CN205211753U - 一种柔性导电线及设置有所述柔性导电线的柔性背板 - Google Patents
一种柔性导电线及设置有所述柔性导电线的柔性背板 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提供的一种柔性导电线及设置有所述柔性导电线的柔性背板，包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层和第二金属层之间设置有导电颗粒层。所述柔性导电线弯曲过程中电阻率能够保持稳定，延长了柔性背板的寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及柔性显示装置领域，具体涉及一种柔性导电线以及设置有这种柔性导电线的柔性背板。
背景技术
随着显示技术的不断发展，OLED(有机发光二极管)因其发光亮度高、色彩丰富、低压直流驱动、制备工艺简单等优点，日益成为国际研究的热点。OLED视野范围更广，可制成更大尺寸的产品，可满足用户对不同尺寸的要求。上述突出的优点决定了OLED将成为下一代显示技术的主流。随着材料技术的发展，显示屏已经可以制作成可弯曲的形式。采用柔性显示屏的设备有很多优点，比如携带方便、可弯曲、可随意变形等。但是柔性背板内部的金属线在弯曲状态下电阻容易发生巨大的变化甚至断裂，从而影响屏体的寿命。
实用新型内容
为此，本实用新型所要解决的技术问题是现有柔性背板内部的金属线在弯曲状态下电阻容易发生巨大的变化甚至断裂的问题，本实用新型提供一种柔性导电线，以及设置有这种柔性导电线的柔性背板。所述柔性导电线弯曲过程中电阻率能够保持稳定，延长了柔性背板的寿命。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：
一种柔性导电线，包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层和第二金属层之间设置有导电颗粒层。
所述导电颗粒层中的导电颗粒为圆球形、椭圆形、菱形或正方形中一种或其中几种图形的组合。
所述导电颗粒的粒径为50nm-500nm。
导电颗粒层中的导电颗粒为纳米导电聚合物材料颗粒、铜(Cu)金属纳米颗粒,银(Ag)金属纳米颗粒、金(Au)金属纳米颗粒或镍(Ni)金属纳米颗粒中的一种或其中几种的组合。
所述第一金属层的厚度为100nm-300nm，所述第二金属层的厚度为100nm-300nm。
所述第一金属层和第二金属层相同或不同，分别为钼金属层、铜金属层、铝金属层或钛金属层。
一种柔性背板，包括柔性衬底和形成在柔性衬底上的TFT(薄膜晶体管)背板，所述TFT背板包括在柔性衬底上形成的栅极层、栅极绝缘层、多晶硅半导体层和源/漏电极层，所述栅极层和/或源/漏电极层为所述柔性导电线。
一种柔性背板，包括柔性衬底和形成在柔性衬底上的TFT背板，所述TFT背板包括在柔性衬底上形成的有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层、栅极层和源/漏电极层，所述栅极层和/或源/漏电极层为所述柔性导电线。
本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
本实用新型提供的柔性导电线包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层和第二金属层之间设置有导电颗粒层。当柔性导电线发生弯曲时，曲率较大的位置的导电颗粒可能会有接触不良的情况，此时上下两层的金属层可以作为补充，不会导致导电线的电阻变大；如果上下两层金属层出现某处断裂的情况，导电颗粒会将上下金属进行连接，不会导致导电线电阻变大或者断裂。因此本实用新型的柔性导电线电阻变化小，可靠性高。
本实用新型提供的TFT背板的栅极层、源/漏电极层采用了上述柔性导电线结构，当柔性衬底弯曲时，TFT背板中的导电线电阻不会出现剧烈变大或者断裂情况，增加了装置的可靠性。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
图1是本实用新型柔性导电线的结构示意图；
图2是本实用新型柔性导电线弯曲的结构示意图
图3是本实用新型柔性背板的结构示意图；
图4是本实用新型柔性背板的另一实施方式结构示意图；
图中附图标记表示为：1-柔性衬底、2-栅极层、3-栅极绝缘层、4-多晶硅半导体层、5-钝化层，6-源漏极层，7-层间绝缘层，8-有源层，11-第一金属层，12-导电颗粒，13-第二金属层。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
本实用新型可以以许多不同的形式实施，而不应该被理解为限于在此阐述的实施例。相反，提供这些实施例，使得本公开将是彻底和完整的，并且将把本实用新型的构思充分传达给本领域技术人员，本实用新型将仅由权利要求来限定。在附图中，为了清晰起见，会夸大层和区域的尺寸和相对尺寸。应当理解的是，当元件例如层、区域或柔性衬底被称作“形成在”或“设置在”另一元件“上”时，该元件可以直接设置在所述另一元件上，或者也可以存在中间元件。相反，当元件被称作“直接形成在”或“直接设置在”另一元件上时，不存在中间元件。
如图1和图2所示，本实用新型的一种柔性导电线，包括第一金属层11和第二金属层13，所述第一金属层11和第二金属层13之间设置有导电颗粒层。所述导电颗粒层中的导电颗粒12为圆球形、椭圆形、菱形或正方形中一种或其中几种图形的组合。所述导电颗粒的粒径为50nm-500nm。导电颗粒层中的导电颗粒12为纳米导电聚合物材料颗粒、铜(Cu)金属纳米颗粒,银(Ag)金属纳米颗粒、金(Au)金属纳米颗粒或镍(Ni)金属纳米颗粒中的一种或其中几种的组合。所述第一金属层的厚度为100nm-300nm，所述第二金属层的厚度为100nm-300nm。所述第一金属层和第二金属层相同或不同，分别为钼金属层、铜金属层、铝金属层或钛金属层。
如图2所示，柔性导电线弯曲后，曲率较大的位置的可能会有接触不良的情况，此时上下两层的金属层可以作为补充，不会导致导电线的电阻变大；如果上下两层金属层出现某处断裂的情况，导电颗粒12会将上下金属进行连接，不会导致导电线电阻变大或者断裂。因此本实用新型的柔性导电线电阻变化小，可靠性高。
如图3所示，一种柔性背板，包括柔性衬底1和形成在柔性衬底1上的底栅型TFT，所述TFT包括在柔性衬底上形成的栅极层2、栅极绝缘层3、多晶硅半导体层4和源/漏电极层6，所述栅极层2和源/漏电极层6为所述柔性导电线。作为其他实施方式，所述TFT也可以为：栅极层2采用图1所示的柔性导电线结构，源/漏电极层6采用普通的现有结构；或者源/漏电极层6采用图1所示柔性导电线，栅极层2采用普通的现有结构。
所述栅极绝缘层3选自但不限于氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化铝、氧化钛中的一种或多种材料的堆叠结构层，本实施例优选氧化硅层；本实施例中所述栅极绝缘层3的厚度为作为本实用新型的其他实施例，所述栅极绝缘层3的厚度还可以为均可以实现本实用新型的目的，属于本实用新型的保护范围。
所述多晶硅半导体层4在源/漏电极层6的图案化的过程中容易受到损伤，为此，本实施例中所述多晶硅半导体层4上还设置有覆盖所述多晶硅半导体层4远离所述基板1的表面和侧面的钝化层5。所述钝化层选自但不限于氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化铝、氧化钛中的一种或多种材料的堆叠结构层，均可以实现本实用新型的目的，属于本实用新型的保护范围。本实施例中所述钝化层5优选刻蚀阻挡层，所述刻蚀阻挡层优选氧化硅层，厚度为
在薄膜晶体管TFT中，所述源极和漏极通常采用同种原料形成在同一层中，为此，为了方便描述，通常将所述源极和所述漏极所在层统称为源/漏极层6。源/漏极层6通过钝化层5中的过孔与多晶硅半导体层4的源区和漏区连接。在本实用新型所有附图中，所述源极和所述漏极的位置可以互换。
上述柔性背板的制备工艺中TFT、像素显示单元同现有技术，其中柔性导电线制备方法如下：
S1、采用磁控溅射方法在栅绝缘层或者层间绝缘层沉积第一金属层11，其厚度为100nm-300nm；
S2、采用coating方法制备导电颗粒层12；
S3、采用磁控溅射方法在导电颗粒层12上沉积第二金属层13，其厚度为100nm-300nm。
作为另一实施方式，如图4所示柔性背板，采用顶栅TFT，具体包括柔性衬底1和形成在柔性衬底1上的顶栅型TFT，所述TFT包括在柔性衬底上形成的有源层8、栅极绝缘层3、层间绝缘层7、栅极层2和源/漏电极层6，所述栅极层2和源/漏电极层6为所述柔性导电线。作为其他实施方式，所述TFT也可以为：栅极层2采用图1所示的柔性导电线结构，源/漏电极层6采用普通的现有结构；或者源/漏电极层6采用图1所示柔性导电线，栅极层2采用普通的现有结构。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。
Claims (8)
1.一种柔性导电线，其特征在于，包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层和第二金属层之间设置有导电颗粒层。
2.根据权利要求1所述柔性导电线，其特征在于，所述导电颗粒层中的导电颗粒为圆球形、椭圆形、菱形或正方形中一种或其中几种图形的组合。
3.根据权利要求2所述柔性导电线，其特征在于，所述导电颗粒的粒径为50nm-500nm。
4.根据权利要求3所述柔性导电线，其特征在于，导电颗粒层中的导电颗粒为纳米导电聚合物材料颗粒、铜金属纳米颗粒,银金属纳米颗粒、金金属纳米颗粒或镍金属纳米颗粒中的一种。
5.根据权利要求1所述柔性导电线，其特征在于，所述第一金属层的厚度为100nm-300nm，所述第二金属层的厚度为100nm-300nm。
6.根据权利要求1或5所述柔性导电线，其特征在于，所述第一金属层和第二金属层相同或不同，分别为钼金属层、铜金属层、铝金属层或钛金属层。
7.一种柔性背板，包括柔性衬底和形成在柔性衬底上的TFT背板，所述TFT背板包括在柔性衬底上形成的栅极层、栅极绝缘层、多晶硅半导体层和源/漏电极层，其特征在于，所述栅极层和/或源/漏电极层为权利要求1-6任一所述柔性导电线。
8.一种柔性背板，包括柔性衬底和形成在柔性衬底上的TFT背板，所述TFT背板包括在柔性衬底上形成的有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层、栅极层和源/漏电极层，其特征在于，所述栅极层和/或源/漏电极层为权利要求1-6任一所述柔性导电线。
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|---|---|---|---|---|
| WO2020077931A1 (zh) * | 2018-10-17 | 2020-04-23 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 导线及其制作方法及阵列基板 |
| WO2020135319A1 (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-02 | 深圳市大可奇科技有限公司 | 电线 |
| CN114373381A (zh) * | 2020-10-15 | 2022-04-19 | 煌傑金属复合材料科技股份有限公司 | 柔性面板的多层复合型支撑背板 |
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