CN204805583U - 真空阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空阀，所述真空阀为利用紧固用螺栓将分开设置的凸缘固定在阀壳体的构成，且不会因紧固以外的目的增加紧固用螺栓的根数而能够经受得住来自真空泵的转矩。真空阀(1)包括收纳阀板(6)的壳体(4)、及利用螺栓(52)紧固在壳体(4)的凸缘(3)，且安装在真空腔室与真空泵之间。在壳体(4)的紧固面(4C)形成着销孔(41)。在凸缘(3)的紧固面(3D)中销孔(41)所相向的位置形成着销孔(31)。真空阀(1)包括插设在相互相向的销孔(41)及销孔(31)的销(100)。

Description

真空阀

技术领域

本实用新型涉及一种真空阀。

背景技术

一般来说，在将真空泵安装于真空处理装置的腔室的情况下，在腔室与真空泵之间设置着真空阀。因此，在收纳阀体的阀壳体上，隔着阀体而设置着一个凸缘。作为真空阀，使用进行开闭的闸阀、或不仅开闭且电导(conductance)可变的控制型阀等。

专利文献1记载的真空阀为所述控制型阀，根据阀构成的关系，将连接于腔室侧的凸缘与阀壳体分开设置，从而成为将凸缘螺固在阀壳体的构成。

在使用涡轮分子泵等旋转式真空泵来作为真空泵的情况下，当转子因与定子接触等而紧急停止时，会对真空阀施加大的旋转转矩。结果，专利文献1记载的真空阀中，有将凸缘与阀壳体加以紧固的螺栓因所述旋转转矩而断裂的担心。

因此，要求将真空阀的本体与凸缘加以紧固的螺栓具有将阀壳体与凸缘加以紧固的功能、以及能够经得住旋转转矩的强度。结果，需要使用对于紧固功能而言所需的根数以上的螺栓。如果螺栓的根数增加，则作业步骤数或所需构件增加，而存在作业成本上升的问题。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第4630994号公报

发明内容

[实用新型所要解决的问题]

如所述般，关于将分开设置的凸缘固定在阀壳体的构成的真空阀，期望不增加紧固用螺栓的根数而能够经受得住来自真空泵的转矩的真空阀。

[解决问题的技术手段]

本实用新型的优选形态的真空阀包括收纳阀体的壳体、及螺固在壳体的凸缘，且真空阀安装于真空腔室与真空泵之间，在壳体的紧固面形成着第1销孔，在凸缘的紧固面中第1销孔所相向的位置形成着第2销孔，且包括插设在相互相向的第1销孔及第2销孔的销。

本实用新型中，在所述凸缘形成着螺固用的螺栓孔，在所述壳体形成着螺固用的螺纹孔，所述螺栓孔与贯通所述螺栓孔的螺栓的间隙尺寸Db、所述销与所述第1销孔的间隙尺寸Dp1、及所述销与所述第2销孔的间隙尺寸Dp2满足数式“Db≥(Dp1+Dp2)”。

本实用新型中，所述第1销孔包括具有第1孔径的销孔、及具有直径小于所述第1孔径的第2孔径的至少两个销孔，与具有所述第2孔径的第1销孔相向的所述第2销孔的直径设定得比与具有所述第1孔径的第1销孔相向的所述第2销孔的直径小。

本实用新型中，所述销兼备减小从外部连接的装置传递的旋转转矩的功能、及将所述凸缘定位于所述壳体的功能。

[实用新型的效果]

根据本实用新型，可提供一种真空阀，所述真空阀为利用紧固用螺栓将分开设置的凸缘固定在阀壳体的构成，且不会因紧固以外的目的增加紧固用螺栓的根数而能够经受得住来自真空泵的转矩。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为能更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型的一实施方式的真空阀的立体图。

图2是表示已从真空阀的壳体卸下凸缘的情况的立体图。

图3是表示已从真空阀的壳体卸下凸缘的情况的剖面示意图。

图4(a)是表示阀壳体与凸缘的紧固构造中设置着螺栓的部位的剖面图，图4(b)是表示所述紧固构造中设置着销的部位的剖面图。

[符号的说明]

1：真空阀

2：阀本体

3：凸缘

3A：筒部

3B、4A1、4A2：开口

3C、3D、4B、4C：紧固面

4：壳体

6：阀板

7、8：电动机

10：螺栓孔

11、20、40：螺纹孔

31、31A、31B、41、41A、41B：销孔

52：螺栓

52A：螺栓轴

60：密封环

100：销

Arr：箭头

Db、Dp1、Dp1A、Dp1B、Dp2、Dp2A、Dp2B：间隙尺寸

z：方向

θ：方向(开度)

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的真空阀其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

图1表示本实用新型的一实施方式的真空阀1。真空阀1包括阀本体2、使阀板6向θ方向摆动驱动的电动机7、及将未图示的密封环(参照图3)向z方向驱动的电动机8。阀本体2包括收纳阀板6及密封环(未图示)的壳体4、及凸缘3。凸缘3与壳体4分开形成，且凸缘3螺固在壳体4。凸缘3用于固定于真空处理装置的真空腔室。另外，图1中虽未图示，但在壳体4的固定着凸缘3的一侧的相反侧，形成着供真空泵固定的紧固面(参照图3)。

