CN204130594U - 压电促动器、压电振动装置及便携式终端 - Google Patents

压电促动器、压电振动装置及便携式终端 Download PDF

Info

Publication number
CN204130594U
CN204130594U CN201290001251.6U CN201290001251U CN204130594U CN 204130594 U CN204130594 U CN 204130594U CN 201290001251 U CN201290001251 U CN 201290001251U CN 204130594 U CN204130594 U CN 204130594U
Authority
CN
China
Prior art keywords
piezoelectric
piezoelectric actuator
flexible substrate
attachment
piezoelectric element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201290001251.6U
Other languages
English (en)
Inventor
中村成信
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Application granted granted Critical
Publication of CN204130594U publication Critical patent/CN204130594U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0611—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements in a pile
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04M—TELEPHONIC COMMUNICATION
    • H04M1/00—Substation equipment, e.g. for use by subscribers
    • H04M1/02—Constructional features of telephone sets
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04M—TELEPHONIC COMMUNICATION
    • H04M1/00—Substation equipment, e.g. for use by subscribers
    • H04M1/02—Constructional features of telephone sets
    • H04M1/23—Construction or mounting of dials or of equivalent devices; Means for facilitating the use thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2047—Membrane type
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853—Ceramic compositions
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2499/00—Aspects covered by H04R or H04S not otherwise provided for in their subgroups
    • H04R2499/10—General applications
    • H04R2499/11—Transducers incorporated or for use in hand-held devices, e.g. mobile phones, PDA's, camera's

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

本实用新型提供一种挠性基板的布线导体在长期驱动中也不会断线且能长期稳定地驱动的压电促动器、压电振动装置及便携式终端。本实用新型的压电促动器(1)的特征在于，具有：压电元件(10)，其具备层叠内部电极(2)及压电体层(3)而成的层叠体(4)、和在层叠体(4)的一主面上与内部电极(2)电连接的表面电极(5)；以及一部分经由导电性接合部件(7)而被接合于一主面且具备与表面电极(5)电连接的布线导体(61)的挠性基板(6)，由挠性基板(6)覆盖的压电元件(10)的角部(11)被倒角。

