CN205605459U - 分子泵静隔环与泵壳的紧固结构 - Google Patents

分子泵静隔环与泵壳的紧固结构 Download PDF

Info

Publication number
CN205605459U
CN205605459U CN201620361485.1U CN201620361485U CN205605459U CN 205605459 U CN205605459 U CN 205605459U CN 201620361485 U CN201620361485 U CN 201620361485U CN 205605459 U CN205605459 U CN 205605459U
Authority
CN
China
Prior art keywords
quiet
pump case
spacer ring
ring
pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201620361485.1U
Other languages
English (en)
Inventor
刘安良
何毅
唐洪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chengdu Superb Vacuum Technology Co Ltd
Original Assignee
Chengdu Superb Vacuum Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chengdu Superb Vacuum Technology Co Ltd filed Critical Chengdu Superb Vacuum Technology Co Ltd
Priority to CN201620361485.1U priority Critical patent/CN205605459U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN205605459U publication Critical patent/CN205605459U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，包括底盘（1），密封圈（2），泵壳（3），静片（4），静隔环（6），调整环（7），弹性元件（8），其中静隔环（6）层叠安装在底盘（1）上，调整环（7）安装在自下往上最末一层静隔环上，弹性元件（8）安装在调整环（7）上，泵壳通过弹性元件（8）将调整环和静隔环压紧，并与底盘（1）有效接触，达到整个装配、紧固效果。该实用新型的紧固结构装配工艺简单、零件互换性好、装配效率高。

Description

分子泵静隔环与泵壳的紧固结构
技术领域
本实用新型涉及一种分子泵静隔环与泵壳的紧固结构。具体地说是一种装配工艺简单、零件互换性好、装配效率高的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构。
背景技术
分子泵属于一种高速高精密高端真空获得设备，靠高速转动的转子表面将动量传递给气体分子使其沿着转子表面的运动方向产生定向流动而实现抽气，主要用来获得高真空及超高真空，其设计技术、制造工艺技术及装配技术要求很高。市场上现有分子泵的静叶片均由静隔环和调整环定位与紧固，而静隔环和调整环则由泵壳沿轴向方向压紧，泵壳与底盘之间通过螺栓联接而实现紧固。如图1所示，泵壳内法兰下端面直接与调整环上端面接触而传递压紧力，为了让静隔环、调整环与静片达到预期的紧固效果，泵壳下端法兰面与底盘之间沿轴向方向需留有一定的装配间隙。这种结构由于多层静片、静隔环与调整环之间的装配累积误差可控性较差，大多数情况下，调整环的轴向尺寸需在装配过程中配制，装配工艺繁琐，零件互换性差，效率低下，而且由于泵壳下端法兰面与底盘之间在轴向方向有装配间隙，会一定程度上影响整个产品的外观效果。
实用新型内容
为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中装配工艺繁琐，零件互换性差，效率低下的问题，提供一种装配工艺简单、零件互换性好、装配效率高的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构。
为解决上述技术问题，本实用新型的一种分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，包括底盘；密封圈；泵壳；静片；静隔环；调整环；还包括弹性元件，所述静隔环层叠安装在所述底盘上，所述调整环安装在自下往上最末一层静隔环上，所述泵壳通过所述弹性元件将所述调整环和所述静隔环沿轴向方向压紧，并与所述底盘有效接触，所述底盘与所述泵壳之间通过螺栓组联接紧固，达到整个装配、紧固效果。
上述的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，所述弹性元件沿轴向设于所述泵壳与所述调整环之间，且所述调整环上端面与所述弹性元件下端面接触，所述弹性元件上端面与所述泵壳内法兰下端面接触。
上述的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，所述弹性元件可以是与所述泵壳同轴安装的单个蝶形弹簧或蝶形弹簧组，也可以是以所述泵壳轴心线为中心并呈圆周均匀布置的压缩弹簧组。
本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：本实用新型所述的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构在所述调整环与所述泵壳之间设有弹性元件，装配过程中多层静片、静隔环的累积装配误差由所述弹性元件补偿，所述调整环的轴向尺寸不需配制，直接按设计要求加工制作即可，且装配时，所述泵壳通过所述弹性元件将所述调整环和所述静隔环沿轴向方向压紧，并与所述底盘有效接触，所述底盘与所述泵壳之间通过螺栓组联接紧固，达到整个装配、紧固效果。装配工艺简单、零件互换性好、装配效率高、维护维修方便，且所述泵壳下端法兰面与所述底盘之间无装配间隙，整体外观效果佳。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中。
图1是现有技术的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构示意图。
图2是本实用新型的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构示意图。
图中附图标记表示为：1-底盘、2-密封圈、3-泵壳、4-静片、6-静隔环、7-调整环、8-弹性元件。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
如图2所示，本实用新型的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，包括底盘1；密封圈2；泵壳3；静片4；静隔环6；调整环7；还包括弹性元件8，所述弹性元件8采用蝶形弹簧，所述静隔环6层叠安装在所述底盘1上，所述调整环7安装在自下往上最末一层静隔环上，所述弹性元件8沿轴向设于所述泵壳3与所述调整环7之间，且所述调整环7上端面与所述弹性元件8下端面接触，所述弹性元件8上端面与所述泵壳3内法兰下端面接触，所述泵壳3通过所述弹性元件8将所述调整环7和所述静隔环6沿轴向方向压紧，并与所述底盘1有效接触，所述底盘1与所述泵壳3之间通过螺栓组联接紧固，达到整个装配、紧固效果。该结构由于在所述调整环7与所述泵壳3之间设有弹性元件8，装配过程中多层静片、静隔环的累积装配误差由所述弹性元件8补偿，所述调整环7的轴向尺寸不需配制，直接按设计要求加工制作即可，装配工艺简单、零件互换性好、装配效率高、维护维修方便，且所述泵壳3下端法兰面与所述底盘1之间无装配间隙，整体外观效果佳。
本实用新型的实施例不限制所述弹性元件的选型方式，技术人员可根据实际需要采用不同的弹性元件。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (3)

1.一种分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，包括底盘（1）；泵壳（3）；静隔环（6）；调整环（7），其特征在于：还包括弹性元件（8），所述泵壳（3）通过所述弹性元件（8）将所述调整环（7）和所述静隔环（6）沿轴向方向压紧。
2.根据权利要求1所述的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，其特征在于：所述弹性元件（8）沿轴向设于所述泵壳（3）与所述调整环（7）之间，且所述调整环（7）上端面与所述弹性元件（8）下端面接触，所述弹性元件（8）上端面与所述泵壳（3）内法兰下端面接触。
3.根据权利要求1或2所述的分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，其特征在于：所述弹性元件（8）可以是与所述泵壳（3）同轴安装的单个蝶形弹簧或蝶形弹簧组，也可以是以所述泵壳（3）轴心线为中心并呈圆周均匀布置的压缩弹簧组。
CN201620361485.1U 2016-04-26 2016-04-26 分子泵静隔环与泵壳的紧固结构 Expired - Fee Related CN205605459U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620361485.1U CN205605459U (zh) 2016-04-26 2016-04-26 分子泵静隔环与泵壳的紧固结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620361485.1U CN205605459U (zh) 2016-04-26 2016-04-26 分子泵静隔环与泵壳的紧固结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN205605459U true CN205605459U (zh) 2016-09-28

Family

ID=56971191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201620361485.1U Expired - Fee Related CN205605459U (zh) 2016-04-26 2016-04-26 分子泵静隔环与泵壳的紧固结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN205605459U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114593075A (zh) * 2022-03-15 2022-06-07 北京中科科仪股份有限公司 一种分子泵

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114593075A (zh) * 2022-03-15 2022-06-07 北京中科科仪股份有限公司 一种分子泵

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101115508B1 (ko) 해양 구조물 슬러지 흡입장치
WO2010075393A3 (en) Gas turbine engine and system for servicing a gas turbine engine
CN205605459U (zh) 分子泵静隔环与泵壳的紧固结构
CN206383157U (zh) 一种快速更换吸头机构
CN204387178U (zh) 板弹簧、弹性支承以及压缩机
CN204164031U (zh) 一种离心式空气压缩机的叶轮
CN201763697U (zh) 一种地铁风机
CN202493404U (zh) 一种压电泵
CN203756586U (zh) 密封零件及离心压缩机
CN103395627B (zh) 一种同轴式气力输送喷射器
CN205331041U (zh) 易拆装轴向剖分多级离心泵叶轮定位装置
CN208619316U (zh) 一种气体增压泵
CN103696933B (zh) 煤化工用高低压一体式十列对称平衡大型往复压缩机
CN106089656A (zh) 压缩机及其气缸总成
CN205977617U (zh) 压缩机及其气缸总成
CN203473947U (zh) 一种同轴式气力输送喷射器
CN103016402B (zh) 具有排放孔的用于空气机的外壳
CN203702564U (zh) 涡旋压缩机
CN205118391U (zh) 一种微型电磁阀
CN204553327U (zh) 一种具有侧边叶片槽的燃油泵叶轮
CN203796571U (zh) 压缩机及具有其的空调器
CN218943197U (zh) 一种吸尘器降噪机构
CN101968061A (zh) 防爆风机
CN202901415U (zh) 无膜片式直通压力阀
CN209100263U (zh) 一种新型燃油取暖器的气泵

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160928

Termination date: 20170426

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee