CN202616277U - 一种新型的高精度自动补液系统装置 - Google Patents

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柳杉
黄治国
王鹏
梅超
包兵兵
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Abstract

本实用新型涉及一种新型的高精度自动补液系统装置。普通的补液系统通过流量和时间来控制药液补加量,流量的波动会引起药液补加量的误差,本实用新型补液系统装置在液位管上中的液位管贴上刻度并增加补液液位感应器,还去除了补液气动阀中的截留片,解决了通过流量和时间来控制补液量而受到流量波动影响;使得补液系统在补液过程中更加高效率与高精度。

Description

一种新型的高精度自动补液系统装置
技术领域
本实用新型应用于晶体硅太阳能电池片制程中,涉及硅片的化学腐蚀清洗机台的自动补液系统,特别是一种新型的高精度自动补液系统装置。
背景技术
目前,晶体硅太阳能电池制程中硅片的化学腐蚀清洗机台的自动补液如图1是通过气动阀控制截留片来控制流量,再通过补液时间来确定补液的量,补液量=流量*时间,其中“流量”为新设备安装时测试值,后续默认为固定值,通过设定补液时间,来控制补液量。但由于截留片孔径约为3mm很小易堵塞,气动阀气压影响气动阀打开程度及液体压力等因素影响了补液流量,所以补液量会产生波动,影响补液精度,导致制程异常。并且管道中均是高浓度的HNO3、HF等高危化学品,如果截留片堵塞,拆除清洗或更换时也存在安全隐患。目前补加0.5L耗时需要60s左右,如果药液补加量较大时,由于孔径小,耗时较长,更不能实现快速补液。
发明内容
本实用新型提供一种通过对自动补液系统中液位管贴上刻度并增加了补液液位感应器,从而达到补液系统的高精度与高效率的高精度自动补液系统装置。
本实用新型的技术方案是:    
一种新型的高精度自动补液系统装置,其中:槽体通过管道与补液气动阀连接,补液气动阀通过管道与药液盒连接,液位管设在药液盒上并与药液盒连通,液位管靠近底部设有低液位感应器,补液液位感应器位于低液位感应器之上,工作液位感应器位于补液液位感应器之上,高液位感应器位于工作液位感应器之上,药液盒通过管道与进液气动阀连接。
本实用新型的优点在于:普通的补液系统通过流量和时间来控制药液补加量,流量的波动会引起药液补加量的误差,本实用新型补液系统装置在液位管上中的液位管贴上刻度并增加补液液位感应器,还去除了补液气动阀中的截留片,解决了通过流量和时间来控制补液量而受到流量波动影响;使得补液系统在补液过程中更加高效率与高精度。
附图说明
图1为现有补液系统装置的结构示意图;
图2为本实用新型补液系统装置的结构示意图;
附图标记:槽体1、补液气动阀2、药液盒3、液位管4、低液位感应器5、补液液位感应器6、工作液位感应器7、高液位感应器8、进液动气阀9。
具体实施方式
实施例1、一种新型的高精度自动补液系统装置,其中:槽体1通过管道与补液气动阀2连接,补液气动阀2通过管道与药液盒3连接,液位管4设在药液盒3上并与药液盒3连通,液位管4靠近底部设有低液位感应器5,补液液位感应器6位于低液位感应器5之上,工作液位感应器7位于补液液位感应器6之上,高液位感应器8位于工作液位感应器7之上,药液盒3通过管道与进液气动阀9连接。
工作原理:
将液位管4上贴上刻度,可以通过调节补液液位感应器6的高度,方便的实现补液量的调整,高液位感应器8用于保护药液盒3,低液位感应器5用于排空药液盒3,补液时,药液盒3处于工作液位由工作液位感应器7控制,补液气动阀2打开;药液盒的进液气动阀9保持关闭状态;当液位降低到补液液位时由补液液位感应器6控制补液气动阀2关闭,并打开进液气动阀9,将液位补充到工作液位;去除补液气动阀2中的截留片,增大了补液管路的孔径,实现了快速补液的功能。

Claims (1)

1.一种新型的高精度自动补液系统装置,其特征在于:槽体(1)通过管道与补液气动阀(2)连接,补液气动阀(2)通过管道与药液盒(3)连接,液位管(4)设在药液盒(3)上并与药液盒(3)连通,液位管(4)靠近底部设有低液位感应器(5),补液液位感应器(6)位于低液位感应器(5)之上,工作液位感应器(7)位于补液液位感应器(6)之上,高液位感应器(8)位于工作液位感应器(7)之上,药液盒(3)通过管道与进液气动阀(9)连接。
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