CN203118920U - 晶圆注入系统监测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供的一种晶圆注入系统监测装置，在晶圆加工过程中装设有一个注入系统，由一个液体流量计、一个导入阀及一个控制模组所组成，液体流量计控制对导入阀特殊液体或气体的供给量，该导入阀则可控制特殊或气体的汽化量。注入系统更装设有一个监测装置，由一个接收器及一个监视幕所组成，该接收器可经由监测而接收导入阀的电压信号，以及经由监测而接收液体流量计的表面温度信号，并经运算后在监视幕上将导入阀的电压大小及液体流量计的表面温度高低即时显示出，到时操作者可经由控制模组调整该液体流量计对导入阀特殊液体或气体的通入量及导入阀的汽化能力。如此可提高晶圆的制造品质，延长注入系统的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种监测装置，特指一种晶圆注入系统监测装置。
背景技术
随着科技日新月异的发展，电子半导体行业也变得越来越重要，而晶圆却是电子科技中最基础最重要的一部分。公知的晶圆加工过程中会装设有一个注入系统，用来控制特殊液体或气体注入反应室的汽化量或压力。在公知的注入系统中，液体流量计对导入阀的供给特殊液体或气体的量由控制模组根据操作者的设定作自动控制。但在实际操作时，会受各种因素影响，导致液体流量计对导入阀的特殊液体或气体的通入量与所需不符，通入量过低或过低皆会影响晶圆的制造品质，且缩短注入系统的使用寿命。
发明内容
为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型提供了一种晶圆注入系统监测装置，具体的说是有一个监测装置，用来监测晶圆加工过程中注入特殊液体或气体后导入阀的电压及液体流量计的表面温度。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型提供的一种晶圆注入系统监测装置，在晶圆加工过程中装设有一个注入系统，由一个液体流量计、一个导入阀及一个控制模组所组成，其中，液体流量计以一管线与导入阀连接，液体流量计与控制模组作控制上的连接，来接受该控制模组的控制信号，用来控制液体流量计对导入阀特殊液体或气体的供给量，该导入阀则可控制特殊或气体的汽化量。注入系统更装设有一个监测装置，由一个接收器及一个监视幕所组成，该接收器可经由监测而接收导入阀的电压信号，以及经由监测而接收液体流量计的表面温度信号，并经运算后在监视幕上将导入阀的电压大小及液体流量计的表面温度高低即时显示出，到时操作者可经由控制模组调整该液体流量计对导入阀特殊液体或气体的通入量及导入阀的汽化能力。
控制模组还可以连接至一个客户监控端，以利客户可以同步了解晶圆加工的情形。
本实用新型的有益效果是: 提高晶圆的制造品质，延长注入系统的使用寿命。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的构成立体图。
图2是本实用新型的作用方块图。
图中 1. 注入系统 ，2. 液体流量计，3. 导入阀 ，4. 监测装置，5. 控制模组，6. 客户监控端 ，7. 管线 ，8. 接收器，9. 监视幕。
具体实施方式
如图1和图2所示，本实用新型的实施例在晶圆加工过程中会装设有一个注入系统1，由一个液体流量计2、一个导入阀3、一个监测装置4、一个控制模组5及一个客户监控端6所连接组成。
其中，液体流量计2一管线7与导入阀3连接，液体流量计2与控制模组5作控制上的连接，来接受该控制模组5的控制信号，用来控制液体流量计2对导入阀3特殊液体或气体的供给量，控制模组5还可以连接至一个客户监控端6，以利客户可以同步了解晶圆加工的情形。该导入阀3可控制特殊或气体的汽化量，导入阀3内部以高压喷入一个载流气体通过，来帮助将特殊液体或气体汽化并输送至晶圆制造的反应室，导入阀3内部并设有加热器，来帮助特殊液体或气体的汽化速度。注入系统1更装设有一个监测装置4，由一个接收器8及一个监视幕9所组成，该接收器8可经由监测而接收导入阀3的电压信号，以及经由监测而接收液体流量计2的表面温度信号，并在接收器8内部经由配置有软体的运算系统进行资料比对运算后，在监视幕9上将导入阀3的电压大小及液体流量计2的表面温度高低即时显示出，到时操作者可经由控制模组5调整该液体流量计2对导入阀3特殊液体或气体的通入量及导入阀3的汽化能力。
Claims (3)
1.一种晶圆注入系统监测装置，包括一个注入系统及一个监测装置，其特征是：所述注入系统，由一个液体流量计、一个导入阀及一个控制模组所组成；所述监测装置，由一个接收器及一个监视幕所组成。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征是：所述液体流量计以一管线与导入阀连接，液体流量计与控制模组连接。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征是：所述控制模组还可以连接至一个客户监控端。
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| CN 201320158760 CN203118920U (zh) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | 晶圆注入系统监测装置 |
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Publications (1)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110190016A (zh) * | 2013-09-02 | 2019-08-30 | 斯克林集团公司 | 基板处理方法以及基板处理装置 |
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2013
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| CN110190016A (zh) * | 2013-09-02 | 2019-08-30 | 斯克林集团公司 | 基板处理方法以及基板处理装置 |
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