CN205944053U - 一种晶圆盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆盒，所述晶圆盒包括盒体以及盖合于所述盒体上的盒盖，其中，盒体外侧的底部为一平面结构，于所述平面结构上具有至少一个由外向内凹陷的卡合槽；所述盒盖的外侧上具有至少一个凸起的固定块，当对多个所述晶圆盒进行堆叠时，所述卡合槽与所述固定块相互契合。由于所述晶圆盒的底部不存在有凸起的结构，因此可改善晶圆盒的底部与放置台面之间产生较大的摩擦而损坏包装袋的问题，并且能够实现多个晶圆盒堆叠放置，有效利用空间。

Description

一种晶圆盒

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种晶圆盒。

背景技术

于半导体制造领域中，通常在保存或运输晶圆盒之前，需对所述晶圆盒进行包装，以避免在运输过程中对晶圆盒造成损坏。目前，一般将晶圆盒放入一包装袋中并对所述包装袋进行抽真空处理，以实现对晶圆盒的密封包装。

晶圆盒通常包括盒体和盒盖。如图1所示，现有的晶圆盒中，在其盒体10外侧的底部11上具有一凸起结构12。因此，当将晶圆盒放置于台面上时，所述凸起结构12则会于台面接触。其中，所述凸起结构12与台面之间的接触面积通常较小，并且所述凸起结构12承载了整个晶圆盒的重量，当采用包装袋对所述晶圆盒进行包装并对包装后的晶圆盒进行保存或运输时，则常常会由于所述凸起结构12与台面接触并产生较大的摩擦，从而使包裹所述凸起结构12区域的包装袋发生破损。对于放置有晶圆的晶圆盒而言，若包装袋发生破损，不仅会使晶圆盒发生损坏，同时也可能会对晶圆盒内的晶圆造成影响。因此，保证晶圆盒的包装完整性至关重要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒，以解决现有的晶圆盒容易使包装袋发生磨损而破坏晶圆盒的包装完整性的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆盒，所述晶圆盒包括包括盒体以及盖合于所述盒体上的盒盖，其中，盒体外侧的底部为一平面，且所述盒体外侧的底部上具有至少一个由外向内凹陷的卡合槽；盒盖外侧上具有至少一个与所述卡合槽相匹配的固定块。

可选的，所述卡合槽的深度大于所述固定块的高度。

可选的，所述卡合槽为圆柱状凹槽或圆台状凹槽。

可选的，所述卡合槽的底部与所述卡合槽的侧壁为弧形连接。

可选的，所述固定块为圆柱状或圆台状结构。

可选的，所述固定块的顶面与所述固定块的侧壁为弧形连接。

可选的，所述卡合槽为条状凹槽，且条状凹槽的长度方向平行于所述盒体外侧的底部。

可选的，所述卡合槽在宽度方向上的截面形状为弧形、梯形、矩形或三角形。

可选的，所述固定块为条状结构。

可选的，所述固定块在宽度方向上的截面形状为弧形、梯形、矩形或三角形。

可选的，所述盒体外侧的底部具有两个卡合槽，两个所述卡合槽分别位于盒体底部的两端。

可选的，所述盒盖外侧具有两个固定块，两个所述固定块分别位于盒盖外侧的两端。

与现有技术相比，本实用新型提供的晶圆盒中，盒体外侧的底部为一平面结构，如此，一方面，可使所述晶圆盒与放置台面之间的接触面积大，另一方面可使整个晶圆盒的底部均匀受力，从而可改善晶圆盒的底部与放置台面之间发生较大的摩擦而损坏包装袋的问题。并且，于所述盒体外侧的底部上设置有卡合槽，并于所述盒盖上也相应的设置有与所述卡合槽相互契合的固定块，通过所述卡合槽和固定块的固定作用，可实现多个晶圆盒以堆叠的形式放置，不但可避免晶圆盒发生晃动或倾倒，还能够更加有效的利用存放空间。

附图说明

图1为现有的晶圆盒中盒体的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一中晶圆盒的盒体的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一中晶圆盒的盒盖的结构示意图；

图4为本实用新型实施例一中晶圆盒的固定块与卡合槽在沿其卡合方向上的截面图；

图5为本实用新型实施例二中晶圆盒的盒体的结构示意图；

图6为本实用新型实施例二中晶圆盒的盒盖的结构示意图；

图7为本实用新型实施例二中晶圆盒的卡合槽和固定块在沿其卡合方向上的截面图；

图8为本实用新型实施例三中晶圆盒的盒体的结构示意图。

具体实施方式

申请人发现，由于现有的晶圆盒的盒体底部具有凸起结构，因此，位于所述凸起结构处的包装袋极易发生损坏，进而会对晶圆盒内的晶圆造成影响。为此，本实用新型提供了一种晶圆盒，所述晶圆盒包括盒体以及盖合于所述盒体上的盒盖，其中，盒体外侧的底部为一平面结构，于所述平面结构上具有至少一个由外向内凹陷的卡合槽；所述盒盖的外侧上具有至少一个凸起的固定块，当对多个所述晶圆盒进行堆叠时，所述卡合槽与所述固定块相互契合。由于盒体外侧不存在向外凸起的结构，所述晶圆盒与放置台面之间的接触面积大且晶圆盒底部受力均匀，可避免晶圆盒的底部与放置台面之间发生较大的摩擦而损坏包装袋的问题。

并且，在本实用新型提供的晶圆盒中，所述盒体外侧的底部上设置有卡合槽，并于所述盒盖上也相应的设置有与所述卡合槽相互契合的固定块，从而当多个晶圆盒进行堆叠时，可对晶圆盒进行固定，避免发生晶圆盒发生晃动甚至倾倒的问题。但是由于所述固定块位于晶圆盒的顶部而不是位于晶圆盒的底部，因此所述凸起的固定块并不会与放置台面发生摩擦进而对包装袋造成磨损。而且，当多个晶圆盒堆叠放置时，所述固定块与所述卡合槽相互契合，即所述固定块位固定于所述卡合槽内，其并不会与其他的截面接触，因此也不会受到外部摩擦力而损坏包装袋。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的晶圆盒作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

<实施例一>

图2为本实用新型实施例一中晶圆盒的盒体的结构示意图，图3为本实用新型实施例一中晶圆盒的盒盖的结构示意图，结合图2及图3所示，所述晶圆盒的盒体100外侧的底部110为一平面结构，即本实施例提供的晶圆盒的盒体100的底部110位置上不存在有向外凸出的凸起结构，从而可有效改善位于盒体的底部位置上的包装袋发生磨损的问题。

并且，在所述晶圆盒的盒体底部110上具有至少一个由外向内凹陷的卡合槽120，相应的，于盒盖200的外侧210上设置有至少一个凸起的固定块220，所述卡合槽120与所述固定块220相互契合以实现两个晶圆盒的固定。即，通过盒体100上的卡合槽120和盒盖200上的固定块220，可实现多个晶圆盒堆叠存放，从而可在保证晶圆盒放置稳固的基础上，有效利用放置空间。

具体的，所述卡合槽120可以为圆柱状凹槽或者圆台状凹槽。图4为本实用新型实施例一中晶圆盒的固定块与卡合槽在沿其卡合方向上的截面图。如图4所示，本实施例中，所述卡合槽120包括槽体底部122和槽体侧壁121，其中，所述槽体底部122与所述槽体侧壁121的夹角θ1优选为大于等于90°，即，所述卡合槽120在沿其深度方向上的截面形状可以为梯形或矩形等。当所述槽体底部122与所述槽体侧壁121的夹角为90°时，则所述卡合槽120即为圆台状结构。当所述槽体底部122与所述槽体侧壁121的夹角大于90°时，则所述卡合槽120即为圆柱状结构。相应的，所述固定块220也可以为圆柱状结构或圆台状结构。如图4所示，所述固定块220包括固定块平台222以及固定块侧壁221，所述固定块平台222与所述固定块侧壁221的夹角θ2优选为大于等于90°，即，所述固定块220在沿其高度方向上的截面形状可以为梯形或矩形。本实施例中，所述卡合槽120和所述固定块220的截面形状均为梯形，从而当多个晶圆盒需进行堆叠时，所述固定块220可更为顺畅的进入到所述卡合槽120中，以实现多个晶圆盒之间的固定。

继续参考图4所示，所述卡合槽120中，槽体底部122与所述槽体侧壁121为弧状连接。与之对应的，在所述固定块220中，所述固定块平台222与固定块侧壁221的连接处的形状也为弧状连接，即所述固定块平台222为圆角结构。如此，可使所述卡合槽120与固定块220之间能够更为顺畅的实现相互卡合的目的。

为实现卡合槽120与固定块220的相互契合，所述卡合槽120的槽体尺寸优选大于所述固定块220的外围尺寸，从而可确保所述卡合槽120足够容纳所述固定块220。

下面以本实施例中所述卡合槽120在垂直于其深度方向上的截面形状为圆形以及所述固定块220在垂直于其高度方向上的截面形状同样也为圆形为例，做进一步详细说明。具体结合图2‐图4所示，所述卡合槽120呈圆台状，相应的，所述固定块220为圆台状结构，所述卡合槽120的最大直径D1大于所述固定块220的最大直径D2，所述卡合槽120的最大直径D1与所述固定块220的最大直径D2的差异优选为2～4mm。进一步的，所述卡合槽120的深度H1大于所述固定块220的高度H2，从而，当所述卡合槽120和固定块220相互契合时，固定块220的固定块平台222不会顶到所述卡合槽120的槽体底部122，可有效避免所述槽体底部122与所述固定块平台222由于承受一较大的相互作用力而损坏晶圆盒的问题。

此外，可根据实际晶圆盒的尺寸、所述卡合槽120以及固定块220的尺寸，相应的设置一个或多个所述卡合槽120和固定块220。本实施例中，在所述盒体100的底部110设置有两个卡合槽120，并且，在所述盒盖200的外侧210也设置有两个与之相互对应的固定块220。

<实施例二>

图5为本实用新型实施例二中晶圆盒的盒体的结构示意图，图6为本实用新型实施例二中晶圆盒的盒盖的结构示意图，结合图5及图6所示，与实施例一的区别在于，本实施例中，所述卡合槽120a为条状凹槽，且条状凹槽的长度方向平行于所述盒体外侧的底部；所述固定块220a相应的为条状结构。

其中，所述卡合槽120a在其宽度方向上的截面形状可以为弧形、梯形、矩形或三角形等。与之类似的，所述固定块220a在宽度方向上的截面形状也同样可以为弧形、梯形、矩形或三角形。图7为本实用新型实施例二中晶圆盒的卡合槽和固定块在沿其卡合方向上的截面图。如图7所述，本实施例中，所述卡合槽120a在其宽度方向上的截面形状为V形(即，三角形)。则相应的，所述固定块220a在其宽度方向上的截面形状为三角形。

<实施例三>

以上两个实施例中，分别列举了所述卡合槽为和所述固定块均为圆台状结构时的晶圆盒，以及所述卡合槽和固定块均为条状结构时的晶圆盒。当然，在本实用新型提供的晶圆盒中，所述卡合槽也可以为圆环形的凹槽结构，所述固定块为环形性的凸起结构，只要所述卡合槽与所述固定块可实现相互契合以对晶圆盒进行固定即可，此处不一一列举。

在上述的实施例中，所述卡合槽和固定块的形状结构均相互对应的。然而，当所述卡合槽和固定块的形状结构不是相互对应时，也仍能够实现多个晶圆盒在堆叠时对其固定的目的。

图8为本实用新型实施例三中晶圆盒的盒体的结构示意图，如图8所示，本实施例中，设置于盒体100上的卡合槽120b为一矩形凹槽结构。此时，所述盒盖200上设置的固定块依然可以采用如图6所示的条状结构。当然，所述固定块也可以设置成与矩形凹槽结构的卡合槽120b形状相对应的矩形凸起结构。

综上所述，由于本实用新型提供的晶圆盒中，其盒体外侧的底部为一平面结构，即，不存在有向外凸起的结构。从而可改善所述凸起结构与放置台面发生较大的摩擦而使包装袋破损的问题，保障所述晶圆盒的包装完整性。并且，在本实用新型提供的晶圆盒中，所述盒体外侧的底部上设置有卡合槽，并于所述盒盖上也相应的设置有与所述卡合槽相互契合的固定块，通过所述卡合槽和固定块的相互卡合以达到对堆叠的晶圆盒进行固定的目的，从而可避免发生晶圆盒发生晃动甚至倾倒的问题，进一步的，可更为有效的利用存储空间。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (12)

1.一种晶圆盒，包括盒体以及盖合于所述盒体上的盒盖，其特征在于：盒体外侧的底部为一平面，且所述盒体外侧的底部上具有至少一个由外向内凹陷的卡合槽；盒盖外侧上具有至少一个与所述卡合槽相匹配的固定块。

2.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述卡合槽的深度大于所述固定块的高度。

3.如权利要求1或2所述的晶圆盒，其特征在于，所述卡合槽为圆柱状凹槽或圆台状凹槽。

4.如权利要求3所述的晶圆盒，其特征在于：所述卡合槽的底部与所述卡合槽的侧壁为弧形连接。

5.如权利要求3所述的晶圆盒，其特征在于，所述固定块为圆柱状或圆台状结构。

6.如权利要求5所述的晶圆盒，其特征在于，所述固定块的顶面与所述固定块的侧壁为弧形连接。

7.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述卡合槽为条状凹槽，且条状凹槽的长度方向平行于所述盒体外侧的底部。

8.如权利要求7所述的晶圆盒，其特征在于：所述卡合槽在宽度方向上的截面形状为弧形、梯形、矩形或三角形。

9.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述固定块为条状结构。

10.如权利要求9所述的晶圆盒，其特征在于，所述固定块在宽度方向上的截面形状为弧形、梯形、矩形或三角形。

11.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒体外侧的底部具有两个卡合槽，两个所述卡合槽分别位于盒体底部的两端。

12.如权利要求11所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒盖具有两个固定块，两个所述固定块分别位于盒盖外侧的两端。