该实施例中，当需要换挡板402时，支架401顺时针打开，到托盘405的正上方停住，驱动件404带动托盘405把挡板402顶起来，然后支架401逆时针移开，托盘下降，当托盘顶着的挡板402碰到两个导向片406时，在导向片406导向平面的导向作用下，滑到真空室底部，这时支架401再顺时针移到挡板下落机构的正下方，随后挡板自动下落机构407通过控制两组拨片落下一个挡板402到支架401上，支架401随后就可以正常工作了，从而完成一次蒸发源挡板的更换。

实施例三提供的蒸发源及辅助源遮挡装置采用顶出方式实现挡板与支架401的分离，并在挡板取出后，通过挡板下落机构实现挡板补位，结构合理，支架401上可以只设置一片挡板，降低了支架401加工难度。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置，用于镀膜机，其特征在于，包括具有挡板容置槽的支架、放置于所述挡板容置槽中的挡板，和取片机构；

所述支架通过旋转驱动结构安装于真空室底板，并在所述驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向运动；

所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述挡板在所述取片机构的作用下脱离所述支架。

2.根据权利要求1所述的蒸发源及辅助源遮挡装置，其特征在于，

所述取片机构包括伸缩动力件和与所述伸缩动力件传动连接的取片轴；

所述挡板容置槽的侧壁开设有取片口；

所述挡板外缘设置有通过所述取片口外露于所述挡板容置槽的凸耳，所述凸耳上开设有过孔，所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述取片轴插入所述过孔。

3.根据权利要求2所述的蒸发源及辅助源遮挡装置，其特征在于，所述伸缩动力件为气缸，所述气缸的伸缩杆与所述取片轴法兰连接。

4.根据权利要求1所述的蒸发源及辅助源遮挡装置，其特征在于，

所述挡板容置槽的侧壁开设有推片口和出片口；

所述取片机构包括输出旋转伸缩运动的动力件、与所述动力件传动连接的转接轴，和与所述转接轴固接的推板；

所述推板在所述动力件的作用下水平转动，并穿过所述推片口将所述挡板自所述出片口推出所述挡板容置槽。

5.根据权利要求4所述的蒸发源及辅助源遮挡装置，其特征在于，所述推板朝向所述挡板的侧向外缘形状，和所述挡板的外缘形状相适配。

6.根据权利要求1所述的蒸发源及辅助源遮挡装置，其特征在于，

所述取片机构包括驱动件、与所述驱动件传动连接的托盘、和设置于所述托盘两侧的导向片，所述托盘在所述驱动件的作用下向靠近或者远离所述真空腔底板方向运动，两所述导向片之间的距离小于或者等于所述挡板在该方向上的外径；所述挡板容置槽的侧壁开设有轴向贯通的避让开口，所述取片机构的上方还悬置有向所述挡板容置槽内补入挡板的挡板自动下落机构。

7.根据权利要求6所述的蒸发源及辅助源遮挡装置，其特征在于，所述导向片的上端面为倾斜设置的导向平面。

8.根据权利要求1-7任一项所述的蒸发源及辅助源遮挡装置，其特征在于，所述挡板至少为一片，所述挡板在所述挡板容置槽的厚度方向上叠放。

9.根据权利要求1-7任一项所述的蒸发源及辅助源遮挡装置，其特征在于，所述挡板为圆形挡板，且所述圆形挡板的内侧厚度大于其外缘厚度。

10.一种镀膜机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的蒸发源及辅助源遮挡装置。