CN203498492U - 一种微细孔板电铸装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种微细孔板电铸装置，包括电铸箱，其特征在于，所述电铸箱内设有作为阳极的金属板，以及作为阴级的芯模，所述电铸箱上还连接有真空抽气装置。电铸时，电铸箱中电解液中的金属阳离子获得电子沉积在阴极的芯模上，与此同时，阳极金属在电场的作用下失去电子进入电解液使电解液中金属阳离子的浓度达到平衡，这样随着时间的推延，芯模上金属沉积层就会越来越厚，最终达到所需要的厚度。通过真空抽气装置对微细电铸环境进行封闭并抽气至负压条件。降低微细电铸环境的大气压力，有利于溶液中氢气泡的析出，减少针孔等沉积缺陷产生的几率和数量，提高电铸效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种电铸装置，尤其是微细孔板的电铸装置。
背景技术
电铸是利用金属的电解沉积原理来精确复制某些复杂或特殊形状工件的特种加工方法。具体步骤是把预先按所需形状制成的电铸模作为阴级，用电铸材料作为阳极，一同放入与阳极材料相同的金属盐溶液中，通以直流电。在电解作用下，电铸模表明逐渐沉积出金属电铸层，达到所需的厚度后从溶液中取出，将电铸层与原模分离，便获得与原模形状相对应的金属复制品。
具有大深宽比微沟槽结构的微细孔板的电铸是目前微细加工领域的一个工艺难点，采用常规电铸方法很难获得质量优异的电铸器件，问题的根本主要在于大深宽比结构深沟槽中电沉积反应物质传输严重受阻，容易产生针孔等沉积缺陷。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高微细孔板电铸效果的电铸装置。
为解决上述问题，本实用新型提供了一种微细孔板电铸装置，包括电铸箱，其特征在于，所述电铸箱内设有作为阳极的金属板，以及作为阴级的芯模，所述电铸箱内还设有真空抽气装置。
作为本实用新型的进一步改进，所述真空抽气装置为单级旋片式真空泵。
作为本实用新型的进一步改进，所述真空抽气装置与电铸箱之间还连接有抽气过滤器。
作为本实用新型的进一步改进，所述电铸箱上还连接有真空表。
作为本实用新型的进一步改进，所述金属板为镍板。
作为本实用新型的进一步改进，所述电铸箱上方还设有透明观察板。
本实用新型的有益效果在于，电铸时，电铸箱中电解液中的金属阳离子获得电子沉积在阴极的芯模上，与此同时，阳极金属在电场的作用下失去电子进入电解液使电解液中金属阳离子的浓度达到平衡，这样随着时间的推延，芯模上金属沉积层就会越来越厚，最终达到所需要的厚度。通过真空抽气装置对微细电铸环境进行封闭并抽气至负压条件。降低微细电铸环境的大气压力，有利于溶液中氢气泡的析出，减少针孔等沉积缺陷产生的几率和数量，提高电铸效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
其中：真空抽气装置-2；电铸箱-4；真空表-6；8-芯模；10-金属板；12-抽气过滤器。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
如图1所示，本实用新型一种微细孔板电铸装置，包括电铸箱4，其特征在于，电铸箱4内设有作为阳极的金属板10，以及作为阴级的芯模8，电铸箱4内还设有真空抽气装置2。电铸时，电铸箱4中电解液中的金属阳离子获得电子沉积在阴极的芯模8上，与此同时，阳极金属在电场的作用下失去电子进入电解液使电解液中金属阳离子的浓度达到平衡，这样随着时间的推延，芯模8上金属沉积层就会越来越厚，最终达到所需要的厚度。通过真空抽气装置2对微细电铸环境进行封闭并抽气至负压条件。降低微细电铸环境的大气压力，有利于溶液中氢气泡的析出，减少针孔等沉积缺陷产生的几率和数量，提高电铸效果。这是因为，对于某一特定的氢气泡而言，降低电铸环境的大气压力，会使得气泡内压力大于气泡受外界压缩的压力，氢气泡就会膨胀，当气泡膨胀到一定程度，就可能破灭；同时，氢气泡所受的浮力随着气泡体积的膨胀而增大，这将更有利于气泡挣脱沉积表面而加速漂浮排出。
进一步的，真空抽气装置2为单级旋片式真空泵，真空泵抽气的最大真空度为0.055MPa，在本实用新型中，单级旋片式真空泵30s 左右使电铸箱4内真空度达到0.05Mpa。
进一步的，真空抽气装置与电铸箱4之间还连接有抽气过滤器12。因为在电铸过程中，电铸液的挥发量很大，抽取的气体中含有大量的水分，这对于真空泵的长时间运行会造成很大的危害，因此有必要在真空抽气装置与电铸箱4之间添加抽气过滤器12，以去除气体中的绝大部分水汽，实现对抽取气体的干燥和过滤。
进一步的，电铸箱4上还连接有真空表6，用于测量电铸箱4内的气压。
进一步的，金属板10为镍板。采用金属镍是因为镍在空气中或在潮湿的空气中比铁稳定的多，而且在空气中很容易形成透明的钝化膜而不在继续被氧化，能够保持经久不变的光泽。另外，金属镍具有良好的塑性与较高的硬度，镍的耐蚀性也好，在有机酸中很稳定。
进一步的，电铸箱4上方还设有透明观察板。便于观察电铸箱4内的情况。
以上依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
Claims (6)
1.一种微细孔板电铸装置，包括电铸箱，其特征在于，所述电铸箱内设有作为阳极的金属板，以及作为阴级的芯模，所述电铸箱上还连接有真空抽气装置。
2.根据权利要求1所述的一种微细孔板电铸装置，其特征在于：所述真空抽气装置为单级旋片式真空泵。
3.根据权利要求2所述的一种微细孔板电铸装置，其特征在于：所述真空抽气装置与电铸箱之间还连接有抽气过滤器。
4.根据权利要求2所述的一种微细孔板电铸装置，其特征在于：所述电铸箱上还连接有真空表。
5.根据权利要求1所述的一种微细孔板电铸装置，其特征在于：所述金属板为镍板。
6.根据权利要求1所述的一种微细孔板电铸装置，其特征在于：所述电铸箱上方还设有透明观察板。
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| CN201320309512.7U CN203498492U (zh) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 一种微细孔板电铸装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103276417A (zh) * | 2013-05-31 | 2013-09-04 | 苏州市金翔钛设备有限公司 | 一种微细孔板电铸装置 |
| CN111411380A (zh) * | 2020-04-15 | 2020-07-14 | 安徽大地熊新材料股份有限公司 | 一种电镀工艺 |
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2013
- 2013-05-31 CN CN201320309512.7U patent/CN203498492U/zh not_active Expired - Fee Related
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