CN203402689U - 移载装置 - Google Patents

Abstract

一种移载装置，适于输送一基板，并包含一基座及一第一移载机构。该基座包括一呈水平延伸的轨道。该第一移载机构包括一第一移载单元、一呈垂直延伸并位于该轨道下方的第一轨道、一滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动的第一垂直滑移件，及一第一刚性风管组。该第一移载单元具有一滑接于轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件，一第一连接件，一第一驱动马达，及一与第一水平滑移件间隔设置且用于吸附基板的第一吸盘。第一水平滑移件带动第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于第一位置，第一吸盘吸附基板，于第二位置，基板脱离第一吸盘。本移载装置具有刚性风管组，不易变形，运作时不易产生粉尘，曝光制程良好。

Description

移载装置

技术领域

本实用新型涉及一种移载装置，特别是涉及一种能够稳固的带动待曝光基板移动的移载装置。

背景技术

现有的曝光机适于对一基板进行曝光，该基板为一待曝光基板。曝光机的移载装置，是通过一入料的移载机构，将一基板并移载至一曝光平台，基板在曝光平台完成曝光后，由一出料的移载机构，将基板移至下一道制程。入料的移载机构及出料的移载机构皆是通过带动软性管，才能完成移动。然而，软性管在移动过程中，软性管产生变形并造成摩擦，进而产生粉尘，更进一步影响曝光制程。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种运作时，不易产生粉尘的移载装置。

于是，本实用新型移载装置，适于输送一基板，该移载装置包含：

一基座，包括一呈水平延伸的轨道，该轨道具有两个位于相反侧的末端；及

一第一移载机构，包括

一第一移载单元，具有一滑接于该轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件、一连设于该第一水平滑移件的第一连接件、一设置于该第一水平滑移件的第一驱动马达，及一与该第一水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第一吸盘；

一第一轨道，呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间；

一第一垂直滑移件，滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动；及

一第一刚性风管组，包括一枢接于该第一连接件的第一端，及一枢接于该第一垂直滑移件的第二端，

该第一水平滑移件带动该第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于该第一位置，该第一吸盘吸附该基板，于该第二位置，该基板脱离该第一吸盘。

较佳地，其中，该第一刚性风管组具有一枢接于该第一连接件的第一旋转接头、一枢接于该第一垂直滑移件的第一接头，及一连接于该第一旋转接头与该第一接头的第一刚性风管，该第一端是位于该第一旋转接头，该第二端是位于该第一接头。

较佳地，其中，该第一轨道为一导轨，该第一垂直滑移件为一导块。

较佳地，其中，该第一轨道为一滑轨，该第一垂直滑移件为一滑块。

较佳地，其中，该第一吸盘具有一第一吸附面，及多个彼此相间隔且自该第一吸附面凹陷形成的第一吸气孔。

较佳地，该移载装置还包含一第二移载机构，该第一移载机构与该第二移载机构分别左右设置该基座的两相对位置，该第二移载机构包括一第二移载单元、一第二轨道、一第二垂直滑移件，及一第二刚性风管组，该第二移载单元具有一滑接于该轨道的第二水平滑移件、一连设于该第二水平滑移件的第二连接件、一设置于该第二水平滑移件的第二驱动马达，及一与该第二水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第二吸盘，该第二水平滑移件相对于该第一水平滑移件一侧设置并沿该水平方向相对该轨道滑动，该第二轨道呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间，该第二垂直滑移件滑接于该第二轨道并沿该垂直方向相对该第二轨道滑动，该第二刚性风管组包括一枢接于该第一连接件的第三端，及一枢接于该第二垂直滑移件的第四端，该第二水平滑移件带动该第二吸盘在该第二位置及一第三位置间移动，于该第二位置，该第二吸盘吸附该基板，于该第三位置，该基板脱离该第二吸盘。

较佳地，其中，该第二刚性风管组具有一枢接该第二连接件的第二旋转接头、一枢接于该第二垂直滑移件的第二接头，及一连接于该第二旋转接头与该第二接头的第二刚性风管，该第三端是位于该第二旋转接头，该第四端是位于该第二接头。

较佳地，其中，该第二轨道为一导轨，该第二垂直滑移件为一导块。

较佳地，其中，该第二轨道为一滑轨，该第二垂直滑移件为一滑块。

较佳地，其中，该第二吸盘具有一第二吸附面，及多个彼此相间隔且自该第二吸附面凹陷形成的第二吸气孔。

本实用新型的有益效果在于：通过第一移载机构的第一刚性风管在第一位置及第二位置间移动时，及第二移载机构的第二刚性风管在第二位置及第三位置间移动时，不产生变形而能维持刚性，不易发生摩擦，降低产生粉尘机率，而保有良好的曝光制程。

