CN103922257B - 直接充装mo源的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接，通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。无需将MO源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起，并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中，解决了MO源充装困难的问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种充装装置，尤其一种可直接对MO源进行充装工作的装置。
技术领域
MO源在MOCVD设备中使用非常特殊，物料在使用时需要保持恒温（±0.1℃），恒压（±1torr），稳定气体流量（±1sccm）。MO源存储在钢瓶（一般称为MO源钢瓶）中，惰性气体（一般用氢气或者氮气）通过深入钢瓶内部的管道进入MO源钢瓶中，经过MO源时产生鼓泡效应，MO源在鼓泡过程中大量蒸发，形成MO源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来。而目前在对于MO源进行充装的领域内，并没有一种较为有效的手段在不拆卸MO源钢瓶的情况下对其进行充装，而拆卸MO源钢瓶进行更换耗费时间，工作效率低下。因此，解决MO源充装困难的问题就显得尤为重要了。
发明内容
本发明的目的是提供了一种可直接对MO源进行充装工作的装置，无需将MO源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起，并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中，解决了MO源充装困难的问题。
为了解决上述问题，本发明提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接，通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。
进一步改进在于：所述MO源储罐的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个MO源储罐的出料口同时连接在三通接头上，所述MO源储罐使用惰性气体进行充装载体。
进一步改进在于：所述两个MO源储罐为一组，每组MO源储罐可充装三个MO源钢瓶，所述每个MO源钢瓶放置在恒温水浴槽中。
进一步改进在于：所述MO源储罐内部同样设置有液位探头，所述MO源储罐上设置有警报灯，所述液位探头电连接在警报灯上。
在MO源钢瓶上安装1个液位探头。设置1个高位报警点和1个低位报警点。高位报警点用于控制充装。低于低位报警点时提醒用户进行设备检查。
液位探头需要满足：探头与MO源接触部分均是316L材质不锈钢，探头接口是1/2”VCR接口，信号响应及时（≤1s），液位测量精度高（≤2mm）。
在不改变现有MO源钢瓶结构时，在MO源钢瓶的进出口处增加三通管道接头和阀门，通过1/4”VCR接头与MO源钢瓶相连。
MO源储槽与MOCVD设备上MO源钢瓶通过管道连接，管道上采用气动隔膜阀，并通过PLC控制器进行控制，根据设备使用状态，实时自动补充MO源。
本发明的有益效果是：通过液位探头对MO源钢瓶中的MO源量进行测量，并在MO源不足时通过PLC控制器对三通接头进行控制，使MO源储罐中的MO源通过惰性气体带入MO源钢瓶中，解决了MO源钢瓶无法充装，必须拆卸更换的问题，提高了工作效率。
附图说明
图1是本发明的示意图。
其中：1-MO源储罐，2-MO源钢瓶，3-进气管，4-出气管，5-三通接头，6-液位探头，7-PLC控制器，8-MOCVD信号接收器，9-出料口，10-恒温水浴槽，11-警报灯。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
如图1所示，本实施例提供了一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐1和MO源钢瓶2，所述MO源钢瓶2上设置有进气管3和出气管4，所述MO源储罐1设置有出料口9，所述MO源储罐1的出料口9通过三通接头5连接在进气管3上，所述MO源钢瓶2内部设置有液位探头6，所述液位探头6通过PLC控制器7连接在MOCVD信号接收器8上，所述PLC控制器7与三通接头5电连接，通过液位探头6和MOCVD信号接收器8探测到的信号对三通接头5进行控制。所述MO源储罐1的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个MO源储罐1的出料口9同时连接在三通接头5上，所述MO源储罐1使用惰性气体进行充装载体。所述两个MO源储罐为1一组，每组MO源储罐1可充装三个MO源钢瓶2，所述每个MO源钢瓶2放置在恒温水浴槽10中。所述MO源储罐1内部同样设置有液位探头6，所述MO源储罐1上设置有警报灯11，所述液位探头6电连接在警报灯11上。通过液位探头6对MO源钢瓶2中的MO源量进行测量，并在MO源不足时通过PLC控制器7对三通接头5进行控制，使MO源储罐1中的MO源通过惰性气体带入MO源钢瓶2中，解决了MO源钢瓶无法充装，必须拆卸更换的问题，提高了工作效率。
Claims (4)
1.一种直接充装MO源的装置，其特征在于：包括MO源储罐（1）和MO源钢瓶（2），所述MO源钢瓶（2）上设置有进气管（3）和出气管（4），所述MO源储罐（1）设置有出料口（9），所述MO源储罐（1）的出料口（9）通过三通接头（5）连接在进气管（3）上，所述MO源钢瓶（2）内部设置有液位探头（6），所述液位探头（6）通过PLC控制器（7）连接在MOCVD信号接收器（8）上，所述PLC控制器（7）与三通接头（5）电连接，通过液位探头（6）和MOCVD信号接收器（8）探测到的信号对三通接头（5）进行控制。
2.如权利要求1所述的直接充装MO源的装置，其特征在于：所述MO源储罐（1）的数量为两个，一个使用，另一个备用，两个所述MO源储罐（1）的出料口（9）同时连接在三通接头（5）上，所述MO源储罐（1）使用惰性气体进行充装载体。
3.如权利要求1所述的直接充装MO源的装置，其特征在于：两个所述MO源储罐（1）为一组，每组MO源储罐（1）可充装三个MO源钢瓶（2），每个所述MO源钢瓶（2）放置在恒温水浴槽（10）中。
4.如权利要求1-3任意一项所述的直接充装MO源的装置，其特征在于：所述MO源储罐（1）内部同样设置有液位探头（6），所述MO源储罐（1）上设置有警报灯（11），所述液位探头（6）电连接在警报灯（11）上。
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0419939A1 (en) * | 1989-09-12 | 1991-04-03 | Stec Inc. | Apparatus for vaporizing and supplying organometal compounds |
| WO2001005487A1 (en) * | 1999-07-16 | 2001-01-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Auto-switching gas delivery system utilizing sub-atmospheric pressure gas supply vessels |
| US20040056044A1 (en) * | 2002-09-19 | 2004-03-25 | Kazuhiro Hirahara | Organometallic compound vaporizing/feeding system |
| US20050008799A1 (en) * | 2003-07-08 | 2005-01-13 | Shizuo Tomiyasu | Solid organometallic compound-filled container and filling method thereof |
| CN101660136A (zh) * | 2009-09-17 | 2010-03-03 | 江苏南大光电材料股份有限公司 | 封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用 |
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0419939A1 (en) * | 1989-09-12 | 1991-04-03 | Stec Inc. | Apparatus for vaporizing and supplying organometal compounds |
| WO2001005487A1 (en) * | 1999-07-16 | 2001-01-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Auto-switching gas delivery system utilizing sub-atmospheric pressure gas supply vessels |
| US20040056044A1 (en) * | 2002-09-19 | 2004-03-25 | Kazuhiro Hirahara | Organometallic compound vaporizing/feeding system |
| US20050008799A1 (en) * | 2003-07-08 | 2005-01-13 | Shizuo Tomiyasu | Solid organometallic compound-filled container and filling method thereof |
| CN101660136A (zh) * | 2009-09-17 | 2010-03-03 | 江苏南大光电材料股份有限公司 | 封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用 |
| CN202543321U (zh) * | 2012-04-19 | 2012-11-21 | 苏州普耀光电材料有限公司 | 一种用于mo源灌装容器的处理装置 |
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