CN204570030U - 板式pecvd镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置，包括电源、行程开关、两位五通电磁阀、气源、双作用气缸和挡板；行程开关安装在升降台的底面上，行程开关的触头能够在升降台处于下限位置时被上行用升降梯的底部触发动作使得行程开关接通、并能够在升降台离开下限位置时复位使得行程开关断开；双作用气缸的本体固定在上行用升降梯的护板外壁面上，挡板固定在双作用气缸的活塞杆上，该挡板能够在双作用气缸的活塞杆伸出时完全遮挡或者部分遮挡在上行用升降梯的进料口上、并能够在双作用气缸的活塞杆缩回时让开上行用升降梯的进料口。本实用新型提高了PECVD设备的工作可靠性。

Description

板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置

技术领域

本实用新型涉及一种板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置。

背景技术

在太阳能电池的制备过程中，一般需要采用PECVD设备对硅片的发射结进行镀膜。现有的PECVD设备采用石墨框来承载硅片，并通过将石墨框放置在上下料台传送系统中进行循环传送，使得石墨框循环不断的到达硅片的上料位置和下料位置，从而实现PECVD设备的自动化作业。

如图1和图2所示，现有PECVD设备的上下料台传送系统采用了立体式的空间布置方式，其包括上行用升降梯1、上方位置传送机构2、下行用升降梯(图中未示出)和下方位置传送机构3；上行用升降梯1和下行用升降梯内部的升降机构上均安装有升降台4，并且上行用升降梯1的护板101设有位于下方位置的进料口101a和位于上方位置的出料口101b，下行用升降梯的护板(图中未示出)设有位于上方位置的进料口(图中未示出)和位于下方位置的出料口(图中未示出)；上方位置传送机构2和下方位置传送机构3均由多个传送装置首尾相连组成，上方位置传送机构2安装在上行用升降梯1的出料口101b与下行用升降梯的进料口之间，下方位置传送机构3安装在下行用升降梯的出料口与上行用升降梯1的进料口101a之间；其中，前述升降台4和传送装置均由用于承托并传输石墨框8的传送带5及其安装基座6构成，并且该传送带5的首端和尾端分别设有用于采集石墨框8位置信息的传感器701、702，以及依据石墨框8位置信息控制传送带5启动、停止和传送方向的控制器(图中未示出)，具体的，当传送带5位于传送方向后方的传感器701感应到石墨框8时，该传送带5转动从而带动石墨框8沿传送方向前进，当该传送带5位于传送方向前方的传感器702感应到石墨框8时，该传送带5停止；对于下方位置传送机构3中的传送装置来说，其传送方向指向上行用升降梯1，对于上方位置传送机构2中的传送装置来说，其传送方向指向下行用升降梯，对于上行用升降梯1的升降台4来说，其传送方向在处于进料位置时与下方位置传送机构3中的传送装置传送方向同向，而下行用升降梯的升降台则反之，并且，上行用升降梯1的升降台4和下行用升降梯的升降台在到达出料位置时会被启动进行传送。

上述上下料台传送系统的工作方式为：多个石墨框8相隔一定距离同时在该上下料台传送系统中进行传送，对于任意一个石墨框8来说，其经过下方位置传送机构3传送到达与上行用升降梯1的进料口101a相连的传送装置时，上行用升降梯1的升降台4空载并处于进料位置；然后，石墨框8在该与上行用升降梯1的进料口101a相连的传送装置和升降台4的传送下从进料口101a进入上行用升降梯1中并停稳在升降台4上；其后，升降台4在上行用升降梯1的升降机构作用下上升到出料位置，从而石墨框8在该升降台4和上方位置传送机构2与上行用升降梯1的出料口101b相连的传送装置的传送下从出料口101b传送到上方位置传送机构2上；最后，与前述过程类似，当石墨框8经过上方位置传送机构2传送到达与下行用升降梯的进料口相连的传送装置时，下行用升降梯的升降台空载并处于进料位置，从而石墨框8经过下行用升降梯的传送将再次回到下方位置传送机构3，在上下料台传送系统中完成了一个循环。

上述PECVD设备的上下料台传送系统存在以下不足：

由于该上下料台传送系统中各个传送带5的启动和停止依赖于各自位于首端和尾端的传感器701、702被传送中的石墨框8触发，从而控制石墨框8的传送，因此，当传感器701、702失灵时或者设备如升降梯出现异常时，都会造成前后两个传送中的石墨框8产生碰撞，使得靠近于上行用升降梯1的进料口101a的石墨框8被撞入上行用升降梯1内，使得石墨框8被升降台4压坏，造成工器具(石墨框属于贵重载片工器具)的成本损失，以及PECVD设备也可能会由于上下料台传送系统该环节的损坏而被迫停产，造成更大的生产损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置。

解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置，所述上下料台传送系统包括上行用升降梯、上方位置传送机构和下方位置传送机构，上行用升降梯的护板设有用于位于下方位置的进料口和位于上方位置的出料口，上行用升降梯内部的升降机构上安装有升降台，该升降台循环运行在上行用升降梯对应于进料口的下限位置与对应于出料口的上限位置之间，以将被下方位置传送机构由进料口送入的石墨框从出料口送出到上方位置传送机构，其特征在于：

所述的防压框装置包括电源、行程开关、两位五通电磁阀(1Y)、气源(CDA)、双作用气缸和挡板，其中，两位五通电磁阀(1Y)的进气口(p)在通电时与第一出气口(a)连通、在断电时与第二出气口(b)连通，双作用气缸的活塞杆在第一进气口(k1)通气时伸出、在第二进气口(k2)通气时缩回；

所述行程开关和两位五通电磁阀(1Y)的控制端串联在电源的输出端正极与负极之间，所述两位五通电磁阀(1Y)的进气口(p)与气源(CDA)连通、第一出气口(a)与双作用气缸的第二进气口(k2)连通、第二出气口(b)与双作用气缸的第一进气口(k1)连通；

所述行程开关安装在所述升降台的底面上，行程开关的触头能够在升降台处于下限位置时被上行用升降梯的底部触发动作使得行程开关接通、并能够在升降台离开下限位置时复位使得行程开关断开；

所述双作用气缸的本体固定在所述上行用升降梯的护板外壁面上，所述挡板固定在双作用气缸的活塞杆上，该挡板能够在双作用气缸的活塞杆伸出时完全遮挡或者部分遮挡在所述上行用升降梯的进料口上、并能够在双作用气缸的活塞杆缩回时让开所述上行用升降梯的进料口。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

第一，本实用新型的防压框装置适用于板式PECVD镀膜设备的上下料台传送系统，其设有电源、行程开关、两位五通电磁阀、气源、双作用气缸和挡板，能够在上下料台传送系统的上行用升降梯升降台离开下限位置时，通过行程开关的触头复位，使本防压框装置处于阻挡状态，即：行程开关断开，两位五通电磁阀断电，双作用气缸的第一进气口通过两位五通电磁阀与气源连通，双作用气缸的活塞杆伸出，从而使挡板完全遮挡或者部分遮挡在上行用升降梯的进料口上，由此，使得上行用升降梯处于非进料状态即其升降台未处于下限位置时，挡板能够阻挡任意石墨框想要从进料口进入行用升降梯内的动作，有效的杜绝了石墨框在上行用升降梯的非进料状态下进入上行用升降梯内的事故，提高了PECVD镀膜设备的工作可靠性。

第二，本实用新型的防压框装置具有动作速度快、保护及时的优点。

第三，本实用新型的防压框装置尤其适于现阶段各企业大力推行节能降耗提高单位时间效率的环境，能够极大的降低载片工器具的成本损失，降低对产能的影响。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明：

图1为现有PECVD设备的上下料台传送系统处于进料状态时的结构示意图；

图2为现有PECVD设备的上下料台传送系统处于出料状态时的结构示意图；

图3为本实用新型的防压框装置的电路和气路连接示意图；

图4为本实用新型的防压框装置安装在上下料台传送系统时的放行状态示意图；

图5为本实用新型的防压框装置安装在上下料台传送系统时的阻挡状态示意图。

具体实施方式

如图3至图5所示，本实用新型的防压框装置适用于现有的板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统。

参见图4和图5，上述板式PECVD镀膜设备的上下料台传送系统采用了立体式的空间布置方式，其包括上行用升降梯1、上方位置传送机构2、下行用升降梯(图中未示出)和下方位置传送机构3；上行用升降梯1和下行用升降梯内部的升降机构上均安装有升降台4，并且上行用升降梯1的护板101设有位于下方位置的进料口101a和位于上方位置的出料口101b，下行用升降梯的护板(图中未示出)设有位于上方位置的进料口(图中未示出)和位于下方位置的出料口(图中未示出)；上方位置传送机构2和下方位置传送机构3均由多个传送装置首尾相连组成，上方位置传送机构2安装在上行用升降梯1的出料口101b与下行用升降梯的进料口之间，下方位置传送机构3安装在下行用升降梯的出料口与上行用升降梯1的进料口101a之间；其中，前述升降台4和传送装置均由用于承托并传输石墨框8的传送带5及其安装基座6构成，并且该传送带5的首端和尾端分别设有用于采集石墨框8位置信息的传感器701、702，以及依据石墨框8位置信息控制传送带5启动、停止和传送方向的控制器(图中未示出)，具体的，当传送带5位于传送方向后方的传感器701感应到石墨框8时，该传送带5转动从而带动石墨框8沿传送方向前进，当该传送带5位于传送方向前方的传感器702感应到石墨框8时，该传送带5停止；对于下方位置传送机构3中的传送装置来说，其传送方向指向上行用升降梯1，对于上方位置传送机构2中的传送装置来说，其传送方向指向下行用升降梯，对于上行用升降梯1的升降台4来说，其传送方向在处于进料位置时与下方位置传送机构3中的传送装置传送方向同向，而下行用升降梯的升降台则反之，并且，上行用升降梯1的升降台4和下行用升降梯的升降台在到达出料位置时会被启动进行传送。

上述上下料台传送系统的工作方式为：多个石墨框8相隔一定距离同时在该上下料台传送系统中进行传送，对于任意一个石墨框8来说，其经过下方位置传送机构3传送到达与上行用升降梯1的进料口101a相连的传送装置时，上行用升降梯1的升降台4空载并处于进料位置；然后，石墨框8在该与上行用升降梯1的进料口101a相连的传送装置和升降台4的传送下从进料口101a进入上行用升降梯1中并停稳在升降台4上；其后，升降台4在上行用升降梯1的升降机构作用下上升到出料位置，从而石墨框8在该升降台4和上方位置传送机构2与上行用升降梯1的出料口101b相连的传送装置的传送下从出料口101b传送到上方位置传送机构2上；最后，与前述过程类似，当石墨框8经过上方位置传送机构2传送到达与下行用升降梯的进料口相连的传送装置时，下行用升降梯的升降台空载并处于进料位置，从而石墨框8经过下行用升降梯的传送将再次回到下方位置传送机构3，在上下料台传送系统中完成了一个循环。

参见图3，本实用新型的防压框装置包括电源、行程开关SQ、两位五通电磁阀1Y、气源CDA、双作用气缸QG和挡板DB，其中，两位五通电磁阀1Y的进气口p在通电时与第一出气口a连通、在断电时与第二出气口b连通，双作用气缸QG的活塞杆QG-a在第一进气口k1通气时伸出、在第二进气口k2通气时缩回；

行程开关SQ和两位五通电磁阀1Y的控制端串联在电源的输出端正极+24V与负极0V之间，两位五通电磁阀1Y的进气口p与气源CDA连通、第一出气口a与双作用气缸QG的第二进气口k2连通、第二出气口b与双作用气缸QG的第一进气口k1连通。

参见图4和图5，行程开关SQ安装在升降台4的底面即升降台4的安装基座6底面上，行程开关SQ的触头能够在升降台4处于下限位置时被上行用升降梯1的底部触发动作使得行程开关SQ接通、并能够在升降台4离开下限位置时复位使得行程开关SQ断开。

参见图4和图5，双作用气缸QG的本体QG-b固定在上行用升降梯1的护板101外壁面上，挡板DB固定在双作用气缸QG的活塞杆QG-a上，该挡板DB能够在双作用气缸QG的活塞杆QG-a伸出时完全遮挡或者部分遮挡在上行用升降梯1的进料口101a上、并能够在双作用气缸QG的活塞杆QG-a缩回时让开上行用升降梯1的进料口101a。

另外，两位五通电磁阀1Y可以安装在任意不影响生产操作及设备运行的位置。

本实用新型的防压框装置的工作原理如下：

参见图4，在上行用升降梯1的升降台4处于下限位置时，行程开关SQ的触头被上行用升降梯1的底部触发动作，本防压框装置处于放行状态，即：行程开关SQ接通，两位五通电磁阀1Y通电，双作用气缸QG的第二进气口k2通过两位五通电磁阀1Y与气源CDA连通，双作用气缸QG的活塞杆QG-a缩回，从而使挡板DB让开上行用升降梯1的进料口101a，下方位置传送机构3传送的石墨框8得以通过进料口101a而传送到上行用升降梯1的升降台4上。

参见图5，在上行用升降梯1的升降台4离开下限位置时，行程开关SQ的触头复位，本防压框装置处于阻挡状态，即：行程开关SQ断开，两位五通电磁阀1Y断电，双作用气缸QG的第一进气口k1通过两位五通电磁阀1Y与气源CDA连通，双作用气缸QG的活塞杆QG-a伸出，从而使挡板DB完全遮挡或者部分遮挡在上行用升降梯1的进料口101a上，由此，使得上行用升降梯1处于非进料状态即其升降台4未处于下限位置时，挡板DB能够阻挡任意石墨框8想要从进料口101a进入行用升降梯1内的动作，有效的杜绝了石墨框8在上行用升降梯1的非进料状态下进入上行用升降梯1内的事故，提高了PECVD镀膜设备的工作可靠性。

本实用新型不局限与上述具体实施方式，根据上述内容，按照本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下，本实用新型还可以做出其它多种形式的等效修改、替换或变更，均落在本实用新型的保护范围之中。

Claims (1)

1.一种板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置，所述上下料台传送系统包括上行用升降梯(1)、上方位置传送机构(2)和下方位置传送机构(3)，上行用升降梯(1)的护板(101)设有用于位于下方位置的进料口(101a)和位于上方位置的出料口(101b)，上行用升降梯(1)内部的升降机构上安装有升降台(4)，该升降台(4)循环运行在上行用升降梯(1)对应于进料口(101a)的下限位置与对应于出料口(101b)的上限位置之间，以将被下方位置传送机构(3)由进料口(101a)送入的石墨框(8)从出料口(101b)送出到上方位置传送机构(2)，其特征在于：

所述的防压框装置包括电源、行程开关(SQ)、两位五通电磁阀(1Y)、气源(CDA)、双作用气缸(QG)和挡板(DB)，其中，两位五通电磁阀(1Y)的进气口(p)在通电时与第一出气口(a)连通、在断电时与第二出气口(b)连通，双作用气缸(QG)的活塞杆(QG-a)在第一进气口(k1)通气时伸出、在第二进气口(k2)通气时缩回；

所述行程开关(SQ)和两位五通电磁阀(1Y)的控制端串联在电源的输出端正极与负极之间，所述两位五通电磁阀(1Y)的进气口(p)与气源(CDA)连通、第一出气口(a)与双作用气缸(QG)的第二进气口(k2)连通、第二出气口(b)与双作用气缸(QG)的第一进气口(k1)连通；

所述行程开关(SQ)安装在所述升降台(4)的底面上，行程开关(SQ)的触头能够在升降台(4)处于下限位置时被上行用升降梯(1)的底部触发动作使得行程开关(SQ)接通、并能够在升降台(4)离开下限位置时复位使得行程开关(SQ)断开；

所述双作用气缸(QG)的本体(QG-b)固定在所述上行用升降梯(1)的护板(101)外壁面上，所述挡板(DB)固定在双作用气缸(QG)的活塞杆(QG-a)上，该挡板(DB)能够在双作用气缸(QG)的活塞杆(QG-a)伸出时完全遮挡或者部分遮挡在所述上行用升降梯(1)的进料口(101a)上、并能够在双作用气缸(QG)的活塞杆(QG-a)缩回时让开所述上行用升降梯(1)的进料口(101a)。