CN203403149U - 一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块 - Google Patents

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赖善春
杜甫
包立强
蒋新波
刘志标
周建
年志刚
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Guangdong Hanergy Thin Film Solar Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，包括压块主体，所述压块主体上设有安装孔，其特征在于：所述压块主体顶部设有斜坡，压块主体底部设有用于固定矩形平面靶材的阶梯。本实用新型可在现有压块的基础上加工而成，结构简单，制作方便，生产成本低，能保障靶材安装结构的稳定性，并有效防止靶材出现短路故障现象。

Description

一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射技术领域，尤其是一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块。
背景技术
磁控溅射技术是利用磁场与电场交互作用，使电子在靶材表面附近成螺旋状运行并撞击工作气体（如氩气）产生离子，同时所产生的离子在电场作用下撞向靶材表面从而溅射出靶材粒子。
在水平连续式镀膜线中，是通过压块来固定靶材的，现有压块的结构如图1所示，在压块主体11上设有安装孔12和斜坡13，斜坡13表面和压块主体11上表面均为平面，且夹角约为42°。将这种压块应用于磁控溅射当中，则靶材溅射区域的基本结构如图2所示，是在底座6四周设有阳极侧边屏蔽固定板7，阳极侧边屏蔽固定板7上设有阳极屏蔽板8，底座6顶部依次设有铁氟龙绝缘层5和压块固定座2，压块固定座2顶部设有压块1，压块固定座2内设有铜质水槽座3和磁钢，铜质水槽座3顶部设有靶材4，靶材4为矩形平面靶材4，靶材4边上被压块1固定。
但在如图2所示的结构设计下，靶材1的阴、阳极容易发生短路故障，原因在于：
1. 被工作气体离子溅射出来的少部分靶材4的粒子因为碰撞的作用而往靶材4的阴、阳极之间的区域迁移，因此该少部分粒子沉积在压块1及阳极屏蔽板8的水平表面，随着溅射的持续，就形成了钟乳状毛刺，从而改变水平方向极间间距81，当该间距小于安全参考间隙时，发生极间短路并导致溅射中断；
2. 由于磁控溅射高速溅射的特点，在使用时靶材4表面产生的热量会引起靶材4的热变形进而使得压块1的侧边与阳极侧边屏蔽固定板7发生热应变，加上绕镀在前二者竖直方向表面的镀层9，使得竖直方向极间间距71减小，当该间距小于安全参考数值时，发生极间短路并导致溅射中断。
在企业应用基于上述结构的磁控溅射镀膜设备进行生产时，如果靶材中途发生短路故障，就会使连续性生产被迫中止，从而造成巨大的经济损失。
发明内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，具有结构简单和制作方便的特点，并有效防止靶材出现短路故障现象。
本实用新型的技术方案为：一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，包括压块主体，所述压块主体上设有安装孔，其特征在于：所述压块主体顶部设有斜坡，压块主体底部设有用于固定矩形平面靶材的阶梯。
所述压块主体顶部上表面为平面，斜坡表面为平面，斜坡表面与顶部上表面之间的夹角为28°-32°，优选为30°。
所述阶梯上设有内角，内角不小于90°，优选为90°。
本实用新型的有益效果为：
1.  压块可在现有磁控溅射矩形平面靶材压块的基础上加工而成，结构简单，制作方便，生产成本低；
2.  通过在压块上制作出用于固定矩形平面靶材的阶梯，能进一步保障压块、压块固定座和靶材的安装结构的稳定性；
3.  通过在压块主体顶部设有斜坡，且使斜坡表面与顶部上表面之间的夹角较小，实际上会增大靶材离子在压块上的累积空间，从而能增加水平方向极间间距的最小值，防止极间短路和溅射中断；
4.  通过在压块上设置阶梯，既能显著增加水平方向极间间距的最小值，还能显著增加竖直方向极间间距的最小值，有效地防止极间短路和溅射中断。
附图说明
图1为现有磁控溅射矩形平面靶材压块的结构示意图；
图2为现有磁控溅射矩形平面靶材压块的使用效果图；
图3为本实用新型所述的磁控溅射矩形平面靶材防短路压块的结构示意图；
图4为本实用新型所述的磁控溅射矩形平面靶材防短路压块的使用效果图。
图中，1-压块，2-压块固定座，3-铜质水槽座，4-靶材，5-铁氟龙绝缘层，6-底座，7-阳极侧边屏蔽固定板，8 -阳极屏蔽板，9-镀层，11-压块主体，12-安装孔，13-斜坡，14-阶梯， 71-竖直方向极间间距，81-水平方向极间间距。 
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明：
如图3所示，一种磁控溅射矩形平面靶材4防短路压块1，包括压块主体11，在压块主体11上设有安装孔12，压块主体11顶部设有斜坡13，压块主体11顶部上表面为平面，斜坡13表面为平面，斜坡13表面与顶部上表面之间的夹角为30°，压块主体11底部设有用于固定矩形平面靶材4的阶梯14，阶梯14上设有90°内角。
具体实施时，如图4和图3所示，在底座6四周设有阳极侧边屏蔽固定板7，阳极侧边屏蔽固定板7上设有阳极屏蔽板8，底座6顶部依次设有铁氟龙绝缘层5和压块固定座2，压块固定座2顶部设有压块1，压块固定座2内设有铜质水槽座3和磁钢，铜质水槽座3顶部设有靶材4，靶材4为矩形平面靶材4，靶材4边上被压块1固定，压块1上设有相应形状的斜坡13和阶梯14，因而保证了压块1和靶材4安装结构的稳定性，同时也增加了水平方向极间间距81和竖直方向极间间距71的最小值，有效防止靶材4出现短路故障现象。
上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理和最佳实施例，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (3)

1.一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，包括压块主体，所述压块主体上设有安装孔，其特征在于：所述压块主体顶部设有斜坡，压块主体底部设有用于固定矩形平面靶材的阶梯。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，其特征在于：所述压块主体顶部上表面为平面，斜坡表面为平面，斜坡表面与顶部上表面之间的夹角为28°-32°。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，其特征在于：所述阶梯上设有内角，内角不小于90°。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106011770A (zh) * 2016-08-02 2016-10-12 江苏宇天港玻新材料有限公司 一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩
CN111593307A (zh) * 2019-02-20 2020-08-28 广东汉能薄膜太阳能有限公司 一种磁流体端头及磁控溅射靶

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