CN205710922U - 一种实验室用蚀刻装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种蚀刻装置，尤其涉及一种实验室用蚀刻装置。本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高反应速率、能够提高蚀刻质量的实验室用蚀刻装置。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种实验室用蚀刻装置，包括有底板、左侧板、滑轨Ⅰ、支杆Ⅰ、支杆Ⅱ、支杆Ⅲ、滑轨Ⅱ、右侧板、固定板、蚀刻液箱、滑块Ⅰ、齿条Ⅰ、电机、皮带轮Ⅰ、齿轮Ⅰ、处理箱、滑块Ⅱ、齿条Ⅱ、皮带轮Ⅱ、齿轮Ⅱ、平皮带、流通箱Ⅰ、活塞Ⅰ、连杆Ⅰ、水泵、出水管、阀门Ⅰ、流通箱Ⅱ、活塞Ⅱ、连杆Ⅱ、流通管、阀门Ⅱ、进水管、阀门Ⅲ、单向阀Ⅰ和单向阀Ⅱ。本实用新型达到了反提高应速率、能够提高蚀刻质量的效果。

Description

一种实验室用蚀刻装置

技术领域

本实用新型涉及一种蚀刻装置，尤其涉及一种实验室用蚀刻装置。

背景技术

通常所指蚀刻也称光化学蚀刻，指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。

现有的蚀刻装置存在反应速率慢、影响蚀刻质量的缺点，因此亟需研发一种反提高应速率、能够提高蚀刻质量的实验室用蚀刻装置。

实用新型内容

(1)要解决的技术问题

本实用新型为了克服现有的蚀刻装置存在反应速率慢、影响蚀刻质量的缺点，本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高反应速率、能够提高蚀刻质量的实验室用蚀刻装置。

(2)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种实验室用蚀刻装置，包括有底板、左侧板、滑轨Ⅰ、支杆Ⅰ、支杆Ⅱ、支杆Ⅲ、滑轨Ⅱ、右侧板、固定板、蚀刻液箱、滑块Ⅰ、齿条Ⅰ、电机、皮带轮Ⅰ、齿轮Ⅰ、处理箱、滑块Ⅱ、齿条Ⅱ、皮带轮Ⅱ、齿轮Ⅱ、平皮带、流通箱Ⅰ、活塞Ⅰ、连杆Ⅰ、水泵、出水管、阀门Ⅰ、流通箱Ⅱ、活塞Ⅱ、连杆Ⅱ、流通管、阀门Ⅱ、进水管、阀门Ⅲ、单向阀Ⅰ和单向阀Ⅱ，底板上从左至右依次设有左侧板、滑轨Ⅰ、支杆Ⅰ、支杆Ⅱ、支杆Ⅲ、滑轨Ⅱ和右侧板，左侧板与右侧板之间上部连接有固定板，固定板上安装有蚀刻液箱，滑轨Ⅰ上设有滑块Ⅰ，滑块Ⅰ上设有齿条Ⅰ，支杆Ⅰ上设有电机，电机的后部设有皮带轮Ⅰ，皮带轮Ⅰ的后部安装有齿轮Ⅰ，齿轮Ⅰ与齿条Ⅰ啮合，支杆Ⅱ上安装有处理箱，滑轨Ⅱ上设有滑块Ⅱ，滑块Ⅱ上设有齿条Ⅱ，支杆Ⅲ上设有皮带轮Ⅱ，皮带轮Ⅱ的后部设有齿轮Ⅱ，齿轮Ⅱ与齿条Ⅱ啮合，皮带轮Ⅰ与皮带轮Ⅱ之间连接有平皮带，左侧板上中部安装有流通箱Ⅰ，流通箱Ⅰ内设有活塞Ⅰ，活塞Ⅰ的底端连接有连杆Ⅰ，连杆Ⅰ的底部与齿条Ⅰ连接，处理箱内设有水泵，水泵与流通箱Ⅰ之间连接有出水管，出水管上设有阀门Ⅰ，右侧板左侧中部安装有流通箱Ⅱ，流通箱Ⅱ内设有活塞Ⅱ，活塞Ⅱ的底端连接有连杆Ⅱ，连杆Ⅱ的底端与齿条Ⅱ连接，流通箱Ⅰ与流通箱Ⅱ上部之间连接有流通管，流通管上设有阀门Ⅱ，流通管的右侧底端与处理箱之间连接有进水管，进水管位于阀门Ⅱ的右侧，进水管上设有阀门Ⅲ，流通箱Ⅰ与蚀刻液箱之间连接有单向阀Ⅰ，蚀刻液箱与流通箱Ⅱ之间连接有单向阀Ⅱ。

