CN205282512U - 一种激光封装运动台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种激光封装运动台，包括大理石、龙门架以及用于承载玻璃基板的基板台，其中，所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转；所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基板台上的位置；激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。本实用新型中，整合了运动轴，将基板台与龙门架重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本。预定位机构的结构简单，简化了影响定位精度的因素，有效的提高了预定位精度，延长了使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光封装设备领域，尤其涉及一种激光封装运动台。
背景技术
有机发光二极管又称为有机电激光显示(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)，OLED是平板显示和照明领域的一个重大发展方向，根据OLED的工艺需求，由于OLED芯片的寿命极易受到氧气，水气的影响，因此需要一道工艺将其封装在密闭空间里，以隔离外部环境。要提高OLED的寿命，激光封装是一个有前景的工艺手段，就需要相应的激光封装设备用于完成激光封装工艺。
运动台是激光封装设备的核心部分之一，现有设备中的运动台，由龙门架运载激光头进行X、Y、Z向的步进运动，由基板台承载待封装的玻璃基板，所述基板台设有X、Y、Rz以及Z向运动，具备预定位、调焦、对准功能。其中，玻璃基板的预定位，是通过每边各设两个可移动的定位销，同时向几何中心运动实现；调焦功能，通过基板台的Z轴机构的运动，配合龙门架上的视觉系统实现；对准功能，通过基板台的X、Y、Rz机构的耦合运动，配合龙门架上的视觉系统实现。
但是现有设备中的运动台，为实现激光封装、调焦、对准功能设定的自由度有重复(即龙门架需要作X、Y、Z向运动，基板台需要作X、Y、Rz以及Z向运动)，相应的运动控制系统多，成本难以降低；基板预定位机构的结构复杂，玻璃基板以X、Y向中心面为基准定位，影响定位精度的因素多，预定位精度难以提高。
实用新型内容
本实用新型提供一种激光封装运动台，以解决现有技术中运动自由度有重复，预定位机构复杂，玻璃基板参与定位的因素多，进而导致成本难以下降，玻璃基板预定位精度难以提高等问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种激光封装运动台，包括大理石、龙门架以及用于承载玻璃基板的基板台，其中，
所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转；
所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基板台上的位置；
激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。
较佳地，所述龙门架包括两个立柱、两个Y向滑轨、第一滑块、X向滑轨、第二滑块、Z向滑轨以及第三滑块，所述两个立柱沿Y向固定设置于所述大理石上，所述两个Y向滑轨分别固定于两个立柱上，所述第一滑块架设于所述两个Y向滑轨上，并能够沿Y向滑动；所述X向滑轨固定于所述第一滑块上，所述第二滑块安装于所述X向滑轨上，并能够沿X向滑动；所述Z向滑轨固定于所述第二滑块上，所述第三滑块安装于所述Z向滑轨上，并能够沿Z向滑动；所述激光头固定安装于所述第三滑块上。
较佳地，所述第一滑块、第二滑块和第三滑块的运动均采用无刷直线电机驱动。
较佳地，所述基板台包括基板吸盘和Rz轴旋转电机，所述Rz轴旋转电机的定子部分固定于所述大理石上，所述Rz轴旋转电机的转子部分与所述基板吸盘固定连接。
较佳地，所述预定位机构包括三个定位销以及一个推压机构，所述定位销固定于所述基板吸盘上，所述推压机构固定于所述大理石上。
较佳地，其中两个定位销设于所述玻璃基板的第一边处，另一个定位销设于与上述第一边相邻且垂直的第二边处，所述推压机构设于与上述第一边和第二边组成的顶角相对的顶角处。
较佳地，所述定位销上还设有一限位板，所述限位板位于所述玻璃基板上方。
较佳地，所述定位销与所述基板吸盘之间还设有一轴承，所述玻璃基板与所述轴承的外圈接触。
与现有技术相比，本实用新型提供的一种激光封装运动台具有如下优点：
1、本实用新型中，基板台只进行Rz方向的运动，龙门架进行X、Y、Z方向的运动，将基板台与龙门架重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本；
2、现有技术中基板台采用微动台+Z轴机构，微动台的X、Y行程为5mm，采用旋转电机+连轴器+滚珠丝杠机构传动，定位精度±10um，重复定位精度±1um；Z轴机构旋转电机+连轴器+滚珠丝杠+直线导轨机构传动，行程30mm，定位精度±10um，重复定位精度±5um；而本实用新型的龙门架，X、Y、Z轴电机采用无刷直线电机驱动，定位精度为±5um，重复定位精度为±1um，将基板台的X、Y、Z运动自由度改由龙门架实现，性能比现有技术有所提高；
3、现有技术中，基板预定位机构由8个压轮分别向玻璃基板的中心相向运动以完成定位，结构上需4个压轮驱动机构，影响定位精度的因素有4个压轮驱动机构的运动精度、玻璃基板4个边的轮廓精度以及玻璃基板标记的印刷精度；而本实用新型的预定位机构，由固定在基板吸盘上的定位销和固定在大理石上的推压机构组成，玻璃基板的预定位由玻璃基板相邻两垂直边和定位销共同完成，影响定位精度的因素有玻璃基板2个边的轮廓精度和玻璃基板标记的印刷精度，结构简单，提高了定位精度，延长了寿命。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的激光封装运动台的结构示意图；
图2为图1的俯视图；
图3为本实用新型实施例二的激光封装运动台中定位销的结构示意图。
图中：100-大理石、200-龙门架、210-立柱、220-Y向滑轨、230-第一滑块、240-X向滑轨、250-第二滑块、260-Z向滑轨、270-第三滑块、300-基板台、310-基板吸盘、320-Rz轴旋转电机、331-定位销、332-推压机构、333-轴承、334-限位板、400-玻璃基板。
具体实施方式
为了更详尽的表述上述实用新型的技术方案，以下列举出具体的实施例来证明技术效果；需要强调的是，这些实施例用于说明本实用新型而不限于限制本实用新型的范围。
实施例一
本实用新型提供的一种激光封装运动台，如图1和2所示，包括大理石100、龙门架200以及用于承载玻璃基板400的基板台300，其中，
所述基板台300安装于所述大理石100上，并能够相对于所述大理石100沿Rz向旋转；
所述基板台300上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板400在所述基板台300上的位置；
所述激光头(未图示)安装于所述龙门架200上，所述龙门架200带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。
本实用新型中，整合了运动轴，将基板台300与龙门架200重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本。
较佳地，请继续参考图1和图2，所述龙门架200包括两个立柱210、两个Y向滑轨220、第一滑块230、X向滑轨240、第二滑块250、Z向滑轨260以及第三滑块270，所述两个立柱210沿Y向固定设置于所述大理石100上，所述两个Y向滑轨220分别固定于两个立柱210上，所述第一滑块230架设于所述两个Y向滑轨220上，并能够沿Y向滑动；所述X向滑轨240固定于所述第一滑块230上，所述第二滑块240安装于所述X向滑轨240上，并能够沿X向滑动；所述Z向滑轨260固定于所述第二滑块250上，所述第三滑块270安装于所述Z向滑轨260上，并能够沿Z向滑动；所述激光头固定安装于所述第三滑块270上。本实用新型利用龙门架200带动激光头进行X、Y、Z向的运动，配合基板台300的Rz向运动，以实现调焦和对准功能。
较佳地，所述第一滑块230、第二滑块250和第三滑块270的运动均采用无刷直线电机驱动，定位精度为±5um，重复定位精度为±1um，进一步提高定位精度。
较佳地，请继续参考图1和图2，所述基板台300包括基板吸盘310和Rz轴旋转电机320，所述Rz轴旋转电机320的定子部分固定于所述大理石100上，所述Rz轴旋转电机320的转子部分与所述基板吸盘310固定连接，所述基板吸盘310在所述Rz轴旋转电机320的带动下相对于所述大理石旋转，所述基板吸盘310对所述玻璃基板400进行吸附。
具体地，本实用新型中，龙门架200的X向、Y向以及基板台300的Rz向耦合运动，实现对准功能；所述龙门架200的Z向运动实现调焦功能。
较佳地，请重点参考图2，所述预定位机构包括三个定位销331以及一个推压机构332，所述定位销331固定于所述基板吸盘310上，所述推压机构332固定于所述大理石100上，具体地，其中两个定位销331设于所述玻璃基板400的第一边处，另一个定位销331设于与上述第一边相邻且垂直的第二边处，所述推压机构332设于与上述第一边和第二边组成的顶角相对的顶角处，换句话说，玻璃基板400的预定位由玻璃基板400的相邻两垂直边和三个定位销331共同完成，再利用推压机构332推动玻璃基板400与三个定位销331可靠接触，实现玻璃基板400的预定位，该预定位机构结构简单，定位精度高，使用寿命长。
实施例二
请重点参考图3，本实施例与实施例一的区别在于：所述定位销331上还设有一限位板334，所述限位板334位于所述玻璃基板400上方，起到导向约束作用，避免玻璃基板400弯曲变形；所述定位销331与所述基板吸盘310之间还设有一轴承333，所述玻璃基板400与所述轴承400的外圈接触，以实现定位功能。
综上所述，本实用新型提供的一种激光封装运动台，包括大理石100、龙门架200以及用于承载玻璃基板400的基板台300，其中，所述基板台300安装于所述大理石100上，并能够相对于所述大理石100沿Rz向旋转；所述基板台300上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板400在所述基板台300上的位置；所述激光头安装于所述龙门架200上，所述龙门架200带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。本实用新型中，整合了运动轴，将基板台300与龙门架200重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本。预定位机构的结构简单，简化了影响定位精度的因素，有效的提高了预定位精度，延长了使用寿命。
显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
Claims (8)
1.一种激光封装运动台，其特征在于，包括大理石、龙门架以及用于承载玻璃基板的基板台，其中，
所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转；
所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基板台上的位置；
激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。
2.如权利要求1所述的激光封装运动台，其特征在于，所述龙门架包括两个立柱、两个Y向滑轨、第一滑块、X向滑轨、第二滑块、Z向滑轨以及第三滑块，所述两个立柱沿Y向固定设置于所述大理石上，所述两个Y向滑轨分别固定于两个立柱上，所述第一滑块架设于所述两个Y向滑轨上，并能够沿Y向滑动；所述X向滑轨固定于所述第一滑块上，所述第二滑块安装于所述X向滑轨上，并能够沿X向滑动；所述Z向滑轨固定于所述第二滑块上，所述第三滑块安装于所述Z向滑轨上，并能够沿Z向滑动；所述激光头固定安装于所述第三滑块上。
3.如权利要求2所述的激光封装运动台，其特征在于，所述第一滑块、第二滑块和第三滑块的运动均采用无刷直线电机驱动。
4.如权利要求1所述的激光封装运动台，其特征在于，所述基板台包括基板吸盘和Rz轴旋转电机，所述Rz轴旋转电机的定子部分固定于所述大理石上，所述Rz轴旋转电机的转子部分与所述基板吸盘固定连接。
5.如权利要求4所述的激光封装运动台，其特征在于，所述预定位机构包括三个定位销以及一个推压机构，所述定位销固定于所述基板吸盘上，所述推压机构固定于所述大理石上。
6.如权利要求5所述的激光封装运动台，其特征在于，其中两个定位销设于所述玻璃基板的第一边处，另一个定位销设于与上述第一边相邻且垂直的第二边处，所述推压机构设于与上述第一边和第二边组成的顶角相对的顶角处。
7.如权利要求5所述的激光封装运动台，其特征在于，所述定位销上还设有一限位板，所述限位板位于所述玻璃基板上方。
8.如权利要求5所述的激光封装运动台，其特征在于，所述定位销与所述基板吸盘之间还设有一轴承，所述玻璃基板与所述轴承的外圈接触。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN107799667A (zh) * | 2016-08-30 | 2018-03-13 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 玻璃料封装设备及其封装方法 |
| CN111725699A (zh) * | 2020-06-05 | 2020-09-29 | 哈工大机器人南昌智能制造研究院 | 一种激光Bar条芯片光电性能检测方法 |
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