CN205820536U - 金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置 - Google Patents

金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,该装置包括伺服收线机构和伺服排线机构,伺服排线机构上设有移动滑台,伺服收线机构安装在移动滑台上;伺服排线机构包括安装在移动滑台中间位置的滚珠丝杆和与滚珠丝杆驱动连接的排线传动组件,排线传动组件与滚珠丝杆驱动连接,且排线传动组件传动后带动滚珠丝杆进行旋转运动,滚珠丝杆旋转后带动伺服收线机构在移动滑台上进行前后滑动。本实用新型移动滑台的移动及绕线轮的旋转来实现排线与收线智能化的结合;该结构的改进,不仅不需要进行二次复绕,避免二次复绕影响到线锯的品质,而且避免出现绞线、压线、断线等现象。

Description

金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置
技术领域
本实用新型涉及电镀设备领域,尤其涉及一种金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置。
背景技术
随着国家新能源战略计划的制定和实施及半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大,对硅片的厚度不断降低,对切割精度越来越高,从而对金刚石线锯的生产设备要求也越来越高。金刚石线锯在生产时,其排线和收线是必不可少的工序,如果排线收线不良就会出现绞线、压线、断线现象。目前较为传统的方法就是利用光杆排线器来完成,它的缺点就是排线不均匀,需要进行二次复绕。
发明内容
针对上述技术中存在的不足之处,本实用新型提供一种排线均匀的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,不仅不需要进行二次复绕,而且避免出现绞线、压线、断线等现象。
为实现上述目的,本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,包括伺服收线机构和伺服排线机构,所述伺服排线机构上设有移动滑台,所述伺服收线机构安装在移动滑台上;所述伺服排线机构包括安装在移动滑台中间位置的滚珠丝杆和与滚珠丝杆驱动连接的排线传动组件,所述排线传动组件与滚珠丝杆驱动连接,且所述排线传动组件传动后带动滚珠丝杆进行旋转运动,所述滚珠丝杆旋转后带动伺服收线机构在移动滑台上进行前后滑动。
其中,所述伺服收线机构包括收线伺服马达、收线减速器、收线联轴器、传动轴和绕线轮,所述收线减速器安装在轴承箱的侧边,所述传动轴的一端穿过轴承箱侧边后置于轴承箱内,且所述传动轴的一端通过收线减速器和收线联轴器后与收线伺服马达驱动连接;所述绕线轮通过绕线轮轴与传动轴的另一端固定连接后,绕线轮与传动轴驱动连接;线材通过导线轮缠绕在绕线轮上。
其中,该伺服收线机构还包括锁紧套、收线轴承和轴承座,所述传动轴的一端依次贯穿收线轴承和锁紧套后与收线联轴器连接,且该锁紧套和收线轴承均安装在轴承箱内;所述轴承座安装在轴承箱外收线伺服马达所在的相对侧上,且所述传动轴的另一端穿过轴承箱的另一侧边后套接在轴承座内。
其中,所述绕线轮轴的一端贯穿固定压盘后穿进轴承座内与传动轴的另一端连接,且固定压盘抵持在绕线轮的一端挡轮上;所述绕线轮轴的另一端贯穿绕线轮,且绕线轮轴贯穿绕线轮的部分套接有活动压盘,且所述活动压盘抵持在绕线轮另一端挡轮上。
其中,所述排线传动组件包括排线伺服马达、收线减速器和收线联轴器,所述滚珠丝杆的一端通过排线轴承与收线联轴器的一端驱动连接,所述排线伺服马达通过收线减速器与收线联轴器的另一端驱动连接;且所述排线轴承套设在轴承套内。
其中,所述移动滑台包括安装架、分别位于滚珠丝杆两侧的两根线性滑轨,所述安装架的两侧上均安装有多个定位套,每根线性滑轨均穿过定位套后安装在安装架的对应边。
其中,所述滚珠丝杆的一端套接在支撑座上。
本实用新型的有益效果是:与现有技术相比,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,排线和收线均通过伺服马达来完成,由此该装置具有占地面积小、通用性高、排线与收线能紧密结合、协调一致等特点;同时,伺服排线机构是通过精密的滚珠丝杆来实现,伺服收线机构则装在伺服排线机构的移动滑台上,通过移动滑台的移动及绕线轮的旋转来实现排线与收线智能化的结合;该结构的改进,不仅不需要进行二次复绕,避免二次复绕影响到线锯的品质,而且避免出现绞线、压线、断线等现象。
附图说明
图1为本实用新型的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置的爆炸图;
图2为图1组装后的结构图;
图3为图2的剖视图。
主要元件符号说明如下:
1、伺服收线机构 2、伺服排线机构
10、收线伺服马达 11、收线减速器
12、收线联轴器 13、传动轴
14、绕线轮 15、轴承箱
16、锁紧套 17、收线轴承
18、轴承座 21、移动滑台
22、滚珠丝杆 23、排线传动组件
24、排线轴承 25、轴承套
26、支撑座 141、固定压盘
142、活动压盘 143、绕线轮轴
211、安装架 212、线性滑轨
213、定位套 231、排线伺服马达
232、收线减速器 233、收线联轴器。
具体实施方式
为了更清楚地表述本实用新型,下面结合附图对本实用新型作进一步地描述。
请参阅图1-3,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,包括伺服收线机构1和伺服排线机构2,伺服排线机构2上设有移动滑台21,伺服收线机构1安装在移动滑台21上;伺服排线机构2包括安装在移动滑台21中间位置的滚珠丝杆22和与滚珠丝杆22驱动连接的排线传动组件23,排线传动组件23与滚珠丝杆22驱动连接,且排线传动组件23传动后带动滚珠丝杆22进行旋转运动,滚珠丝杆22旋转后带动伺服收线机构1在移动滑台21上进行前后滑动。
相较于现有技术的情况,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,排线和收线均通过伺服马达来完成,由此该装置具有占地面积小、通用性高、排线与收线能紧密结合、协调一致等特点;同时,伺服排线机构是通过精密的滚珠丝杆来实现,伺服收线机构则装在伺服排线机构的移动滑台上,通过移动滑台的移动及绕线轮的旋转来实现排线与收线智能化的结合;该结构的改进,不仅不需要进行二次复绕,避免二次复绕影响到线锯的品质,而且避免出现绞线、压线、断线等现象。
在本实施例中,伺服收线机构1包括收线伺服马达10、收线减速器11、收线联轴器12、传动轴13和绕线轮14,收线减速器11安装在轴承箱15的侧边,传动轴13的一端穿过轴承箱15侧边后置于轴承箱15内,且传动轴的13一端通过收线减速器11和收线联轴器12后与收线伺服马达10驱动连接;绕线轮14通过绕线轮轴143与传动轴13的另一端固定连接后,绕线轮14与传动轴13驱动连接;线材通过导线轮缠绕在绕线轮14上。该收线是通过伺服马达来完成的,把需要生产的线材经过导线轮绕到绕线轮上,当开启时,伺服马达开始运转后进行放线;且由收线减速器调整速度,由此可保证与其他工序之间的配合协调,实现了放线不需要进行人工干预。另外,该收线减速器的齿轮间隙小,由此提高了传动的精度。
在本实施例中,该伺服收线机构1还包括锁紧套16、收线轴承17和轴承座18,传动轴13的一端依次贯穿收线轴承17和锁紧套16后与收线联轴器12连接,且该锁紧套16和收线轴承17均安装在轴承箱15内;轴承座18安装在轴承箱外收线伺服马达10所在的相对侧上,且传动轴13的另一端穿过轴承箱的另一侧边后套接在轴承座内。绕线轮轴143的一端贯穿固定压盘141后穿进轴承座内与传动轴的另一端连接,且固定压盘141抵持在绕线轮的一端挡轮上;绕线轮轴143的另一端贯穿绕线轮14,且绕线轮轴143贯穿绕线轮的部分套接有活动压盘142,且活动压盘142抵持在绕线轮另一端挡轮上。本案中绕线轮的挡轮上抵持有固定压盘和活动压盘,通过活动及固定压盘的作用,使得绕线轮在转动过程中不会出现位置偏移的现象,进而保证放线的准确性。活动压盘通过螺母套接在绕线轮轴上。当然,还可以其他方式固定。
在本实施例中,排线传动组件23包括排线伺服马达231、收线减速器232和收线联轴器233,滚珠丝杆22的一端通过排线轴承24与收线联轴器233的一端驱动连接,排线伺服马达231通过收线减速器232与收线联轴器233的另一端驱动连接;且排线轴承24套设在轴承套25内。移动滑台21包括安装架211、分别位于滚珠丝杆22两侧的两根线性滑轨212,安装架211的两侧上均安装有多个定位套213,每根线性滑轨212均穿过定位套213后安装在安装架211的对应边。滚珠丝杆22的一端套接在支撑座26上。
本装置可以做成模组的形式,收线和排线均是通过伺服马达来完成,它具有占地面积小、控制精度高、通用性高等特性,能与后断工序紧密配合、协调一致等特点。采用此种伺服收排装置后,不需要进行二次复绕,极大的降低了设备投资成本,而且避免二次复绕影响到线锯的品质。
本案是伺服排线及收线装置在金刚石电镀设备上的具体应用,工作前首先把需要生产的线材经过导线轮绕到绕线轮上,当设备开启时,伺服排线机构及伺服收线机构上的伺服马达同时工作,伺服排线机构是通过精密的滚珠丝杆来实现,伺服收线机构则装在伺服排线机构的移动滑台上,通过移动滑台的移动及绕线轮的旋转来实现排线与收线智能化的结合,其之间的配合协调统一,全程可做到无人值机,以达到智能化的目的。
以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施例,但是本实用新型并非局限于此,任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,其特征在于,包括伺服收线机构和伺服排线机构,所述伺服排线机构上设有移动滑台,所述伺服收线机构安装在移动滑台上;所述伺服排线机构包括安装在移动滑台中间位置的滚珠丝杆和与滚珠丝杆驱动连接的排线传动组件,所述排线传动组件与滚珠丝杆驱动连接,且所述排线传动组件传动后带动滚珠丝杆进行旋转运动,所述滚珠丝杆旋转后带动伺服收线机构在移动滑台上进行前后滑动。
2.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,其特征在于,所述伺服收线机构包括收线伺服马达、收线减速器、收线联轴器、传动轴和绕线轮,所述收线减速器安装在轴承箱的侧边,所述传动轴的一端穿过轴承箱侧边后置于轴承箱内,且所述传动轴的一端通过收线减速器和收线联轴器后与收线伺服马达驱动连接;所述绕线轮通过绕线轮轴与传动轴的另一端固定连接后,绕线轮与传动轴驱动连接;线材通过导线轮缠绕在绕线轮上。
3.根据权利要求2所述的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,其特征在于,该伺服收线机构还包括锁紧套、收线轴承和轴承座,所述传动轴的一端依次贯穿收线轴承和锁紧套后与收线联轴器连接,且该锁紧套和收线轴承均安装在轴承箱内;所述轴承座安装在轴承箱外收线伺服马达所在的相对侧上,且所述传动轴的另一端穿过轴承箱的另一侧边后套接在轴承座内。
4.根据权利要求3所述的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,其特征在于,所述绕线轮轴的一端贯穿固定压盘后穿进轴承座内与传动轴的另一端连接,且固定压盘抵持在绕线轮的一端挡轮上;所述绕线轮轴的另一端贯穿绕线轮,且绕线轮轴贯穿绕线轮的部分套接有活动压盘,且所述活动压盘抵持在绕线轮另一端挡轮上。
5.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,其特征在于,所述排线传动组件包括排线伺服马达、收线减速器和收线联轴器,所述滚珠丝杆的一端通过排线轴承与收线联轴器的一端驱动连接,所述排线伺服马达通过收线减速器与收线联轴器的另一端驱动连接;且所述排线轴承套设在轴承套内。
6.根据权利要求5所述的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,其特征在于,所述移动滑台包括安装架、分别位于滚珠丝杆两侧的两根线性滑轨,所述安装架的两侧上均安装有多个定位套,每根线性滑轨均穿过定位套后安装在安装架的对应边。
7.根据权利要求6所述的金刚石电镀设备上的伺服排线收线装置,其特征在于,所述滚珠丝杆的一端套接在支撑座上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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