优选地，还包括有壳体和电热丝，蚀刻液箱的底部设有壳体，壳体内设有电热丝。

优选地，电机为伺服电机。

工作原理：流通箱Ⅰ与蚀刻液箱内有蚀刻液，当要对铜板、锌版等进行蚀刻时，将铜板等放入蚀刻液箱内，启动电机顺时针转动，电机顺时针转动带动皮带轮Ⅰ顺时针转动，皮带轮Ⅰ顺时针转动带动齿轮Ⅰ顺时针转动，齿轮Ⅰ顺时针转动带动齿条Ⅰ向上运动，齿条Ⅰ向上运动带动活塞Ⅰ向上运动，流通箱Ⅰ内的蚀刻液通过单向阀Ⅰ流入蚀刻液箱内，蚀刻液箱内的蚀刻液通过单向阀Ⅱ流入流通箱Ⅱ，因为皮带轮Ⅰ与皮带轮Ⅱ之间连接有平皮带，所以皮带轮Ⅰ顺时针转动带动皮带轮Ⅱ顺时针转动，皮带轮Ⅱ顺时针转动带动齿轮Ⅱ顺时针转动，齿轮Ⅱ顺时针转动带动齿条Ⅱ向下运动，齿条Ⅱ向下运动带动活塞Ⅱ向下运动，当蚀刻液箱内的蚀刻液全部流入流通箱Ⅱ后，启动电机逆时针转动，电机逆时针转动带动皮带轮Ⅰ逆时针转动，皮带轮Ⅰ逆时针转动带动齿轮Ⅰ逆时针转动，齿轮Ⅰ逆时针转动带动齿条Ⅰ向下运动，从而使活塞Ⅰ向下运动，因为皮带轮Ⅰ与皮带轮Ⅱ之间连接有平皮带，所以皮带轮Ⅰ逆时针转动带动皮带轮Ⅱ逆时针转动，皮带轮Ⅱ逆时针转动带动齿轮Ⅱ逆时针转动，齿轮Ⅱ逆时针转动带动齿条Ⅱ向上运动，齿轮Ⅱ向上运动带动活塞Ⅱ向上运动，从而使流通箱Ⅱ内的蚀刻液流到流通箱Ⅱ底部，打开阀门Ⅱ，流通箱Ⅱ内的蚀刻液通过流通管流回流通箱Ⅰ内，重复以上操作，使蚀刻液在流通箱Ⅰ、蚀刻液箱和流通箱Ⅱ内来回流动。当蚀刻液箱内的蚀刻液由于多次蚀刻而造成蚀刻浓度低时，关闭阀门Ⅱ，将阀门Ⅲ打开，流通箱Ⅱ内的蚀刻液流入处理箱内，处理箱内有能增加蚀刻液离子的浓度，使蚀刻液的浓度更浓，控制气泵工作，打开阀门Ⅰ，将浓度加强过的蚀刻液通过出水管重新流入流通箱Ⅰ。