附图说明

图1是一立体图，说明本实用新型移载装置的一较佳实施例；

图2是一另一角度的立体图，说明该较佳实施例；

图3是一示意图，说明该较佳实施例与一曝光平台；

图4是一放大示意图，说明该较佳实施例的其中一第一吸盘；

图5是一放大示意图，说明该较佳实施例的其中一第二吸盘；

图6是一动作示意图，说明于一第一位置，二第一吸盘吸附一基板；

图7是一对应图6的侧视图；

图8是一动作示意图，说明由该第一位置移动至一第二位置时，一第一垂直滑移件相对一第一轨道滑动关系；

图9一动作示意图，说明该第二位置，该基板准备脱离二第一吸盘而置于该曝光平台；

图10是一对应图9的侧视图；

图11是一动作示意图，该第一移载机构回到该第一位置；

图12是一动作示意图，说明于该第二位置，二第二吸盘吸附该基板；及

图13是一动作示意图，说明于一第三位置，该基板脱离二第二吸盘。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

参阅图1、图2与图3，本实用新型移载装置之一较佳实施例，移载装置包含一第一移载机构1、一第二移载机构2与一基座3，移载装置应用在曝光机且适于输送一基板4(见图6)，曝光机包含一曝光平台5，该基板4为一待曝光基板，移载装置不仅是应用在曝光机，也可应用在任何需要输送基板4的工具机(图末示)。需说明的是，图1与图2中为了方便了解移载装置的结构，隐藏了曝光平台5的结构。

基座3包括二前后间隔且呈水平延伸的轨道31，各轨道31具有两个位于相反侧的末端311。第一移载机构1与第二移载机构2分别左右设置基座3的两相对位置。第一移载机构1相对曝光平台5而言，为入料的移载机构，第二移载机构2为出料的移载机构。也就是基板4由第一移载机构1依序输送至曝光平台5，及第二移载机构2。曝光平台5可受驱动沿垂直方向作升降移动，曝光平台5的结构及作动原理属现有技艺，在此不再详细介绍。

第一移载机构1包括一第一移载单元11、一第一轨道12、一第一垂直滑移件13，及一第一刚性风管组14。第一移载单元11具有二分别滑接于二轨道31并分别沿一水平方向相对二轨道31滑动的第一水平滑移件110、一连设于二第一水平滑移件110的第一连接件111、一设置于二第一水平滑移件110之间的第一驱动马达112、一连接二第一水平滑移件110上方且设置于第一连接件111的一侧的第一移载本体113，及二与二第一水平滑移件110相间隔且位于第一移载本体113下方且用于吸附基板4的第一吸盘114。第一轨道12呈垂直延伸，并位于轨道31下方，且介于两末端311之间。第一垂直滑移件13滑接于第一轨道12并沿一垂直方向相对第一轨道12滑动。第一刚性风管组14包括一枢接于第一连接件111的第一端141，及一枢接于第一垂直滑移件13的第二端142。

具体来说，第一刚性风管组14具有一枢接于第一连接件111的第一旋转接头143、一枢接于第一垂直滑移件13的第一接头144，及一连接于第一旋转接头143与第一接头144的第一刚性风管145，第一端141是位于第一旋转接头143，第二端142是位于第一接头144。如图4所示，各第一吸盘114具有一远离第一移载本体113的第一吸附面115，及多个彼此相间隔且自第一吸附面115凹陷形成的第一吸气孔116(图4仅示意其中一第一吸盘114及部分的第一吸气孔116)。各第一吸盘114以管路连通第一连接件111。

参阅图1与图2，为了提升移载基板4的效率，而设置了第二移载机构2，且第二移载机构2与第一移载机构1的结构大致相同。第二移载机构2包括一第二移载单元21、一第二轨道22、一第二垂直滑移件23，及一第二刚性风管组24。第二移载单元21具有二分别滑接于二轨道31并分别沿一水平方向相对二轨道31滑动的第二水平滑移件210、一连设于二第二水平滑移件210的第二连接件211、一设置于二第二水平滑移件210之间的第二驱动马达212、一连接二第二水平滑移件210上方且设置于第二连接件211的一侧的第二移载本体213，及二与二第二水平滑移件210相间隔且位于第二移载本体213下方并用于吸附基板4的第二吸盘214。第二轨道22呈垂直延伸，并位于轨道31下方，且介于两末端311之间。第二垂直滑移件23滑接于第二轨道22并沿一垂直方向相对第二轨道22滑动。第二刚性风管组24包括一枢接于该第二连接件211的第三端241，及一枢接于该第二垂直滑移件23的第四端242。

具体来说，第二刚性风管组24具有一枢接于第二连接件211的第二旋转接头243、一枢接于第二垂直滑移件23的第二接头244，及一连接于第二旋转接头243与第二接头244的第二刚性风管245。第三端241是位于第二旋转接头243，第四端242是位于第二接头244。如图5所示，各第二吸盘214具有一远离第二移载本体213的第二吸附面215，及多个彼此相间隔且自第二吸附面215凹陷形成的第二吸气孔216(图5仅示意其中一第二吸盘214及部分的第二吸气孔216)。各第二吸盘214亦以管路连通第二连接件211。

参阅图1与图2，需说明的是，第一刚性风管145及第二刚性风管245是提供吸附力来源的气体的流道，第一接头144及第二接头244是属于一般接头，并分别还连接其它的进气管，以作为气体来源。在本实施例中，第一刚性风管145及第二刚性风管245为金属材质制成，但不以此为限，第一刚性风管145及第二刚性风管245也可为高硬度材质制成。第一刚性风管组14及第二刚性风管组24为适应长期性的旋转，于第一旋转接头143与第一刚性风管145及第二旋转接头243与第二刚性风管245之间分别装设有迫紧组件(packing，图未示)。

再者，第一轨道12及第二轨道22彼此左右相间隔，且分别固定于一固定处(图未示)。第一轨道12及第二轨道22分别为导轨，第一垂直滑移件13及第二垂直滑移件23分别为导块。较佳者，二轨道31、第一轨道12及第二轨道22分别为滑轨，第一垂直滑移件13及第二垂直滑移件23分别为滑块，而滑轨与滑块的配合，可使第一轨道12、第一垂直滑移件13及第二轨道22、第二垂直滑移件23在往复作动中，摩擦阻力最小，以及不需像导块与导轨，在往复作动时会不顺畅，需加油润滑。须补充说明的是，在本实施例移载装置是以二轨道31、二第一水平滑移件110、第一驱动马达112、二第二水平滑移件210，及一第二驱动马达212举例说明，也就是双侧式线性马达的态样，但不以此为限，一轨道31、一第一水平滑移件110、第一驱动马达112、一第二水平滑移件210，及一第二驱动马达212也可实施，也就是单侧式线性马达的态样。

另一方面，在移动过程中，二第一吸盘114及二第二吸盘214的吸附力能稳固地进行基板4的输送，避免在输送过程中基板4因风阻的影响而与二第一吸盘114的第一吸附面115及二第二吸盘214的第二吸附面215分离。且第一吸盘114、第二吸盘214的数量不以两个为限，也可各为一个，当然也视实际需求调整数量。

以下说明本实施例移载装置的移载基板4的操作过程：

参阅图6至图10，二第一水平滑移件110(见图1)带动第一吸盘114在一第一位置及一第二位置间移动。参阅图6与图7，于第一位置，二第一吸盘114吸附基板4。也就是第一移载机构1的二第一吸盘114的所述第一吸气孔116(见图4)会产生吸力，使基板4吸附在二第一吸附面115。参阅图8至图10，第一驱动马达112驱动二第一水平滑移件110沿箭头I方向往曝光平台5移动，并带动第一吸盘114沿二轨道31作水平方向滑移，二第一水平滑移件110还带动第一刚性风管组14摆动，第一旋转接头143会相对第一连接件111旋转，使第一垂直滑移件13沿第一轨道12作垂直方向滑移。

更具体来说，一开始二第一水平滑移件110沿二轨道31水平移动时，第一刚性风管145邻近第一旋转接头143相对于邻近第一接头144处于左倾时，第一垂直滑移件13相对第一轨道12是向下移动。二第一水平滑移件110继续沿二轨道31水平移动时，使第一刚性风管145邻近第一旋转接头143相对于邻近第一接头144处于同一铅直线时，第一垂直滑移件13相对第一轨道12是位于低点。最后，二第一水平滑移件110还继续沿二轨道31水平移动时，第一刚性风管145邻近第一旋转接头143相对于邻近第一接头144处于右倾时，第一垂直滑移件13相对第一轨道12是向上移动。

接着将基板4输送至曝光平台5上方，也就是于第二位置，基板4脱离二第一吸盘114。此时二第一吸盘114的所述第一吸气孔116会停止吸气，以使基板4脱离二第一吸附面115并置于曝光平台5上，以进行曝光作业。而第一移载机构1会依前述步骤的反向操作，沿箭头II方向回到第一位置而等待吸附下一片基板4，如图11所示。

参阅图12与图13，当基板4的曝光作业完成后，第二移载机构2会类似第一移载机构1的操作方式，但是方向相反将基板4移出曝光平台5而至下一道制程，也就是第二水平滑移件210(见图2)带动二第二吸盘214在一第二位置及一第三位置间移动。如图12所示，第二水平滑移件210沿箭头III方向移至第二位置，二第二吸盘214吸附基板4；如图13所示，第二水平滑移件210沿箭头IV方向至第三位置，基板4脱离二第二吸盘214，继而基板4进入下一道制程。故第二移载机构2作动方式，在此不再详加说明。

参阅图6与图9，借由第一水平滑移件110带动第一吸盘114在第一位置及第二位置间移动，参阅图12与图13，及二第二水平滑移件210带动第二吸盘214在第二位置及第三位置间移动，来达成连续基板4的移载过程。由于本实施例的第一移载机构1的第一刚性风管145在第一位置及第二位置间移动时，及第二移载机构2的第二刚性风管245在第二位置及第三位置间移动时，相较于先前技术的软性管(图未示)不产生变形而能维持刚性，不易发生摩擦，降低产生粉尘机率，而保有良好的曝光制程。不仅如此第一刚性风管145及第二刚性风管245的耐用度远大于软性管(图未示)的耐用度，更能提高使用寿命。

综上所述，本实施例移载装置，通过第一移载机构1的第一刚性风管145在第一位置及第二位置间移动时，及第二移载机构2的第二刚性风管245在第二位置及第三位置间移动时，不产生变形而能维持刚性，不易发生摩擦，降低产生粉尘机率，而保有良好的曝光制程，故确实能达成本实用新型的目的。

Claims (10)

1.一种移载装置，适于输送一基板；其特征在于：该移载装置包含

一基座，包括一呈水平延伸的轨道，该轨道具有两个位于相反侧的末端；及

一第一移载机构，包括

一第一移载单元，具有一滑接于该轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件、一连设于该第一水平滑移件的第一连接件、一设置于该第一水平滑移件的第一驱动马达，及一与该第一水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第一吸盘；

一第一轨道，呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间；

一第一垂直滑移件，滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动；及

一第一刚性风管组，包括一枢接于该第一连接件的第一端，及一枢接于该第一垂直滑移件的第二端，

该第一水平滑移件带动该第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于该第一位置，该第一吸盘吸附该基板，于该第二位置，该基板脱离该第一吸盘。

2.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于：该第一刚性风管组具有一枢接于该第一连接件的第一旋转接头、一枢接于该第一垂直滑移件的第一接头，及一连接于该第一旋转接头与该第一接头的第一刚性风管，该第一端是位于该第一旋转接头，该第二端是位于该第一接头。

3.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于：该第一轨道为一导轨，该第一垂直滑移件为一导块。

4.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于：该第一轨道为一滑轨，该第一垂直滑移件为一滑块。

5.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于：该第一吸盘具有一第一吸附面，及多个彼此相间隔且自该第一吸附面凹陷形成的第一吸气孔。

6.根据权利要求1所述移载装置，还包含一第二移载机构，该第一移载机构与该第二移载机构分别左右设置该基座的两相对位置，该第二移载机构包括一第二移载单元、一第二轨道、一第二垂直滑移件，及一第二刚性风管组，该第二移载单元具有一滑接于该轨道的第二水平滑移件、一连设于该第二水平滑移件的第二连接件、一设置于该第二水平滑移件的第二驱动马达，及一与该第二水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第二吸盘，该第二水平滑移件相对于该第一水平滑移件一侧设置并沿该水平方向相对该轨道滑动，该第二轨道呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间，该第二垂直滑移件滑接于该第二轨道并沿该垂直方向相对该第二轨道滑动，该第二刚性风管组包括一枢接于该第一连接件的第三端，及一枢接于该第二垂直滑移件的第四端，该第二水平滑移件带动该第二吸盘在该第二位置及一第三位置间移动，于该第二位置，该第二吸盘吸附该基板，于该第三位置，该基板脱离该第二吸盘。

7.根据权利要求6所述移载装置，其特征在于：该第二刚性风管组具有一枢接该第二连接件的第二旋转接头、一枢接于该第二垂直滑移件的第二接头，及一连接于该第二旋转接头与该第二接头的第二刚性风管，该第三端是位于该第二旋转接头，该第四端是位于该第二接头。

8.根据权利要求6所述移载装置，其特征在于：该第二轨道为一导轨，该第二垂直滑移件为一导块。

9.根据权利要求6所述移载装置，其特征在于：该第二轨道为一滑轨，该第二垂直滑移件为一滑块。

10.根据权利要求6所述移载装置，其特征在于：该第二吸盘具有一第二吸附面，及多个彼此相间隔且自该第二吸附面凹陷形成的第二吸气孔。

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