JP5274360B2 - ドレッサ - Google Patents

ドレッサ Download PDF

Info

Publication number
JP5274360B2
JP5274360B2 JP2009108370A JP2009108370A JP5274360B2 JP 5274360 B2 JP5274360 B2 JP 5274360B2 JP 2009108370 A JP2009108370 A JP 2009108370A JP 2009108370 A JP2009108370 A JP 2009108370A JP 5274360 B2 JP5274360 B2 JP 5274360B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diamond
end side
single crystal
dresser
diamond abrasive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009108370A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010253643A (ja
Inventor
正範 松川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Noritake Co Ltd
Original Assignee
Noritake Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Noritake Co Ltd filed Critical Noritake Co Ltd
Priority to JP2009108370A priority Critical patent/JP5274360B2/ja
Publication of JP2010253643A publication Critical patent/JP2010253643A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5274360B2 publication Critical patent/JP5274360B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、一般砥粒、cBN砥粒あるいはダイヤモンド砥粒などを用いて形成された砥石やホイールのツルーイングやドレッシングに使用するドレッサに関する。
砥石やビトリファイドcBNホイールをトラバースしながら切り込むことによってツルーイング・ドレッシングを行うドレッサに関しては、従来、様々な技術が開発されているが、本願発明に関連するものとして、特許文献1に記載された「ダイヤモンドドレッサ」や特許文献2に記載された「切削研削両用工具」がある。
特許文献1には、図14に示すように、ドレッシング面73に、柱状の単結晶ダイヤモンド71と柱状の多結晶ダイヤモンド72とが組み合わされて埋設されたダイヤモンドドレッサ70が記載されている。単結晶ダイヤモンド71と多結晶ダイヤモンド72とを組み合わせたことにより、ドレッシング作業中、単結晶ダイヤモンド71に加わる負荷が相対的に小さくなるため、大きな破砕が発生し易いという単結晶ダイヤモンドの欠点が抑制される結果、良好な切れ味を長期間に渡って発揮する。
特許文献2には、図15に示すように、相対的に小さな柱状の単結晶ダイヤモンド81と相対的に大きな柱状の多結晶ダイヤモンド82とが導電性ボンド部材83中に組み合わされて埋設された切削研削両用工具80が記載されている。この切削研削両用工具80の場合、図16に示すように、単結晶ダイヤモンド81及び多結晶ダイヤモンド82が加工面83aより突き出している。切削研削両用工具80に対し電解ドレッシングを施すことにより、加工面83の目立てを行うことができる。
特開2003−260664号公報 特開平10−337668号公報
外力が加わったとき、多結晶ダイヤモンドに比べ単結晶ダイヤモンドは大きく破砕する性質があるため、図14に示すように、特許文献1記載のダイヤモンドドレッサ70をトラバース方向Tに沿って移動させながらドレッシング作業を行った場合、入口側となる端面部70t側において単結晶ダイヤモンド71の大破砕が発生し、この破砕が単結晶ダイヤモンド71全体へ成長していくため、寿命が短くなっている。
一方、単結晶ダイヤモンド71の大破砕を防止するため、ドレッシング作業中、単結晶ダイヤモンド71に加わる面圧を下げると、単結晶ダイヤモンド71の微小破砕性が低下して、切刃の自生作用が阻害され、切れ味が悪化する。
また、図15に示すように、特許文献2記載の切削研削両用工具80をトラバース方向Tに沿って移動させながらドレッシング作業を行った場合、入口側となる端面部80t側における単結晶ダイヤモンド81の欠け発生を回避することが困難である。さらに、切削研削両用工具80に電解ドレッシングを施したとき、絶縁体である単結晶ダイヤモンド81は溶解せず、多結晶ダイヤモンド82のみが溶解、摩耗するので、図16に示すように、加工面83aにおいては、多結晶ダイヤモンド82より単結晶ダイヤモンド81の方が高く突出した状態となるため、ドレッシング作業中、単結晶ダイヤモンド81の面圧が増大し、大きな破砕が生じることがある。
また、切削研削両用工具80を構成する多結晶ダイヤモンド82として、焼結ダイヤモンドPCDを使用した場合、単結晶ダイヤモンド81に比べ硬度が低いので、摩耗が増大し、単結晶ダイヤモンド81との高低差がさらに増大する。
本発明が解決しようとする課題は、切れ味が優れ、寿命が長く、仕上げ精度も良好なドレッサを提供することにある。
本発明のドレッサは、単結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒と、多結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒とを含む砥粒層を備え、前記砥粒層内のトラバース方向の片端側に前記多角柱形状の軸心と平行な端面部を揃えた状態で前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列し、前記片端側より他端側寄りの位置に前記多角柱形状の軸心と平行な端面部を揃えた状態で前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列したことを特徴とする。なお、軸心とは多角柱形状をその長手方向に貫く中心線をいい、トラバース方向とはドレス作業中にドレッサ(若しくは被研削物)が移動する方向をいう。
このような構成とすれば、ドレッシング面となる砥粒層表面においては、トラバース方向の片端側に多結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が揃って配列され、それより他端側寄りの位置に単結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が揃って配列された状態となるので、砥粒層表面の片端側から他端側の順番で被研削物に当接するように当該ドレッサをトラバースさせると、最初に多結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が被研削物に当接し、その後、単結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が被研削物に当接する。
即ち、衝撃に強く、欠けが発生し難い多結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が最初に被研削物に当接して振動衝撃を緩和した後、微小破砕による切刃の自生機能を有する単結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が被研削物に当接する。従って、単結晶構造のダイヤモンド砥粒の長所である微小破砕による優れた切れ味を保ちながら、短所であるエッジ部の大きな破砕(欠損)を防止し、長寿命を得ることができる。また、単結晶構造のダイヤモンド砥粒のエッジ部の大きな破砕が回避されるため、ドレッシングの仕上がり精度も良好となる。
また、本発明のドレッサは、単結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒と、多結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒とを含む砥粒層を備え、前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒の多角柱形状の軸心と平行な端面部のうちの少なくとも一つを、前記砥粒層内のトラバース方向の片端側、他端側の何れかに揃えた状態で前記多結晶のダイヤモンド砥粒を配列し、前記片端側及び他端側より砥粒層表面の中央寄りの位置に前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒の多角形形状の軸心と平行な端面部が位置する状態で前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列したことを特徴とする。
このような構成とすれば、ドレッシング面となる砥粒層表面においては、トラバース方向の片端側及び他端側の両方に多結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が揃って配列され、それより中央寄りの位置に単結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が揃って配列された状態となるので、当該ドレッサをトラバース方向に移動させながら被研削物に当接させると、トラバースの最初の段階及び最後の段階の両方において多結晶構造のダイヤモンド砥粒の端面部が被研削物に当接してドレッシングが行われる。即ち、トラバース方向の入口側で被研削物に当接するときに発生する振動及びトラバース方向の出口側で被研削物から離れるときに発生する振動の両方を衝撃に強い多結晶構造のダイヤモンド砥粒で受けることにより、これらの振動を緩和することができるため、単結晶構造のダイヤモンド砥粒の短所であるエッジ部の大きな破砕(欠損)を防止することができる。
従って、単結晶構造のダイヤモンド砥粒の長所である微小破砕による優れた切れ味を保ちながら、短所であるエッジ部の大きな破砕(欠損)を防止し、長寿命を得ることができる。また、単結晶構造のダイヤモンド砥粒のエッジ部の大きな破砕が回避されるため、ドレッシングの仕上がり精度も良好となる。
ここで、前記砥粒層表面の前記片端側に位置する前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒の前記端面部から前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒の前記端面部までの前記トラバース方向の距離の平均値が、前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒の前記トラバース方向の辺の長さの平均値の5%〜30%であることが望ましい。
このような構成とすれば、ドレス作業中における多結晶構造のダイヤモンド砥粒の衝撃緩和機能を維持することによって単結晶構造のダイヤモンド砥粒のエッジ部の大きな破砕を回避しながら、単結晶構造のダイヤモンド砥粒による優れた切れ味を確保することができる。なお、前記距離の平均値が5%より小さい場合、被研削物との当接したときの振動の衝撃を多結晶構造のダイヤモンド砥粒で緩和することができないので、単結晶構造のダイヤモンド砥粒のエッジの欠けが発生し、前記距離の平均値が30%より大きい場合、多結晶ダイヤモンド砥粒による被研削物の取り代が多くなるとともに単結晶ダイヤモンド砥粒による被研削物の取り代が少なくなるので、切れ味が悪くなる。
さらに、本発明のドレッサは、単結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒と、多結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒とを含む砥粒層を備え、前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒の多角柱形状の軸心と平行な辺縁部の少なくとも一つを前記砥粒層内のトラバース方向の片端側、他端側の何れかに揃えた状態で前記ダイヤモンド砥粒を配列し、前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒の多角柱形状の軸心と平行な辺縁部が、前記片端側若しくは前記他端側の一方より中央寄りに位置する状態または前記片端側及び前記他端側の両方より中央寄りに位置する状態で前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列したことを特徴とする。
このような構成とすれば、砥粒層表面の片端側及び他端側に多結晶構造のダイヤモンド砥粒の辺縁部の何れかがそれぞれ位置し、前記片端側若しくは前記他端側の一方より中央寄りの位置または前記片端側及び前記他端側の両方より中央寄りの位置に単結晶構造のダイヤモンド砥粒の辺縁部がそれぞれ位置した状態となるため、砥粒層表面の前記片端側付近及び前記他端側付近は多結晶構造及び単結晶構造のダイヤモンド砥粒の存在比率が小さく、前記片端側及び前記他端側に挟まれた中央付近は多結晶構造及び単結晶構造のダイヤモンド砥粒の存在比率が大きくなる。
このため、ドレッシング作業中の砥粒層表面は中央部よりも両端部の摩耗が進行していき、やがて砥粒層表面は、所謂、蒲鉾型となる。従って、砥粒層表面の片端側から他端側に向かってトラバースさせながらドレッシングを行うと、最初にダイヤモンド砥粒が疎らで引っ込んだ端部が被研削物に当接した後、ダイヤモンド砥粒が密で膨出した中央部が被研削物に当接するので、研削物の取り代を徐々に増大させながらドレッシングしていく状態となる結果、振動をさらに抑制することができ、単結晶構造のダイヤモンド砥粒のトラバース開始側での欠けを小さくすることができる。
本発明により、切れ味に優れ、寿命が長く、仕上げ精度も良好なドレッサを提供することができる。
本発明の第1実施形態であるドレッサを示す正面図である。 (a)は図1に示すドレッサの側面図、(b)は図1におけるX−X線断面図である。 図1の矢線Y方向から見た外周面の一部を示す図である。 図2(b)の矢線Zで示す領域の拡大図である。 図3の矢線Uで示す領域の一部を模式的に示す斜視図である。 図5に示すドレッサのドレッシング面を示す図である。 図6の一部拡大図である。 本発明の第二実施形態であるドレッサのドレッシング面の一部を示す図である。 本発明の第三実施形態であるドレッサのドレッシング面の一部を示す図である。 本発明の第四実施形態であるドレッサのドレッシング面の一部を示す図である。 本発明の第五実施形態であるドレッサの一部を示す斜視図である。 図11に示すドレッサのドレッシング面の一部を示す図である。 (a)は図12のA−A線における断面図であり、(b)は図12のB−B線における断面図である。 従来のダイヤモンドドレッサのドレッシング面を示す一部拡大図である。 従来の切削研削両用工具の加工面を示す一部拡大図である。 図15における矢線X方向から見た図である。 LAに対するDAの割合と、単結晶構造のダイヤモンド砥粒の欠け及びドレッサの切れ味との関係を示すグラフである。
図1〜図7に基づいて、本発明の第一実施形態であるドレッサ10について説明する。図1〜図4に示すように、ドレッサ10は、円板状の台金11の外周に砥粒層12が拡径方向に突出して設けられ、台金11の中心には、ドレッサ10を回転駆動軸13に取り付けるための軸孔14が開設されている。砥粒層12は軸孔14の軸心14cを中心に回転体形状をなすように形成され、図5,図6に示すように、砥粒層12は、四角柱形状をした単結晶構造のダイヤモンド砥粒15及び多結晶構造のダイヤモンド砥粒16と結合材17などによって形成されている。
ドレッサ10においては、被研削物に当接してドレッシング面となる砥粒層表面12aに、ダイヤモンド砥粒15,16の軸心15t,16tとの交差面15f,16fが露出している。交差面15f,16fはいずれも正方形であり、交差面15fの辺15sの長さより交差面16fの辺16sの長さの方が大であるが、これに限定するものではない。なお、軸心15t,16tとは、四角柱形状のダイヤモンド砥粒15,16をそれぞれの長手方向に貫く中心線をいう。ドレッサ10においては、複数のダイヤモンド砥粒15,16の軸心15t,16tがそれぞれ台金11の半径方向と一致するように配列されている。なお、ダイヤモンド砥粒15,16の交差面15f,16fは正方形に限定しないので、長方形若しくはその他の多角形であってもよい。