因为还包括有壳体和电热丝，蚀刻液箱的底部设有壳体，壳体内设有电热丝，当蚀刻液的温度降低时，控制电热丝加热，能更好的控制蚀刻液的温度。

因为电机为伺服电机，能更好的控制其转速。

(3)有益效果

本实用新型达到了反提高应速率、能够提高蚀刻质量的效果。

附图说明

图1为本实用新型的第一种主视结构示意图。

图2为本实用新型的第二种主视结构示意图。

附图中的标记为：1-底板，2-左侧板，3-滑轨Ⅰ，4-支杆Ⅰ，5-支杆Ⅱ，6-支杆Ⅲ，7-滑轨Ⅱ，8-右侧板，9-固定板，10-蚀刻液箱，11-滑块Ⅰ，12-齿条Ⅰ，13-电机，14-皮带轮Ⅰ，15-齿轮Ⅰ，16-处理箱，17-滑块Ⅱ，18-齿条Ⅱ，19-皮带轮Ⅱ，20-齿轮Ⅱ，21-平皮带，22-流通箱Ⅰ，23-活塞Ⅰ，24-连杆Ⅰ，25-水泵，26-出水管，27-阀门Ⅰ，28-流通箱Ⅱ，29-活塞Ⅱ，30-连杆Ⅱ，31-流通管，32-阀门Ⅱ，33-进水管，34-阀门Ⅲ，35-单向阀Ⅰ，36-单向阀Ⅱ，37-壳体，38-电热丝。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

实施例1

一种实验室用蚀刻装置，如图1-2所示，包括有底板1、左侧板2、滑轨Ⅰ3、支杆Ⅰ4、支杆Ⅱ5、支杆Ⅲ6、滑轨Ⅱ7、右侧板8、固定板9、蚀刻液箱10、滑块Ⅰ11、齿条Ⅰ12、电机13、皮带轮Ⅰ14、齿轮Ⅰ15、处理箱16、滑块Ⅱ17、齿条Ⅱ18、皮带轮Ⅱ19、齿轮Ⅱ20、平皮带21、流通箱Ⅰ22、活塞Ⅰ23、连杆Ⅰ24、水泵25、出水管26、阀门Ⅰ27、流通箱Ⅱ28、活塞Ⅱ29、连杆Ⅱ30、流通管31、阀门Ⅱ32、进水管33、阀门Ⅲ34、单向阀Ⅰ35和单向阀Ⅱ36，底板1上从左至右依次设有左侧板2、滑轨Ⅰ3、支杆Ⅰ4、支杆Ⅱ5、支杆Ⅲ6、滑轨Ⅱ7和右侧板8，左侧板2与右侧板8之间上部连接有固定板9，固定板9上安装有蚀刻液箱10，滑轨Ⅰ3上设有滑块Ⅰ11，滑块Ⅰ11上设有齿条Ⅰ12，支杆Ⅰ4上设有电机13，电机13的后部设有皮带轮Ⅰ14，皮带轮Ⅰ14的后部安装有齿轮Ⅰ15，齿轮Ⅰ15与齿条Ⅰ12啮合，支杆Ⅱ5上安装有处理箱16，滑轨Ⅱ7上设有滑块Ⅱ17，滑块Ⅱ17上设有齿条Ⅱ18，支杆Ⅲ6上设有皮带轮Ⅱ19，皮带轮Ⅱ19的后部设有齿轮Ⅱ20，齿轮Ⅱ20与齿条Ⅱ18啮合，皮带轮Ⅰ14与皮带轮Ⅱ19之间连接有平皮带21，左侧板2上中部安装有流通箱Ⅰ22，流通箱Ⅰ22内设有活塞Ⅰ23，活塞Ⅰ23的底端连接有连杆Ⅰ24，连杆Ⅰ24的底部与齿条Ⅰ12连接，处理箱16内设有水泵25，水泵25与流通箱Ⅰ22之间连接有出水管26，出水管26上设有阀门Ⅰ27，右侧板8左侧中部安装有流通箱Ⅱ28，流通箱Ⅱ28内设有活塞Ⅱ29，活塞Ⅱ29的底端连接有连杆Ⅱ30，连杆Ⅱ30的底端与齿条Ⅱ18连接，流通箱Ⅰ22与流通箱Ⅱ28上部之间连接有流通管31，流通管31上设有阀门Ⅱ32，流通管31的右侧底端与处理箱16之间连接有进水管33，进水管33位于阀门Ⅱ32的右侧，进水管33上设有阀门Ⅲ34，流通箱Ⅰ22与蚀刻液箱10之间连接有单向阀Ⅰ35，蚀刻液箱10与流通箱Ⅱ28之间连接有单向阀Ⅱ36。

还包括有壳体37和电热丝38，蚀刻液箱10的底部设有壳体37，壳体37内设有电热丝38。

电机13为伺服电机13。

工作原理：流通箱Ⅰ22与蚀刻液箱10内有蚀刻液，当要对铜板、锌版等进行蚀刻时，将铜板等放入蚀刻液箱10内，启动电机13顺时针转动，电机13顺时针转动带动皮带轮Ⅰ14顺时针转动，皮带轮Ⅰ14顺时针转动带动齿轮Ⅰ15顺时针转动，齿轮Ⅰ15顺时针转动带动齿条Ⅰ12向上运动，齿条Ⅰ12向上运动带动活塞Ⅰ23向上运动，流通箱Ⅰ22内的蚀刻液通过单向阀Ⅰ35流入蚀刻液箱10内，蚀刻液箱10内的蚀刻液通过单向阀Ⅱ36流入流通箱Ⅱ28，因为皮带轮Ⅰ14与皮带轮Ⅱ19之间连接有平皮带21，所以皮带轮Ⅰ14顺时针转动带动皮带轮Ⅱ19顺时针转动，皮带轮Ⅱ19顺时针转动带动齿轮Ⅱ20顺时针转动，齿轮Ⅱ20顺时针转动带动齿条Ⅱ18向下运动，齿条Ⅱ18向下运动带动活塞Ⅱ29向下运动，当蚀刻液箱10内的蚀刻液全部流入流通箱Ⅱ28后，启动电机13逆时针转动，电机13逆时针转动带动皮带轮Ⅰ14逆时针转动，皮带轮Ⅰ14逆时针转动带动齿轮Ⅰ15逆时针转动，齿轮Ⅰ15逆时针转动带动齿条Ⅰ12向下运动，从而使活塞Ⅰ23向下运动，因为皮带轮Ⅰ14与皮带轮Ⅱ19之间连接有平皮带21，所以皮带轮Ⅰ14逆时针转动带动皮带轮Ⅱ19逆时针转动，皮带轮Ⅱ19逆时针转动带动齿轮Ⅱ20逆时针转动，齿轮Ⅱ20逆时针转动带动齿条Ⅱ18向上运动，齿轮Ⅱ20向上运动带动活塞Ⅱ29向上运动，从而使流通箱Ⅱ28内的蚀刻液流到流通箱Ⅱ28底部，打开阀门Ⅱ32，流通箱Ⅱ28内的蚀刻液通过流通管31流回流通箱Ⅰ22内，重复以上操作，使蚀刻液在流通箱Ⅰ22、蚀刻液箱10和流通箱Ⅱ28内来回流动。当蚀刻液箱10内的蚀刻液由于多次蚀刻而造成蚀刻浓度低时，关闭阀门Ⅱ32，将阀门Ⅲ34打开，流通箱Ⅱ28内的蚀刻液流入处理箱16内，处理箱16内有能增加蚀刻液离子的浓度，使蚀刻液的浓度更浓，控制气泵工作，打开阀门Ⅰ27，将浓度加强过的蚀刻液通过出水管26重新流入流通箱Ⅰ22。

因为还包括有壳体37和电热丝38，蚀刻液箱10的底部设有壳体37，壳体37内设有电热丝38，当蚀刻液的温度降低时，控制电热丝38加热，能更好的控制蚀刻液的温度。

因为电机13为伺服电机13，能更好的控制其转速。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (3)

1.一种实验室用蚀刻装置，其特征在于，包括有底板(1)、左侧板(2)、滑轨Ⅰ(3)、支杆Ⅰ(4)、支杆Ⅱ(5)、支杆Ⅲ(6)、滑轨Ⅱ(7)、右侧板(8)、固定板(9)、蚀刻液箱(10)、滑块Ⅰ(11)、齿条Ⅰ(12)、电机(13)、皮带轮Ⅰ(14)、齿轮Ⅰ(15)、处理箱(16)、滑块Ⅱ(17)、齿条Ⅱ(18)、皮带轮Ⅱ(19)、齿轮Ⅱ(20)、平皮带(21)、流通箱Ⅰ(22)、活塞Ⅰ(23)、连杆Ⅰ(24)、水泵(25)、出水管(26)、阀门Ⅰ(27)、流通箱Ⅱ(28)、活塞Ⅱ(29)、连杆Ⅱ(30)、流通管(31)、阀门Ⅱ(32)、进水管(33)、阀门Ⅲ(34)、单向阀Ⅰ(35)和单向阀Ⅱ(36)，底板(1)上从左至右依次设有左侧板(2)、滑轨Ⅰ(3)、支杆Ⅰ(4)、支杆Ⅱ(5)、支杆Ⅲ(6)、滑轨Ⅱ(7)和右侧板(8)，左侧板(2)与右侧板(8)之间上部连接有固定板(9)，固定板(9)上安装有蚀刻液箱(10)，滑轨Ⅰ(3)上设有滑块Ⅰ(11)，滑块Ⅰ(11)上设有齿条Ⅰ(12)，支杆Ⅰ(4)上设有电机(13)，电机(13)的后部设有皮带轮Ⅰ(14)，皮带轮Ⅰ(14)的后部安装有齿轮Ⅰ(15)，齿轮Ⅰ(15)与齿条Ⅰ(12)啮合，支杆Ⅱ(5)上安装有处理箱(16)，滑轨Ⅱ(7)上设有滑块Ⅱ(17)，滑块Ⅱ(17)上设有齿条Ⅱ(18)，支杆Ⅲ(6)上设有皮带轮Ⅱ(19)，皮带轮Ⅱ(19)的后部设有齿轮Ⅱ(20)，齿轮Ⅱ(20)与齿条Ⅱ(18)啮合，皮带轮Ⅰ(14)与皮带轮Ⅱ(19)之间连接有平皮带(21)，左侧板(2)上中部安装有流通箱Ⅰ(22)，流通箱Ⅰ(22)内设有活塞Ⅰ(23)，活塞Ⅰ(23)的底端连接有连杆Ⅰ(24)，连杆Ⅰ(24)的底部与齿条Ⅰ(12)连接，处理箱(16)内设有水泵(25)，水泵(25)与流通箱Ⅰ(22)之间连接有出水管(26)，出水管(26)上设有阀门Ⅰ(27)，右侧板(8)左侧中部安装有流通箱Ⅱ(28)，流通箱Ⅱ(28)内设有活塞Ⅱ(29)，活塞Ⅱ(29)的底端连接有连杆Ⅱ(30)，连杆Ⅱ(30)的底端与齿条Ⅱ(18)连接，流通箱Ⅰ(22)与流通箱Ⅱ(28)上部之间连接有流通管(31)，流通管(31)上设有阀门Ⅱ(32)，流通管(31)的右侧底端与处理箱(16)之间连接有进水管(33)，进水管(33)位于阀门Ⅱ(32)的右侧，进水管(33)上设有阀门Ⅲ(34)，流通箱Ⅰ(22)与蚀刻液箱(10)之间连接有单向阀Ⅰ(35)，蚀刻液箱(10)与流通箱Ⅱ(28)之间连接有单向阀Ⅱ(36)。

2.根据权利要求1所述的一种实验室用蚀刻装置，其特征在于，还包括有壳体(37)和电热丝(38)，蚀刻液箱(10)的底部设有壳体(37)，壳体(37)内设有电热丝(38)。

3.根据权利要求1所述的一种实验室用蚀刻装置，其特征在于，电机(13)为伺服电机(13)。