CN204912936U - 具有非对称褶皱的锯线 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种具有非对称褶皱的锯线。所述锯线包括以锯齿形形状连续形成的非对称单元褶皱，其中所述非对称单元褶皱包括第一部分和第二部分，所述第二部分从所述第一部分弯曲并延伸并且比所述第一部分长，并且所述第一部分与所述第二部分的长度比是从1:1.2至1:4。

Description

具有非对称褶皱的锯线

技术领域

本实用新型的一个或多个实施例涉及具有非对称褶皱的锯线，并且更具体地，涉及具有非对称褶皱的锯线，该锯线增强切割材料的供给能力，通过增强切割材料的保持力来提高切割速度，通过顺畅地排出切屑来防止待切割的材料表面的品质下降，并且降低缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。

背景技术

通常，在锯机中使用的锯线在该锯线连同切割材料移动并以合适的压力接触待切割的材料来对待切割的材料进行切割，在切割材料中，诸如碳化硅粉末、金刚石粉末等的研磨颗粒与油等混合。

使用锯线切割诸如硅块之类的硬质材料的方法如下：锯线沿着多个辊中的多个槽卷绕，并且成排的锯线被驱动以将特定的力施加到硅块或待切割的材料。在该阶段，在成排的锯线和待切割的材料之间供应研磨颗粒以由于研磨颗粒的切割效应而将硅块切割成晶片。切割过程的效率和晶片的厚度品质取决于若干因素，诸如经受切割的硬质材料的特性和锯线的速度。这些因素中最重要的因素是切割材料的量，切割材料可被包括在锯线中。

用于切割硅块的每排锯线被常规地卷绕在辊上1000至3000次。该线沿着辊上制备的槽移动以切割硬质材料，并且当硬质材料被切割时，切割材料不仅研磨硬质材料并且研磨锯线，而且减小锯线的厚度，这是成问题的。在切割开始时，大量切割材料可能伴随有存在于锯线表面上的软质材料镀层；然而，由于镀层在硬质材料被切割时被移除，基层被露出并且包括切割材料的能力减弱。

因此，有必要提高在锯线使用时包括切割材料的能力。在国际专利申请WO90/12670中，提供一种锯线，该锯线良好地伴随切割材料。该特点通过改变锯线的外表面被实现。根据该专利申请的实施例，许多微腔位于锯线的表面上。而且，根据该专利申请的另一实施例，锯线沿圆周方向具有多个槽。这些方案可提高包括切割材料的能力；然而，改变锯线的外表面通常是昂贵的和耗时的。

实用新型内容

本实用新型的一个或多个实施例包括通过提供具有非对称褶皱的锯线解决上述问题，该锯线提高切割材料的供给能力，通过增强切割材料的保持力来提高切割速度，通过顺畅地排出切屑来防止待切割的材料的切割表面的品质下降，并且降低缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。

根据本实用新型的一个或多个实施例，具有非对称褶皱的锯线包括其上形成有连续褶皱的锯线，其中以锯齿形形状连续形成的非对称单元褶皱包括第一部分和第二部分，所述第二部分从所述第一部分弯曲并延伸且具有比所述第一部分的长度长的长度，同时所述第一部分与所述第二部分的长度比是1:1.2至1:4。

根据本实用新型的一个或多个实施例，可取的是，所述第一部分的斜度大于所述第二部分的斜度。

根据本实用新型的一个或多个实施例，可取的是，所述单元褶皱被形成为当所述单元褶皱沿所述锯线的纵向方向移动时沿一个方向旋转。

另外的方面将部分在以下说明书中陈述，部分将由说明书变明显，或者可通过实践所提出的实施例而被得知。

根据本实用新型的一个或多个上述实施例，具有非对称褶皱的锯线可提高切割材料的供给能力，通过增强切割材料的保持力来提高切割速度，通过顺畅地排出切屑来防止待切割的材料的切割表面的品质下降，并且降低缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。

