CN205587339U - 物理清洗系统 - Google Patents
物理清洗系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205587339U CN205587339U CN201620097742.5U CN201620097742U CN205587339U CN 205587339 U CN205587339 U CN 205587339U CN 201620097742 U CN201620097742 U CN 201620097742U CN 205587339 U CN205587339 U CN 205587339U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- branch road
- workpiece
- crossbeam
- cleaning system
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
提供一种物理清洗系统,以采用物理方法清除工件上的二甲苯聚合物或六氟丙烯聚合物。在该清洗系统中,水冲洗装置用于冲洗工件;溶液池内放置有甲醇,用于浸泡所述工件;激光表面处理装置包括厚度检测组件以及激光器,所述激光器根据所述厚度检测组件检测的厚度产生激光,对所述工件表面进行烧蚀,以去除所述薄膜层;以及抛光装置用于对所述工件的表面进行抛光。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洗装置,尤其涉及工件上密封材料的清洗装置。
背景技术
移动通信终端设备被期望配置具有防水功能,防水功能的实现是通过在带电部件的外侧覆盖密封材料来实现的,对二甲苯聚合物、六氟丙烯聚合物就是实现此类密封的理想材料。在施加这样的密封材料的过程中,密封材料会附着在载具或者其他部件产上,因而存在希望将这些密封材料从工件上清洗的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种物理清洗系统,以采用物理方法清除工件上的二甲苯聚合物、六氟丙烯聚合物。
本实用新型的实施例提供一种物理清洗系统,用于清除工件上附着的薄膜层,所述薄膜层是二甲苯聚合物或六氟丙烯聚合物,在该清洗系统中,水冲洗装置用于冲洗工件;溶液池内放置有甲醇,用于浸泡所述工件;激光表面处理装置包括厚度检测组件以及激光器,所述激光器根据所述厚度检测组件检测的厚度产生激光,对所述工件表面进行烧蚀,以去除所述薄膜层;以及抛光装置用于对所述工件的表面进行抛光。
在本实用新型的实施例中,所述厚度检测组件为超声波测试仪,包括函数发生器、脉冲激励/接收装置、激励EMAT、接收EMAT以及信号显示装置,所述函数发生器用于提供设定的输入信号,所述脉冲激励/接收装置根据所述输入信号产生激励信号,所述激励EMAT根据所述激励信号在所述工件中产生振动,所述接收EMAT接收所述工件产生的振动并相应地产生脉冲信号,所述脉冲激励/接收装置接收所述脉冲信号并输出厚度信号。
在本实用新型的实施例中,所述水冲洗装置包括冲洗喷头,所述冲洗喷头包括 液体支路、气体支路以及喷射通道,所述气体支路和所述液体支路交汇于所述喷射通道,所述气体支路内用于引入压缩空气,所述液体支路的末端设置为负压腔,从而能从所述液体支路吸入水,所述喷射通道的通径大小适合于所述气体支路的压缩空气和所述液体支路的被吸入的水从所述喷射通道同步喷出。
在本实用新型的实施例中,所述水冲洗装置的液体支路配置有控制该液体支路的通断的开关,所述水冲洗装置的所述液体支路被断开仅容许压缩空气进入,从而能用作烘干装置。
在本实用新型的实施例中,所述物理清洗系统还包括用于安装所述激光表面处理装置的烧蚀房,所述烧蚀房的墙体包括内墙体和外墙体,内墙体和外墙体相对设置并且在内墙体和外墙体之间有间隔,所述间隔足以使得当所述激光器的焦点在内基板、外基板其中一层板上时另一层板上激光能量要足够小到不会熔化该另一层板。
在本实用新型的实施例中,所述抛光装置包括控制器、工件传送部件、横梁摆动部件以及磨头部件,所述工件传送部件包括传送带电机、由所述传送带电机可驱动连接的主动滚轮、从动滚轮以及连接所述主动滚轮和所述从动滚轮的传送带,所述传送带的输送快慢由所述控制器控制所述传送带电机的转速来控制;所述横梁摆动部件包括横梁摆动电机、能由横梁摆动电机驱动的横梁以及支撑横梁的横梁支座;所述磨头部件包括磨头电机、能由所述磨头电机驱动的磨头主轴、气缸、安装在所述磨头主轴上的磨头以及对所述磨头进行冷却的冷却水管;其中,所述工件传送部件、横梁摆动部件以及磨头部件的相对配置为:对于置于所述传送带上的工件,所述磨头在所述磨头电机的带动下旋转,且同时所述气缸带动所述磨头垂直压在工件上,所述磨头及所述磨头主轴固定在横梁上,所述横梁及其上固定的所述磨头能由所述横梁摆动电机驱动并在所述横梁支座上往复移动,往复的行程大于工件的宽度。
本实用新型有益效果是:
在工件进入激光表面处理装置之前,由溶液池对工件进行甲醇浸泡,有利于激光表面处理装置对工件表面薄膜的烧蚀,并且清洗系统是采用物理的方法来清除工件表面上的聚合物薄膜,没有有毒物质在这过程中产生,因此能保护操作者免受化学物品的伤害。
附图说明
本实用新型的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变得更加明显,其中:
图1为本实用新型一实施例中物理清洗系统的示意图;
图2为本实用新型一实施例中厚度检测组件的示意图;
图3为本实用新型一实施例中冲洗喷头的示意图;
图4为本实用新型一实施例中激光器的工作原理示意图;
图5为本实用新型一实施例中烧蚀房的示意图;
图6为本实用新型一实施例中抛光装置的主视示意图;
图7为本实用新型一实施例中抛光装置的俯视示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步说明,在以下的描述中阐述了更多的细节以便于充分理解本实用新型,但是本实用新型显然能够以多种不同于此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎,因此不应以此具体实施例的内容限制本实用新型的保护范围。
需要注意的是,附图均仅作为示例,其并非是按照等比例的条件绘制的,并且不应该以此作为对本实用新型实际要求的保护范围构成限制。
本实用新型的物理清洗系统适合于用于清除工件上附着的薄膜层,所述薄膜层是二甲苯聚合物、六氟丙烯聚合物。
如图1所示,在本实用新型的一实施例中,该清洗系统包括:水冲洗装置1、溶液池2、激光表面处理装置3以及抛光装置4。水冲洗装置1可以是水泵或者其他类似的装置,其用于清除工件表面的杂质或者异物,例如灰尘。溶液池2内放置有甲醇,用于浸泡工件,甲醇对工件的薄膜层具有一定的溶解作用,其目的是为后面工序的表面处理提供有利条件。激光表面处理装置3包括厚度检测组件以及激光器,激光器根据所述厚度检测组件检测的厚度产生激光,对工件表面进行烧蚀,以去除所述薄膜层。抛光装置4用于对工件的表面进行抛光,以达到设定的光洁 度。
图1所示的清洗系统可以采用物理的方法来清除工件表面上的聚合物薄膜,没有有毒物质在这过程中产生,因此能保护操作者免受化学物品的伤害。水冲洗装置1、溶液池2、激光表面处理装置3以及抛光装置4之间的工件传输可以通过自动传输装置或者人工运输来实现。
在优选的实施例中,如图2所示,厚度检测组件为超声波测试仪,包括函数发生器31、脉冲激励/接收装置32、激励EMAT33、接收EMAT34以及信号显示装置35。函数发生器31用于提供设定的输入信号,脉冲激励/接收装置32根据输入信号产生激励信号,激励EMAT33根据激励信号在工件中产生振动,接收EMAT34接收工件产生的振动并相应地产生振动信号,脉冲激励/接收装置接收所述振动信号并输出厚度信号。EMAT是电磁超声换能器的简称,激励EMAT33是电磁效应发射超声波,其能量转换在工件表面的趋肤层内直接进行的,可以不与工件接触,也不需要任何耦合介质。同样地,接收EMAT34是靠电磁效应接收超声波。当置于工件表面上的激励EMAT33的线圈通过高频电流时,将在工件的趋肤层内产生涡流,此涡流在外加磁场的作用下,会产生高频振动,从而形成超声波波源。接收EMAT34接收超声波时,是由于工件表面的振荡也会在外加磁场力的作用下,在接收EMAT34的高频线圈中感应出电压而被仪器接收。可以利用超声波中的SH波(水平剪切波)的频散对工件表面附着层厚度变化的敏感特性来测量工件表面的薄膜层的厚度。
