CN203171886U - 用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具 - Google Patents

用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具 Download PDF

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王庆宏
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Abstract

用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,包括至少两组安装在机座上的支撑机构和至少两组安装在机座上的夹紧机构;所述的支撑机构包括安装在机座上的第一支撑板,在第一支撑板上排列有立板,每个立板中间有隔垫相隔,立板和隔垫由螺杆连接固定,在每个立板的上方设有尼龙块;所述的夹紧机构包括安装在机座上的第二支撑板,在第二支撑板上设有座体,在座体上安装有双向丝杆,与双向丝杆相配有一个左旋丝母和一个右旋丝母,左、右各一个夹爪分别与左旋丝母和右旋丝母固定连接,每个夹爪上端固定连接有尼龙垫。整体结构简单,动作灵活可靠,夹持稳定牢固,省时省力,提高了工件的装夹效率,降低了加工成本。

Description

用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具
技术领域
本实用新型涉及一种夹具,特别是一种用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,主要用于对硅材料进行切割时的装夹。
背景技术
单晶硅籽晶多线切割机是钢线高速运动,带动其上面喷淋的碳化硅砂浆中碳化硅微粒,对硅材料进行磨削切割的主要设备,切割时对硅材料的装夹十分重要,不但影响到切割质量,还关系到切割的效率。现有的夹具结构复杂,操作麻烦,费时费力。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、动作灵活可靠、夹持工件稳定牢固、装夹效率高的用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,克服现有技术的不足。
本实用新型的用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,包括至少两组安装在机座上的支撑机构和至少两组安装在机座上的夹紧机构;所述的支撑机构包括安装在机座上的第一支撑板,在第一支撑板上排列有立板,每个立板中间有隔垫相隔,立板和隔垫由螺杆连接固定,在每个立板的上方设有尼龙块;所述的夹紧机构包括安装在机座上的第二支撑板,在第二支撑板上设有座体,在座体上安装有双向丝杆,与双向丝杆相配有一个左旋丝母和一个右旋丝母,左、右各一个夹爪分别与左旋丝母和右旋丝母固定连接,每个夹爪上端固定连接有尼龙垫。
本实用新型的用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,其中所述的支撑机构为三组,所述的夹紧机构为两组并与支撑机构间隔设置;两端的支撑机构中的每个立板侧边有向上延伸部分,在延伸部分的上端分别设有左调整螺钉和右调整螺钉。
本实用新型的用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,所述的双向丝杆包括左旋丝杆和通过销连接的右旋丝杆,与右旋丝杆相配有右旋丝母,右旋丝母与右侧的夹爪固定连接并通过右轴承支撑在座体上;与左旋丝杆相配的左旋丝母与左侧的夹爪固定连接并通过左轴承支撑在座体上;两侧的夹爪与座体之间设有导向机构。
本实用新型的用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,整体结构简单,动作灵活可靠,夹持稳定牢固,省时省力,提高了工件的装夹效率,降低了加工成本。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式的结构示意图;
图2是图1所示的A-A向剖视示意图;
图3是图1所示的B-B断面示意图。
具体实施方式
如图1所示:本夹具包括三组安装在机座5上的支撑机构和两组安装在机座5上的夹紧机构。
如图1、2所示:支撑机构包括安装在机座5上的第一支撑板6,在第一支撑板6上排列有9个相互平行的立板24,每个立板24中间有隔垫9相隔,立板24和隔垫9由两根平行设置的螺杆10穿入连接固定。在每个立板24的上方设有粘接有尼龙块8。调整隔垫9的厚度可调整相邻立板24的间距。
如图1、3所示:夹紧机构包括安装在机座5上的第二支撑板4,在第二支撑板4上固定连接有座体17,在座体17上安装有双向丝杆,与双向丝杆相配有一个左旋丝母和一个右旋丝母,左、右各一个夹爪12分别与左旋丝母和右旋丝母固定连接,每个夹爪上端固定连接有尼龙垫11。其中双向丝杆包括左旋丝杆13和通过销19连接的右旋丝杆20。与右旋丝杆20相配有右旋丝母21,右旋丝母21与右侧的夹爪12固定连接并通过右轴承22支撑在座体17上。与左旋丝杆13相配的左旋丝母18与左侧的夹爪12固定连接并通过左轴承15支撑在座体17上,左轴承15的外侧有轴承外圈压盖16与座体17固定连接,左旋丝杆13上螺纹连接有压在轴承内圈上的两个锁紧螺母14。两侧的夹爪12与座体17之间设有导向机构,即通过导向套和导向杆的配合使相向移动时稳定平稳。
上述支撑机构和夹紧机构间隔设置。两端的支撑机构中的每个立板24侧边有向上延伸部分,在延伸部分的上端分别设有左调整螺钉1和右调整螺钉3用于对中间的工件2进行顶靠调整。在座体17的两侧通过螺钉固定连接有防护罩23。
被切工件(单晶硅棒)放置于支撑机构上的尼龙块8上,旋转丝杆,带动硅棒两侧的夹爪12同时向内移动夹紧硅棒,使硅棒中心与夹具的中心重合。在硅棒的长度方向上有两组夹紧机构,从而是硅棒的轴线与线网的中心线重合,达到精确的切割尺寸。安装尼龙块8可以防止单晶硅棒与立板接触导电,同时避免单晶硅棒碰伤。加工前,扭动调整螺钉,夹紧单晶硅棒。同时,两端的调整螺钉可以防止籽晶块切割完成后发生倾覆。多线切割机中的多条平行的钢线切割工件2后进入相邻两立板中间间隙内,调整隔垫9厚度可调整相邻两立板的间距,从而实现不同厚度单晶硅籽晶的切割加工。调整支撑机构和夹紧机构的位置可以实现不同长度籽晶棒的切割加工。

Claims (3)

1. 一种用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,其特征在于:包括至少两组安装在机座(5)上的支撑机构和至少两组安装在机座(5)上的夹紧机构;
所述的支撑机构包括安装在机座(5)上的第一支撑板(6),在第一支撑板(6)上排列有立板(24),每个立板(24)中间有隔垫(9)相隔,立板(24)和隔垫(9)由螺杆(10)连接固定,在每个立板(24)的上方设有尼龙块(8);
所述的夹紧机构包括安装在机座(5)上的第二支撑板(4),在第二支撑板(4)上设有座体(17),在座体(17)上安装有双向丝杆,与双向丝杆相配有一个左旋丝母和一个右旋丝母,左、右各一个夹爪(12)分别与左旋丝母和右旋丝母固定连接,每个夹爪上端固定连接有尼龙垫(11)。
2.根据权利要求1所述的用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,其特征在于:所述的支撑机构为三组,所述的夹紧机构为两组并与支撑机构间隔设置;两端的支撑机构中的每个立板侧边有向上延伸部分,在延伸部分的上端分别设有左调整螺钉(1)和右调整螺钉(3)。
3.根据权利要求2所述的用于单晶硅籽晶切割的多线切割机夹具,其特征在于:所述的双向丝杆包括左旋丝杆(13)和通过销(19)连接的右旋丝杆(20),与右旋丝杆(20)相配有右旋丝母(21),右旋丝母(21)与右侧的夹爪(12)固定连接并通过右轴承(22)支撑在座体(17)上;与左旋丝杆(13)相配的左旋丝母(18)与左侧的夹爪(12)固定连接并通过左轴承(15)支撑在座体(17)上;两侧的夹爪(12)与座体(17)之间设有导向机构。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106003443A (zh) * 2016-05-23 2016-10-12 上海日进机床有限公司 全硅棒开方机及开方方法
CN108555748A (zh) * 2018-04-11 2018-09-21 胡亚勇 一种直径大小可调的管件切割装置及其切割方法

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