CN103924214A - 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 - Google Patents
一种蒸汽输送mo源连续供应系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103924214A CN103924214A CN201410168891.1A CN201410168891A CN103924214A CN 103924214 A CN103924214 A CN 103924214A CN 201410168891 A CN201410168891 A CN 201410168891A CN 103924214 A CN103924214 A CN 103924214A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- source
- minute
- steel cylinder
- segmental bronchus
- vessel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 49
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 49
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 15
- 210000000621 bronchi Anatomy 0.000 claims description 53
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 14
- 239000002775 capsule Substances 0.000 claims description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000001741 metal-organic molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
本发明提供一种蒸汽输送MO源连续供应系统，设置MO源储存罐往MO源钢瓶充MO源气，两个装置都有液位探头，MO源储存罐加热，MO源钢瓶恒温，MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可；当MO源钢瓶液位高时，便直接从MO源钢瓶内输出MO源；当MO源钢瓶处于低液位时，便采用MO源储存罐向MO源钢瓶输送MO源，再从MO源钢瓶输出MO源，可连续使用；本系统通过在MO源储存罐和MO源钢瓶增加液位探头，满足了MO源监控计量问题；通过MO源钢瓶可以有效控制MO源蒸汽浓度，因此MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可，不需要精确控温，整个过程只需要根据MO源钢瓶液位控制切换使用模式，适用于MO源供应中。
Description
技术领域
本发明涉及MO源的供应领域，尤其涉及一种蒸汽输送MO源连续供应系统。
背景技术
MO源为高纯金属有机化合物，或叫化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半导体微结构材料技术的发展状况是衡量一个国家电子信息技术发展水平的重要标志。在我国MO源已被大量用于LED、太阳能电池、航空航天技术等多个领域，是一项高新材料生产技术。随着MOCVD（金属有机化学气相沉积技术）外延技术发展，设备大型化已经成为必然趋势，随之而来的原材料供应问题越来越突出。MO源（金属有机化合物）作为其中最重要的原材料，持续稳定的MO供应是提高MOCVD设备使用效率的重要手段。
现如今的MO源使用方法：MO源在使用时需要保持恒温（±0.1℃），恒压（±1torr），稳定气体流量（±1sccm），MO源存储在钢瓶（一般称为鼓泡器）中，惰性气体（一般用氢气或者氮气）通过深入钢瓶内部的管道进入鼓泡器中，经过MO源时产生鼓泡效应，MO源在鼓泡过程中大量蒸发，形成MO源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来，这样的供应方式在鼓泡器中MO源消耗完后，需要将鼓泡器拆卸并更换1个新的鼓泡器。由于MO源具有可燃性和遇空气自燃的特性，因此鼓泡器拆装过程需要对管道系统进行充分置换，并且需要对管道接头进行氦质谱检漏。操作过程繁琐，持续时间较长，且操作不当会有着火等风险；更换新的鼓泡器后，需要在恒温水浴槽中进行充分的热交换，需要较长时间才能够使鼓泡器的温度达到恒定，鼓泡器中MO源没有计量和监控设备，无法准确判断残余量。因此解决上述问题就显得十分必要了。
发明内容
本发明提供一种蒸汽输送MO源连续供应系统，通过设置MO源储存罐往MO源钢瓶充MO源气，两个装置都设置有液位探头，MO源储存罐加热，MO源钢瓶恒温，MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可，不需要精确控温；当MO源钢瓶液位高时，便直接从MO源钢瓶内输出MO源；当MO源钢瓶处于低液位时，便采用MO源储存罐向MO源钢瓶输送MO源，再从MO源钢瓶输出MO源，可连续使用，解决了背景技术中出现的问题。
本发明的目的是提供一种蒸汽输送MO源连续供应系统，包括两个MO源储存罐，一个正常使用、另一个备用，还有MO源钢瓶，在两个MO源储存罐上左侧设置带有进气阀门的进气管、右侧设置带有出气阀门的出气管；在两个MO源储存罐内都设置有液位探头探测液位、外部都设置有有加热包对MO源储存罐进行加热；同时还在两个MO源储存罐的进气管上还设置有总进气管，出气管上设置有总出气管，在总出气管上设置有至少3个分支气管连接在底部外设置有恒温水浴槽MO源钢瓶上，MO源钢瓶顶部也设置有液位探头探测液位；MO源钢瓶顶部右侧设置有出源管。
进一步改进在于：在分支气管上设置有流量控制器控制气体流量，出源管上设置压力控制器控制压力。
进一步改进在于：在总进气管上第一分支气管的左侧设置第二分支气管进高纯载气，第二分支气管连接在第一分支气管上，流量控制器在，第二分支气管的后面，在第一分支气管和第二分支气管上均设置有控制阀门控制阀门的开启进气。
进一步改进在于：在第一分支气管上流量控制器下的右侧设置有第三分支气管，第三分支气管连接在出源管上，这样第一分支气管和第二分支气管来的气体直接出去，第三分支气管上设置有控制阀门。
进一步改进在于：在第一分支气管上位于第三分支气管下从上到下依次设置有控制阀门和支管进气阀门，出源管上位于第三分支气管下设置有两个出源阀门。
进一步改进在于：在MO源钢瓶上的液位探头以及控制阀门均连接有PLC控制器控制它们的开启关闭。
本发明的有益效果：本系统通过在MO源储存罐和MO源钢瓶增加液位探头，满足了MO源监控计量问题，客户可以直观的了解到MO源的使用现状；通过设备自带的MO源钢瓶（低温恒温鼓泡器）可以有效控制MO源蒸汽浓度，因此MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可，不需要精确控温，整个过程只需要根据MO源钢瓶（低温恒温鼓泡器）液位控制切换使用模式，结构简单，整个生产过程一直保持持续供源，因此没有MO源恒温的问题，适用于MO源供应中。
附图说明
图1是本发明的示意图。
其中：1-第一MO源储存罐，2-第二MO源储存罐，3-MO源钢瓶，4-高纯载气进气管，5-高纯载气出气管，6-进气阀门，7-出气阀门，8-液位探头，9-加热包，10-总进气管，11-总出气管，12-第一分支气管，13-恒温水浴槽，14-出源管，15-流量控制器，16-压力控制器，17-第二分支气管，18-控制阀门，19-第三分支气管，20-支管进气阀门，21-出源阀门，22-PLC控制器。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
如图1所示，本实施例提供一种蒸汽输送MO源连续供应系统，包括有两个储存MO源的第一MO源储存罐1和第二MO源储存罐2，其中一个使用、另一个备用，还包括有MO源钢瓶3，在两个MO源储存罐上左侧设置带有进气阀门6的高纯载气进气管4、右侧设置带有出气阀门7的高纯载气出气管5；在两个MO源储存罐内都设置有液位探头8探测液位、外部都设置有有加热包9对MO源储存罐进行加热；同时还在两个MO源储存罐的高纯载气进气管4上还设置有总进气管10，高纯载气出气管5上设置有总出气管11，在总出气管11上设置有3个第一分支气管12连接在底部外设置有恒温水浴槽13的MO源钢瓶3上，MO源从总出气管11出来往MO源钢瓶3内输送MO源，MO源钢瓶3顶部也设置有液位探头8探测液位；MO源钢瓶3顶部右侧设置有出源管14，MO源从MO源钢瓶3出来往MOCVD设备中输送；在第一分支气管12上设置有流量控制器15控制气体流量，出源管14上设置压力控制器16控制压力。在总进气管11上第一分支气管12的左侧设置第二分支气管17直接进高纯载气，第二分支气管17连接在第一分支气管12上，流量控制器15在第二分支气管17的后面，在第一分支气管12和第二分支气管17上均设置有控制阀门18控制气体的进气。在第一分支气管12上流量控制器15下的右侧设置有第三分支气管19，第三分支气管19连接在出源管14上，这样第一分支气管12和第二分支气管17来的气体直接出去，在第三分支气管19上设置有控制阀门18。在第一分支气管12上位于第三分支气管19下从上到下依次设置有控制阀门18和支管进气阀门20，出源管14上位于第三分支气管19下设置有两个出源阀门21。在MO源钢瓶3上的液位探头8以及控制阀门18均连接有PLC控制器22控制它们的开启关闭。本系统当MO源钢瓶3液位高时，便直接从MO源钢瓶3内输出MO源；当MO源钢瓶3处于低液位时，便采用MO源储存罐向MO源钢瓶3输送MO源，再从MO源钢瓶3输出MO源，可连续使用；本系统通过在MO源储存罐和MO源钢瓶3增加液位探头，满足了MO源监控计量问题，客户可以直观的了解到MO源的使用现状；通过设备自带的MO源钢瓶3（低温恒温鼓泡器）可以有效控制MO源蒸汽浓度，因此MO源储存罐温度只要高于MO源钢瓶3（低温鼓泡器温度）即可，不需要精确控温，整个过程只需要根据MO源钢瓶3（低温恒温鼓泡器）液位控制切换使用模式，结构简单，整个生产过程一直保持持续供源，因此没有MO源恒温的问题，适用于MO源供应中。
Claims (6)
1.一种蒸汽输送MO源连续供应系统，包括有第一MO源储存罐（1）、第二MO源储存罐（2）和MO源钢瓶（3），其特征在于：所述第一MO源储存罐（1）和第二MO源储存罐（2）上左侧垂直位置设置有高纯载气的进气管（4）、右侧设置有高纯载气出气管（5）；高纯载气进气管（4）在进口处设置有进气阀门（6），高纯载气出气管（4）在出口处设置有出气阀门（7）；第一MO源储存罐（1）和第二MO源储存罐（2）内顶部均设置有液位探头（8）、外部包有加热包（9）；所述第一MO源储存罐（1）和第二MO源储存罐（2）的高纯载气进气管（4）上水平位置设置总进气管（10），高纯载气出气管（5）上水平位置设置有总出气管（11）；总出气管（11）上设置有至少3个第一分支气管（12），第一分支气管（12）连接着MO源钢瓶（3），MO源钢瓶（3）底部外设置有恒温水浴槽（13）、顶部也设置有液位探头（8）；MO源钢瓶（3）顶部右侧设置有出源管（14）。
2.如权利要求1所述一种蒸汽输送MO源连续供应系统，其特征在于：所述第一分支气管（12）上设置有流量控制器（15），出源管（14）上末段设置有压力控制器（16）。
3.如权利要求1所述一种蒸汽输送MO源连续供应系统，其特征在于：所述总进气管（10）上在第一分支气管（12）的左侧设置有第二分支气管（17），第二分支气管（17）连接在位于流量控制器（15）前端的第一分支气管（12）上，第一分支气管（12）和第二分支气管（17）上均设置有控制阀门（18）。
4.如权利要求2所述一种蒸汽输送MO源连续供应系统，其特征在于：所述第一分支气管（12）上流量控制器（15）下的右侧设置有第三分支气管（19），第三分支气管（19）连接在出源管（14）上，第三分支气管（19）上设置有控制阀门（18）。
5.如权利要求4所述一种蒸汽输送MO源连续供应系统，其特征在于：所述第一分支气管（12）上位于第三分支气管（19）下从上到下依次设置有控制阀门（18）和支管进气阀门（20），出源管（14）上位于第三分支气管（19）下设置有两个出源阀门（21）。
6.如权利要求3或4或5所述一种蒸汽输送MO源连续供应系统，其特征在于：所述MO源钢瓶（3）上的液位探头（8）以及控制阀门（18）均连接有PLC控制器（22）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410168891.1A CN103924214B (zh) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410168891.1A CN103924214B (zh) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103924214A true CN103924214A (zh) | 2014-07-16 |
| CN103924214B CN103924214B (zh) | 2016-11-16 |
Family
ID=51142599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410168891.1A Active CN103924214B (zh) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103924214B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107151793A (zh) * | 2016-03-03 | 2017-09-12 | 东京毅力科创株式会社 | 气化原料供给装置和采用该供给装置的基板处理装置 |
| CN114150294A (zh) * | 2020-09-08 | 2022-03-08 | 吕宝源 | 固态金属有机源的集中供给系统 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1696341A (zh) * | 2005-06-14 | 2005-11-16 | 西安电子科技大学 | 金属有机物化学气相淀积设备的恒流配气系统及控制方法 |
| US20060067230A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-03-30 | Tri Chemical Laboratories Inc. | Film forming method |
| US7077911B2 (en) * | 2003-03-03 | 2006-07-18 | Seiko Epson Corporation | MOCVD apparatus and MOCVD method |
| CN101314845A (zh) * | 2008-07-03 | 2008-12-03 | 南京大学 | 半导体材料生长设备的独立mo源管路及应用 |
| CN102465277A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-05-23 | 上海蓝光科技有限公司 | 逆径向式mocvd反应器 |
| CN102732956A (zh) * | 2012-06-18 | 2012-10-17 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统 |
| CN202786418U (zh) * | 2012-08-23 | 2013-03-13 | 中晟光电设备（上海）有限公司 | 一种mocvd设备 |
| CN203846101U (zh) * | 2014-04-25 | 2014-09-24 | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 |
-
2014
- 2014-04-25 CN CN201410168891.1A patent/CN103924214B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7077911B2 (en) * | 2003-03-03 | 2006-07-18 | Seiko Epson Corporation | MOCVD apparatus and MOCVD method |
| US20060067230A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-03-30 | Tri Chemical Laboratories Inc. | Film forming method |
| CN1696341A (zh) * | 2005-06-14 | 2005-11-16 | 西安电子科技大学 | 金属有机物化学气相淀积设备的恒流配气系统及控制方法 |
| CN101314845A (zh) * | 2008-07-03 | 2008-12-03 | 南京大学 | 半导体材料生长设备的独立mo源管路及应用 |
| CN102465277A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-05-23 | 上海蓝光科技有限公司 | 逆径向式mocvd反应器 |
| CN102732956A (zh) * | 2012-06-18 | 2012-10-17 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统 |
| CN202786418U (zh) * | 2012-08-23 | 2013-03-13 | 中晟光电设备（上海）有限公司 | 一种mocvd设备 |
| CN203846101U (zh) * | 2014-04-25 | 2014-09-24 | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107151793A (zh) * | 2016-03-03 | 2017-09-12 | 东京毅力科创株式会社 | 气化原料供给装置和采用该供给装置的基板处理装置 |
| CN114150294A (zh) * | 2020-09-08 | 2022-03-08 | 吕宝源 | 固态金属有机源的集中供给系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103924214B (zh) | 2016-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205103224U (zh) | 油浴式煤低温氧化测试系统 | |
| CN102230571B (zh) | 液态源汽化装置及其汽化方法 | |
| CN202561440U (zh) | 一种用于液氮输送系统的控制装置 | |
| CN207404852U (zh) | 一种液氨制备氨水装置 | |
| CN102877133B (zh) | 碳化硅晶体生长炉 | |
| CN105277401B (zh) | 一种新型碳酸盐碳氧同位素制样系统及其制样方法 | |
| CN103924214A (zh) | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 | |
| CN108717030B (zh) | 一种氢同位素气体丰度的快速分析装置及方法 | |
| CN203846101U (zh) | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 | |
| CN104422139A (zh) | 一种恒温水箱自动控制系统 | |
| CN203878209U (zh) | 一种用于mocvd设备的mo源供给系统管路 | |
| CN105202365B (zh) | 一种金属氢化物储氢罐循环充放氢方法 | |
| CN202814851U (zh) | 不锈钢试件氯化镁应力腐蚀试验装置 | |
| CN103922257B (zh) | 直接充装mo源的装置 | |
| CN104180709B (zh) | 一种相通容器的液体循环压力控制水箱 | |
| CN202558924U (zh) | 一种连续制备二维纳米薄膜的设备 | |
| US20160145739A1 (en) | Liquid-metal organic compound supply system | |
| GB201209853D0 (en) | A closed cryogen cooling system and method for cooling a superconducting magnet | |
| CN103924218A (zh) | 可持续供应mo源的装置 | |
| CN203846102U (zh) | 可持续供应mo源的装置 | |
| CN204064097U (zh) | 一种相通容器的液体循环压力控制水箱 | |
| CN102230907B (zh) | 量热仪 | |
| CN212674857U (zh) | 具有稳定气源的热防护材料动态烧蚀试验装置 | |
| CN114893175A (zh) | 评价钻井液侵入导致天然气水合物储层伤害的装置和方法 | |
| CN203204467U (zh) | 一种程序降温仪 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No. 88 Baoshun Road, Economic and Technological Development Zone, Wuhu City, Anhui Province, 241000 Patentee after: Anhui Yagesheng Electronic New Materials Co.,Ltd. Address before: 241009 Third Floor, Management Committee of Wuhu Economic and Technological Development Zone, Anhui Province Patentee before: ANHUI ARGOSUN NEW ELECRONIC MATERIALS Co.,Ltd. |