如图3所示,为了引入有压力的水对工件表面进行冲击,水冲洗装置1包括冲洗喷头10,冲洗喷头10包括液体支路102、气体支路101以及喷射通道103,气体支路101和液体支路102交汇于喷射通道103,气体支路101内用于引入压缩空气,液体支路102的末端设置为负压腔,以便于流动压缩空气能在负压腔处形成负压,从而能从液体支路102吸入水,喷射通道103的通径大小适合于气体支路101的压缩空气和液体支路102的被吸入的水从喷射通道103同步喷出。冲洗喷头10的由压缩空气引入水是依靠伯努利原理,在高速流动的气流附近,气压会降低,因此可以再液体支路102的末端形成负压腔,从而吸引水进入到液体通道之中。冲洗喷头10的另一个好处是,在液体支路102中设置一个开关,用于控制液体支路102的通断。一旦液体支路102断开,就仅压缩空气喷出,此时喷出 的压缩空气可以将工件表面吹干。
如图4所示,激光源36将高强度的激光束辐360经由机器人370的接头362聚集成聚集激光361,并射至工作台364上的工件363的表面,通过激光与薄膜的相互作用,薄膜吸收激光能并转化为热能将薄膜熔化。非常高的能量聚焦于一点,可以看出,激光可以在非常短的时间内,快速将工件表面熔化,如果此时烧蚀房的墙体仅采用一个简单的钢板,万一发生激光泄漏的情况,对操作人员来的说,是十分致命的危险,在安全上是不能满足要求的,为此在本实用新型的实施例中,如图5所示,物理清洗系统还的烧蚀房的墙体包括内墙体371和外墙体372,内墙体371和外墙体372相对设置并且在内墙体和外墙体之间有间隔373,间隔373足以使得当所述激光器的焦点在内墙体371、外墙体372其中一层墙体上时另一层墙体上激光能量要足够小到不会熔化该另一层墙体。由于墙体是双层结构,按极限情况,焦点在内墙体371或外墙板372上,必可将在其中一层上熔化出一个洞,由于同时存在另一层板,则可起到保护作用,因此使设备的操作安全性大大提高。
在本实用新型的一实施例中,抛光装置可以包括电机、皮带机构以及由皮带机构的滚轴,滚轴上设置有滚刷,通过人工将工件表面与滚刷接触,这样可以起到抛光的作用,在不同滚轴上设置不同硬度的刷毛,可以起到多级抛光的作用。
在优选的实施例中,抛光装置通过磨头来抛光,如图6、图7所示,抛光装置包括控制器41(包含墨头控制器46)、工件传送部件、横梁摆动部件以及磨头部件,工件传送部件包括在工作台413上设置的传送带电机410、由传送带电机410可驱动连接的主动滚轮49、从动滚轮418以及连接主动滚轮49和从动滚轮418的传送带412,传送带412的输送快慢由控制器41控制传送带电机410的转速来控制;横梁摆动部件包括横梁摆动电机414、能由横梁摆动电机414驱动的横梁47以及支撑横梁47的横梁支座48;磨头部件包括磨头电机43、能由磨头电机43驱动的磨头主轴44、气缸45、安装在磨头主轴44上的磨头416以及对磨头416进行冷却的冷却水管42;其中,工件传送部件、横梁摆动部件以及磨头部件的相对配置为:对于置于传送带412上的工件417,磨头416在磨头电机43的带动下旋转,且同时气缸45带动磨头416垂直压在工件上,磨头416及磨头主轴44固定在横梁47上,横梁47及其上固定的磨头416在横梁摆动电机414的驱动下在横梁支座48上沿箭头415往复移动,往复的行程大于工件的宽度,工件运行方向 如箭头411所示。
为了提高抛光的效率,可以在同一抛光机上采用多种转速来驱动磨头,因此在一优选的实施例中,磨头电机43通过皮带机构带动磨头主轴44,其中皮带机构的从动轮为塔式从动轮,同时塔式从动轮来实现变速。
本实用新型虽然以较佳实施例公开如上,但其并不是用来限定本实用新型,任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内,都可以做出可能的变动和修改。因此,凡是未脱离本实用新型技术方案的内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化及修饰,均落入本实用新型权利要求所界定的保护范围之内。
Claims (6)
1.物理清洗系统,用于清除工件上附着的薄膜层,所述薄膜层是二甲苯聚合物或六氟丙烯聚合物,其特征在于,该清洗系统包括:
水冲洗装置,用于冲洗工件;
溶液池,其内放置有甲醇,用于浸泡所述工件;
激光表面处理装置,包括厚度检测组件以及激光器,所述激光器根据所述厚度检测组件检测的厚度产生激光,对所述工件表面进行烧蚀,以去除所述薄膜层;以及
抛光装置,用于对所述工件的表面进行抛光。
2.如权利要求1所述的物理清洗系统,其特征在于,所述厚度检测组件为超声波测试仪,包括函数发生器、脉冲激励/接收装置、激励EMAT、接收EMAT以及信号显示装置,所述函数发生器用于提供设定的输入信号,所述脉冲激励/接收装置根据所述输入信号产生激励信号,所述激励EMAT根据所述激励信号在所述工件中产生振动,所述接收EMAT接收所述工件产生的振动并相应地产生振动信号,所述脉冲激励/接收装置接收所述脉冲信号并输出厚度信号。