附图说明

由于结合附图对实施例进行的以下描述，这些和/或其它方面将变得明显且更易于理解，在附图中：

图1是根据本实用新型的实施例的具有非对称褶皱的锯线的侧视图；

图2是从图1中选择的主要部分的放大视图；

图3是例示当图1中的锯线被使用时包括切割材料的图；和

图4是例示根据本实用新型的另一实施例的具有非对称褶皱的锯线的斜视图的概念图。

具体实施方式

现在将详细参照实施例，其示例在附图中例示，其中相同的附图标记始终指代相同的元件。在这点上，本实施例可具有不同的形式，并且不应当被解释为局限于在此陈述的说明书。因此，在下面仅通过参照附图描述实施例，以解释本说明书的方面。

本实用新型涉及在线锯机中使用的锯线。该锯线被用于切割半导体、陶瓷、超硬合金等并将半导体、陶瓷、超硬合金等切成片。

图1是根据本实用新型的实施例的具有非对称褶皱的锯线100的侧视图，图2是从图1中选择的主要部分的放大视图，图3是例示当图1中的锯线被使用时包括切割材料的图。

参见图1和图2，根据本实用新型的实施例的具有非对称褶皱的锯线100具有连续且非对称地形成在其中的单元褶皱10。

具体地，单元褶皱10包括第一部分11和第二部分12。

第一部分11比第二部分12短。第二部分12从第一部分11弯曲并延伸并且具有比第一部分11长的长度。由于第一部分11和第二部分12的长度不同，所以单元褶皱10被非对称形成。

单元褶皱10以锯齿形形状连续形成。根据本实用新型的实施例，连续的单元褶皱10被形成在锯线100中意味着，锯线100本身被制造成具有锯齿形形状。

根据本实用新型的实施例，第一部分11的长度与第二部分12的长度的比率是从1:1.2至1:4。

当第二部分12的长度比第一部分11的长度的1.2倍小时，第二部分12和待切割的材料接触的区域以及第一部分11和待切割的材料接触的区域之间的差别可能不会被充分地获得。因此，通过使接触区域有差别来提高切割材料20的供应量的效果可能微不足道。

另一方面，当第二部分12的长度比第一部分11的长度的4倍大时，第一部分11的长度可能相对太小，并且褶皱效果可能减半。换言之，在锯线100中连续形成单元褶皱10的目的是为了利用弯曲的单元褶皱10顺畅地对待切割的材料进行切割；然而，当第二部分12的长度超过第一部分11的长度的4倍时，褶皱功能可能不会被有效地表现出。

根据本实用新型的实施例，第一部分11的斜度大于第二部分12的斜度。

详细地，如图2中所例示的，基于从第一部分11和第二部分12相交的顶点P平行于锯线100的纵向方向延伸的虚线L1，第一部分11和第二部分12的斜度显示与虚线L1的倾斜角。因此，第一部分11的斜度是θ1，第二部分12的斜度是θ2。如图2中例示的，根据本实用新型的实施例，θ1大于θ2。

图3是例示当使用根据本实用新型的实施例的锯线100进行切割时包括切割材料20的图。如图3中例示的，根据本实用新型的实施例的锯线100沿向右的方向移动并对待切割的材料(例如，硅锭)进行切割。随着锯线100移动并向待切割的材料施加压力，切割材料20被提供在锯线100和待切割的材料之间，并且硅块被切割成晶片。切割材料20在诸如碳化硅粉末、金刚石粉末等的研磨颗粒与油等进行常规混合后被使用。切割材料20在由于锯线100施加的压力而接触待切割的材料时可对待切割的材料进行有效的切割。

再次参见图3，根据本实用新型的实施例，由于第二部分12的长度比第一部分11的长度长，所以当锯线100沿向右的方向移动时获得足够大的实际接触区域，在该实际接触区域，第二部分12向待切割的材料施加压力。因此，在第二部分12的压力下切割材料20的量增加。

而且，由于第一部分11的斜度大于第二部分12的斜度，因此在用锯线100对待切割的材料进行切割时产生的切屑被迅速地移除。具体地，由于由第一部分11与待切割的材料的接触产生的接触压力相对地且快速地变得小于由第二部分12与待切割的材料的接触产生的接触压力，所以切屑由于减小的接触压力而被有效地移除。

结果，因为切割材料20由于形成长的第二部分12而可充分地接触待切割的材料，所以对用于与锯线100一起对待切割的材料进行切割的切割材料20的包括或保持力被增强，并且因此可提高待切割材料的切割速度。

另外，由于形成为具有比第二部分的长度短的长度的第一部分11具有的斜度大于第二部分12的斜度，所以由第一部分11与待切割的材料的接触产生的接触压力变得相对小于由第二部分12与待切割的材料接触产生的接触压力，并且因此使得切屑被快速移除。

借助这种操作和效果，在对待切割的材料进行切割后所生产的最终产品(例如，晶片)的生产率可增加，并且可减少诸如锯痕之类的晶片缺陷。

图4概念性地例示根据本实用新型的另一实施例的具有非对称褶皱的锯线100。在图4中，与图1中相同的部件被指定相同的附图标记。

如图4中所例示的，根据本实用新型的实施例的具有非对称褶皱的锯线100具有单元褶皱10，单元褶皱10被形成为当单元褶皱10沿锯线100的纵向方向移动时沿一个方向旋转。

当在图4中的Z轴的末端朝向原点观察锯线100时，单元褶皱10在单元褶皱10沿纵向方向从原点朝向Z轴的末端移动时逆时针旋转。具体地，单元褶皱10初始时在原点处被形成在X-Z平面上，并且形成为紧随原点处的单元褶皱10的第二个单元褶皱的单元褶皱10在Y-Z平面上。形成为第二个单元褶皱的单元褶皱10相对于第一单元褶皱10逆时针旋转90度。

随后，第三单元褶皱10被再次形成在X-Z平面上。形成为第三个单元褶皱的单元褶皱10相对于第二单元褶皱进一步逆时针旋转90度。而且，第四单元褶皱10被形成在Y-Z平面上。形成为第四个单元褶皱的单元褶皱10相对于第三单元褶皱10进一步逆时针旋转90度。

根据本实用新型的实施例，通过形成处于类似于图1的锯线的状态的锯线并扭转和旋转如图1所示形成的锯线100，单元褶皱10可被形成为具有可旋转形状。

图4例示简化图以便于理解单元褶皱10沿一个方向的旋转。换言之，根据图4，单元褶皱10被例示为交替地位于X-Z平面和Y-Z平面上；然而，单元褶皱10被形成所在的平面不限于此。

当通过沿一个方向扭转并旋转图1中的锯线100而将单元褶皱10实现为随锯线100旋转时，随着单元褶皱10沿锯线100的纵向方向移动，单元褶皱10实际上形成螺旋。换言之，第一部分11和第二部分12相交的顶点的轨迹形成螺旋。

根据本实用新型的实施例，除了由图1中的实施例提供的效果之外，切割材料20的供给和移除能力相对于图1的实施例也被提高，并且锯线100的单侧磨损也被减少。

如上所述，根据本实用新型的一个或多个上述实施例，具有非对称褶皱的锯线可提高切割材料的供给能力，通过增强切割材料的保持力来提高切割速度，通过顺畅地排出切屑来防止待切割的材料的切割表面的品质下降，并且降低缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。

应当理解，在此所述的示例性实施例应当仅以说明的意义被考虑并且不应当用于限制的目的。对每个实施例中的特征或方面的说明通常应当被认为可用于其它实施例中的其它类似的特征或方面。

虽然已经参照附图描述了本实用新型的一个或多个实施例，但是本领域普通技术人员将理解，在不偏离如由所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围的情况下，可在其中做出形式和细节上的各种改变。

Claims (3)

1.一种具有非对称褶皱的锯线，所述锯线包括以锯齿形形状连续形成的非对称单元褶皱，其中所述非对称单元褶皱包括第一部分和第二部分，所述第二部分从所述第一部分弯曲并延伸并且比所述第一部分长，并且所述第一部分与所述第二部分的长度比是从1:1.2至1:4。

2.根据权利要求1所述的具有非对称褶皱的锯线，其中所述第一部分的斜度大于所述第二部分的斜度。

3.根据权利要求1所述的具有非对称褶皱的锯线，其中所述非对称单元褶皱被形成为当所述单元褶皱沿所述锯线的纵向方向移动时沿一个方向旋转。