図5,図6に示すように、砥粒層12内のトラバース方向Tの始端側12sに軸心16tと平行な端面部16aを揃えた状態で多結晶構造のダイヤモンド砥粒16が配列され、始端側12sよりも終端側12e寄りの位置に軸心15tと平行な端面部15aを揃えた状態で単結晶構造のダイヤモンド砥粒15が配列されている。
即ち、ダイヤモンド砥粒16は、トラバース方向Tの始端側12sの砥粒層12内に設定した仮想基準面F1に端面部16aを揃えた状態で配列され、ダイヤモンド砥粒15は、仮想基準面F1よりも終端側12e寄りの位置に仮想基準面F1と平行に設定された仮想基準面F2に端面部15aを揃えた状態で配列されている。
なお、本実施形態では、ダイヤモンド砥粒15,16の交差面15f,16fは互いに一辺15s,16sの長さが異なる正方形としているので、トラバース方向Tの終端側12eの砥粒層12内に仮想基準面F1,F2と平行に設定した仮想基準面F3にダイヤモンド砥粒15,16の端面部15a,16aの両方を揃えた状態で配列すれば、始端側12eにおいて前述した端面部15a,16aの配列状態が形成される。
ここで、トラバース方向Tとはドレス作業中にドレッサ10が移動する方向をいい、始端側12sとはドレッサ12が被研削物(図示せず)に最初に当接する部分をいい、終端側12eとはドレッサ12が被研削物から離れる部分をいい、仮想基準面F1,F2,F3とは、ドレッサ10の軸心14cと直交する仮想平面をいう。
図5,図6に示すように、ドレッシング面となる砥粒層表面12aにおいては、トラバース方向Tの始端側12sに多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが揃って配列され、それより終端側12e寄りの位置に単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aが揃って配列された状態となっている。従って、砥粒層12aの始端側12sから終端側12eの順番で被研削物(図示せず)に当接するように当該ドレッサ10(図1参照)をトラバースさせると、最初に多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが被研削物に当接し、その後、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aが被研削物に当接する。
即ち、衝撃に強く、欠けが発生し難い多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが最初に被研削物に当接して振動衝撃を緩和した後、微小破砕による切刃の自生機能を有する単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aが被研削物に当接する。従って、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の長所である微小破砕による優れた切れ味を保ちながら、短所であるエッジ部の大きな破砕(欠損)を防止し、長寿命を得ることができる。また、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15のエッジ部の大きな破砕が回避されるため、ドレッシングの仕上がり精度も良好となる。
また、図7に示すように、砥粒層表面12aの始端側12sに位置する多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aから単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aまでのトラバース方向Tの距離Dが、多結晶構造のダイヤモンド砥粒16のトラバース方向Tの辺16sの長さLの約16%となるように設定している。これにより、ドレス作業中における多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の衝撃緩和機能を維持することができるため、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15のエッジ部の大きな破砕を回避しながら、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15による優れた切れ味を確保することができる。
なお、D/Lが5%より小さい場合、被研削物と当接したときの振動の衝撃を多結晶構造のダイヤモンド砥粒16で緩和することができないので、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15のエッジの欠けが発生し、前記D/Lが30%より大きい場合、多結晶構造のダイヤモンド砥粒16による被研削物の取り代が多くなるとともに単結晶構造のダイヤモンド砥粒15による被研削物の取り代が少なくなるので、切れ味が悪くなる。このため、前記D/Lの値は5%〜30%の範囲内が好適である。
次に、図8〜図13に基づいて本発明の第二〜第五実施形態について説明する。なお、図8〜図13において図1〜図6中の符号と同符号を付している部分はドレッサ10の構成部分と同じ構造、機能などを有する部分であり、説明を省略する。
図8に示すドレッサ20の砥粒層22においては、図6に示すドレッサ10の砥粒層12と同様、多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aを砥粒層22の始端側22s寄りの仮想基準面F1に揃えて配列し、仮想基準面F1寄りも終端側22sに設定した仮想基準面F2に単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aを揃えて配列するとともに、仮想基準面F1より始端側22sに設定した仮想基準面F4にも多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aを揃えて配列している。
図8に示すように、ドレッシング面となる砥粒層表面22aにおいては、トラバース方向Tの始端側22sに多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが揃って配列され、それより終端側22e寄りの位置に再び多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが揃って配列され、それよりさらに終端側22e寄りの位置に単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aが揃って配列された状態となっている。従って、砥粒層表面22aの始端側22sから終端側22eの順番で被研削物(図示せず)に当接するように当該ドレッサ20をトラバースさせると、最初に多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが被研削物に当接した後、再び、多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが被研削物に当接し、その後、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aが被研削物に当接する。
図8に示すドレッサ20は、多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の辺16sが比較的小さくても、図6に示すドレッサ10と同様の配列状態とすることができ、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15のドレッシング圧力を大きくすることができ、切れ味も良好である。また、ドレッシング作業の際のドレッシング圧力は、終端側22eに近づくにつれて一気に開放されることなく、徐々に開放されるので、終端側22eにおける振動が小さい。また、切り粉の排出性が良好で、ダイヤモンド砥粒15,16の摩耗が少なく、被研削物のスクラッチ傷の発生も防止することができる。
図9に示すドレッサ30においては、多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の軸心16tと平行な端面部16aを、砥粒層32内のトラバース方向Tの始端側32sに設定した仮想基準面F5に揃えた状態でダイヤモンド砥粒16が配列され、仮想基準面F5より砥粒層表面32aの中央寄り(トラバース方向Tの中心線32c寄り)の位置に仮想基準面F5と平行に設定した仮想基準面F6に単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の軸心15tと平行な端面部15aが位置する状態でダイヤモンド砥粒15が配列されている。
ドレッサ30のドレッシング面である砥粒層表面32aにおいては、図9に示すように、トラバース方向Tの始端側32s及び終端側32eの両方に多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが揃って配列され、それよりも中心線32c寄りの位置に単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aが揃って配列された状態となる。
ドレッサ30をトラバース方向Tに移動させながら被研削物に当接させると、トラバースの最初の段階及び最後の段階の両方において多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aが被研削物に当接してドレッシングが行われる。即ち、トラバース方向Tの入口側(始端側32s)で砥粒層表面32aが被研削物に当接するときに発生する振動及びトラバース方向Tの出口側(終端側32e)で砥粒層表面32aが被研削物から離れるときに発生する振動の両方を、衝撃に強い多結晶構造のダイヤモンド砥粒16で受けることにより、これらの振動を緩和することができるため、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の短所であるエッジ部の大きな破砕(欠損)を防止することができる。
従って、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の長所である微小破砕による優れた切れ味を保ちながら、短所であるエッジ部の大きな破砕(欠損)を防止し、長寿命を得ることができる。また、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15のエッジ部の大きな破砕が回避されるため、ドレッシングの仕上がり精度も良好となる。また、図9に示すドレッサ30の砥粒層表面32aにおいては、ダイヤモンド砥粒15,16の端面部15a,16aが中心線32cを挟んで線対称をなすように配列されている。このため、トラバース方向Tと逆方向にトラバースしても前述と同様の作用効果を得ることができる。
図10に示すドレッサ40においては、多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aを、砥粒層42内のトラバース方向Tの始端側42sに設定した仮想基準面F7に揃えた状態でダイヤモンド砥粒16が配列され、仮想基準面F7より砥粒層表面42aの中心線42c寄りの位置に仮想基準面F7と平行に設定した仮想基準面F8に単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aが位置する状態で配列されている。また、砥粒層42内のトラバース方向Tの終端側42eに設定した仮想基準面F9に多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の端面部16aを揃えた状態で配列されている。
図10に示すドレッサ40は、始端側42s及び終端側42eの両方で切り込むようなドレッシング作業にも好適に使用することができる。また、多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の辺16sが比較的小さくても、図9に示すドレッサ30と同様の配列状態とすることができ、切れ味も良好である。さらに、ドレッシング作業の際のドレッシング圧力は徐々に増大した後、徐々に減少するので、振動が小さい。そのほか、切り粉が多く排出される始端側42sでの切り粉の排出性が良くなるという効果も得られる。
図11示すドレッサ50においては、砥粒層52内のトラバース方向Tの始端側52s及び終端側52eにそれぞれ設定した二つの仮想基準面F10,F10に、軸心16tと平行な辺縁部16hを揃えた状態で多結晶構造のダイヤモンド砥粒16が配列され、二つの仮想基準面F10,F10よりそれぞれ砥粒層表面52aの中心線52c寄りの位置に設定された仮想基準面F11,F11に、軸心15tと平行な辺縁部15hを揃えた状態で単結晶構造のダイヤモンド砥粒15が配列されている。
このような構成とすれば、砥粒層表面52aの両端側(始端側52s及び終端側52e)に多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の辺縁部16hがそれぞれ位置し、前記両端部より中心線52c寄りの位置に単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の辺縁部15hがそれぞれ位置した状態となる。従って、砥粒層表面52aの両端側(始端側52s及び終端側52e)付近はダイヤモンド砥粒15,16の存在比率が小さく、両端側(始端側52s及び終端側52e)に挟まれた中心線52c付近はダイヤモンド砥粒15,16の存在比率が大きくなる。
このため、ドレッシング作業中の砥粒層表面52aは中央部(中心線52c付近)よりも両端部(始端側52s及び終端側52e付近)の摩耗が進行していき、やがて砥粒層表面52aは、図13に示すような蒲鉾型となる。従って、砥粒層表面52aの始端側52sから終端側52eへトラバースさせながらドレッシングを行うと、最初にダイヤモンド砥粒15,16が疎らで引っ込んだ始端部52sが被研削物に当接した後、ダイヤモンド砥粒15,16が密で膨出した中央線52c付近が被研削物に当接する。これにより、ドレッシング作業の前半は、研削物の取り代を徐々に増大させながらドレッシングしていき、また、ドレッシング作業の後半は徐々にドレッシング圧力が開放されていく状態となるため、振動をさらに抑制することができ、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15のトラバース方向Tの始端側52s及び終端側52eでの欠けを抑制することができる。
図11に示すドレッサ50においては、二つの仮想基準面F10,F10よりそれぞれ砥粒層表面52aの中心線52c寄りの位置に設定された二つの仮想基準面F11,F11に、軸心15tと平行な二つの辺縁部15h,15hをそれぞれ揃えた状態でダイヤモンド砥粒15が配列されているが、これに限定するものではないので、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の軸心15tと平行な二つの辺縁部15h,15hの一方が、二つの仮想基準面F10,F10の一方より中央寄りに位置する状態でダイヤモンド砥粒15を配列することも可能であり、このように配列した場合もドレッサ50と同様の作用効果を得ることができる。
前述した実施形態においては、いずれも回転式のドレッサ10,20,30,40,50について説明しているが、本発明のドレッサはこれらの回転式のドレッサに限定するものではないので、固定式のドレッサにおいても同様に実施することができる。即ち、固定式のドレッサにおけるトラバース方向の片端側、他端側を、前述したドレッサのトラバース方向の片端側及び他端側にそれぞれ想定して、本発明の構成に従って単結晶構造のダイヤモンド砥粒及び多結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列すれば、本発明と同様の作用、効果を発揮する固定式のドレッサを得ることができる。
次に、ドレッサ1(図14に示す従来のダイヤモンドドレッサ70に相当),ドレッサ2(図6に示すドレッサ10に相当)及びドレッサ3(図9に示すドレッサ30に相当)を使用して、表1に示す条件の下でドレス作業を行ったときの単結晶構造のダイヤモンド砥粒の欠けの発生状況について説明する。
ドレッサの寸法:外径50mm×厚さ10mm×穴径12mm
被研削物:cBN砥石(CB120L100V,外径200mm)
ドレス条件 砥石周速:80m/s
ドレスリード:砥石1回転当たり0.15mm
ドレス切込み:5μm(片側切り込み)
Figure 0005274360
なお、表1中において、□0.5,□0.55及び□0.6とは、砥粒層表面に正方形状に露出するダイヤモンド砥粒の交差面の1辺の長さがそれぞれ0.5mm,0.55mm及び0.6mmであることを示している(以下、同じ。)。
表1に示すように、No1のドレッサ(図14に示すダイヤモンドドレッサ70に相当)は始端側及び終端側の両方における単結晶構造のダイヤモンド砥粒の欠けが多く、No2のドレッサ(図6に示すドレッサ10に相当)は始端側における単結晶ダイヤモンド砥粒の欠けが少なく、No3のドレッサ(図9に示すドレッサ30に相当)は始端側及び終端側の両方における単結晶ダイヤモンド砥粒の欠けが少ないことが判明した。
次に、図7に示すドレッサ10において、ダイヤモンド砥粒16のトラバース方向Tの辺16sの長さLの平均値LAに対する、ダイヤモンド砥粒16の端面部16aから単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aまでのトラバース方向Tの距離Dの平均値DAの割合を変えながら、下記の条件でドレス作業を行い、LAに対するDAの割合と、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の欠け及びドレッサ10の切れ味との関係について纏めたところ図17に示すような結果が得られた。
ドレッサ 寸法:外径50mm×厚さ10mm×穴径12mm
単結晶:□0.4×75本
多結晶:□0.4〜□0.55×25本
被研削物 cBN砥石(CB120L100V)外径200mm
ドレス条件 砥石周速:80m/s
ドレスリード:砥石1回転当たり0.1mm
ドレス切込み:2μm(片側切込み)
図17によれば、ダイヤモンド砥粒16のトラバース方向Tの辺16sの長さLの平均値LAに対する、ダイヤモンド砥粒16の端面部16aから単結晶構造のダイヤモンド砥粒15の端面部15aまでのトラバース方向Tの距離Dの平均値DAの割合が5〜30%であるとき、ダイヤモンド砥粒15の欠損量が少なく、ドレス抵抗が低いことが分かる。即ち、ドレス作業中における多結晶構造のダイヤモンド砥粒16の衝撃緩和機能を維持することによって単結晶構造のダイヤモンド砥粒15のエッジ部の大きな破砕を回避しながら、単結晶構造のダイヤモンド砥粒15による優れた切れ味を確保することができることが判明した。
本発明のドレッサは、一般砥粒、cBN砥粒あるいはダイヤモンド砥粒などを刃部材料として用いて形成された砥石やホイールのツルーイング手段やドレッシング手段として広く利用することができる。
10,20,30,40,50 ドレッサ
11 台金
12,22,32,42,52 砥粒層
12a,22a,32a,42a,52a 砥粒層表面
12e,22e,32e,42e,52e 終端側
12s,22s,32s,42s,52s 始端側
13 回転駆動軸
14 軸孔
14c 軸心
15,16 ダイヤモンド砥粒
15a,16a 端面部
15f,16f 交差面
15h,16h 辺縁部
15s,16s 辺
15t,16t 軸心
17 結合材
32c,42c 中心線
D 距離
L 長さ
F1,F2,F3,F4,F5,F6,F7,F8,F9,F10,F11 仮想基準面
T トラバース方向

Claims (4)

  1. 単結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒と、多結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒とを含む砥粒層を備え、前記砥粒層内のトラバース方向の片端側に前記多角柱形状の軸心と平行な端面部を揃えた状態で前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列し、前記片端側より他端側寄りの位置に前記多角柱形状の軸心と平行な端面部を揃えた状態で前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列したことを特徴とするドレッサ。
  2. 単結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒と、多結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒とを含む砥粒層を備え、前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒の多角柱形状の軸心と平行な端面部のうちの少なくとも一つを、前記砥粒層内のトラバース方向の片端側、他端側の何れかに揃えた状態で前記多結晶のダイヤモンド砥粒を配列し、前記片端側及び他端側より砥粒層表面の中央寄りの位置に前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒の多角形形状の軸心と平行な端面部が位置する状態で前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列したことを特徴とするドレッサ。
  3. 前記砥粒層表面の前記片端側に位置する前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒の前記端面部から前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒の前記端面部までの前記トラバース方向の距離の平均値が、前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒の前記トラバース方向の辺の長さの平均値の5%〜30%であることを特徴とする請求項1または2記載のドレッサ。
  4. 単結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒と、多結晶構造で多角柱形状のダイヤモンド砥粒とを含む砥粒層を備え、前記多結晶構造のダイヤモンド砥粒の多角柱形状の軸心と平行な辺縁部の少なくとも一つを前記砥粒層内のトラバース方向の片端側、他端側の何れかに揃えた状態で前記ダイヤモンド砥粒を配列し、前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒の多角柱形状の軸心と平行な辺縁部が、前記片端側若しくは前記他端側の一方より中央寄りに位置する状態または前記片端側及び前記他端側の両方より中央寄りに位置する状態で前記単結晶構造のダイヤモンド砥粒を配列したことを特徴とするドレッサ。
JP2009108370A 2009-04-27 2009-04-27 ドレッサ Expired - Fee Related JP5274360B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009108370A JP5274360B2 (ja) 2009-04-27 2009-04-27 ドレッサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009108370A JP5274360B2 (ja) 2009-04-27 2009-04-27 ドレッサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010253643A JP2010253643A (ja) 2010-11-11
JP5274360B2 true JP5274360B2 (ja) 2013-08-28

Family

ID=43315158

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009108370A Expired - Fee Related JP5274360B2 (ja) 2009-04-27 2009-04-27 ドレッサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5274360B2 (ja)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003260664A (ja) * 2002-03-07 2003-09-16 Noritake Co Ltd ダイヤモンドドレッサ
JP4215570B2 (ja) * 2003-06-09 2009-01-28 株式会社ノリタケスーパーアブレーシブ ドレッサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010253643A (ja) 2010-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4742845B2 (ja) 半導体ウエーハの面取り部の加工方法及び砥石の溝形状の修正方法
JP5969106B1 (ja) エンドミルとその製造方法
JP2007031200A (ja) カッターホイール
WO2005122225A1 (ja) シリコンウエハの製造方法
JP2007208060A (ja) シリコンウエハの製造方法、シリコンウエハおよびシリコンブロック
JP2012232378A (ja) 精密研磨工具用チップおよびその製法ならびに該チップを用いた研磨工具
US4339896A (en) Abrasive compact dressing tools, tool fabrication methods for dressing a grinding wheel with such tools
JP2010184325A (ja) 有気孔ビトリファイドボンド砥石及びその製造方法
CN111347344B (zh) 晶片研磨轮
JP5274360B2 (ja) ドレッサ
JP6564686B2 (ja) ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いたウエハの製造方法
JP2009072835A (ja) 超砥粒ビトリファイド砥石
JP2011161584A (ja) 研磨工具
JP2010269381A (ja) ドレッサ
CN111212706B (zh) 陶瓷结合剂超硬磨料砂轮
JP4215570B2 (ja) ドレッサ
JP2007090444A (ja) 鏡面加工用ホイール
JP2006088243A (ja) 砥粒及び砥石
CN107553759B (zh) 多刃金刚石刀具及其制造方法
JP5253254B2 (ja) ドレッサ
KR20210121024A (ko) 고경질 취성재용 메탈 본드 지석
JP4969467B2 (ja) ダイヤモンドドレッサ
JPS61257772A (ja) 砥石ツル−イング方法
JPH06262527A (ja) 砥 石
JP2007266441A (ja) 半導体ウェーハ裏面研削用カップ型砥石及び研削方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20110503

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111221

TRDD Decision of grant or rejection written
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130417

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130423

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130514

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5274360

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees