CN202808599U - 用于表征玻璃板片特征的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于表征玻璃板片特征的装置，该装置包括：环形的内多孔体部分，内多孔体部分包括位于内多孔体部分的表面内的圆形槽、以及多个与圆形槽相交的径向槽，内多孔体部分形成延伸通过环形的内多孔体部分的厚度的中心通道；围绕内多孔体部分设置的外多孔体部分，其中，外多孔体部分包括多个位于外多孔体部分的表面内的连续槽；以及其中，外多孔体部分的每个连续槽包括多个真空端口。该装置包括互补的机械材料操作技术，该技术渐进地稳定、定位、捕获、弄平和释放移动通过该装置的玻璃板片的下部，同时，对玻璃板片的顶部上施加最小的约束，玻璃板片本身受在各个制造工位之间移动玻璃板片的传输器约束。

Description

用于表征玻璃板片特征的装置

相关申请的交互参照

本申请根据35U.S.C.§119要求对2011年8月24日提交的美国临时专利申请系列号61/526860的优先权益，本文依赖于该专利的内容并以参见方式引入其全部内容。

技术领域

本实用新型涉及用来表征玻璃板片特征的装置，尤其是，涉及适于在玻璃板片移动时测量玻璃板片一个或多个选定属性的装置。

背景技术

本实用新型涉及用于控制正在沿着预定路径进行传输的玻璃板片的运动和姿态的装置，以使诸如形貌检测（例如，微观形貌，或纳米级上的形貌）之类的在线测量能有高的分辨率。薄玻璃板片的精确在线测量，尤其是，纳米级特征的测量，一贯地高度依赖于玻璃板片是否以预定的取向呈现在预定平面内，玻璃板是否消除了绝大部分的振动和摆动。诸如对厚度、波度和波筋的高精度测量那样的挑战，高度地依赖于玻璃表面是否给于测量仪以可重现的、高容差的材料处理。

诸如对波筋和条纹的在线检测那样的在线过程的控制和质量测量遇到的问题是，在非质量区域内只是简单地夹住玻璃之时进行检测时缺乏可重复性。材料提出挑战的很大部分是，要保持玻璃板片沿着生产线移动，同时悬空在高架传输器上的运载器上方。该种限制经常使得测量在生产处理线的单独分开的检测部分上进行，即完全是离线的，或者与粗糙的传统在线材料处理相容的测量技术就被局限在其特性上（例如，分辨率）。

在诸如硅晶片或纸和塑料幅材的其它行业内，高分辨率的度量是在线进行的，但在这些情形中，产品是直接与支承板接触的，如与晶片或辊子接触，与大多数的幅材相接触。适用于显示器应用的玻璃板片上的尺寸和接触限制对操作处理提出了困难挑战。

实用新型内容

通常厚度等于或小于1mm的薄玻璃板片的测量会呈现出一定的曲率量或翘曲，当测量玻璃的某些属性时，特别是如果玻璃较大（例如，大于约4m2）的话，曲率或翘曲会造成困难。为了克服该缺点，首先必须弄平玻璃。过去，弄平和稳定玻璃板片的操作涉及到从内联路径中取出玻璃板片，将玻璃板片传送到精密的花岗岩底座，然后，将个别的玻璃板片抽真空到真空台，作出所要的测量，取出玻璃板片，然后对另一玻璃板片进行相同的操作。如此逐个操作的方法增加了相当的时间，并耗费了制造过程成本。如果需要在玻璃板片沿着制造生产线运输的同时来测量该玻璃板片，则测量大而薄玻璃板片的挑战就会加剧。

在某些制造过程中，通过将玻璃板片夹紧到高架传输器内的移动构件上，玻璃板片可从一个位置传送到另一位置。如果能够在玻璃板片运动时完成一个或多个上述特征的表征，且无需先拆卸玻璃板片和将玻璃板片定位在测量台上作为一个静止的物体，那么，这样会是有利的。

为此目的，本实用新型披露了一种对移动的玻璃板片作精密测量的装置，移动的玻璃板片例如是适用于液晶显示器中的玻璃板片，通过约束玻璃板片，同时仍由传输器的承载器来保持住，由此来作精密的测量。装置的材料操作特征包括空气刀和压力-真空（PV）空气轴承，它们布置成线性的方式，使得进入装置的玻璃板片经受非接触但逐渐增加的约束力，直到可进行测量的时刻。然后出现逐渐减小的约束力，直到玻璃板片从装置中释放出来为止。该逐渐变化力的技术沿着玻璃板片移动方向应用，并还沿着玻璃板片高度垂直向上施加，以便限制玻璃板片的运动，而不在靠近传输器承载器的捏合点处约束玻璃板片。

因此，本实用新型披露了一种空气轴承，该空气轴承可用在当玻璃板片移动通过装置时用来表征该玻璃板片特征的装置，该空气轴承包括：环形的内多孔体部分，内多孔体部分包括位于内多孔体部分表面内的圆形槽，以及多个与圆形槽相交的径向槽，内多孔体部分形成延伸通过空气轴承厚度的中心通道；围绕内多孔体部分设置的外多孔体部分，其中，外多孔体部分包括多个位于外多孔体部分表面内的连续槽；以及其中，外多孔体部分的每个连续槽包括多个真空端口。内多孔体部分的圆形槽和内多孔体部分的径向槽将内多孔体部分的表面分成为多个子表面，以及多个子表面中的子表面包括真空端口。较佳地，多个子表面中的每个子表面包括真空端口。

外多孔体部分较佳地包括弓形的外周界，较佳地，外多孔体部分包括外周界，以使空气轴承包括环形的内多孔体部分和围绕内多孔体部分设置并与内多孔体部分同心的环形的外多孔体部分。在某些实施例中，空气轴承包括多个内多孔体部分。例如，多个内多孔体部分可沿着水平轴线对齐。

在另一实施例中，本实用新型披露了当玻璃板片移动通过装置时来表征该玻璃板片特征的装置，该装置包括：空气轴承，该空气轴承包括环形的内多孔体部分以及围绕内多孔体部分设置的外多孔体部分，内多孔体部分形成延伸通过空气轴承厚度的中心通道；多个稳定空气刀，多个稳定空气刀相对于玻璃板片移动方向定位在空气轴承的上游；以及用以测量玻璃板片至少一个属性的测量装置，该测量装置与空气轴承的中心通道对齐。内多孔体部分包括位于其表面内的圆形槽。内多孔体部分还可包括与圆形槽相交的多个径向槽。内多孔体部分的表面包括真空端口。如果内多孔体部分包括圆形槽和多个径向槽，则圆形槽和径向槽在内多孔体部分上形成了多个子表面。较佳地，每个子表面包括真空端口。

外多孔体部分包括多个连续的（即，闭合的）槽，每个连续槽包括多个真空端口。例如，每个连续槽可以是圆形的、卵形的、椭圆形的或任何其它闭合的连续的形状。较佳地，外多孔体部分的外周界是弓形的。例如，外多孔体部分的外周界可以是圆形的。在某些实施例中，空气轴承可包括多个内多孔体部分。

测量装置较佳地通过由内多孔体部分形成的通道来测量至少一个属性。

稳定空气刀定向成使从稳定空气刀中流出的空气流沿向下方向倾斜。即，从稳定空气刀中流出的空气流相对于水平平面较佳地朝向向下的方向，以使空气流与玻璃板片成锐角。例如，空气流的方向可相对于玻璃板片形成范围在约15度至约75度的角度。较佳地，稳定空气刀呈弓形形状。

根据本实施例的装置还可包括定位在空气轴承下游的定位空气刀，以迫使玻璃板片处于远离空气轴承的方向。

在下面的详细描述中，将阐述本实用新型其它的特征和优点，本技术领域内的技术人员从该描述中将会部分地容易明白到这些特征和优点，或通过实践这里所描述的实用新型来得以认识它们，这里描述的实用新型包括下面的详细描述、权利要求书以及附图。

应该理解到，以上的一般性描述和下面的详细描述给出了本实用新型的实施例，这些实施例用来提供为理解本实用新型所主张的特性和特征之用的概述或框架。附图的纳入旨在提供对本实用新型的进一步理解，附图构成本说明书的一部分。附图示出了本实用新型各种实施例，连同描述一起用来解释本实用新型的原理和操作。

附图说明

图1是示范的生产玻璃板片的熔融玻璃制造系统的示意图；

图2是根据本实用新型一实施例的用来表征玻璃板片特征的装置的立体图；

图3是图2装置的俯视图；

图4是根据本实用新型一实施例的边缘导向装置的俯视图；

图5是根据本实用新型一实施例的边缘约束装置的俯视图；

图6是图5的边缘约束装置中辊子的侧视图，示出与旋转编码器相啮合的辊子；

图7是根据本实用新型一实施例的空气轴承的简化前视图，显示内部多孔体部分和外部多孔体部分；

图8是图7的空气轴承的侧视（边缘）图；

图9是根据本实用新型一实施例的空气轴承的前视图，该图显示为空气轴承相对于玻璃板片的某一位置；

图10是图7的空气轴承的详图；

图11是空气轴承另一实施例的前视图，其中，空气轴承包括多个内部多孔体部分；

图12A是图10的空气轴承的内部多孔体部分的一部分的剖视图；

图12B是图10的空气轴承的外部多孔体部分的一部分的剖视图；

图13是根据本实用新型的示范的线性稳定的空气轴承的立体图，示出以平面方式从细长喷嘴流出的空气流；

图14是图7的空气轴承的前视图，示出示范稳定的空气刀的向下角；

图15是图7的空气轴承的俯视图，示出示范稳定的空气刀的侧向角；

图16是图7的空气轴承的侧视（边缘）图，示出从示范稳定的空气刀流出的向下的空气流；

图17是图7的空气轴承的前视图，示出空气轴承相对于玻璃板片移动方向的前导边缘和尾部边缘；

图18是图2装置的俯视图，示出该装置在玻璃板片产生的曲率；

图19是图17的空气轴承一部分的侧视剖视图，示出邻近于空气轴承的玻璃板片的曲率的详图；

图20是当玻璃板片以100mm/s速度移动时玻璃板片上两个部位的飞行高度对时间的曲线图，并示出玻璃板片位置的稳定性（即，飞行高度的一致性）。

具体实施方式

在以下的详细描述中，为了解释的目的且不予限制，阐述了披露具体细节的示例的实施例，以提供对本实用新型的透彻理解。然而，本技术领域内的技术人员从对本实用新型的披露中获益后将会明白，本实用新型也可应用在其它与这里所披露的具体细节相偏离的实施例中。此外，对众所周知的装置、方法和材料的描述可予以省略，以使对本实用新型的描述更加清晰。最后，任何适用的情况下，相同的附图标记表示相同的元件。

在下拉式的玻璃板片制造过程中，例如熔融式下拉过程中，在形成玻璃带的合适粘度和下拉速度的条件下，通过垂直地向下曳拉粘滞的玻璃材料，就可形成玻璃板片。当玻璃材料通过玻璃的转变温度范围时，玻璃带包括处于玻璃带最上极端位置处的粘滞液体和从粘滞液体到固体玻璃带的过渡区。当玻璃带的下降底部部分达到合适的温度和粘度时，从玻璃带上切割下玻璃板片，如此地继续该过程，从连续下降的玻璃带中切割下玻璃板片。

图1中示出了一示范的下拉式熔融玻璃制造系统6。根据图1，配合料8加载到熔化炉10内，并加热而形成粘滞的熔融玻璃材料12。熔融玻璃材料12被传输通过精炼炉14，那里，从熔融玻璃材料中除去气泡，然后，在搅拌装置16中进行搅拌而使熔融玻璃材料变均匀。搅拌操作目的是消除熔融玻璃材料的化学一致性中的差异，由此避免成品玻璃的物理和光学特性的变化。一旦熔融玻璃材料搅拌后，它就流过接纳容器18，然后流向成形体20。通过抑制微小的流动波动，接纳容器18起作积聚器的作用。成形体20包括陶瓷体，该陶瓷体具有位于成形体上部内的敞开通道22，以及一对会聚的外部成形表面24，该对表面在成形体的底部连接起来。熔融玻璃材料溢流过成形体的敞开通道，并向下流过成形体的会聚的成形表面，成为两个分开的熔融玻璃材料流。分开的熔融玻璃材料流联合和形成单一的玻璃材料流或带26，那里，会聚的成形表面会聚在一起。玻璃带在其下降通过玻璃的转变温度区域时冷却下来，从而形成固体的玻璃带，玻璃板片28沿着切割线29从玻璃带中切割下。

熔化炉10通过熔化炉到精炼炉之间的连接管30连接到精炼炉14，并与精炼炉14流体地连通，精炼炉14通过精炼炉到搅拌装置之间的连接管32连接到搅拌装置16，并与搅拌装置16流体地连通。搅拌装置16通过搅拌器到接纳容器之间的管子34连接到接纳容器18，并与接纳容器18流体地连通，接纳容器18通过下流管36和成形体入口38连接到成形体20，并与成形体20流体地连通。当熔化炉10典型地由诸如陶瓷砖（例如，氧化铝或或氧化锆）那样的陶瓷材料形成时，涉及到熔融玻璃材料运输和处理的那些部件典型地由铂或诸如铂铑合金那样的铂合金形成。因此，熔化炉到精炼炉之间的连接管30、精炼炉14、精炼炉到搅拌装置之间的连接管32、搅拌装置16、搅拌器到接纳容器之间的管子34、接纳容器18、下流管36和成形体入口38典型地包括铂或铂铑合金。

由于玻璃板片从玻璃带26中取下时它们以垂直定向的板片开始，所以，如果玻璃板片被运输通过形成过程下游的制造过程的至少一部分时，玻璃板片仍可保持在垂直的定向，则减少操作就成为可能。因此，在某些制造过程中，玻璃板片从玻璃带中切割下并在垂直定向上移动通过至少一部分的过程生产线之后，玻璃板片附连并被提升的传输器支承。此外，更为有效的是，在玻璃板片移动时而不是卸下玻璃板片时就执行成形后的加工处理，置玻璃板片在夹具内，处理该玻璃板片，重安装该玻璃板并将其运输到其后的加工过程。为此目的，本文披露了一种装置，其在玻璃板片从玻璃带中切割下之后并在玻璃板片移动时测量玻璃板片的特征。测量的特征可包括波筋、条纹或厚度等。波筋与玻璃体积中组成成分上的不均匀性相关。该成分上的不均匀性可导致周期性的纳米级的形貌偏差。在液晶显示器（LCD）领域内，这些偏差可导致显示器屏本身内周期性的元件间隙变化，这又会导致对比度条纹，人的感觉细微地对此进行协调。条纹可导致LCD屏内同样的畸变，但条纹是由用来形成玻璃板片的物体上的流动变形所造成。根据图2，在进入装置40之前，将玻璃板片仅在玻璃板片的上边缘处固定，使得玻璃板片自由地悬挂在该支承上，由此可运输玻璃板片。

尽管以上的简要描述集中在下拉式熔融玻璃板片的制造过程上，但本实用新型不局限于下拉的熔融过程，本实用新型也可应用在诸如狭缝曳拉工艺过程的其它玻璃板片制造过程中。

图2和3示出用于测量玻璃板片特征的装置40的示范实施例。如图2和3所示，装置40包括框架42，该框架支承处于直立垂直定向中的圆形空气轴承44。空气轴承44是压力-真空装置，其设计成将诸如玻璃板片那样的基底保持在预定的距离处，在离空气轴承表面的最大偏差范围之内。该预定距离被称之为飞行高度。飞行高度代表该基底相对于空气轴承的平衡位置。当通过一个或多个真空端口从玻璃板片和空气轴承之间抽出空气时，周围的空气压力迫使基底朝向空气轴承。然而，当基底朝向空气轴承移动时，由从空气轴承的多孔表面中流出的空气产生的对着基底的力增加，直到基底到达诸力达到平衡的位置为止。因此，基底被空气轴承擒住和固定住。飞行高度显示出有关给定的正常飞行高度的某些偏差。如本文中所使用的，真空端口可以是与通道流体地连通的空气轴承44表面内的任何开口，所谓通道例如是管道、管子或用于传输气体的其它结构，其连接到或意欲连接到诸如真空泵那样的真空源。真空端口可以互连，例如，通过设置在空气轴承44内共用的腔室，通过空气轴承44外的共用腔室进行连接，或个别地供应真空。

空气轴承44包括主表面46，其是最靠近要测量的玻璃板片的那个表面，包括通道或凹槽和真空端口，这将在下文中详细地讨论。为了清晰起见，说到主表面46上的角度位置，将参照圆形空气轴承的外周界来作出，令0度位置位于空气轴承最顶上的点处，相对于圆形空气轴承的中心增加角度位置，顺时针方向转动增加角度通过360度。

参照图2，传输器48可用来沿着预定路径顺着移动方向50运输玻璃板片通过装置40，以便可测量玻璃板片。例如，传输器48可包括装备有夹紧机构49的高架的轨道，该夹紧机构49沿着轨道移动，其还夹紧到待要测量的玻璃板片的顶部边缘上。较佳地，该夹紧机构构造成沿着轨道滚动或滑动。此外，传输器48最好装备有沿着轨道组件移动该夹紧机构和玻璃板片的驱动机构。例如，轨道组件可配备连接到夹紧机构的从动链或皮带，其中，电动机或其它的驱动力用来移动链条或皮带，由此，致使夹紧机构和被夹紧机构49夹紧的玻璃板片沿着轨道组件移动通过装置40。如文中所采用的，移动方向50代表玻璃板片通过装置40的向前运动。此外，术语“上游”和“下游”是相对于移动方向50而被采用的。即，上游被解释为大致与移动方向50相对的方向，而下游则被解释为大致与移动方向50同向的方向。然而，应该指出的是，上游和下游的表示不需要所指方向是相同的，或恰好完全与移动方向50相反。只需要所指方向在相对方向上没有矢量分量。例如，上游方向没有下游矢量分量。此外，上游和下游可用来指定相对于移动的玻璃板片的静止位置。在这一点上，上游是指相对于另一静止位置遇到移动的玻璃板片的某一位置。因此，沿移动方向50移动的玻璃板片在通过其后点或物体之前可通过一个固定点或物体。该第一通过点或物体被称之为相对于其后点的上游点或物体，而其后点或物体是相对于第一通过点的下游点或物体。

装置40还包括多个玻璃板片稳定空气刀，该空气刀包括第一稳定空气刀52a和第二稳定空气刀52b，第一稳定空气刀52a定位成使得第一稳定空气刀将位于玻璃板片的第一主表面的对面（那里，玻璃板片的第一主表面是最靠近或邻近于空气轴承的玻璃表面），而第二稳定空气刀52b位于玻璃板片的第二主表面对面。更简单地说，一个空气刀邻近于玻璃板片的一侧定位，而另一个空气刀邻近于玻璃板片的另一侧或相对侧定位。附加的玻璃板片稳定空气刀52a、52b可这样进行定位，按照需要使它们与玻璃板片的第一或第二主表面相对。例如，图2和3示出四对呈行列排列的稳定空气刀。装置40还可包括另外的空气刀的定位，对定位在空气轴承44上游的空气刀、定位在空气轴承下游的空气刀进行定位，和/或相对于空气轴承进行定位，以有助于玻璃板片相对于空气轴承的定位，这将在下文中进一步详细描述。

装置40还包括用来将玻璃板片引导到测量位置内的边缘导向装置54。边缘导向装置54相对于玻璃板片的移动方向位于稳定空气刀的上游，起到减小或消除玻璃板片侧向摆动并在稳定空气刀之间导向玻璃板片的作用。在图2和3所示的实施例中，也许如图4中清楚地所示，边缘导向装置54包括一对导向臂56a、56b，它们构造成形成导向狭槽58，用来接纳玻璃板片的下边缘。较佳地，导向狭槽58导向狭槽58呈楔形或V形，其中，在玻璃板片进入导向狭槽的导向狭槽58入口（上游）端（相对于玻璃板片移动方向50而言）处的导向臂之间的距离d，大于导向狭槽出口（下游）端处的导向臂56a、56b之间的距离d’。更简单地说，导向臂之间的距离沿着导向狭槽的长度和方向50变化，使得导向狭槽随着玻璃板片前进通过导向狭槽而逐渐地变窄，由此形成沿朝向空气轴承44的方向变窄的V形狭槽。较佳地，如图4中实施例所示，每个导向臂通过轴销或栓子可转动地安装在框架42上，轴销或栓子插入到各个导向臂内互补的孔60中并紧固在框架42上。替代地，每个导向臂可包括配装在框架42内的互补孔内的销子。因此，导向臂可以转动而改变导向狭槽58的形状。最好还设置用来锁定导向臂的装置，由此，使得每个导向臂在实现合适的狭槽形状时不动。例如，导向臂可配装有夹子或锁定螺钉。在某些实施例中，装置40可包括多个边缘导向装置54。导向狭槽58的宽度d应足以容纳玻璃板片预计最大的侧向运动或摆动（此时，玻璃板片围绕夹紧机构49转动），以便于擒住玻璃板片。例如，如果距离d不是足够宽，那么，摆动的玻璃板片可能不被擒获在导向狭槽58内，而相反被传输到与装置40的元件相接触，由此，有可能损坏玻璃板片或装置。宽度d将取决于特殊工艺过程结构的参数。如上所述，宽度d’小于宽度d，宽度d应该足够大，以在玻璃板片移动通过导向狭槽58时防止玻璃板片卡住，但却又必须足够狭窄，以减小或消除侧向摆动。例如，宽度d’取决于玻璃板片的厚度以及玻璃板所呈现出的任何曲率幅度。替代地，边缘导向装置54可以是材料块体，其包括加工到块体上表面内的狭槽。

装置40较佳地还包括边缘约束装置62，其在图5中可清晰地看到，当玻璃板片邻近于空气轴承沿第一方向50移动时，边缘约束装置62用来保持住玻璃板片的下边缘63。例如，边缘约束装置62可以是多个导向辊，导向辊包括一对或多对相对的辊子，当玻璃板片横向于装置40时，辊子沿着玻璃板片的路径定位。根据图5的实施例，每个辊子对包括一固定位置的辊子64和一相对的可动的辊子66。辊子对的固定辊子构造成可转动，但不可其它方式的运动。即，当固定位置的辊子64可围绕辊子转动轴线转动时，它不适于平移或摆动（描绘成弧形）。另一方面，辊子对中相对的可动的辊子66构造成既可转动又可移动（例如，平移），以使固定位置的辊子64和相对的可动的辊子66之间的距离可变化。较佳地，可动的辊子66被推向固定位置的辊子64，就像用弹簧68那样。如图5所示，可动的辊子66偶联到枢轴臂70上，该枢轴臂可围绕枢轴点72枢转。弹簧68被压缩在枢轴臂70和弹簧止挡74之间，由此，可动的辊子66被推向固定位置的辊子64。插入在固定位置的辊子64和可动的辊子66之间的玻璃板片28致使可动的辊子66围绕枢轴点72转动，并描绘出围绕枢轴点72对中的圆弧。枢轴臂70对着弹簧68的同时的运动进一步压缩了弹簧68。即，可动的辊子66的转动轴线本身围绕枢轴点72转动。因此，远离固定位置的辊子64的可动的辊子66的运动，通过枢轴臂70受到弹簧68所施加力的阻碍，可动辊子66被推靠在玻璃板片28上，于是，玻璃板片28被夹捏在固定辊子和可动辊子之间。

为了跟踪玻璃板片通过装置40的进程，约束装置62的至少一个辊子可包括旋转的编码器装置，以检测可转动辊子的旋转运动，并将转动运动转化为电信号。图6示出固定位置的辊子64的侧视图，固定位置的辊子64包括辊子轴76和通过辊子轴76和驱动皮带80偶联到辊子上的旋转编码器78。正如行内所公知的，也可采用其它偶联旋转编码器78的方法。旋转编码器78按照辊子的转动比来转动，并形成或修正电信号79。来自旋转编码器78的形成的或修正的电信号79，然后可被传输到接收的计算装置（未示出），那里，使用来自旋转编码器的转动数据可计算玻璃板片的线性运动。如图6中清楚地所示，每个固定位置的辊子64和每个可动的辊子66都包括弹性表面82，以防止辊子和玻璃板片之间的接触所造成的损坏。

现参照图7和8，空气轴承44包括多孔体84，该多孔体包括大致平面的主表面46。如文中所使用的，多孔意味着刚性但却海绵样的材料，该材料包括上百万个通过该材料厚度的微小而随机布置的狭槽，这些槽由材料外表面处许多孔的均匀分布造成的，每个孔本身几乎是微不足道的。然而，当加压的气体供应给多孔材料时，多孔就一起提供来自材料表面的基本上均匀的空气流动。与本定义保持一致的合适的多孔材料是石墨。也可采用其它材料，例如，烧结的金属粉末，但由于金属有硬的研磨特性，增加了对玻璃板片刮擦的风险因此还是赞成诸如石墨那样的软材料。如图9所示，多孔体84的总高度D通常不大于待要测量的玻璃板片28高度H的一半（这里，用虚线88代表H/2），较佳地，多孔体84的高度不大于玻璃板片高度的三分之一，或更小些，其中，玻璃板片的高度是玻璃板片垂直地从传输器48中悬挂下来时玻璃板片沿垂直方向的尺寸。此外，还如图9中所示，较佳地是，在操作过程中，空气轴承最好仅邻近于玻璃板片底部部分定位。即，空气轴承较佳地定位成使多孔体84仅邻近于玻璃板片下半部或更小些定位，或是邻近于玻璃板片一部分定位。如果多孔体84高高定位在玻璃板片上（例如，在虚线88上方），则玻璃板片可能经受放置在玻璃板片上的约束造成的不合适的应力，约束可以是传输器夹紧机构和空气轴承施加的限制所造成。生成的应力可使玻璃板片碎裂。

返回到图7来，多孔体84被进一步分为第一或内部多孔体部分90和围绕内部多孔体部分设置的第二或外部多孔体部分92。因此，平面的主表面46被分为包括内部多孔体部分90的内平表面94以及包括外部多孔体部分92的外平表面96。内平表面94和外平表面96可以是共平面的。

空气轴承44的内部多孔体部分90呈环形，该环形具有圆形内周界98和外周界100，内周界98离内周界中心的半径为r1，而外周界100离内周界中心的半径为r2。此外，内周界98表明延伸通过空气轴承44的通道102的外周界。在一典型的实施例中，通道102直径在大约3cm至大约8cm的范围内。然而，通道102可以大些或小些，取决于所要采取的测量需要和特性。测量装置104（见图2）定位成使空气轴承44定位在玻璃板片28和测量装置104之间，于是，测量装置的光轴105延伸通过该通道102。如此的“贯通”测量是有利的，有利之处在于，检查平面（由测量装置104固定）和玻璃平面是共面的。例如，如图7所示，光轴105可与内周界98的中心相一致。在其它的实施例中，测量装置104可定位成使玻璃板片28位于测量装置104和空气轴承44之间。然而，测量装置104应仍定位成使测量装置的光轴105对齐而通过该通道102。然而，在某些实施例中，如果从多孔体84反射出的光线不影响正在进行的特殊测量的质量或其它方式干扰测量，则当测量是从面向多孔体84的玻璃板片28的侧面进行时，就可去除通道102。测量装置104的光轴105例如可以是由测量装置朝向玻璃板片28发射的激光束。

现参照图10，内部多孔体部分90包括至少一个与内周界98同心的圆形槽106。内部多孔体部分90还包括多个槽108，它们径向地延伸在内平表面94上，并与圆形槽106相交。径向槽108较佳地以辐条那样的方式布置在周期的角度位置上。圆形槽106和相交的径向槽108将内平表面94分成多个子表面87。每个子表面87包括至少一个与真空源（未示出）流体地连通的真空端口110，就如先前所描述的。

与内部多孔体部分90相同，空气轴承44的外部多孔体部分92呈弓形，但不需要通过外周界。例如，外部多孔体部分可以是椭圆形或卵形。外部多孔体部分92围绕内部多孔体部分90设置，并包括内周界112，其离如上所述的内部多孔体部分90的中心的半径为r3。在外部多孔体部分92包括外周界（即，如图7所示的周界114）的实施例中，外周界114定义为离内周界98的中心的半径为r4。在某些实施例中，r2=r3，因此，外部多孔体部分92的内周界112与内部多孔体部分90的外周界100相同。

仍然参照图10，外部多孔体部分92还包括多个形成在外平表面96内的连续槽116。每个连续槽116包括多个延伸通过多孔体并连接到真空源的真空端口118。较佳地，该多个真空端口118周期地布置在每个连续槽116内，以使设置在给定连续槽内的诸真空端口之间的角位移都相等。例如，在给定的连续槽116之内，真空端口118可围绕槽每隔5度、每隔10度或每隔15度定位。一个连续槽116的诸真空端口没有必要与另一连续槽116的真空端口角度地相一致。在某些情形中，特别是当外部多孔体部分92的外周界为圆形时，连续槽116最好是圆形和同心的。

在某些实施例中，诸如是如图11所示的实施例，空气轴承44可包括多个定位在外部多孔体部分92内的内部多孔体部分90，每个内部多孔体部分形成一个通道102。当为同时确定玻璃板片多个特征而进行多测量且不能纳入到单一测量装置内时，这样做可以是特别有帮助的。

借助于图12A和12B，其中，图12A示出了内部多孔体部分90一部分的剖视图，而图12B示出了外部多孔体部分92一部分的剖视图，可以更清晰地看清槽和真空端口的结构布置。内部多孔体部分90和外部多孔体部分92都用诸如空气那样的加压气体供应，如箭头117所示，加压气体从每个多孔体部分的平表面中射出。如箭头119所示的真空端口处产生的真空和多孔体部分的平表面上产生的空气压力，两者一起形成两个区域：邻近于外平表面96的低精度擒获区域和与内平表面94相一致的高精度擒获区域。在低精度擒获区域内，玻璃板片的飞行高度可大于邻近于高精度擒获区域的玻璃板片的飞行高度。邻近于低压擒获区域的玻璃板片飞行高度通常可在大约40μm至60μm的范围之内，而邻近于高压擒获区域的玻璃板片飞行高度通常可小于40μm。

如上所述，并根据图2和3的实施例，装置40包括多个稳定空气刀52a、52b，它们相对于通过装置40的玻璃板片移动方向50定位在空气轴承44的上游。该多个稳定空气刀包括第一稳定空气刀52a和第二稳定空气刀52b，第一稳定空气刀52a定位成使得第一稳定空气刀将位于玻璃板片28的第一主表面121的对面（见图18），而第二稳定空气刀52b定位成使得第二稳定空气刀将位于玻璃板片28的第二主表面123的对面。玻璃板片28的第一主表面121是玻璃板片邻近于空气轴承时最靠近多孔体84的表面，而第二主表面123则是相同情况下最远离多孔体84的玻璃板片28的表面。当玻璃板片进入稳定空气刀之间的空间并帮助弄平玻璃板片时，从多个稳定空气刀的至少第一和第二稳定空气刀中流出的空气流，连同至少一个边缘导向装置54，稳定了玻璃板片的侧向（侧到侧）运动。更简单的说，即使玻璃板片可能在玻璃板片的上和下边缘处，受到玻璃板片上边缘处的传输器夹紧机构49和玻璃板片下边缘处的边缘导向装置54的作用而阻碍侧向运动，玻璃板片也仍可沿垂直于玻璃板片大致平面的方向变形，很像布帆可在风中扬起那样。这是因为玻璃板片可以是非常大和非常薄，当与非常厚的玻璃板片相比较时，就给予玻璃板片增加的柔性。例如，玻璃板片的厚度可小于1mm。

每个稳定空气刀可这样进行定向，使从每个稳定空气刀流出的空气流沿向下方向朝向玻璃板片，通常朝向玻璃板片的底部，以在玻璃板片的主表面上形成更多的空气层流，并防止产生湍流和其后对玻璃板片的猛烈冲击。较佳地，尽管不是必要的，第一和第二稳定空气刀52a、52b横贯玻璃板片布置成彼此为镜面对称。例如，在诸如图2和3所示实施例的某些实施例中，多个稳定空气刀最好布置成多对部分地或基本上相对的空气刀。即，尽管空气刀可彼此直接相对，但这不是必要的，如此“成对”的空气刀之间可以有某些偏移。然而，在某些实施例中，该种偏移可以是很显著的。稳定空气刀的数量取决于工艺过程，例如，取决于玻璃板片的运输速度、玻璃板片的大小和重量、以及玻璃板片在特殊的制造工艺生产线上所呈现出的侧向摆动量。同样地，相比较于另一空气刀在玻璃板片另一侧上的放置，空气刀在玻璃板片一侧上的准确放置将取决于该安装的特殊工艺条件。

图13示出示范的稳定空气刀（这里，通常用附图标记120表示），其包括具有细长孔124的大致细长体122，空气流126从该细长孔中流出。为简化起见，空气刀用纵向延伸的矩形块体表示。每个细长孔124通过偶联与进入空气刀的加压气体源流体地连通。空气刀可包括与细长孔124流体地连通的内部腔室。由于空气数量既丰富又可自由获取，所以是相当满意的气体，剩下的描述将假定为是基于空气的空气刀。每个细长体122布置成使从每个细长体124射出的空气流的方向与参考的水平平面成向下的角度。如示范的稳定空气刀120所代表的每个稳定空气刀包括：相对于玻璃板片移动方向50的向前或前导端L和向后或尾部端TR。即，空气刀的前导端比空气刀的尾部端更在上游处。当用加压空气提供给空气刀时，空气高速从细长孔124中射出。尽管从细长孔124中射出的空气在离开稳定空气刀之后最终可能开始发散，至少在短距离内为几十毫米的量级，但空气从空气刀中射出也可成为可用平面来近似的大致的层流126。示范的稳定空气刀120还包括顶表面T。

在稳定空气刀布置成互补的相对关系的情形中（即，横贯平行于空气轴承主表面46的稳定空气刀之间的干预垂直平面成镜面对称），相对的稳定空气刀对的前导端之间的距离可大于相对的稳定空气刀对的尾部端之间的距离。即，随着玻璃板片在空气刀之间前进，相对的空气刀之间的距离以类似于导向狭槽58变窄的方式，变窄。

在还有的其它可供选择的特征中，多个稳定空气刀中的每个稳定空气刀可定向成使每个稳定空气刀的尾部端高于（或低于）稳定空气刀的前导端。在某些实施例中，每个稳定空气刀可类似于示范的空气刀120那样是直的（即，矩形的）。然而，每个稳定空气刀最好是弓形的，并可包括圆弧。无论是直的（线性）品种还是弓形设计的合适稳定空气刀，都可例如通过位于美国俄亥俄州的辛辛那提市的依爱公司（Exair Corporation）来获得。

根据下面的描述并借助于图14-16，可更详细地想象出每个稳定空气刀可如何在空间上定向。物体在三维空间中的定向需要有参照系，以及将物体定向在该参照系内的方法。图14示出与多孔体84的主表面46共面的垂直X-Y平面。为进一步讨论的目的，该X-Y平面形成三维笛卡尔坐标系中的一个平面。该X-Y平面位于图14所示页面的平面内。从图14中边缘中可见的第二垂直平面形成了笛卡尔坐标系中的Y-Z平面，其中，Z方向垂直于该页面延伸并因此延伸出该页面。Y-Z平面垂直于X-Y平面。也可从图14中边缘中可见的第三X-Z平面布置成垂直于X-Y平面和Y-Z平面。为了进一步讨论的目的，并且除了另有描述之外，由以上描述的三个平面X-Y、Y-Z和X-Z所形成的笛卡尔坐标系的原点位于内部多孔体部分90的中心处，该笛卡尔坐标系将被用来描述空气刀在三维空间中的定向。

图14-16示出示范的稳定空气刀120的三个可供选择的定向，因此通过延伸示出每个稳定空气刀的可供选择的空间定向，它们分别地显示以帮助想象该定向。图14示出空气轴承44的概貌，其观看在主表面46上并指示玻璃板片的移动方向50。示范的稳定空气刀120显示出向下的倾度或斜度，稳定空气刀的前导端L相对于水平的X-Z平面低于稳定空气刀的尾部端TR。即，代表从示范的稳定空气刀中流出的空气流的平面128形成与X-Z平面的角度α。

图15示出向下观看在空气轴承44边缘上的第二视图，并示出Y-Z平面的边缘和X-Y平面的边缘。X-Z平面垂直于X-Y平面和Y-Z平面。平面130是纵向地对分示范的稳定空气刀120的顶表面T的平面，平面130垂直于代表从空气刀中流出的空气流的平面126。根据图15，示范的稳定空气刀120可相对于垂直的X-Y平面倾斜，以使非零的角度β形成在平面130和X-Y平面之间。

图16示出在空气轴承44边缘上向下观看的第三视图，并示出X-Z平面的边缘和X-Y平面的边缘。Y-Z平面垂直于X-Y平面和X-Z平面。图16示出示范的稳定空气刀120，其从一端定向，以使退出空气刀的空气流朝向下（从一参考的水平流，例如，平行于水平的X-Z平面），空气流的平面形成与X-Y平面的锐角δ，而不是朝向例如垂直于玻璃板片。较佳地，δ在约15度至约75度的范围内，较佳地在约25度至约65度的范围内，更加较佳地在约35度至约55度的范围内。在一个实施例中，空气流相对于垂直的X-Y平面的角度约为45度。应该指出的是，空气流优选的方向是向下，因为空气轴承相对于玻璃板片低的定位，给予玻璃板片的下部更加大的刚度，以阻止玻璃板片由于空气流产生屈曲。然而，在某些实施例中，根据工艺条件和特殊的实施方式，例如空气轴承的定位，可首选向上的空气流。

以上的描述提供了示范的稳定空气刀120的三种可供选择的定向。在代表性的示范的稳定空气刀中，多个稳定空气刀中的每个稳定空气刀可呈现出三个上述可供选择的定向中的至少一个定向。例如，多个稳定空气刀中的每个稳定空气刀可排出空气，使得来自空气刀的空气流的方向大致向下（即，流动矢量包括垂直矢量分量）。因此，例如，两个稳定空气刀位于玻璃板片的相对两侧上，其中，稳定空气刀彼此成镜面对称像，并将形成大致V形的空气流，使“V”指向下。

同样地，多个稳定空气刀中的每个稳定空气刀可定向成使各个稳定空气刀的前导端比尾部端更远离玻璃板片。因此，例如，两个稳定空气刀位于玻璃板片的相对两侧上，其中，稳定空气刀彼此成镜面对称像，并将形成大致V形的空气流，使“V”指向下而朝向空气轴承。当玻璃板片进入空气刀之间时，这就为呈现侧向运动的玻璃板片提供了更大的侧向间隙。这还保证更加逐渐地施加从稳定空气刀中流出的空气帘，因为来自各个稳定空气刀的前导端的空气流在玻璃板片上形成的压力，变得小于邻近于稳定空气刀尾部端的玻璃板片上的空气压力。

同样地，多个稳定空气刀中的每个稳定空气刀可定向成使各个稳定空气刀的前导端相对于水平参考平面（例如，X-Z平面）比尾部端更低。可以说，稳定空气刀向前纵倾或倾斜，以弄平玻璃板片内任何形状的变形（例如，弯曲）。

多个稳定空气刀中的每个稳定空气刀可呈现上述一个或多个定向。在某些实施例中，一个或多个稳定空气刀可同时呈现所有三个定向。

除了稳定空气刀之外，如图3中所示，例如，第一定位空气刀132可放置在稳定空气刀52a、52b和空气轴承44之间，以使从第一定位空气刀中流出的空气流126冲击在邻近于空气轴承前导边缘的玻璃板片的第一主表面121上。例如，第一定位空气刀132可位于空气轴承44上的大约270度的位置。当玻璃板片邻近于第一定位空气刀132通过时在玻璃板片上产生的压力迫使玻璃板片远离空气轴承。当玻璃板片接近空气轴承时，这防止在玻璃板片的前导或前边缘之间出现接触，直到玻璃板片可被空气轴承“擒住”为止。

第二定位空气刀134可定位成使来自第二定位空气刀的空气冲击在玻璃板片的第二主表面123上。来自第二定位空气刀的空气的作用是强制玻璃板片朝向空气轴承的方向，因此，使玻璃板片更靠近空气轴承，并允许空气轴承擒住玻璃板片。通过组合压力和由外多孔体部分产生的真空，来实现玻璃板片的最初擒获。

第三定位空气刀136可定位在空气轴承的下游，并定位成使由第三定位空气刀发出的空气朝向玻璃板片的第一主表面121。由第三定位空气刀136产生的空气压力，迫使玻璃板片远离靠近空气轴承下游边缘的空气轴承表面，由此，当玻璃板片移动通过和脱离空气轴承时，防止玻璃板片和空气轴承之间的接触。每个定位空气刀132、134和136在设计上可类似于稳定空气刀。例如，每个稳定空气刀和每个定位空气刀可以是弓形的设计或是线性的设计。较佳地，从每个定位空气刀132、134和136中射出的空气朝向玻璃板片，以使每个定位空气刀生成的空气帘形成了相对于玻璃板片表面的小于90度但大于零度的角，例如，大于25度和小于75度，较佳地，大于35度和小于65度，较佳地，大于35度和小于55度。例如，一典型实施例可将每个定位空气刀定位成让空气流以大约45度的角度冲击到玻璃板片上。冲击角度小于90度的空气在玻璃板片的表面上产生的湍流要比垂直于玻璃板片的空气小。

装置40的各种非接触玻璃板片的操作部件的总体作用，将要在玻璃板片上提供逐渐增加的约束，以准备玻璃作测量。如上所述，在某些情形中，玻璃板片垂直地进行传输，仅用传输器夹具固定在玻璃板片的顶上。由于玻璃板片可能非常薄，等于或小于1mm，且在某些情形中等于或小于0.7mm，或在其它情形中会等于或小于0.3mm，所以，玻璃由于侧向摆动会容易地显现出侧向运动（即，围绕固定的承载器接触点转动），或以各种弯曲模式发生变形（就如本文中所使用的，弯曲模式类似于振动模式）。玻璃还由于夹紧过程中承载器对承载器的差异和传输器上承载器的位置缘故而会出现偏移。同样，玻璃板会垂直地弯曲。

装置40的各种玻璃板片的操作部件用来减小或消除这些运动以及诸如弯曲那样的固定形状。因此，装置40的操作可按照以下步骤进行。

用一个或多个夹紧机构49将玻璃板片28附连到传输器48，夹紧机构49沿着玻璃板片的顶部边缘夹紧玻璃板片，并将玻璃板片平移通过装置40。玻璃板片28由此从一个或多个夹紧机构中悬挂下来，并仅由沿着玻璃板片顶部夹紧到玻璃板片上的一个或多个夹紧机构来支承。玻璃板片的下边缘63未被支承，在进入装置40之前，最初能够侧向运动，即，摆动运动。除了侧向运动之外，玻璃板片还可显现出挠曲或弯曲。例如，玻璃板片可以圆柱形或双曲线形地弯曲，或呈鞍座形、穹顶形，或显现其它弯曲模式，或这些形状的组合。

当玻璃板片28接近装置40时，至少一个边缘导向装置54引导着玻璃板片，该边缘导向装置54与玻璃板片的下边缘63啮合，并在稳定空气刀52a、52b之间引导玻璃板片的前导边缘。下边缘63形成玻璃板片的“非质量”部分的一部分，以后可将该部分除去。至少一个边缘导向装置54尽可能减小或消除侧向的摆动。试验已经表明，本文所披露的边缘导向装置54的实施例可减小摆动的侧向运动，从±75mm的最大位移减小到小于±10mm。然而，尽管至少一个边缘导向装置54可对玻璃板片的下边缘的侧向运动提供极佳的控制，但玻璃板片基本上仅在顶部和底部边缘处受到约束，且仍然能够显现出玻璃板片体内的各种弯曲模式和固定形状。为了在玻璃板片移动邻近到多孔体84之前尽可能减小或消除玻璃板片的该附加运动或形状，可采用稳定空气刀。

由相对的稳定空气刀射出的空气流最好沿向下方向，该空气流可进一步减小玻璃板片的侧向运动，以消除玻璃板片的侧到侧的摆动，尤其是，减小或消除弯曲模式。实际上，稳定空气刀由于至少减小了弯曲的幅度，并在某些情形中消除了一个或多个弯曲模式，因此有助于提高玻璃板片的刚度。稳定空气刀的数量和定位取决于以下因素：玻璃板片的大小、玻璃板片的厚度、玻璃的密度以及玻璃板片横向通过装置40的速度。

当玻璃板片通过诸稳定空气刀之间时，玻璃板片的下边缘63可由一个或多个附加的边缘导向装置54导向，以便进一步导向和稳定该玻璃板片。例如，在某些实施例中，可采用多边缘导向装置；使第一边缘导向装置应用在稳定空气刀的上游，而第二边缘导向装置就定位在边缘约束装置62的前面。

当玻璃板片接近空气轴承44时，可采用可供选择的第一定位空气刀132，在玻璃板片的第一主表面121处引导空气流。来自第一定位空气刀132并对着玻璃板片28第一主表面121的空气力，推动玻璃板片远离空气轴承44的前导边缘140（见图17，特别是图18中的区域A），并当玻璃板片受到空气轴承44的外多孔体部分92的影响时，防止在空气轴承的前导边缘140和玻璃板片28的前导边缘141之间出现接触。玻璃板片和空气轴承之间的接触可导致玻璃板片的损坏，在某些情形中造成灾难性的破坏。

当玻璃板片继续沿着其移动方向50向前移动时，玻璃板片越过外多孔体部分92的第一真空端口118。较佳地，空气轴承44这样进行定位：定位在外多孔体部分92的最外槽内的真空端口118定位成当玻璃板片前进时它首先移动靠近该单一的真空端口118。参照图10，该第一真空端口118是最远离左边并位于图8中最外连续槽116内且相交于虚线119的真空端口。玻璃板片与第一真空端口118的该初始相遇的效果在于，玻璃板片28的前导边缘141移近外多孔体部分92。即，当邻近于空气轴承的前导边缘141的玻璃板片的区域被推离空气轴承的前导边缘时，迫使邻近于第一真空端口118的玻璃板片的区域朝向外多孔体部分92的方向。通过至少让邻近于第一真空端口118的玻璃板片的该部分靠近空气轴承，则玻璃板片的该部分就可被空气轴承44的外多孔体部分92擒获。玻璃板片继续向前运动使得玻璃板片邻近于外多孔体部分92的另外的真空端口118。在玻璃板片28的前导边缘的短距离之内，玻璃板片通过邻近于另外的外多孔体部分的真空端口118，由于外多孔体部分处的空气流，使足够的力作用在玻璃板片上，使得邻近于空气轴承44的玻璃板片的很大部分显现出相对于空气轴承的第一主表面有基本上均匀的飞行高度。

还有，当玻璃板片继续向前移动邻近于内孔体部分90时，玻璃板片的平整度和刚度提高，尤其是，玻璃板片28直接邻近于内孔体部分90的那些部分，这样，测量装置104就可通过通道102进行测量。

应该想到，为了确定玻璃板片28的表面形貌，可在玻璃板片28前行的运动（即，沿方向50）中，同时进行诸如干涉仪测量那样的玻璃板片的测量。当玻璃板片尾部边缘通过内孔体部分90，并然后通过外多孔体部分92时，空气轴承44的作用对玻璃板片施加的约束减小，来自可供选择的定位空气刀136的空气压力能够克服由空气轴承44施加的保持力，以推动玻璃板片的尾部边缘远离空气轴承，这样，玻璃板片和空气轴承之间的接触就不会发生。例如，施加到内孔体部分90上的加压空气以及真空可进行调整，这样，可保持玻璃板片的飞行高度，使偏差小于约30μm（±15μm）。

从前面所述可知，当玻璃板片移动通过空气轴承44时，玻璃板片的某一区域与通道102相对。因此，通道102在形成圆形测量区域时“扫过”如图9所示的玻璃板片的矩形测量区域138。测量装置104在该矩形区域内连续地测量玻璃。例如，测量装置104可以是干涉仪，用来在矩形测量区域内对玻璃板片作表面形貌测量，或测量装置104可测量玻璃板片的厚度。

最后，玻璃板片沿着移动方向50的连续向前移动，使玻璃板片的尾部边缘142通过空气轴承44。从第三定位空气刀136中射出并冲击在玻璃板片第一主表面121上的空气，迫使靠近空气轴承44尾部边缘142的玻璃板片的区域远离空气轴承，由此，避免了玻璃板片和空气轴承表面之间的接触。当玻璃板片的表面面积在稳定空气刀和/或空气轴承的影响下减小时，这就变得特别地有利。

定位空气刀132、134和136施加力的结果可借助于图18看清，该图示出装置40的俯视图，并示出玻璃板片28。定位空气刀132和136的效果可在用虚线圈出的附图标记A和B所示的区域内看清。的确，从图18中可以看到，玻璃板片总体呈非平面的外貌，直到玻璃板片完全被空气轴承啮合为止，此时，邻近于空气轴承的玻璃板片完全为平的，但应该指出的是，仅是需要平面化的区域才是发生测量的区域，例如，在测量区域的中心内。

图19示出从内孔体部分的中心延伸到空气轴承前导边缘的玻璃板片的边缘视图，该图较详细地示出空气轴承上方的玻璃板片形状。应该记住，图19的图示作了很大的夸大，因为所涉及的挠曲仅在几十个微米的量级上。如图所示，玻璃板片可分为几个被同样独特的边界分隔开的独特区域，给予空气轴承上的玻璃板片的部分有一系列相对平坦台地144的外貌，该一系列的平坦台地被S形的边界特征145分隔开，其中，台地的飞行高度沿朝向内孔体部分的中心（例如，由通道102定义的区域）方向减小。

图20是在玻璃板片两个不同部位处以测得的100mm/s移动速度通过装置40的实施例的玻璃板片的测得的飞行高度曲线图。垂直的“Y”轴代表飞行高度（微米单位），而水平的“X”轴代表时间。对于给定的部位，以预定频率（250秒-1）进行测量。因此，当玻璃板片邻近于空气轴承横过时，图20的曲线图可用来获得预定位置处随时间变化的飞行高度。玻璃板片具有偏离名义中心线位置为±75mm的初始侧向摆动。每个稳定空气刀对着玻璃板片以45度的向下角度引导空气。空气轴承的内孔体部分供应以20psi至60psi压力、流量为0.63±0.25CFM的空气，同时外多孔体部分供应以40psi至85psi压力、流量为0.96±0.35CFM的空气。玻璃板片在由通道102形成的圆形测量区域上的飞行高度，通常为28μm，变化小于±2.5μm。图20的曲线146显示在内孔体部分90外周界处的玻璃板片以100mm/s速度移动玻璃板片时在约210度位置的飞行高度，而图20的曲线148显示在内孔体部分中心处（即，通道102的中心）的飞行高度。玻璃板片移动的曲线特别告诉我们并显示出玻璃板片两个部位处的飞行高度的稳定性—外孔体部分的外周界处的测量部位以及多孔体中心上的测量部位。尽管名义飞行高度在两个区域之间不同，但外孔体部分部位的飞行高度显著比多孔体中心部位的飞行高度大，两个部位处的飞行高度令人惊奇地稳定，显示飞行高度的变化小于约±2.5微米。

本技术领域内的技术人员将会明白，对本实用新型还可作出各种修改和变化，而不会脱离本实用新型的精神和范围。因此，本实用新型意欲涵盖这些修改和变化，只要它们落入附后权利要求书和其等价物的范围之内。

Claims (20)

1.一种用于表征玻璃板片特征的装置，包括：

环形的内多孔体部分，所述内多孔体部分包括位于所述内多孔体部分的表面内的圆形槽、以及多个与所述圆形槽相交的径向槽，所述内多孔体部分形成延伸通过所述环形的内多孔体部分的厚度的中心通道；

围绕所述内多孔体部分设置的外多孔体部分，其中，所述外多孔体部分包括多个位于所述外多孔体部分的表面内的连续槽；以及

其中，所述外多孔体部分的每个连续槽包括多个真空端口。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述内多孔体部分的圆形槽和所述内多孔体部分的径向槽将所述内多孔体部分的表面分成为多个子表面，所述多个子表面中的子表面包括真空端口。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述多个子表面中的每个子表面包括真空端口。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述外多孔体部分包括弓形的外周界。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述外多孔体部分包括圆形的外周界。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置包括多个内多孔体部分。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述多个内多孔体部分中的每个内多孔体部分包括延伸通过其中的通道。

8.一种在玻璃板片移动通过装置时用于表征该玻璃板片特征的装置，该装置包括：

空气轴承，所述空气轴承包括环形的内多孔体部分以及围绕所述内多孔体部分设置的外多孔体部分，所述内多孔体部分形成延伸通过所述空气轴承的厚度的中心通道；以及

多个稳定空气刀，所述多个稳定空气刀相对于玻璃板片移动方向定位在所述空气轴承的上游；以及

用以测量所述玻璃板片的至少一个属性的测量装置，所述测量装置与所述空气轴承的中心通道对齐。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述内多孔体部分包括位于其表面内的圆形槽，多个径向槽相交于所述圆形槽。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述内多孔体部分的表面包括真空端口。

11.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述外多孔体部分包括多个连续槽，每个连续槽包括多个真空端口。

12.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述外多孔体部分的外周界是弓形的。

13.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述外多孔体部分的外周界是圆形的。

14.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述空气轴承包括多个内多孔体部分。

15.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述测量装置构造成通过所述中心通道测量所述至少一个属性。

16.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述稳定空气刀定向成使从所述稳定空气刀中流出的空气流相对于所述玻璃板片沿向下方向倾斜。

17.如权利要求16所述的装置，其特征在于，所述空气流的方向相对于所述玻璃板片形成约15度至约75度的角度。

18.如权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括边缘导向装置，所述边缘导向装置包括导向臂，所述导向臂布置成在其间形成“V”形狭槽。

19.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述多个稳定空气刀是弓形的。

20.如权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括定位在所述空气轴承下游的空气刀。

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