Description

压电促动器、压电振动装置及便携式终端
技术领域
本实用新型涉及适用于压电振动装置和便携式终端的压电促动器、压电振动装置及便携式终端。
背景技术
作为压电促动器，如图8所示，公知利用了通过在层叠多个内部电极101与压电体层102的层叠体103的表面上形成表面电极104而构成的双压电晶片型的压电元件10(参照专利文献1)的促动器，或者用导电性接合部件106将挠性基板105接合在压电元件10的主面，以使压电元件10的表面电极104与挠性基板105的布线导体1051电连接(参照专利文献2)。
再有，公知将双压电晶片型的压电元件的长度方向的中央部或一端固定于振动板的压电振动装置(参照专利文献3、4)。
【在先技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】JP特开2002-10393号公报
【专利文献2】JP特开平6-14396号公报
【专利文献3】国际公开第2005/004535号
【专利文献4】JP特开2006-238072号公报
实用新型内容
-实用新型所要解决的技术问题-
如图8所示，考虑用导电性接合部件106将挠性基板105接合在专利文献1所述的压电元件10的主面，以使压电元件10的表面电极104与挠性基板105的布线导体1051电连接。
在此，挠性基板105的构造为在基底薄膜1052上粘贴布线导体1051、进而粘贴被覆薄膜(cover film)1053的3层构造，但在与压电元件10的接合部及其近旁并未形成被覆薄膜1053，由此布线导体1051成为露出的状态。
可是，在挠性基板105与压电元件10的连接部近旁，若在没有被覆薄膜1053的状态下使用，则在挠性基板105发生了变形时，布线导体1051会碰到压电元件10的边缘，会对布线导体1051造成伤害而产生断线。
本实用新型是鉴于上述问题点而提出的，其目的在于，提供一种挠性基板的布线导体即使在长期驱动中也不会断线、长时间稳定地驱动的压电促动器、压电振动装置及便携式终端。
-用于解决技术问题的手段-
本实用新型的压电促动器的特征在于，具有：压电元件，其具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体、和在该层叠体的一主面上与所述内部电极电连接的表面电极；以及挠性基板，其一部分经由导电性接合部件而被接合于所述一主面，且所述挠性基板具备与所述表面电极电连接的布线导体，由所述挠性基板覆盖的所述压电元件的角部被倒角。
再有，本实用新型的压电振动装置的特征在于，具有：所述压电促动器、以及被接合于所述压电元件的所述另一主面的振动板。
还有，本实用新型的便携式终端的特征在于，具有所述压电促动器、电子电路、显示器和筐体，所述压电促动器的另一主面被接合于所述显示器或所述筐体。
-实用新型的效果-
根据本实用新型，可以获得挠性基板的布线导体难以断线且能长期稳定地驱动的压电促动器。再有，可以获得降低了不必要的振动的产生的压电振动装置。还有，可以获得能够传递高品质的声音信息的便携式终端。
附图说明
图1(a)是表示本实用新型的压电促动器的实施方式的一例的示意立体图，(b)是在(a)所示的A-A线处切断的示意剖视图。
图2(a)是表示图1(b)的其他例的示意剖视图，(b)是表示图1(b)的又一例的示意剖视图。
图3是示意地表示本实用新型的实施方式的压电振动装置的示意立体图。
图4是示意地表示本实用新型的实施方式的便携式终端的示意立体图。
图5是在图4所示的A-A线处切断的示意剖视图。
图6是在图4所示的B-B线处切断的示意剖视图。
图7是反复弯曲试验的说明图。
图8(a)是表示以往的压电促动器的实施方式的一例的示意立体图，(b)是在(a)所示的A-A线处切断的示意剖视图。
具体实施方式
参照附图详细地说明本实用新型的压电促动器的实施方式的一例。
图1(a)是表示本实用新型的压电促动器的实施方式的一例的示意立体图，图1(b)是在图1(a)所示的A-A线处切断的示意剖视图。
本实用新型的压电促动器1具有：压电元件10，其具备内部电极2及压电体层3被层叠而成的层叠体4、和在层叠体4的一主面上与内部电极2电连接的表面电极5；以及挠性基板6，其一部分经由导电性接合部件7而被接合至一主面且具备与表面电极5电连接的布线导体61，被挠性基板6覆盖的压电元件10的角部11被倒角。