如所述那样，阀板6利用电动机7而摆动驱动。在该驱动下，阀板6在遮蔽凸缘开口的位置(与开度0％相对应)和凸缘开口全部开放的位置(与开度100％相对应)之间滑动移动。本实施方式的真空阀1通过对阀板6的开度θ进行调整，而能够控制从凸缘3侧向相反侧的凸缘侧流动的气体的流量，即，从真空腔室向真空泵流动的气体的流量。

图2、图3是表示已从壳体4卸下凸缘3的状态的图。图2是立体图。图3是示意性地表示凸缘3及壳体4的紧固凸缘3的部分的剖面图。如图3所示，凸缘3上形成着筒部3A。凸缘3以筒部3A插入到形成于壳体4的开口4A2的方式，螺固于壳体4的紧固面4C。此外，本实施方式中，凸缘3与壳体4之间设置着至少一个(优选多个)销100。

在凸缘3上形成着多个螺固用的螺栓孔10(贯通孔10)。此外，凸缘3的紧固面3D上形成着供销100插设的至少一个(优选多个)销孔31。另一方面，在壳体4的紧固面4C(与紧固面3D相向的面)，螺固用的螺纹孔11分别形成在凸缘3的与螺栓孔10相向的位置。而且，在紧固面4C上，在凸缘3的与销孔31相向的位置分别形成着销孔41。

凸缘3的紧固面3C上形成着多个用以将真空腔室的凸缘紧固在凸缘3的螺纹孔20。而且，壳体4的图示下侧的紧固面4B上形成着多个螺纹孔40。形成在紧固面4B的开口4A1形成为直径与形成在凸缘3的开口3B的直径相同，且与开口3B同心。

另外，图3表示阀板6受到驱动而滑动到与开口3B及开口4A1相向的位置的状态。该状态下，阀板6的开度θ与0％相对应，开口3B及开口4A1由阀板6遮蔽。然而，如图3所示，在阀板6的边缘部分与壳体4之间形成着间隙，真空阀1的流路并非为完全闭合的状态。从该状态利用电动机8(图2)使密封环60向阀板6侧移动，而形成阀板6夹持于密封环60与壳体4的状态，由此真空阀1的流路成为完全闭合的状态。

(销100的说明)

图4(a)、图4(b)是说明销100的图。图4(a)是表示螺固部分的剖面图，图4(b)是设置着销100的部分的剖面图。

如所述般，真空泵中，在转子因与定子接触等而紧急停止的情况下，因该冲击而真空泵的吸气口凸缘会产生大的旋转转矩。而且，该旋转转矩也会被传递到真空阀1的壳体4、凸缘3、紧固于凸缘3的真空腔室。因此，在凸缘3与壳体4的紧固部分，当旋转转矩的方向为图的箭头Arr的方向时，使壳体4相对于固定在真空腔室的凸缘3而向箭头Arr的方向偏移的力作用于壳体4。在未设置销100的现有的真空阀的情况下，由于壳体4向箭头Arr的方向偏移，而螺栓轴52A的右侧的面与螺栓孔10碰撞，大的剪切力作用于螺栓52。在该剪切力过大的情况下，有螺栓52断裂的担心。

因此，本实施方式中，为了减轻作用于螺栓52的剪切力，或为了防止螺栓52与螺栓孔10碰撞，而设置着销100。此外，将螺栓52与螺栓孔10的间隙尺寸Db、销100与销孔41的间隙尺寸Dp1、及销100与销孔31的间隙尺寸Dp2以满足以下的数式(1)的方式来进行设定。另外，本实施方式的间隙尺寸是由(间隙尺寸)＝[(孔径)-(轴径)]/2而定义的尺寸。另外，在将销100压入到壳体4的销孔41的情况下，间隙尺寸Dp1为Dp1＝0。

Db≥(Dp1+Dp2)…(1)

这样，通过设置销100而使旋转转矩的一部分由销100来承担，可减小旋转转矩对螺栓52的影响。结果，在所述由真空泵引起的大的旋转转矩作用于凸缘3与壳体4的紧固部的情况下，能够防止螺栓52的断裂。而且，以满足数式(1)的方式来设定间隙尺寸，由此在与螺栓52(螺栓轴52A)的螺栓孔10碰撞的同时或碰撞之前，销100与凸缘3的销孔31发生碰撞。因此，可将剪切力所引起的螺栓52的变形抑制得更小。此外，通过设置销100而耐旋转转矩性能提高，因而可防止螺栓断裂，并且也可比现有情况减少螺栓52的根数。

优选的是，销100除实现耐旋转转矩性能外，或者与耐旋转转矩性能分开地，发挥定位销的功能。关于销孔31、销孔41的间隙尺寸Dp1、间隙尺寸Dp2，优选设定满足以下数式(2)、数式(3)的2种间隙尺寸Dp1A、间隙尺寸Dp1B及间隙尺寸Dp2A、间隙尺寸Dp2B，将插设于具有间隙尺寸Dp1B及Dp2B的销孔31、销孔41的销100用作定位销。另外，具有间隙尺寸Dp1A的销孔41与具有间隙尺寸Dp2A的销孔31相向，具有间隙尺寸Dp1B的销孔41与具有间隙尺寸Dp2B的销孔31相向。

Dp1A＞Dp1B…(2)

Dp2A＞Dp2B…(3)

当然，并不限于所述情况，在销孔31、销孔41具有仅1种间隙尺寸的情况下，插通于销孔的销也可具有定位的功能。

例如，优选将多个销100中的至少两个销100用作具有定位功能的销。即，至少各设置两个具有间隙尺寸Dp1B的销孔41与具有间隙尺寸Dp2B的销孔31，向所述销孔中插通具有定位功能的销100。通过将销100用作定位销，而能够准确地使形成于凸缘3的开口3B与形成于壳体4的开口4A1为同心状态。结果，可减少实际的阀电导与设计上的阀电导的偏差。

另外，使用数式(2)、数式(3)的设定的方法中，关于销孔31、销孔41的间隙尺寸，准备2种尺寸，将间隙较小的销100用作定位销。作为另一方法，也可将销孔31、销孔41的间隙尺寸设为1种，并准备2种直径尺寸不同的销100，将直径尺寸较大的销100用作定位销。

本实施方式的真空阀包括以下的构成，由此实现以下的作用效果。

(1)真空阀1包括收纳阀板6的壳体4、及利用螺栓52紧固于壳体4的凸缘3，且真空阀1安装于真空腔室与真空泵之间。在壳体4的紧固面4C形成着销孔41。在凸缘3的紧固面3D中销孔41所相向的位置形成着销孔31。真空阀1包括插设在相互相向的销孔41及销孔31的销100。

这样，通过在形成于紧固面4C的销孔41与形成于紧固面3D的销孔31中插设销100，而能够提高凸缘3与壳体4的紧固部的耐旋转转矩性能。尤其在真空阀中降低从连接于真空阀的外部的装置传递的旋转转矩的情况具有本实用新型的技术性意义。

(2)在凸缘3形成着螺栓52用的螺栓孔10。壳体4上形成着用以与螺栓52紧固的螺纹孔11。螺栓孔10与螺栓52的间隙尺寸Db、销100与销孔41的间隙尺寸Dp1、及销100与销孔31的间隙尺寸Dp2满足以上的数式(1)即“Db≥(Dp1+Dp2)”。

由此，可减小作用于螺栓52的剪切力，或者，防止螺栓52与螺栓孔10碰撞。

(3)销孔41包含具有第1孔径的销孔41A、及具有直径小于第1孔径的第2孔径的至少两个销孔41B，与销孔41B相向的销孔31B的直径设定得比与销孔41A相向的销孔31A的直径小。据此，可满足所述数式(2)、数式(3)。

由此，插设在销孔41B及销孔31B的销100可发挥作为定位销的作用。结果，可准确地使形成于凸缘3的开口3B与形成于壳体4的开口4A1为同心状态。结果，可减少实际的阀电导与设计上的阀电导的偏差。

(4)销100也可兼备如下功能，即，减小从外部连接的装置(例如本实施方式中为真空泵)传递的旋转转矩的功能，及将凸缘3定位于壳体4的功能。

由此，能够提高凸缘3与壳体4的紧固部的耐旋转转矩性能，并且能够准确地使形成于凸缘3的开口3B与形成于壳体4的开口4A1为同心状态。能够准确地使开口3B与开口4A1为同心状态的结果为，能够降低实际的阀电导与设计上的阀电导的偏差。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (4)

1.一种真空阀，包括收纳阀体的壳体、及螺固在所述壳体的凸缘，且安装于真空腔室与真空泵之间，所述真空阀的特征在于：

在所述壳体的紧固面形成着第1销孔，

在所述凸缘的紧固面中所述第1销孔所相向的位置形成着第2销孔，且

包括插设在相互相向的所述第1销孔及所述第2销孔的销。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：

在所述凸缘形成着螺固用的螺栓孔，

在所述壳体形成着螺固用的螺纹孔，

所述螺栓孔与贯通所述螺栓孔的螺栓的间隙尺寸Db、所述销与所述第1销孔的间隙尺寸Dp1、及所述销与所述第2销孔的间隙尺寸Dp2满足数式“Db≥(Dp1+Dp2)”。

3.根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于：

所述第1销孔包括具有第1孔径的销孔、及具有直径小于所述第1孔径的第2孔径的至少两个销孔，

与具有所述第2孔径的第1销孔相向的所述第2销孔的直径设定得比与具有所述第1孔径的第1销孔相向的所述第2销孔的直径小。

4.根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于：

所述销兼备减小从外部连接的装置传递的旋转转矩的功能、及将所述凸缘定位于所述壳体的功能。