3.如权利要求1所述的物理清洗系统,其特征在于,所述水冲洗装置包括冲洗喷头,所述冲洗喷头包括液体支路、气体支路以及喷射通道,所述气体支路和所述液体支路交汇于所述喷射通道,所述气体支路内用于引入压缩空气,所述液体支路的末端设置为负压腔,从而能从所述液体支路吸入水,所述喷射通道的通径大小适合于所述气体支路的压缩空气和所述液体支路的被吸入的水从所述喷射通道同步喷出。
4.如权利要求3所述的清洗系统,其特征在于,所述水冲洗装置的液体支路配置有控制该液体支路的通断的开关,所述水冲洗装置的所述液体支路被断开仅容许压缩空气进入,从而能用作烘干装置。
5.如权利要求1所述的物理清洗系统,其特征在于,所述物理清洗系统还包括用于安装所述激光表面处理装置的烧蚀房,所述烧蚀房的墙体包括内墙体和外墙体,内墙体和外墙体相对设置并且在内墙体和外墙体之间有间隔,所述间隔足以使得当所述激光器的焦点在内基板、外基板其中一层板上时另一层板上激光能量足够小到不会熔化该另一层板。
6.如权利要求1所述的物理清洗系统,其特征在于,所述抛光装置包括控制器、工件传送部件、横梁摆动部件以及磨头部件,所述工件传送部件包括传送带电机、由所述传送带电机可驱动连接的主动滚轮、从动滚轮以及连接所述主动滚轮和所述从动滚轮的传送带,所述传送带的输送快慢由所述控制器控制所述传送带电机的转速来控制;所述横梁摆动部件包括横梁摆动电机、能由横梁摆动电机驱动的横梁以及支撑横梁的横梁支座;所述磨头部件包括磨头电机、能由所述磨头电机驱动的磨头主轴、气缸、安装在所述磨头主轴上的磨头以及对所述磨头进行冷却的冷却水管;其中,所述工件传送部件、横梁摆动部件以及磨头部件的相对配置为:对于置于所述传送带上的工件,所述磨头在所述磨头电机的带动下旋转,且同时所述气缸带动所述磨头垂直压在工件上,所述磨头及所述磨头主轴固定在横梁上,所述横梁及其上固定的所述磨头能由所述横梁摆动电机驱动并在所述横梁支座上往复移动,往复的行程大于工件的宽度。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201620097742.5U CN205587339U (zh) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 物理清洗系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201620097742.5U CN205587339U (zh) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 物理清洗系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN205587339U true CN205587339U (zh) | 2016-09-21 |
Family
ID=56926932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201620097742.5U Expired - Fee Related CN205587339U (zh) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 物理清洗系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN205587339U (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106493121A (zh) * | 2016-11-01 | 2017-03-15 | 武汉大学 | 一种基于活性液体和激光的纳米清洗方法 |
CN109807461A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-05-28 | 江阴海虹精密机械有限公司 | 复杂流道水冷板的搅拌摩擦焊接线及其焊接工艺 |
CN112266277A (zh) * | 2020-10-15 | 2021-01-26 | 江苏融汇环境工程有限公司 | 一种有机废弃物精细化好氧生物处理设备 |
CN112452947A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-03-09 | 厦门理工学院 | 一种智能化的清洗方法 |