构成压电元件10的层叠体4是由内部电极2及压电体层3层叠而成的，多个内部电极2具有在层叠方向上重叠的活性部和除此以外的非活性部，例如形成为长条状。在为安装于便携式终端的显示器或筐体的压电促动器的情况下，作为层叠体4的长度，例如优选18mm～28mm，更优选为22mm～25mm。层叠体4的宽度例如优选为1mm～6mm，更优选为3mm～4mm。层叠体4的厚度例如优选为0.2mm～1.0mm，更优选为0.4mm～0.8mm。
构成层叠体4的内部电极2是通过与形成压电体层3的陶瓷同时烧成而形成的，其由第1极21及第2极22构成。例如，第1极21为接地极，第2极22为正极或负极。与压电体层3交替地层叠并从上下夹持压电体层3，按层叠顺序配置第1极21及第2极22，由此向被夹持在这些之间的压电体层3施加驱动电压。作为该形成材料，例如可以利用以与压电陶瓷的反应性低的银或银-钯合金为主成分的导体、或者包含铜、铂等的导体，也可以使这些材料中含有陶瓷成分或玻璃成分。
在图1所示的例子中，第1极21及第2极22的端部各自互不相同地被导出至层叠体4的对置的一对侧面。在为安装于便携式终端的显示器或筐体的压电促动器的情况下，内部电极2的长度例如优选为17mm～25mm，更优选21mm～24mm。内部电极2的宽度，例如优选为1mm～5mm，更优选为2mm～4mm。内部电极2的厚度例如优选为0.1～5μm。
构成层叠体4的压电体层3由具有压电特性的陶瓷形成，作为这种陶瓷，例如可以利用由钛酸锆酸铅(PbZrO3-PbTiO3)构成钙钛矿型氧化物、铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)等。为了能以低电压驱动，压电体层3的1层的厚度例如优选设定为0.01～0.1mm。再有，为了获得大的弯曲振动，优选具有200pm/V以上的压电d31常数。
在层叠体4的一主面设置有与内部电极2电连接的表面电极5。图1所示的形态中的表面电极5由大面积的第1表面电极51、小面积的第2表面电极52及第3表面电极53构成。例如，第1表面电极51与成为第1极21的内部电极2电连接，第2表面电极52例如与成为被配置在一主面侧的第2极22的内部电极2电连接，第3表面电极53例如与成为被配置在另一主面侧的第2极22的内部电极2电连接。在为安装于便携式终端的显示器或筐体的压电促动器的情况下，第1表面电极51的长度例如优选为17mm～23mm，更优选为19mm～21mm。第1表面电极51的宽度例如优选为1mm～5mm，更优选为2mm～4mm。第2表面电极52及第3表面电极53的长度例如优选为1mm～3mm。第2表面电极52及第3表面电极53的宽度例如优选为0.5mm～1.5mm。
再有，压电促动器1具有一部分经由导电性接合部件7而被接合在构成压电元件10的层叠体4的一主面的挠性基板6。
该挠性基板6具备布线导体61，按照经由导电性接合部件7而电连接表面电极5与布线导体61的方式，将挠性基板6的一部分接合于层叠体4的一主面。
挠性基板6例如是在树脂薄膜中埋设了2根布线导体61的挠性印刷布线基板，一端连接着用于与外部电路连接的连接器(未图示)。
图1所示的挠性基板6的构造是在基底薄膜62上粘贴布线导体61、进而粘贴被覆薄膜63的3层构造，但与压电元件10的接合部及其近旁成为未形成被覆薄膜63的状态。另外，与压电元件10的接合部近旁为未形成被覆薄膜63的状态的原因在于，考虑挠性基板6与压电元件10的接合的组装精度，即便在万一位置稍微偏离的情况下被覆薄膜63也不会进入与压电元件10的接合部界面。
作为导电性接合部件7，虽然可采用导电性粘接剂或焊锡等，但优选为导电性粘接剂。例如，原因如下：通过利用导电性粘接剂，从而与焊锡相比，可以降低因振动而产生的应力，所述导电性粘接剂是使由金、铜、镍、或镀金的树脂球等构成导体粒子72分散在丙烯酸树脂、环氧树脂、硅酮树脂、聚氨基甲酸酯树脂、或者合成橡胶等弹性系数(杨氏模量)低的树脂71中而成。更优选的是，在导电性粘接剂中只要是各向异性导电材料即可。各向异性导电材料由承担电接合的导电粒子和承担粘接的树脂粘接剂构成。该各向异性导电材料在厚度方向上能导通、在面内方向上能绝缘，因此即便在窄间距的布线中在异极的表面电极间也不会电气短路，可以使得与挠性基板6的连接部紧凑。
另外，在图1(b)中，虽然使导电性接合部件7的端与表面电极5的端一致，但既可以延伸设置于被覆薄膜63侧，也可以进一步从压电元件10的角部延伸设置至被覆薄膜63为止。由此，导电性接合部件7具有保护布线导体61的功能，可以防止与角部的摩擦引起的布线导体61的损伤。
而且，由挠性基板6覆盖的压电元件10的角部被倒角，由此形成倒角部11。
这样，通过将由挠性基板6覆盖的压电元件10的角部11倒角来形成倒角部11，从而在挠性基板6发生了变形的情况下，与挠性基板6接触的部位变成压电元件10的倒角部11，因此可以防止挠性基板6的布线导体61损伤，消除因伤而使布线导体61断线的危险。
作为倒角部11既可以是C面也可以是R面，更优选的是R面。倒角部11的大小，在为R面的情况下优选R0.01以上(在剖面观察时半径0.01mm以上的曲线)、在为C面的情况下优选C0.01以上(按照在剖面观察时边的长度为0.01mm以上的直角等腰三角形的方式将角部切掉)。
在此，如图2所示，优选在已被倒角的角部(倒角部11)与挠性基板6之间填充导电性接合部件7。
根据该构成，即便在将挠性基板6组装入装置之际挠性基板6弯曲、或者因来自外部的振动或挠性基板6自身的谐振等引起的异常振动而对接合部的根部(图2(a)所示的区域A)施加负荷，因为倒角部11填充有杨氏模量低的导电性接合部件7，所以应力被分散，可抑制挠性基板6被从压电元件10剥离。再有，由于杨氏模量低的导电性接合部件7吸收来自外部的振动，故可以降低向压电元件传递不必要的振动的状况。
还有，如图2(b)所示，被填充于该倒角部11的导电性接合部件7可以一直覆盖到挠性基板6的被覆薄膜63为止，由此可以利用导电性接合部件7保护布线导体61、并且还提高接合强度。
对本实施方式的压电促动器1的制造方法进行说明。
首先，制作成为压电体层3的陶瓷生片。具体是，将压电陶瓷的预烧粉末、由丙烯酸系、丁缩醛系等有机高分子构成的粘合剂、及可塑剂混合来制作陶瓷浆料。然后，通过利用刮刀法、砑光辊法等带成型法，利用该陶瓷浆料来制作陶瓷生片。作为压电陶瓷，只要具有压电特性即可，例如可以利用由钛酸锆酸铅(PbZrO3-PbTiO3)构成的钙钛矿型氧化物等。再有，作为可塑剂，可以利用邻苯二甲酸二丁酯(DBP)、邻苯二甲酸二辛酯(DOP)等。
接着，制作成为内部电极2的导电性膏剂。具体是，通过将粘合剂及可塑剂添加于银-钯合金的金属粉末并进行混合，从而制作导电性膏剂。利用丝网印刷法并以内部电极2的图案将该导电性膏剂涂敷在上述的陶瓷生片上。进而，将已印刷了该导电性膏剂的陶瓷生片层叠多张，并在规定的温度下进行脱粘合剂处理后，以900～1200℃的温度烧成，利用平面研削盘等，按照成为规定的形状的方式实施研削处理，由此制作具备被交替地层叠了的内部电极2及压电体层3的层叠体4。
然后，对被挠性基板6覆盖的层叠体4的角部(边缘部)进行倒角加工。在此，进行倒角加工的部位可以只是被挠性基板6覆盖的角部，但也可以对层叠体4的所有角部进行倒角。为了防止层叠体4的缺口或裂纹，优选对所有角部进行倒角。
倒角加工可以通过以下的方法来实施。例如，将层叠体4放入以规定的比例混合了氧化铝磨料与玻璃珠的研磨液中，用旋转搅拌机旋转混合5～30小时，由此可以对角部实施倒角加工。另外，既可以利用带R面的磨石来实施加工，也可以通过喷砂等方法来实施加工。
层叠体4并未限定于通过上述制造方法而制作的构成，如果能制作将内部电极2与压电体层3层叠多个而成的层叠体4，则通过何种制造方法来制作都可以。
然后，将向混合了以银为主成分的导电性粒子与玻璃的材料中添加粘合剂、可塑剂及溶剂而制作出的含有银玻璃的导电性膏剂，通过丝网印刷法等以表面电极5的图案印刷于层叠体4的主面及侧面，并使其干燥后，在50～750℃的温度下进行烧制处理，由此形成表面电极5。
另外，在对表面电极5与内部电极2进行电连接的情况下，即便形成贯通压电体层3的通孔并进行连接，也可以在层叠体4的侧面形成侧面电极，通过何种制造方法来制作都可以。
接下来，利用导电性接合部件7，将挠性基板6连接固定(接合)于压电元件10。
首先，利用丝网印刷等手法在压电元件10的规定位置涂敷形成导电性接合部件用膏剂。然后，在使挠性基板6抵接的状态下使导电性接合部件用膏剂固化，由此将挠性基板6连接固定于压电元件10。此外，导电性接合部件用膏剂也可以涂敷形成于挠性基板6侧。
在导电性接合部件7为导电性粘接剂且构成导电性粘接剂的树脂由热塑性树脂构成的情况下，在将导电性粘接剂涂敷形成于压电元件10或挠性基板6的规定位置后，在使压电元件10与挠性基板6经由导电性粘接剂而抵接的状态下进行加热加压，由此热塑性树脂软化流动，然后恢复为常温，由此热塑性树脂再次固化，挠性基板6被连接固定于压电元件10。
再有，上述虽然示出了将导电性粘接剂涂敷形成于压电元件10或挠性基板6的手法，但也可以在将预先形成为薄片状的导电性粘接剂的薄片夹持于压电元件10与挠性基板6之间的状态下加热加压而进行接合。
本实用新型的压电振动装置，如图3所示，具有压电促动器1和被接合于压电促动器1的另一主面的振动板81。
振动板81具有矩形的薄板状形状。振动板81可以优选地采用丙烯酸树脂或玻璃等刚性及弹性大的材料来形成。再有，振动板81的厚度例如设定为0.4mm～1.5mm。
振动板81经由接合部件82而被安装于压电促动器1的另一主面。既可以经由接合部件82而将另一主面的整个面接合到振动板81，也可以大致整个面被接合。
接合部件82具有薄膜状的形状。再有，接合部件82由比振动板81更柔软且容易变形的材料形成，与振动板81相比，杨氏模量、刚性率、体积弹性系数等弹性系数或刚性小。即，接合部件82能变形，在施加了相同的力时比振动板81更大地变形。而且，压电促动器1的另一主面(图的-z方向侧的主面)整体性地被固着于接合部件82的一主面(图的+z方向侧的主面)，振动板81的一主面(图的+z方向侧的主面)的一部分被固着于接合部件82的另一主面(图的-z方向侧的主面)。
接合部件82既可以是单个的部件，也可以是由几个部件构成的复合体。作为这种接合部件82，例如可以优选地采用在由无纺布等构成的基材的双面附着了粘接剂的双面胶带、或作为具有弹性的粘接剂的各种弹性粘接剂等。再有，接合部件82的厚度虽然期望比压电促动器1的弯曲振动的振幅更大，但若过厚，则振动会衰减，因此例如设定为0.1mm～0.6mm。其中，本实用新型的压电振动装置中并未对接合部件82的材质进行限定，接合部件82可以由比振动板81更硬且难以变形的材料形成。再有，根据情况的不同，也可以是不具有接合部件82的构成。
具备这种构成的本例的压电振动装置通过施加电信号而使压电促动器1弯曲振动，由此作为使振动板81振动的压电振动装置起作用。另外，也可以利用未图示的支承部件来支承振动板81的长度方向上的另一端部(图的-y方向端部)或振动板81的周缘部等。
本例的压电振动装置利用降低了不必要的振动的产生的压电促动器1来构成，因此可以作为降低了不必要的振动的产生的压电振动装置。
再有，本例的压电振动装置将振动板81接合到压电促动器1的平坦的另一主面上。由此，可以得到压电促动器1与振动板81被牢固地接合的压电振动装置。
本实用新型的便携式终端，如图4～图6所示具有压电促动器1、电子电路(未图示)、显示器91和筐体92，压电促动器1的另一主面被接合到筐体92。此外，图4是示意地表示本实用新型的便携式终端的示意立体图，图5是在图4所示的A-A线处切断的示意剖视图、图6是在图4所示的B-B线处切断的示意剖视图。
在此，优选利用能变形的接合部件来接合压电促动器1与筐体92。即，在图5及图6中接合部件82是能变形的接合部件。
通过用能变形的接合部件82来接合压电促动器1与筐体92，从而在从压电促动器1传递了振动时，能变形的接合部件82比筐体92更大地变形。
此时，可以用能变形的接合部件82来缓和从筐体92反射的相反相位的振动，因此压电促动器1不会受到周围的振动的影响，可以向筐体92传递较强的振动。
其中，接合部件82的至少一部分由粘弹性体构成，由此在可以向筐体92传递来自压电促动器1的较强的振动而由接合部件82吸收从筐体92反射的较弱的振动这一点上是优选的。例如，可以利用在由无纺布等构成基材的双面附着了粘接剂的双面胶带、或包含具有弹性的粘接剂的构成的接合部件，作为这些厚度例如可以利用10μm～2000μm的材料。
而且，在本例中，压电促动器1被安装在成为显示器91的盖体的筐体92的一部分，该筐体92的一部分作为振动板922起作用。
另外，在本例中示出了压电促动器1被接合到筐体92的结构，但压电促动器1也可以被接合于显示器91。
筐体92具有1个面开口的箱状筐体主体921、和堵塞筐体主体921的开口的振动板922。该筐体92(筐体主体921及振动板922)可以优选地采用刚性及弹性系数大的合成树脂等的材料来形成。
振动板922的周缘部经由接合件93而能振动地安装于筐体主体921。接合件93由比振动板922更柔软且容易变形的材料形成，与振动板922相比，杨氏模量、刚性率、体积弹性系数等弹性系数或刚性小。即，接合件93能变形，在施加了相同的力时比振动板922更大地变形。
接合件93既可以是单个的部件，也可以是由几个部件构成的复合体。作为这种接合件93，例如可以优选地采用在由无纺布等构成的基材的双面附着了粘接剂的双面胶带等。接合件93的厚度被设定为：如果过厚、则振动不被衰减，例如设定为0.1mm～0.6mm。其中，本实用新型的便携式终端中并未对接合件93的材质加以限定，接合件93也可以由比振动板922硬且难以变形的材料形成。再有，根据情况的不同，也可以是不具有接合件93的构成。
作为电子电路(未图示)，例如可例示对显示器91所显示的图像信息或通过便携式终端传递的声音信息进行处理的电路、或者通信电路等。既可以是这些电路的至少1个，也可以包含所有的电路。另外，也可以是具有其他功能的电路。进而，也可以具有多个电子电路。此外，通过未图示的连接用布线来连接电子电路与压电促动器1。
显示器91是具有显示图像信息的功能的显示装置，例如可以优选地采用液晶显示器、等离子显示器及有机EL显示器等已知的显示器。另外，显示器91也可以是具有触摸面板这样的输入装置的构成。再有，显示器91的盖体(振动板922)也可以具有触摸面板这样的输入装置。进而，也可以使显示器91整体或显示器91的一部分作为振动板发挥功能。
还有，本实用新型的便携式终端的特征在于，显示器91或筐体92可产生通过耳朵的软骨或空气传导来传递声音信息的振动。本例的便携式终端使振动板(显示器91或筐体92)直接接触耳朵或经由其他物体来接触耳朵，通过向耳朵的软骨传递振动，从而可以传递声音信息。即，使振动板(显示器91或筐体92)直接或间接地与耳朵接触，向耳朵的软骨传递振动，从而可以传递声音信息。由此，可以获得例如即便在周围吵闹时也能够传递声音信息的便携式终端。另外，介于振动板(显示器91或筐体92)与耳朵之间的物体例如既可以是便携式终端的盖体，也可以是头戴式耳机或普通耳机，只要是能够传递振动的物体，什么都可以。还有，也可以是通过在空气中传播从振动板(显示器91或筐体92)产生的声音，从而传递声音信息的便携式终端。另外，也可以是经由多个路径来传递声音信息的便携式终端。
本例的便携式终端因为利用可有效地使振动产生的压电促动器1来传递声音信息，所以可以传递高品质的声音信息。
【实施例】
对本实用新型的压电促动器的具体例进行说明。具体是，如下所示地制作出图1所示的压电促动器。
压电元件是长度为23.5mm、宽度为3.3mm、厚度为0.5mm的长方体状。再有，压电元件作成厚度为30μm的压电体层与内部电极被交替地层叠的构造，压电体层的总数设为16层。压电体层由钛酸锆酸铅形成。内部电极利用了银钯的合金。
在将印刷有由银钯构成的导电性膏剂的陶瓷生片层叠后，进行加压密接，在规定的温度下进行了脱脂后，在1000℃进行烧成，由此获得了层叠烧结体。
然后，将层叠烧结体放入混合了氧化铝磨料与玻璃珠及水而成的研磨液中，旋转混合10小时，对角部实施了R面加工。所获得的压电元件在所有角部都平均形成0.08mm的R面。
然后，比内部电极更靠两端地印刷了表面电极，使得每1mm地变长。
而且，经由表面电极向内部电极间(第1极间、第2极间)施加2kV/mm的电场强度的电压，对压电元件实施了极化。
然后，在与挠性基板接合的压电元件的表面涂敷形成作为导电粒子而包含有镀金的树脂球的导电性粘接剂，在使挠性基板抵接的状态下加热加压，由此将挠性基板导通并固定到压电元件，制作出本实用新型实施例的压电促动器(样本No.1)。另外，样本No.1的挠性基板在与压电元件接合的部分及其近旁0.3mm并未被施以被覆薄膜。
还有，作为比较例，制作出除了未实施倒角加工以外为上述样本No.1相同的构成的本实用新型的范围外的压电促动器(样本No.2)。
而且，针对各个压电促动器，在经由挠性基板而以1kHz的频率向压电元件施加有效值±10Vrms的正弦波信号并进行了驱动试验时，对于样本No.1、2来说都能得到弯曲振动。
然后，在连续地施加10万周期的正弦波信号并进行了驱动试验时，本实用新型的范围外的样本No.2产生异常振动，在9万周期内挠性基板从压电元件被剥离。
另一方面，本实用新型的样本No.1的压电促动器即便经过了10万周期后也不会产生异常振动，能继续驱动。再有，在对挠性基板进行连接固定的导电性粘接剂中未发现裂缝或裂纹等，未发现挠性基板的剥离。
接着，如图7所示，进行了挠性基板的90度反复弯曲试验。具体是，反复进行以下动作：在将100g的锤64悬挂于挠性基板6的连接器侧(与压电元件10相反侧的端部)的状态下，使压电元件10旋转90度，然后恢复至原来的状态。
结果，在被挠性基板覆盖的压电元件的角部未被倒角的No.2的压电促动器中，反复5次时挠性基板的布线导体会断线。另一方面，在本实用新型的实施例、即No.1的压电促动器中，即便反复10次，布线导体也没有断线。
-符号说明-
1：压电促动器
10：压电元件
11：倒角部
2：内部电极
21：第1极
22：第2极
3：压电体层
4：层叠体
5：表面电极
51：第1表面电极
52：第2表面电极
53：第3的表面电极
6：挠性基板
61：布线导体
62：基底薄膜
63：被覆薄膜
7：各向异性导电材料
81：振动板
82：接合部件
91：显示器
92：筐体
921：筐体主体
922：振动板
93：接合件

Claims (9)

1.一种压电促动器，其特征在于，具有： 
压电元件，其具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体、和在该层叠体的一主面上与所述内部电极电连接的表面电极；和 
挠性基板，其一部分经由导电性接合部件与所述一主面接合，且该挠性基板具备与所述表面电极电连接的布线导体， 
由所述挠性基板覆盖的所述压电元件的角部被倒角。 
2.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于， 
在所述压电元件的被倒角的所述角部与所述挠性基板之间填充有所述导电性接合部件。 
3.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于， 
所述挠性基板具备基底薄膜、布线导体及被覆薄膜， 
所述布线导体与所述表面电极经由所述导电性接合部件而被接合，并且所述导电性接合部件延伸设置于所述被覆薄膜侧。 
4.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于， 
所述挠性基板具备基底薄膜、布线导体及被覆薄膜， 
所述布线导体与所述表面电极经由所述导电性接合部件而被接合，并且所述导电性接合部件从所述压电元件的被倒角的所述角部延伸设置到所述被覆薄膜。 
5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电促动器，其特征在于， 
所述导电性接合部件为各向异性导电材料。 
6.一种压电振动装置，其特征在于，具有： 
权利要求1至5中任一项所述的压电促动器；和 
被接合于所述压电元件的所述另一主面的振动板。 
7.根据权利要求6所述的压电振动装置，其特征在于， 
利用能变形的接合部件来接合所述压电促动器与所述振动板。 
8.一种便携式终端，其特征在于， 
具有：权利要求1至5中任一项所述的压电促动器、电子电路、显示器和筐体， 
所述压电促动器的另一主面被接合于所述显示器或所述筐体。 
9.根据权利要求8所述的便携式终端，其特征在于， 
利用能变形的接合部件来接合所述压电促动器与所述显示器或所述筐体。 
CN201290001251.6U 2012-05-14 2012-08-31 压电促动器、压电振动装置及便携式终端 Expired - Fee Related CN204130594U (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012-111024 2012-05-14
JP2012111024 2012-05-14
PCT/JP2012/072200 WO2013171914A1 (ja) 2012-05-14 2012-08-31 圧電アクチュエータ、圧電振動装置および携帯端末

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN204130594U true CN204130594U (zh) 2015-01-28

Family

ID=49583352

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201290001251.6U Expired - Fee Related CN204130594U (zh) 2012-05-14 2012-08-31 压电促动器、压电振动装置及便携式终端

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5566533B2 (zh)
KR (1) KR101607168B1 (zh)
CN (1) CN204130594U (zh)
TW (1) TWI501433B (zh)
WO (1) WO2013171914A1 (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1192311A (ja) * 1997-07-25 1999-04-06 Ishihara Sangyo Kaisha Ltd 無定形ベンゾイルウレア及びそれを有効成分とする温血動物の寄生虫防除剤
JP6219694B2 (ja) * 2013-11-26 2017-10-25 リンテック株式会社 圧電フィルム用両面粘着シート、圧電フィルム積層体および電子機器
JP6193748B2 (ja) * 2013-12-05 2017-09-06 京セラ株式会社 圧電アクチュエータおよびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、電子機器
JP6215746B2 (ja) * 2014-03-26 2017-10-18 京セラ株式会社 音響発生器およびこれを備えた音響発生装置、電子機器、携帯端末
EP3879590A4 (en) 2018-11-08 2021-12-29 FUJIFILM Corporation Laminated piezoelectric element and electro-acoustic transducer
JP7200839B2 (ja) * 2019-06-18 2023-01-10 Tdk株式会社 圧電デバイス

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2602402Y2 (ja) * 1992-12-17 2000-01-17 株式会社大真空 圧電トランス
DE60044666D1 (de) * 1999-10-01 2010-08-26 Ngk Insulators Ltd Piezoelektrisches/elektrostriktives bauelement und verfahren zu dessen herstellung
JP4955962B2 (ja) * 2004-08-31 2012-06-20 京セラ株式会社 圧電アクチュエータおよびその製造方法
JP2007264095A (ja) * 2006-03-27 2007-10-11 Canon Inc 振動板及び振動波駆動装置
JP2007281226A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 Kyocera Corp 圧電アクチュエータ
JP5506009B2 (ja) * 2007-02-27 2014-05-28 キヤノン株式会社 圧電素子およびその製造方法、振動板ならびに振動波駆動装置
JP2010062494A (ja) * 2008-09-08 2010-03-18 Seiko Epson Corp フレキシブル回路基板およびその製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、半導体装置
JP5675137B2 (ja) * 2010-03-23 2015-02-25 キヤノン株式会社 振動装置に用いられる圧電素子、振動装置、及び振動装置を有する塵埃除去装置
US9007320B2 (en) * 2010-10-27 2015-04-14 Kyocera Corporation Electronic equipment and mobile terminal provided with same

Also Published As

Publication number Publication date
TWI501433B (zh) 2015-09-21
WO2013171914A1 (ja) 2013-11-21
TW201401590A (zh) 2014-01-01
KR20140099562A (ko) 2014-08-13
JPWO2013171914A1 (ja) 2016-01-07
KR101607168B1 (ko) 2016-03-29
JP5566533B2 (ja) 2014-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN204577470U (zh) 压电致动器、压电振动装置及便携式终端
CN204130594U (zh) 压电促动器、压电振动装置及便携式终端
CN103534828B (zh) 压电促动器、压电振动装置及便携式终端
CN103534827B (zh) 压电促动器、压电振动装置及便携终端
KR101571451B1 (ko) 압전 액츄에이터, 압전 진동 장치 및 휴대 단말
CN103947225A (zh) 压电振动元件、压电振动装置及移动终端
JP5788110B2 (ja) 圧電素子ならびにこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、音響発生装置および電子機器
CN204170914U (zh) 压电致动器、压电振动装置以及便携式终端
WO2013171918A1 (ja) 圧電アクチュエータ、圧電振動装置および携帯端末
WO2014050240A1 (ja) 圧電アクチュエータ、圧電振動装置および携帯端末
JP6193748B2 (ja) 圧電アクチュエータおよびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、電子機器
CN104285309B (zh) 压电元件以及具备其的压电振动装置、便携式终端、音响发生器、音响发生装置及电子设备

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20150128

Termination date: 20210831

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee