CN205789893U - 用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置 - Google Patents

Abstract

一种用于洗刷基板的滚刷，包括滚刷轴，所述滚刷轴上缠绕有第一刷毛和第二刷毛，所述第一刷毛和所述第二刷毛以螺旋方式交替缠绕在所述滚刷轴的外表面上，所述第一刷毛和所述第二刷毛为不同材质的刷毛。本实施例提供的用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置，在对基板背面洗刷的过程中，滚刷转动时，同一洗刷位置会经历第一刷毛和第二刷毛这两种不同刷毛的交替洗刷，而第一刷毛和第二刷毛由不同材质的刷毛组成，改变了原有单一刷毛的洗刷方式，增加了不同刷毛与基板背面的交替接触，能更有效去除基板背面的滚轮印迹，增强了洗刷效果，由于两种刷毛交替洗刷，相较单一刷毛还能延长刷毛的使用寿命。

Description

用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置

技术领域

本实用新型涉及湿法处理设备技术领域，特别是涉及一种用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置。

背景技术

在液晶显示器(LCD)和有机发光二极管显示器(OLED)的生产过程中，需要使用湿法处理设备参与一些工序的生产。例如在液晶显示器和有机发光二极管显示器的阵列基板制作过程中，通常采用湿法刻蚀(wet etch)进行金属层的刻蚀，其中包括栅线(Gate)层、源极/漏极(S/D，Source/Drain)层、氧化铟锡(ITO，Indium Tin Oxides)层的刻蚀等等。

利用湿法处理设备制作基板时，基板会通过传送滚轮(Roller)输送至相应的湿法处理设备(如湿法刻蚀设备、剥离清洗设备等)上。传送滚轮转动以将承载在传送滚轮上的基板向前传送，依次完成各个工艺过程，主要包括湿法刻蚀过程、清洗喷淋过程、干燥过程等等。

然而，如图1所示，随着机台的使用，基板11在设备中进行工艺传送后，基板11的背面会出现滚轮印迹(Roller Mark)11a。为了改善滚轮印迹，在设备的传送系统中会安装滚刷(Roller Brush)，滚刷上套设安装有刷毛，通过刷毛对基板的背面进行洗刷，以消除基板背面的滚轮印迹。

现有技术中，刷毛是卷成中心圆筒状套设在滚刷轴上，采用单一刷毛，刷洗效果不太理想，且在刷洗过程中刷毛容易出现磨损，只能通过调节滚刷的压入量，以对基板背面进行洗刷。但是，滚轮印迹依然清晰可见。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置，以解决现有滚刷在洗刷基板背面的滚轮印迹时刷洗效果不太理想，刷毛容易出现磨损的问题。

本实用新型提供一种用于洗刷基板的滚刷，包括滚刷轴，所述滚刷轴上缠绕有第一刷毛和第二刷毛，所述第一刷毛和所述第二刷毛以螺旋方式交替缠绕在所述滚刷轴的外表面上，所述第一刷毛和所述第二刷毛为不同材质的刷毛。

进一步地，所述第一刷毛和所述第二刷毛沿着所述滚刷轴的轴线方向上相互交替错开，所述第一刷毛和所述第二刷毛将所述滚刷轴的整个外表面包裹住。

进一步地，所述第一刷毛和所述第二刷毛为不同的尼龙材质刷毛。

进一步地，所述第一刷毛和所述第二刷毛在所述滚刷轴上的缠绕方向与所述滚刷轴的轴线方向呈30°～60°的夹角。

进一步地，所述第一刷毛和所述第二刷毛在所述滚刷轴上的缠绕方向与所述滚刷轴的轴线方向呈45°夹角。

本实用新型还提供一种基板传送装置，包括平台支架和设置在所述平台支架上的传送滚轮和滚刷，所述滚刷为上述的用于洗刷基板的滚刷。

进一步地，所述传送滚轮在所述平台支架上跨越不同工位设置。

进一步地，所述滚刷在所述平台支架上设置于所述传送滚轮的下游位置。

进一步地，所述滚刷的数量为一个，所述滚刷轴上缠绕有所述第一刷毛和所述第二刷毛的部分的轴向长度等于或大于所述基板的宽度。

进一步地，所述滚刷的转动方向与所述传送滚轮的转动方向相反。

本实施例提供的用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置，在对基板背面洗刷的过程中，滚刷转动时，同一洗刷位置会经历第一刷毛和第二刷毛这两种不同刷毛的交替洗刷，而第一刷毛和第二刷毛由不同材质的刷毛组成，改变了原有单一刷毛的洗刷方式，增加了不同刷毛与基板背面的交替接触，能更有效去除基板背面的滚轮印迹，增强了洗刷效果，由于两种刷毛交替洗刷，相较单一刷毛还能延长刷毛的使用寿命。

附图说明

图1为传送之后出现在基板背面的滚轮印迹的示意图。

图2为本实用新型实施例中用于洗刷基板的滚刷的立体结构示意图。

图3为图2中沿着平行于滚刷轴方向的截面示意图。

图4为图2中沿着垂直于滚刷轴方向的截面示意图。

图5为本实用新型实施例中基板传送装置的平面结构示意图。

图6为图5中滚刷用于刷洗基板时的工作示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术方式及功效，以下结合附图及实施例，对本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

图2为本实用新型实施例中用于洗刷基板的滚刷的立体结构示意图，图3为图2中沿着平行于滚刷轴方向的截面示意图，图4为图2中沿着垂直于滚刷轴方向的截面示意图，请同时参图2至图4，本实施例提供的用于洗刷基板的滚刷(Roller Brush)20包括滚刷轴(Roller Brush Shaft)21，滚刷轴21上缠绕有第一刷毛22和第二刷毛23，第一刷毛22和第二刷毛23以螺旋方式交替缠绕在滚刷轴21的外表面上，使第一刷毛22和第二刷毛23沿着滚刷轴21的轴线方向上相互交替错开，由第一刷毛22和第二刷毛23将滚刷轴21的整个外表面包裹住，第一刷毛22和第二刷毛23为不同材质的刷毛。

在一个实例中，第一刷毛22和第二刷毛23为不同的尼龙材质刷毛。

在一个实例中，第一刷毛22和第二刷毛23在滚刷轴21上的缠绕方向与滚刷轴21的轴线方向呈30°～60°的夹角，优选为45°夹角。

如图4所示，在对基板背面洗刷的过程中，滚刷20转动时，同一洗刷位置会经历第一刷毛22和第二刷毛23这两种不同刷毛的交替洗刷，而第一刷毛22和第二刷毛23由不同材质的刷毛组成，改变了原有单一刷毛的洗刷方式，增加了不同刷毛与基板背面的交替接触，能更有效去除基板背面的滚轮印迹(Roller Mark)，增强了洗刷效果，由于两种刷毛交替洗刷，相较单一刷毛还能延长刷毛的使用寿命。

另外，滚刷20在使用一段时间后，可能会出现某一局部洗刷位置的刷毛磨损较其他洗刷位置严重的情况，此时可将第一刷毛22和第二刷毛23取下，对换缠绕位置(即由原来从滚刷轴的A端朝向B端缠绕，改为从滚刷轴的B端朝向A端缠绕)继续使用，直至最后更换新的刷毛为止，从而延长刷毛使用寿命，降低使用成本。

本实用新型还提供一种基板传送装置，图5为本实用新型实施例中基板传送装置的平面结构示意图，图6为图5中滚刷用于刷洗基板时的工作示意图，请参图4-5，本实施例提供的基板传送装置包括平台支架50和设置在平台支架50上的传送滚轮(Roller)30和滚刷(Roller Brush)20。

传送滚轮30用于承载基板40(例如玻璃基板)并将基板40带动传送。根据湿法处理中不同工序的需要，传送滚轮30可以在平台支架50上跨越不同工位设置，使得基板40可以通过传送滚轮30分别传送至不同的工位。

平台支架50上于传送滚轮30的下游设置滚刷20，用于对基板40的背面进行洗刷，以去除基板40背面的滚轮印迹(Roller Mark)。本实施例中，滚刷20的数量为一个，滚刷轴21上缠绕有第一刷毛22和第二刷毛23的部分的轴向长度等于或大于基板40的宽度(参图5)，因此通过一个滚刷20即可实现对基板40整个背面的洗刷。

传送滚轮30和滚刷20在驱动装置(如电机)带动下转动，由传送滚轮30将基板40传送，基板40在传送至下游时由滚刷20实现对基板40背面洗刷，洗刷过后的基板40可以进入下一道制程(例如水洗制程、干燥制程等)。

本实施例中，滚刷20的转动方向可以设置为与传送滚轮30的转动方向相反，例如传送滚轮30为顺时针转动将基板40向前传送时，则滚刷20逆时针转动(参图6)，以在基板40向前传送时，增加第一刷毛22和第二刷毛23与基板40之间的摩擦力，从而对基板40背面进行更有效的洗刷。

本实施例提供的基板40传送装置，可应用于基板40制作的湿法处理设备中，包括湿法刻蚀设备、清洗剥离设备等等。

本实用新型实施例提供的用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置，在对基板背面洗刷的过程中，滚刷转动时，同一洗刷位置会经历第一刷毛和第二刷毛这两种不同刷毛的交替洗刷，而第一刷毛和第二刷毛由不同材质的刷毛组成，改变了原有单一刷毛的洗刷方式，增加了不同刷毛与基板背面的交替接触，能更有效去除基板背面的滚轮印迹，增强了洗刷效果，由于两种刷毛交替洗刷，相较单一刷毛还能延长刷毛的使用寿命。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种用于洗刷基板的滚刷(20)，包括滚刷轴(21)，其特征在于，所述滚刷轴(21)上缠绕有第一刷毛(22)和第二刷毛(23)，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)以螺旋方式交替缠绕在所述滚刷轴(21)的外表面上，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)为不同材质的刷毛。

2.根据权利要求1所述的用于洗刷基板的滚刷(20)，其特征在于，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)沿着所述滚刷轴(21)的轴线方向上相互交替错开，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)将所述滚刷轴(21)的整个外表面包裹住。

3.根据权利要求1所述的用于洗刷基板的滚刷(20)，其特征在于，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)为不同的尼龙材质刷毛。

4.根据权利要求1所述的用于洗刷基板的滚刷(20)，其特征在于，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)在所述滚刷轴(21)上的缠绕方向与所述滚刷轴(21)的轴线方向呈30°～60°的夹角。

5.根据权利要求4所述的用于洗刷基板的滚刷(20)，其特征在于，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)在所述滚刷轴(21)上的缠绕方向与所述滚刷轴(21)的轴线方向呈45°夹角。

6.一种基板传送装置，包括平台支架(50)和设置在所述平台支架(50)上的传送滚轮(30)和滚刷，其特征在于，所述滚刷为权利要求1至5任一项所述的用于洗刷基板的滚刷(20)。

7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述传送滚轮(30)在所述平台支架(50)上跨越不同工位设置。

8.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述滚刷(20)在所述平台支架(50)上设置于所述传送滚轮(30)的下游位置。

9.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述滚刷(20)的数量为一个，所述滚刷轴(21)上缠绕有所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)的部分的轴向长度等于或大于所述基板(40)的宽度。

10.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述滚刷(20)的转动方向与所述传送滚轮(30)的转动方向相反。