-
2016
- 2016-01-29 CN CN201620097742.5U patent/CN205587339U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106493121A (zh) * | 2016-11-01 | 2017-03-15 | 武汉大学 | 一种基于活性液体和激光的纳米清洗方法 |
CN109807461A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-05-28 | 江阴海虹精密机械有限公司 | 复杂流道水冷板的搅拌摩擦焊接线及其焊接工艺 |
CN109807461B (zh) * | 2019-03-20 | 2021-07-09 | 江阴海虹精密机械有限公司 | 复杂流道水冷板的搅拌摩擦焊接线及其焊接工艺 |
CN112266277A (zh) * | 2020-10-15 | 2021-01-26 | 江苏融汇环境工程有限公司 | 一种有机废弃物精细化好氧生物处理设备 |
CN112452947A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-03-09 | 厦门理工学院 | 一种智能化的清洗方法 |
CN112452947B (zh) * | 2020-10-21 | 2022-05-10 | 厦门理工学院 | 一种智能化的清洗方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN205587339U (zh) | 物理清洗系统 | |
JP6516624B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
CN106583346B (zh) | 导电膜去除方法和装置 | |
KR20100075393A (ko) | 액체비산방지컵, 기판처리장치 및 상기 장치의 운전방법 | |
TW201236066A (en) | Protective material and ablation processing method | |
CN114551303B (zh) | 一种晶圆清洗装置、晶圆清洗方法及太鼓环切设备 | |
JP4776431B2 (ja) | 保護膜被覆装置 | |
CN112658504A (zh) | 一种便于清理的激光切割装置 | |
JP2876558B2 (ja) | 気密性試験装置 | |
CN108941061A (zh) | 光学元件的定量化清洁装置及方法 | |
CN107377562A (zh) | 一种培养瓶智能清洗设备 | |
TWI783136B (zh) | 研磨裝置 | |
JP4979550B2 (ja) | 筐体カバー機構 | |
US20210346990A1 (en) | Workpiece processing method | |
KR0186043B1 (ko) | 세정용 브러시를 가지는 기판세정장치 및 기판 세정방법 | |
JP5725942B2 (ja) | 粉塵排出装置 | |
JPH10256199A (ja) | 吸着支持面の洗浄装置 | |
JP2008118027A (ja) | 保護膜被覆装置 | |
JP6173192B2 (ja) | 液体噴射装置 | |
CN114141652A (zh) | 清洗装置以及清洗装置的控制方法 | |
JP2021034647A (ja) | 保護膜被覆装置、及び保護膜被覆装置を備えたレーザー加工装置 | |
CN117697554B (zh) | 晶圆加工系统、装置、方法及晶圆减薄设备 | |
JPH1132957A (ja) | 外壁用流体噴射装置およびその自動化装置 | |
JP6625438B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
CN113118100B (zh) | 一种晶圆清洗装置及清洗方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160921 Termination date: 20210129 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |