CN203890029U - 直接充装mo源的装置 - Google Patents
直接充装mo源的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203890029U CN203890029U CN201420204367.0U CN201420204367U CN203890029U CN 203890029 U CN203890029 U CN 203890029U CN 201420204367 U CN201420204367 U CN 201420204367U CN 203890029 U CN203890029 U CN 203890029U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- source
- storage tank
- steel cylinder
- source storage
- level probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn - After Issue
Links
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种直接充装MO源的装置,包括MO源储罐和MO源钢瓶,所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管,所述MO源储罐设置有出料口,所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上,所述MO源钢瓶内部设置有液位探头,所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上,所述PLC控制器与三通接头电连接,通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。无需将MO源钢瓶拆卸更换,通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起,并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中,解决了MO源充装困难的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种充装装置,尤其一种可直接对MO源进行充装工作的装置。
技术领域
MO源在MOCVD设备中使用非常特殊,物料在使用时需要保持恒温(±0.1℃),恒压(±1torr),稳定气体流量(±1sccm)。MO源存储在钢瓶(一般称为MO源钢瓶)中,惰性气体(一般用氢气或者氮气)通过深入钢瓶内部的管道进入MO源钢瓶中,经过MO源时产生鼓泡效应,MO源在鼓泡过程中大量蒸发,形成MO源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来。而目前在对于MO源进行充装的领域内,并没有一种较为有效的手段在不拆卸MO源钢瓶的情况下对其进行充装,而拆卸MO源钢瓶进行更换耗费时间,工作效率低下。因此,解决MO源充装困难的问题就显得尤为重要了。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供了一种可直接对MO源进行充装工作的装置,无需将MO源钢瓶拆卸更换,通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起,并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中,解决了MO源充装困难的问题。
为了解决上述问题,本实用新型提供一种直接充装MO源的装置,包括MO源储罐和MO源钢瓶,所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管,所述MO源储罐设置有出料口,所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上,所述MO源钢瓶内部设置有液位探头,所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上,所述PLC控制器与三通接头电连接,通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。
进一步改进在于:所述MO源储罐的数量为两个,一个使用,另一个备用,所述两个MO源储罐的出料口同时连接在三通接头上,所述MO源储罐使用惰性气体进行充装载体。
进一步改进在于:所述两个MO源储罐为一组,每组MO源储罐可充装三个MO源钢瓶,所述每个MO源钢瓶放置在恒温水浴槽中。
进一步改进在于:所述MO源储罐内部同样设置有液位探头,所述MO源储罐上设置有警报灯,所述液位探头电连接在警报灯上。
在MO源钢瓶上安装1个液位探头。设置1个高位报警点和1个低位报警点。高位报警点用于控制充装。低于低位报警点时提醒用户进行设备检查。
液位探头需要满足:探头与MO源接触部分均是316L材质不锈钢,探头接口是1/2” VCR接口,信号响应及时(≤1s),液位测量精度高(≤2mm)。
在不改变现有MO源钢瓶结构时,在MO源钢瓶的进出口处增加三通管道接头和阀门,通过1/4”VCR接头与MO源钢瓶相连。
MO源储槽与MOCVD设备上MO源钢瓶通过管道连接,管道上采用气动隔膜阀,并通过PLC控制器进行控制,根据设备使用状态,实时自动补充MO源。
本实用新型的有益效果是:通过液位探头对MO源钢瓶中的MO源量进行测量,并在MO源不足时通过PLC控制器对三通接头进行控制,使MO源储罐中的MO源通过惰性气体带入MO源钢瓶中,解决了MO源钢瓶无法充装,必须拆卸更换的问题,提高了工作效率。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
其中:1-MO源储罐,2-MO源钢瓶,3-进气管,4-出气管,5-三通接头,6-液位探头,7-PLC控制器,8-MOCVD信号接收器,9-出料口,10-恒温水浴槽,11-警报灯。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解,下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述,该实施例仅用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型保护范围的限定。
如图1所示,本实施例提供了一种直接充装MO源的装置,包括MO源储罐1和MO源钢瓶2,所述MO源钢瓶2上设置有进气管3和出气管4,所述MO源储罐1设置有出料口9,所述MO源储罐1的出料口9通过三通接头5连接在进气管3上,所述MO源钢瓶2内部设置有液位探头6,所述液位探头6通过PLC控制器7连接在MOCVD信号接收器8上,所述PLC控制器7与三通接头5电连接,通过液位探头6和MOCVD信号接收器8探测到的信号对三通接头5进行控制。所述MO源储罐1的数量为两个,一个使用,另一个备用,所述两个MO源储罐1的出料口9同时连接在三通接头5上,所述MO源储罐1使用惰性气体进行充装载体。所述两个MO源储罐为1一组,每组MO源储罐1可充装三个MO源钢瓶2,所述每个MO源钢瓶2放置在恒温水浴槽10中。所述MO源储罐1内部同样设置有液位探头6,所述MO源储罐1上设置有警报灯11,所述液位探头6电连接在警报灯11上。通过液位探头6对MO源钢瓶2中的MO源量进行测量,并在MO源不足时通过PLC控制器7对三通接头5进行控制,使MO源储罐1中的MO源通过惰性气体带入MO源钢瓶2中,解决了MO源钢瓶无法充装,必须拆卸更换的问题,提高了工作效率。
Claims (4)
1.一种直接充装MO源的装置,其特征在于:包括MO源储罐(1)和MO源钢瓶(2),所述MO源钢瓶(2)上设置有进气管(3)和出气管(4),所述MO源储罐(1)设置有出料口(9),所述MO源储罐(1)的出料口(9)通过三通接头(5)连接在进气管(3)上,所述MO源钢瓶(2)内部设置有液位探头(6),所述液位探头(6)通过PLC控制器(7)连接在MOCVD信号接收器(8)上,所述PLC控制器(7)与三通接头(5)电连接,通过液位探头(6)和MOCVD信号接收器(8)探测到的信号对三通接头(5)进行控制。
2.如权利要求1所述的直接充装MO源的装置,其特征在于:所述MO源储罐(1)的数量为两个,一个使用,另一个备用,所述两个MO源储罐(1)的出料口(9)同时连接在三通接头(5)上,所述MO源储罐(1)使用惰性气体进行充装载体。
3.如权利要求2所述的直接充装MO源的装置,其特征在于:所述两个MO源储罐(1)为一组,每组MO源储罐(1)可充装三个MO源钢瓶(2),所述每个MO源钢瓶(2)放置在恒温水浴槽(10)中。
4.如权利要求1-3任意一项所述的直接充装MO源的装置,其特征在于:所述MO源储罐(1)内部同样设置有液位探头(6),所述MO源储罐(1)上设置有警报灯(11),所述液位探头(6)电连接在警报灯(11)上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420204367.0U CN203890029U (zh) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 直接充装mo源的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420204367.0U CN203890029U (zh) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 直接充装mo源的装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203890029U true CN203890029U (zh) | 2014-10-22 |
Family
ID=51716457
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201420204367.0U Withdrawn - After Issue CN203890029U (zh) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 直接充装mo源的装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203890029U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103922257A (zh) * | 2014-04-25 | 2014-07-16 | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 | 直接充装mo源的装置 |
-
2014
- 2014-04-25 CN CN201420204367.0U patent/CN203890029U/zh not_active Withdrawn - After Issue
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103922257A (zh) * | 2014-04-25 | 2014-07-16 | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 | 直接充装mo源的装置 |
CN103922257B (zh) * | 2014-04-25 | 2016-05-04 | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 | 直接充装mo源的装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108663347A (zh) | 光学溶解氧传感器多参数干扰补偿校正系统及方法 | |
CN201653874U (zh) | 一种防止缝隙腐蚀的冲洗式电化学实验装置 | |
CN103922257B (zh) | 直接充装mo源的装置 | |
CN104880502B (zh) | 一种低速管道内腐蚀和电化学测试的简易模拟装置 | |
CN106404858B (zh) | 一种水中物质结垢过程研究用试验装置 | |
CN203890029U (zh) | 直接充装mo源的装置 | |
CN204228242U (zh) | 一种流量计测试装置 | |
CN102155966B (zh) | 厌氧发酵罐体沼气贮量的测量方法及实现该方法的装置 | |
CN103487364B (zh) | 多组介质动态腐蚀测试装置及其测试方法 | |
CN102608272B (zh) | 一种矿产品元素溶出量的测定方法 | |
CN204779598U (zh) | 一种带有自动进料装置的可实时检测温度的发酵罐 | |
CN203758569U (zh) | 实验用保护性气体计量装置 | |
CN110423680A (zh) | 一种厌氧发酵中生物沼气及生物甲烷实时测气的装置及其测量方法 | |
CN203653222U (zh) | 一种便于药剂计量和调节的加药装置 | |
CN204255412U (zh) | 反应釜检测计量装置 | |
CN206291939U (zh) | 吹气式液位计 | |
CN205222652U (zh) | 一种旋转高位槽 | |
CN203847995U (zh) | 可自动补充mo源的装置 | |
CN208607105U (zh) | 动态和静态双模式重量法蒸汽吸附仪 | |
CN103255769B (zh) | 核岛反应堆基础底部压力灌浆装置、灌浆系统及灌浆方法 | |
CN205740384U (zh) | 智能加药装置 | |
CN103924214A (zh) | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 | |
CN203846101U (zh) | 一种蒸汽输送mo源连续供应系统 | |
CN206362406U (zh) | 一种液体物料精密计量罐 | |
CN110146438A (zh) | 一种实时监测工业废水排放管动态腐蚀的装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20141022 Effective date of abandoning: 20160504 |
|
C25 | Abandonment of patent right or utility model to avoid double patenting |