JP2020510950A - ドーム又はボウル状ガラス、及びドーム又はボウル状ガラスを製作する方法 - Google Patents

Abstract

ガラスシートは、第１の主面、上記第１の主面の反対側の第２の主面、及び上記第１の主面と上記第２の主面との間に延在する縁部表面を含む。上記ガラスシートは、０．３ｍｍ〜２ｍｍの厚さを含む。上記ガラスシートは、ドーム又はボウル形状を含む。

Description

関連出願の相互参照

本出願は、米国特許法第１１９条の下で、２０１８年２月１２日出願の米国仮特許出願第６２／６２９３３８号、及び２０１７年２月２４日出願の米国仮特許出願第６２／４６３１９８号の優先権の利益を主張するものであり、上記仮特許出願の内容は信頼できるものであり、その全体が参照により本出願に援用される。

本開示は一般に、ガラスシート及びガラス基板、並びにガラスシート及びガラス基板を製作するための方法に関する。より詳細には、本開示は、ハードディスクドライブ用のガラス基板、及び例えばガラスドロー加工装置によるガラス作製プロセス又はシステムを用いて、ガラス基板を製作するための方法に関する。

１９５６年にＩＢＭが設計及び製造した最初の磁気記録ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の導入から、６０年以上が経過している。上記ドライブの容量は約４．４ＭＢであり、これは１９８０年代初めに出現した最初のパーソナルコンピュータのハードドライブと同一であった。現在、１０ＴＢ程度の記憶容量を備えたＨＤＤが入手可能であり、最新のコンピュータシステムで使用されている。新たな技術の出現により、ドライブあたりのコスト、及びドライブの物理的サイズは、大幅に削減されている。これらの顕著な進歩の組み合わせにより、ＨＤＤに対する市場での需要は今なお増え続けている。

ＨＤＤは、薄い強磁性フィルムコーティングを備えた厚い非磁性基板からなるプラッタ上に、情報を記憶する。ハードディスクドライブには、２つの優勢な形状因子：典型的にはガラス基板を使用する２．５”（６５ｍｍ）；及び典型的にはアルミニウム基板を使用する３．５”（９５ｍｍ）が存在する。ソリッドステートドライブからの、ＨＤＤに対する価格的な圧力により、ＨＤＤ製造元は、ドライブの１ＴＢあたりのコストを削減する方法を探すことを余儀なくされている。コスト削減のための２つの最も有望な方法は、ドライブあたりのプラッタの個数を増加させること、及びプラッタの面密度（ＴＢ／ｉｎ^２）を増大させることである。プラッタの個数を増加させるためには、ドライブの一定の形状因子を維持するために、より薄いプラッタを使用する必要がある。この場合、基板材料の剛度を上昇させることによって、厚さの削減による剛度の低下を相殺することが望ましい。これは、ＨＤＤ製造元に、９５ｍｍのＨＤＤにおけるガラスの使用を考えさせる、１つの因子である。面密度を増大させるためには、熱支援型磁気記録（ｈｅａｔ ａｓｓｉｓｔｅｄ ｍａｇｎｅｔｉｃ ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ：ＨＡＭＲ））と呼ばれる新たな磁気薄膜技術を使用する必要がある。この技術は、堆積中の磁気薄膜の高温（例えば６００℃超）でのアニーリングを必要とする。この高いプロセス温度により、ＨＡＭＲにはアルミニウム基板を使用できない。これもまた、９５ｍｍのＨＤＤ用途にガラス基板を適応させることを求めている。

ＨＤＤのディスク性能に関連する属性は多数存在する。例えば、ＨＤＤアセンブリ内のディスクの個数が増えると、プラッタの厚さ及び間隔がはるかに小さくなるため、平坦性が重要になる。プラッタが薄くなるほど、曲げ剛性が大幅に小さくなり、取り扱い中及び動作状態時に破損しやすくなる。基板のいずれの反り（即ち平面外歪み）は、動作中のプラッタの動的応答を増幅して、情報の書き込み／読み出しが行われているトラックに対する読み出し／書き込みヘッドの位置ずれによる読み出し／書き込みエラーのリスクを高める。最悪の場合のシナリオでは、ヘッドがディスクに「クラッシュ（ｃｒａｓｈ）」し、ＨＤＤの致命的な破損をもたらす場合がある。面密度を増大させるための主な因子の１つは、トラック幅を削減することにより、同一のディスク半径により多くのトラックを書き込むことができるようにすることである。トラック幅が減少すると、プラッタの平面外歪みに対するドライブの繊細さが上昇する。従って、ディスクの平坦性に対する厳しい制約なしに、面密度を高め、プラッタを薄くすると、読み出し及び書き込みエラーが増加すると予想される。

従来のガラスハードディスク基板は、以下の基本的なステップを含むマルチステッププロセスで製造される：（１）ガラスパック（ｐｕｃｋ）を圧縮成形するステップ；（２）上記パックを、コアの穿孔及び縁部のスクライビング／研削を用いてディスク「ブランク（ｂｌａｎｋ）」へと成形するステップ；（３）上記ブランクの表面をラップ仕上げして、最終的な所望の厚さに近い厚さまでその厚さを削減するステップ；（４）上記ブランクを面取り加工及び縁部研磨するステップ；（５）上記ブランクを１つ以上のステップでラップ仕上げして、上記ブランクの厚さを更に削減し、またこれ以前のステップに由来する表面の損傷を除去するステップ；並びに（６）上記ブランクを研磨して、平滑な磁気フィルムの堆積が可能な程度に十分に低い表面粗度を達成するステップ。圧縮成形されたパックの厚さは、典型的には１ｍｍ超であり、上記厚さを０．７ｍｍ未満の目標厚さへと削減するためには複数回のラップ仕上げステップが必要となるため、この方法で基板を経済的に製造するのは困難である。ブランクの形状の正確な制御も、圧縮成形によって達成するのは困難であり、また上述のような大幅な材料除去中にこれを維持するのは困難である。

よって、ＨＤＤ用の高性能ガラスディスクを提供すること、及びこのような高性能ガラスディスクを得るための改善されたプロセスを提供することが、当該技術分野において必要とされている。

本開示のいくつかの実施形態は、ガラスシートに関する。上記ガラスシートは、第１の主面、上記第１の主面の反対側の第２の主面、及び上記第１の主面と上記第２の主面との間に延在する縁部表面を含む。上記ガラスシートは、０．３ｍｍ〜２ｍｍの厚さを含む。上記ガラスシートは、ドーム又はボウル形状を含む。

本開示の更に他の実施形態は、環状ガラス基板に関する。上記環状ガラス基板は、第１の主面、上記第１の主面の反対側の第２の主面、及び上記第１の主面と上記第２の主面との間に延在する縁部表面を含む。上記環状ガラス基板は、０．３ｍｍ〜２ｍｍの厚さを含む。上記環状ガラス基板は、ドーム又はボウル形状を含む。

本開示の更に他の実施形態は、ガラスを加工するための方法に関する。上記方法は、ドロー方向に溶融ガラスのリボンを形成するステップを含む。上記方法は、上記ドロー方向及び上記ドロー方向を横断する方向において、上記リボンの固化ゾーンの温度勾配を制御することによって、上記リボンをドーム又はボウル形状に成形するステップを含む。上記方法は、上記リボンを、上記ドーム又はボウル形状を備えたガラスシートへと切断するステップを含む。

本明細書に記載の実施形態は、ＨＤＤの動作中のプラッタの平面外歪みを最小化するための、例示的な基板ディスク形状を提供する。本明細書に記載の実施形態はまた、このようなディスクを効率的に切り出すことができる、例示的な全型シート形状も提供する。更なる実施形態は、このような全型シートを得ることができるフュージョン成形プロセスも提供する。このような実施形態により、薄型プラッタ又はＨＡＭＲ技術を採用した設計のための、性能上の利点を有するＨＤＤ基板の低コストでの製造を可能とすることができる。なお、典型的なフュージョンプロセスでは、上述のような望ましい固有の形状を備えたシートは製造されない。むしろ、典型的なフュージョンプロセスは、上記全型シートの反り及び／又は縁部／隅部の勾配を制御する必要があるため、ＨＤＤ用途に必要な長さスケールの反りは通常無視される。

本明細書に記載され請求される実施形態は、動作中の上記ディスクの平面外歪みを低減して、ヘッド／ディスク間隔の最小化を可能とすることによって、ディスクの面密度の最大化を可能とすることができる。ＨＤＤ製造元がより薄いプラッタに移行するに従って、基板形状によって平面外歪みを最小化する必要性は増大する。

上記例示的な形状を有するガラス基板を切り出すことができるガラスシートは、製造コストをより低くできるため、有利である。本明細書に記載のフュージョンシート加工は、従来の圧縮／成形加工に対して有利である。というのは、フュージョンシートは、目標厚さに近い厚さで作製でき、またフュージョンシートは粗度が低く、ローラ、鋳型、スズ浴等との接触によって誘発される欠陥を有しないためである。

追加の特徴及び利点を、以下の「発明を実施するための形態」に記載するが、その一部は、「発明を実施するための形態」から、又は以下の「発明を実施するための形態」、特許請求の範囲及び添付の図面を含む本出願に記載の実施形態を実践することによって、当業者には容易に明らかになるだろう。

上述の「発明の概要」及び以下の「発明を実施するための形態」の両方は、様々な実施形態を説明するものであり、請求対象の主題の性質及び特徴を理解するための概観又は枠組みを提供することを意図したものであることを理解されたい。添付の図面は、これらの様々な実施形態の更なる理解を提供するために含まれており、また本明細書に組み込まれて本明細書の一部を構成する。これらの図面は、本明細書に記載の上記様々な実施形態を図示し、本記載と併せて、請求対象の主題の原理及び動作を説明する役割を果たす。

例示的なハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の一部分 フュージョン成形プロセスで製造される例示的な形状 フュージョン成形プロセスで製造される例示的な形状 フュージョン成形プロセスで製造される例示的な形状 フュージョン成形プロセスで製造される例示的な形状 例示的な初期及び最終ディスク形状 例示的な初期及び最終ディスク形状 例示的な初期及び最終ディスク形状 例示的な初期及び最終ディスク形状 ハードドライブ動作条件下において略平坦な形状が得られる、ディスクの例示的な形状 図４に示したものと同一の曲率を有する、例示的なフュージョン成形された全型ガラスシート ガラスリボン中の例示的なリボン固化ゾーンの形状 ベースライン条件に関する、小さなガラス部品の形状に関する例示的な固有形状 ガラスリボン中の例示的なリボン固化ゾーンの形状 固化ゾーン内のリボン位置を制約する条件に関する、小さなガラス部品の形状に関する例示的な固有形状 例示的なガラス製造装置の概略図 図８のガラス製造装置の、牽引ロールペア及び熱制御ユニットの概略側面図 複数の環状ガラス基板を形成するための例示的なガラスシート 例示的な環状ガラス基板

これより、本開示の実施形態について詳細に言及する。可能な限り、図面全体を通して、同一又は同様の部分を指すために同一の参照番号を使用する。しかしながら、本開示は、多数の異なる形態で具体化でき、また本明細書に記載の実施形態に限定されるものと解釈してはならない。

本明細書において、範囲は、「約（ａｂｏｕｔ）」ある特定の値から、及び／又は「約」別の特定の値までとして表現され得る。このような範囲が表現されている場合、別の実施形態は、上記ある特定の値から、及び／又は上記別の特定の値までを含む。同様に、先行詞「約」を用いることにより、値が概数として表現されている場合、上記特定の値は別の実施形態を形成することが理解されるだろう。更に、各範囲の端点は、他方の端点との関連でも、他方の端点とは独立しても、重要であることが理解されるだろう。

本明細書中で使用される方向に関する用語、例えば上方（ｕｐ）、下方（ｄｏｗｎ）、右（ｒｉｇｈｔ）、左（ｌｅｆｔ）、前方（ｆｒｏｎｔ）、後方（ｂａｃｋ）、頂部（ｔｏｐ）、底部（ｂｏｔｔｏｍ）、垂直（ｖｅｒｔｉｃａｌ）、水平（ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ）は、ここで図示されている状態の図面に関してのみ使用され、絶対的な配向を暗示することを意図したものではない。

特段の記載がない限り、本明細書に記載のいずれの方法が、そのステップを特定の順序で実施すること、又はいずれの装置の特定の配向を必要とするものとして解釈されることは、全く意図されていない。従って、ある方法クレームが、そのステップが従うべき順序を実際に列挙していない場合、又はいずれの装置クレームが、個々の構成部品に関する順序若しくは配向を実際に列挙していない場合、又はステップをある特定の順序に限定するべきであることが、特許請求の範囲若しくは説明中で具体的に言明されていない場合、又は装置の構成部品に関する特定の順序又は配向が列挙されていない場合、いかなる点においても、順序又は配向が推定されることは全く意図されていない。これは：ステップの構成、動作フロー、構成部品の順序、又は構成部品の配向に関する論理の問題；文法的な編成又は句読点に由来する単純な意味；及び本明細書に記載の実施形態の数又はタイプを含む、解釈のためのいずれの可能な非明示的根拠にも当てはまる。

本明細書中で使用される場合、単数形「ある（ａ、ａｎ）」及び「上記（ｔｈｅ）」は、文脈がそうでないことを明らかに指示していない限り、複数の指示対象を含む。従って例えば、「ある」構成部品に関する言及は、文脈がそうでないことを明らかに指示していない限り、２つ以上の上記構成部品を有する態様を含む。

本明細書中で使用される場合、「溶融ガラス（ｍｏｌｔｅｎ ｇｌａｓｓ）」は、冷却するとガラス状の状態となることができる溶融材料を意味するものと解釈されるものとする。用語「溶融ガラス」は、用語「溶融物（ｍｅｌｔ）」と同義として使用される。溶融ガラスは例えば、大部分のシリケートガラスを形成してよいが、本開示はそのように限定されない。

ここで図１を参照すると、例示的なハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１００の一部分が図示されている。ＨＤＤ１００の一部分は、部分ハウジング１０２、スピンドル１０４、スペーサ１０６、及びディスク１０８を含む。ＨＤＤ１００の他の構成部品は、簡潔にするために省略されている。スピンドル１０４は、回転可能に、ハウジング１０２に機械的に連結される。スペーサ１０６は、スピンドル１０４に機械的に連結され、その間にディスク１０８を挟持する。スペーサ１０６は、ディスク１０８の内径より大きな外径を有してよい。特定の例示的実施形態では、スペーサ１０６は、約２５ｍｍ〜３５ｍｍ（例えば３１ｍｍ）の外径を有してよい。ディスク１０８は、（図１では誇張されている）反りを含んでよく、これは、ディスク１０８に関しては１１０において示されるような、負の平面外最大値、及びディスク１０８に関しては１１２において示されるような、正の平面外最大値として定義される。ある例示的実施形態では、ディスク１０８は、０．２０μｍ未満の反りを有してよい。

フュージョン成形プロセスによって製造される、ＨＤＤ動作に最適な例示的なディスク形状が決定されている。ディスクのヤング率は、約８０ＧＰａ〜８６ＧＰａ（例えば８３ＧＰａ）であると決定されている。ディスクのポアソン比は、約０．２０〜０．２６（例えば０．２３）であると決定されている。ディスクの密度は、約２５００ｋｇ／ｍ^３〜２７００ｋｇ／ｍ^３（例えば２５９０ｋｇ／ｍ^３）であると決定されている。ディスクは、厚さ約０．３ｍｍ〜２ｍｍ（例えば０．７ｍｍ）又は約０．３ｍｍ〜０．７ｍｍ、内径約２０ｍｍ〜３０ｍｍ（例えば２５ｍｍ）、及び外径約６０ｍｍ〜１００ｍｍ（例えば６７ｍｍ、９５ｍｍ）である。動作状態下では、ディスク１０８は、スペーサ１０６の間に挟持されて、様々な速度で回転する。

最適な目標ディスク形状を決定するために、ディスク形状を、円形ディスクのｘ及びｙデカルト座標の二次多項式関数によって特性決定できる。フュージョン成形プロセスを考慮に入れ、最適化プロセスを簡略化することにより、二次項は、以下の式１に示すように保持できる。係数Ａ及びＢは設計変数として定義され、本開示では微調整される。

Ｚ＝Ａｘ^２＋Ｂｙ^２ １
図２Ａ〜２Ｄは、ミリメートルを単位とするデカルト座標Ｘ、Ｙ及びＺを用いて、フュージョン成形プロセスで製造された例示的形状を示す。図２Ａはボウル形状を示し、図２Ｂは円筒形状を示し、図２Ｃはサドル形状を示し、図２Ｄはドーム形状を示す。各形状は、上述の式１の係数Ａ及びＢの異なるセットを用いて、図２Ａ〜２Ｄにプロットされている。図２Ａのボウル形状に関しては、Ａ＝４かつＢ＝２（即ちＺ＝４ｘ^２＋２ｙ^２）である。図２Ｂの円筒形状に関しては、Ａ＝４かつＢ＝０（即ちＺ＝４ｘ^２）である。図２Ｃのサドル形状に関しては、Ａ＝２かつＢ＝−２（即ちＺ＝２ｘ^２−２ｙ^２）である。図２Ｄのドーム形状に関しては、Ａ＝−４かつＢ＝−２（即ちＺ＝−４ｘ^２−２ｙ^２）である。

図２Ａ〜２Ｄの４つの形状に対応する、重力及び（例えばスペーサによる）挟持力下で変形した形状を、それぞれ図３Ａ〜３Ｄに示す。図３Ａ〜３Ｄは、ミリメートルを単位とするデカルト座標Ｘ、Ｙ及びＺを用いて、例示的な初期ディスク形状（即ちスペーサ間での挟持前、かつ重力の影響がない状態）、及び最終ディスク形状（即ちスペーサ間での挟持後、かつ重力の影響がある状態）を示す。図３Ａ〜３Ｄを参照すると、重力下での平面外変位は、ボウル（図３Ａ）、円筒（図３Ｂ）、サドル（図３Ｃ）、及びドーム（図３Ｄ）形状に関して、それぞれ４．４８μｍ、５．１９μｍ、５．１９μｍ、及び６．６６μｍである。重力と、７２００ｒｐｍでのディスクの回転とを同時に考慮すると、反りは、ボウル、円筒、サドル、及びドーム形状に関して、それぞれ４．２６μｍ、４．８３μｍ、４．８３μｍ、及び６．３６μｍである。いずれの場合に関しても、ボウル形状は、他の候補となっている形状よりも優れている。Ａ及びＢの大きさを更に調査し、対称性の使用によって反りを最小化でき、反りの大きさは、Ａ＝Ｂ＝０．８である場合に０．１７μｍとなることが決定された。ミリメートルを単位とするＡ、Ｂ及びＺを用いて、以下の式２を用いて、最適な形状の例を記述できる。

図４は、ミリメートルを単位とするデカルト座標Ｘ、Ｙ及びＺを用いて、ハードドライブ動作条件下において略平坦な形状が得られる、ディスクの例示的な最適形状を示す。最適なディスク形状に関して、少なくとも２つの問題を考慮しなければならない。第１に、完璧に平坦なディスクを目標とする場合、反りが約１．００μｍとなることが観察される場合があり、これは所望の値である０．１７μｍよりもはるかに大きい。これは、目標の平坦な形状が、ある動作状態下において最小の反りをもたらすことにならないことを示している。第２に、ディスク設置プロセス中にボウル形状を識別できない場合、最悪の形状であるドーム形状が使用されることになる可能性が高くなる。よって、ＨＤＤ組み立てプロセス中にディスク形状の配向を維持できない場合、（ｘ‐ｙ平面に関して対称な）サドル形状が、比較的良好な解決策となり得る。

自由振動分析の結果により、反りは、自然周波数及び振動モードに対して、無視できる程度の影響しか有しないことが示されている。これらの動的な量は、平面外ディスク振動応答に直接関連する。従って、式２において見出される最適解は、動作状態下、及び空気の乱流によって誘発されるディスクの振動下の両方において、実際に最適であることが決定された。

フュージョン成形ガラスシートを、より小さな部品に切断することにより、ガラスリボンが経る熱履歴によって生成される面内応力をある程度緩和できる。この面内応力が極めて小さな大きさまで緩和されると、ガラス中に取り込まれた「固有の（ｉｎｔｒｉｎｓｉｃ）」形状が、局所的な曲率によって、小さなガラス部品の結果的な形状を支配し始める。このようにして、上記固有の形状は、「固化ゾーン（ｓｅｔｔｉｎｇ ｚｏｎｅ）」内においてガラスへと固定され、上記固化ゾーンは、瞬間的な熱膨張係数（ＣＴＥ）が極めて低い速度で変化する温度によって、その境界が画定される。フュージョン成形プロセスによってガラスシートを製造するためには、ガラスシートは、後に切り出される最適なディスクと同等の曲率を有する必要がある。図５は、ミリメートルを単位とするデカルト座標Ｘ、Ｙ及びＺを用いて図４に示されている最適なディスク形状に基づく、最適なフュージョン成形全型ガラスシートの例を示す。

図６Ａ〜６Ｂ及び図７Ａ〜７Ｂは、固化ゾーン内のガラスリボンの瞬間的な形状と、ガラス部品の無重力状態での形状をつなぎ合わせる、結果的な固有形状の計算との比較を示す。図６Ａは、ガラスリボンの例示的なリボン固化ゾーン形状を示し、図６Ｂは、ベースライン条件に関する、小さなガラス部品の形状に関する例示的な固有形状を示す。図７Ａは、ガラスリボンの例示的なリボン固化ゾーン形状を示し、図７Ｂは、固化ゾーン内のリボン位置を制約するある条件に関する、小さなガラス部品の形状に関する例示的な固有形状を示す。図６Ａ〜６Ｂ及び図７Ａ〜７Ｂはそれぞれ、ミリメートルを単位として、ドロー方向横断位置（ｃｒｏｓｓ ｄｒａｗ ｐｏｓｉｔｉｏｎ）をｘ軸上、基部からの距離をｙ軸上、及び変位をｚ軸上に含む。

これらの図面を参照すると、固化ゾーン内のガラスリボンの形状（図６Ａ及び７Ａ）が、機械的手段の結果として変化し、これにより、熱によって誘発される平面応力の影響が制限されると、固有形状（図６Ｂ及び７Ｂ）も同様に変化することを確認できる。ある例示的なフュージョンドロープロセスでは、上記機械的手段は、元のガラス表面を維持するために制限される場合があり、これは即ち、これらのリボン形状を、熱的手段を用いて達成する必要があり得ることを意味する。上述の所望の最適形状を達成するために、問題の領域の境界が張力下に置かれ、その一方で中央領域が、ドロー方向に対する横断方向及びドロー方向に対する下向き方向の両方で圧縮されるように、温度プロファイルを調整する必要があり得る。この応力パターンは、ガラスリボンに、ボウル／ドーム形状として現れることになり、これにより所望のガラスディスク形状を形成する。ガラス基板又はシートの力学から、シート縁部を張力下とし、中央を圧縮下とする応力パターンは、ドーム形状（又はボウル）をもたらし、シート縁部を圧縮下とし、中央を張力下とする応力パターンは、サドル形状をもたらす。

図８は、例示的なガラス製造装置２１０、例えばフュージョンダウンドロー製造装置である。いくつかの実施形態では、ガラス製造装置２１０は、溶融用容器２１４を含むことができるガラス溶融炉２１２を備えることができる。溶融用容器２１４に加えて、ガラス溶融炉２１２は任意に、原材料を加熱し、上記原材料を溶融ガラスに変換するよう構成された加熱素子（例えば燃焼バーナー及び／又は電極）等の、１つ以上の追加の構成部品を含むことができる。更なる実施形態では、ガラス溶融炉２１２は、上記溶融用容器からの熱損失を低減する、熱管理デバイス（例えば断熱構成部品）を含んでよい。また更なる実施形態では、ガラス溶融炉２１２は、ガラス溶融物への原材料の溶融を促進する電子デバイス及び／又は電気機械デバイスを含んでよい。また更に、ガラス溶融炉２１２は、支持構造体（例えば支持シャーシ、支持部材等）、又は他の構成部品を含んでよい。

いくつかの実施形態では、溶融炉２１２は、ガラス物品、例えば不定長のガラスリボンを製作するために構成されたガラス製造装置の構成部品として組み込むことができるが、更なる実施形態では、ガラス製造装置は、限定するものではないが、ガラスロッド、ガラス管、ガラス製の覆い（例えば、電球を例とする照明デバイスのための、ガラス製の覆い）、及びガラスレンズといった他のガラス物品を形成するために構成されていてよいが、多くの他のガラス物品も考えられる。いくつかの例では、溶融炉は、スロットドロー装置、フロートバス装置、ダウンドロー装置（例えばフュージョンダウンドロー装置）、アップドロー装置、圧迫装置、圧延装置、チューブドロー装置、又は本開示から利益を得られる他のいずれのガラス製造装置を含む、ガラス製造装置の構成部品として組み込むことができる。例えば図８は、ガラスリボンをフュージョンドロー加工するためのフュージョンダウンドローガラス製造装置２１０の構成部品としての、ガラス溶融炉２１２の概略図を示し、上記ガラスリボンは、後で個々のガラスシートに加工するため、又はガラスリボンをスプールに巻き取るためのものである。

ガラス製造装置２１０（例えばフュージョンダウンドロー装置２１０）は任意に、ガラス溶融用容器２１４の上流側に位置決めされた、上流側ガラス製造装置２１６を含むことができる。いくつかの例では、上流側ガラス製造装置２１６の一部分又は全体は、ガラス溶融炉２１２の一部として組み込むことができる。図８に示されている実施形態において示されているように、上流側ガラス製造装置２１６は、原材料貯蔵用蓋付き容器２１８、原材料送達デバイス２２０、及びこの原材料送達デバイスに接続されたモータ２２２を含むことができる。貯蔵用蓋付き容器２１８は、ある量の原材料２２４を貯蔵するよう構成でき、この原材料２２４は、矢印２２６で示されているように、１つ以上の供給ポートを通して、ガラス溶融炉２１２の溶融用容器２１４へと供給できる。原材料２２４は典型的には、１つ以上のガラス形成用金属酸化物及び１つ以上の改質剤を含む。いくつかの例では、原材料送達デバイス２２０には、モータ２２２によって動力供給でき、これにより、原材料送達デバイス２２０は、所定量の原材料２２４を、貯蔵用蓋付き容器２１８から溶融用容器２１４へと送達する。更なる例では、モータ２２２は、原材料送達デバイス２２０に動力供給することにより、溶融ガラスの流れ方向に対して溶融用容器２１４から下流で感知される溶融ガラスのレベルに基づいて、制御された速度で、原材料２２４を導入できる。その後、溶融用容器２１４内の原材料２２４を加熱して、溶融ガラス２２８を形成できる。

ガラス製造装置２１０は任意に、溶融ガラス２２８の流れ方向に対してガラス溶融炉２１２の下流側に位置決めされた、下流側ガラス製造装置２３０も含むことができる。いくつかの例では、下流側ガラス製造装置２３０の一部分は、ガラス溶融炉２１２の一部として組み込むことができる。しかしながら、いくつかの例では、以下で説明する第１の接続導管２３２、又は下流側ガラス製造装置２３０の他の部分を、ガラス溶融炉２１２の一部として組み込むことができる。

下流側ガラス製造装置２３０は、溶融用容器２１４から下流側に配置されて、上述の第１の接続導管２３２を通して溶融用容器２１４に連結された清澄用容器２３４等の、第１の調質用（即ち加工用）容器を含むことができる。いくつかの例では、溶融ガラス２２８は、第１の接続導管２３２を通して、溶融用容器２１４から清澄用容器２３４へと重力で供給できる。例えば重力は、第１の接続導管２３２の内部通路を通して、溶融ガラス２２８を溶融用容器２１４から清澄用容器２３４へと進めることができる。しかしながら、他の調質用容器を、溶融用容器２１４の下流側、例えば溶融用容器２１４と清澄用容器２３４との間に位置決めしてもよいことを理解されたい。いくつかの実施形態では、調質用容器を溶融用容器と清澄用容器との間で使用してよく、一次溶融用容器からの溶融ガラスを二次容器内で更に加熱して、溶融プロセスを継続するか、又は清澄用容器に入る前に、一次溶融用容器中の溶融ガラスの温度未満の温度まで冷却する。

下流側ガラス製造装置２３０は更に、清澄用容器２３４から下流へと流れる溶融ガラスを混合するための混合装置２３６、例えば撹拌用容器といった、別の調質用容器を含むことができる。混合装置２３６を用いて、均質なガラス溶融物組成を提供でき、これにより、清澄用容器を出る清澄済みの溶融ガラス中に存在することになり得る化学的又は熱的な不均質性を低減できる。図示されているように、清澄用容器２３４は、第２の接続導管２３８を通して、混合装置２３６に連結できる。いくつかの実施形態では、溶融ガラス２２８は、第２の接続導管２３８を通して、清澄用容器２３４から混合装置２３６へと重力で供給できる。例えば重力は、第２の接続導管２３８の内部通路を通して、溶融ガラス２２８を清澄用容器２３４から混合装置２３６へと進めることができる。典型的には、混合装置内の溶融ガラスは自由表面を含み、これは自由表面と混合装置の上部との間に延在する自由容積を伴う。混合装置２３６は、溶融ガラスの流れ方向に関して清澄用容器２３４の下流側に示されているが、他の実施形態では、混合装置２３６を清澄用容器２３４から上流側に位置決めしてもよいことを理解されたい。いくつかの実施形態では、下流側ガラス製造装置２３０は、複数の混合装置、例えば清澄用容器２３４から上流側の混合装置、及び清澄用容器２３４から下流側の混合装置を含んでよい。これらの複数の混合装置は、同一の設計のものであってよく、又はこれらは互いに異なる設計のものであってもよい。いくつかの実施形態では、これらの容器及び／又は導管のうちの１つ以上は、溶融材料の混合及びそれに続く均質化を促進するために、これらの中に位置決めされた静止型混合用羽根を含んでよい。

下流側ガラス製造装置２３０は更に、混合装置２３６から下流側に位置決めされていてよい送達用容器２４０といった、別の調質用容器を含むことができる。送達用容器２４０は、溶融ガラス２２８を、下流側の成形デバイスに供給するために調質できる。例えば送達用容器２４０は、流出導管２４４を通した成形用本体２４２への溶融ガラス２２８の一貫した流れを調整及び提供するための、アキュムレータ及び／又は流れ制御装置として機能できる。いくつかの実施形態では、送達用容器２４０内の溶融ガラスは自由表面を含むことができ、この場合、自由容積が、上記自由表面から送達用容器の上部まで上向きに延在する。図示されているように、混合装置２３６は、第３の接続導管２４６を通して送達用容器２４０に連結されていてよい。いくつかの例では、溶融ガラス２２８は、第３の接続導管２４６を通して、混合装置２３６から送達用容器２４０へと重力で供給できる。例えば重力は、第３の接続導管２４６の内部通路を通して、溶融ガラス２２８を混合装置２３６から送達用容器２４０へと進めることができる。

下流側ガラス製造装置２３０は更に、上述の成形用本体２４２を備える成形装置２４８を含むことができ、これは流入導管２５０を含む。流出導管２４４は、溶融ガラス２２８を、送達用容器２４０から、成形装置２４８の流入導管２５０へと送達するように位置決めできる。フュージョンダウンドローガラス作製装置の成形用本体２４２は、成形用本体の上面に位置決めされたトラフ２５２と、成形用本体の下縁部（基部）２５６に沿ってドロー方向に収束する、収束型の複数の成形用表面２５４（１つの表面のみが図示されている）とを備えることができる。送達用容器２４０、流出導管２４４及び流入導管２５０を介して成形用本体のトラフへと送達された溶融ガラスは、上記トラフの壁から溢れ、収束型の成形用表面２５４に沿って、溶融ガラスの別個の複数の流れとして流れ落ちる。なお、成形用本体のトラフ内の溶融ガラスは自由表面を備え、自由容積が、溶融ガラスの上記自由表面から、成形用本体がその中に位置決めされているエンクロージャの上部まで延在する。収束型の成形用表面の少なくとも一部分を流れ落ちる溶融ガラスの流れは、ダム及び縁部方向決定装置によって遮られ、方向が変えられる。溶融ガラスの別個の流れは、基部に沿って基部の下方で合わさり、溶融ガラスの単一のリボン２５８を形成し、これは、重力及び／又は牽引ロールペア等によって上記ガラスリボンに下向きの張力を印加することによって、基部２５６からドロー方向２６０に引っ張られ、これにより、溶融ガラスが冷却されて材料の粘度が上昇する際に、上記ガラスリボンの寸法を制御する。従って、ドロー経路２６０は、ガラスリボン２５８の幅を横断する方向に延在する。ガラスリボン２５８は、固化ゾーン２６８において粘弾性遷移を経て、ガラスリボン２５８に安定した寸法特性を与える機械的特性を獲得する。

成形装置２４８は更に、２つの上側牽引ロールペア２７０、２つの下側牽引ロールペア２７４、及び熱制御ユニット２６６を含んでよい。牽引ロールペア２７０及び２７４はそれぞれ、信号経路を介して、コントローラ（図９）によって制御される。牽引ロールペア２７０及び２７４はそれぞれ、ガラスリボン２５８に接触するか又はガラスリボン２５８を挟み、回転して、ガラスリボンを２６０で示されている方向に移動させる。第１の上側牽引ロールペア２７０は、ガラスリボン２５８の第１の（即ち左側の）縁部に配設され、第２の上側牽引ロールペア２７０は、第１の上側牽引ロールペア２７０の真正面の、ガラスリボン２５８の第２の（即ち右側の）縁部に配設される。第１の下側牽引ロールペア２７４は、ガラスリボン２５８の第１の（即ち左側の）縁部に配設され、第２の下側牽引ロールペア２７４は、第１の下側牽引ロールペア２７４の真正面の、ガラスリボン２５８の第２の（即ち右側の）縁部に配設される。牽引ロールペア２７０及び２７４、並びに熱制御ユニット２６６を制御することによって、図９を参照して以下に説明されるように、固化ゾーン２６８内でガラスリボン２５８に所望の形状を与える。いくつかの実施形態では、ガラスリボン２５８は、ガラスリボンの弾性領域において、ガラス分割装置（図示せず）によって個々のガラスシート２６２へと分割でき、更なる実施形態では、ガラスリボンをスプールに巻き付けて、更なる加工のために保管できる。

図９は、図８のガラス製造装置の、上側牽引ロールペア２７０及び下側牽引ロールペア２７４並びに熱制御ユニット２６６の概略側面図を示す。図９は、コントローラ２８０も概略的に示す。牽引ロールペア２７０は、牽引ロール２７０ａ及び２７０ｂを含む（これらを合わせて牽引ロールペア２７０と呼ぶ）。牽引ロールペア２７０は、信号経路２８２を介して、コントローラ２８０によって制御できる。牽引ロール２７０ａは、ガラスリボン２５８の第１の側部に配設され、牽引ロール２７０ｂは、牽引ロール２７０ａの真正面の、ガラスリボン２５８の第２の側部に配設される。牽引ロール２７０ａ及び２７０ｂは、ガラスリボン２５８に接触するか又はガラスリボン２５８を挟み、回転して、ガラスリボンを２６０で示されている方向に移動させる。牽引ロールペア２７４は、牽引ロール２７４ａ及び２７４ｂを含む（これらを合わせて牽引ロールペア２７４と呼ぶ）。牽引ロールペア２７４は、信号経路２８４を介して、コントローラ２８０によって制御できる。牽引ロール２７４ａは、ガラスリボン２５８の第１の側部に配設され、牽引ロール２７４ｂは、牽引ロール２７４ａの真正面の、ガラスリボン２５８の第２の側部に配設される。牽引ロール２７４ａ及び２７４ｂは、ガラスリボン２５８に接触するか又はガラスリボン２５８を挟み、回転して、ガラスリボンを２６０で示されている方向に移動させる。他の実施形態では、牽引ロールペア２７０及び／又は２７４を除外してもよく、牽引ロールペア２７０及び２７４に加えて追加の牽引ロールペアを使用してもよい。

熱制御ユニット２６６は、信号経路２８６を介してコントローラ２８０によって制御できる。図９では、熱制御ユニット２６６はガラスリボン２５８の第２の側部に配設されているものとして図示されているが、他の実施形態では、熱制御ユニット２６６は、ガラスリボン２５８の第２の側部への配設の代わりに、又はこれに加えて、ガラスリボン２５８の第１の側部に配設してよい。コントローラ２８０は、熱制御ユニット２６６並びに牽引ロールペア２７０及び２７４の動作を制御して、ガラスリボン２５８に所望の形状を与えることができる。

例えば２６８で示されている固化ゾーン内において、温度依存性の熱膨張係数は非線形であり得る。ガラスリボン２５８の形状は、このガラスリボンから製造されるガラス基板の平面外変形又は反りを決定するため、ガラスリボン２５８の形状を、牽引ロールペア２７０及び２７４と、熱制御ユニット２６６によって提供される制御された熱勾配との組み合わせを用いて制御できる。熱制御ユニット２６６は、ガラスリボン２５８に対して、エネルギの付与（即ち加熱）及び／又はエネルギの抽出（即ち冷却）を、制御された様式で実施できる。熱制御ユニット２６６並びに牽引ロールペア２７０及び２７４を用いてガラスリボン２５８の形状に影響を及ぼす具体的方法は、ガラスの組成、並びに例えばガラスの流れの密度、熱制御の方法、及びガラスリボン２５８のサイズといった他の因子に左右され得る。

熱制御ユニット２６６は、垂直方向（即ちドロー方向２６０）及び水平方向（即ちドロー方向２６０を横断する方向）の両方において、温度勾配及び冷却速度に影響を及ぼす。これらの温度勾配は、牽引ロールペア２７０及び２７４と共同で作用する。牽引ロールペア２７０及び２７４は、ガラスリボン２５８の位置を制御するための平面外オフセット、並びにガラスリボン２５８に作用する機械的張力の量を制御する可変トルク制御、傾斜位置及びピンチ（即ち垂直方向）力を含んでよい。温度勾配はまた、ガラス材料の特性に基づく熱衝撃による、ガラスリボン２５８に作用する張力も制御する。

図１０は、複数の環状ガラス基板３０２を形成するための例示的なガラスシート３００を示す。ガラスシート３００は、図８及び９のガラス製造装置を用いて成形されたフュージョンガラスシートであってよい。ガラスシート３００は、第１の主面３０４、第１の主面３０４の反対側の第２の主面３０６、及び第１の主面３０４と第２の主面３０６との間に延在する縁部表面３０８を含む。特定の例示的実施形態では、ガラスシート３００は、約０．３ｍｍ〜２ｍｍ又は約０．３ｍｍ〜０．７ｍｍの厚さ（即ち第１の主面３０４と第２の主面３０６との間の距離）を有する。ガラスシート３００は、ドーム又はボウル形状を有する。ガラスシート３００を切断することにより、複数の環状ガラス基板３０２を形成できる。図１０に示されている例では、複数の環状ガラス基板３０２は六角形のパターンに配置されているが、他の例では、複数の環状ガラス基板３０２は、ガラスシート３００から切断するための別の好適なパターンに配置されていてもよい。複数の環状ガラス基板３０２はそれぞれ、レーザ又は別の好適なプロセスを用いて、ガラスシート３００から切断できる。

図１１は、例示的な環状ガラス基板３５０を示す。環状ガラス基板３５０は、図１０のガラスシート３００等のガラスシートから切断してよい。環状ガラス基板３５０は、ＨＤＤディスクの製作に使用できる。環状ガラス基板３５０は、第１の主面３５４、第１の主面３５４の反対側の第２の主面３５６、及び第１の主面３５４と第２の主面３５６との間に延在する縁部表面３５８を含む。特定の例示的実施形態では、環状ガラス基板３５０は、約０．３ｍｍ〜２ｍｍ又は約０．３ｍｍ〜０．７ｍｍの厚さ（即ち第１の主面３５４と第２の主面３５６との間の距離）を有する。環状ガラス基板３５０は、ドーム又はボウル形状を有する。特定の例示的実施形態では、環状ガラス基板３５０は、約９０ｍｍ〜１００ｍｍの直径を有してよい。環状ガラス基板３５０は、８０ＧＰａ〜８６ＧＰａのヤング率、０．２０〜０．２６のポアソン比、及び２５００ｋｇ／ｍ^３〜２７００ｋｇ／ｍ^３の密度を有してよい。環状ガラス基板３５０の反りは、約０．２０μｍ未満であってよい。

本開示の主題の精神及び範囲から逸脱することなく、本開示の実施形態に対して様々な修正及び変形を実施できることは、当業者には理解されるだろう。よって本開示は、このような上記修正及び変形が、添付の請求項及びその均等物の範囲内である限りにおいて、上記修正及び変形を包含することを意図している。

以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。

実施形態１
第１の主面；
上記第１の主面の反対側の第２の主面；及び
上記第１の主面と上記第２の主面との間に延在する縁部表面
を備える、ガラスシートであって、
上記ガラスシートは、０．３ｍｍ〜２ｍｍの厚さを備え、
上記ガラスシートは、ドーム又はボウル形状を備える、ガラスシート。

実施形態２
上記ドーム又はボウル形状は、以下の関係：
Ｚ＝０．８ｘ^２＋０．８ｙ^２
の関数であり、
Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、実施形態１に記載のガラスシート。

実施形態３
上記ドーム又はボウル形状は、以下の関係：

の関数であり、
Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、実施形態１に記載のガラスシート。

実施形態４
上記ガラスシートは、０．３ｍｍ〜０．７ｍｍの厚さを備える、実施形態１に記載のガラスシート。

実施形態５
上記ガラスシートは、フュージョンガラスシートを含む、実施形態１に記載のガラスシート。

実施形態６
第１の主面；
上記第１の主面の反対側の第２の主面；及び
上記第１の主面と上記第２の主面との間に延在する縁部表面
を備える、環状ガラス基板であって、
上記環状ガラス基板は、０．３ｍｍ〜２ｍｍの厚さを備え、
上記環状ガラス基板は、ドーム又はボウル形状を備える、環状ガラス基板。

実施形態７
上記ドーム又はボウル形状は、以下の関係：
Ｚ＝０．８ｘ^２＋０．８ｙ^２
の関数であり、
Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、実施形態６に記載の環状ガラス基板。

実施形態８
上記ドーム又はボウル形状は、以下の関係：

の関数であり、
Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、実施形態６に記載の環状ガラス基板。

実施形態９
上記環状ガラス基板は、０．３ｍｍ〜０．７ｍｍの厚さを備える、実施形態６に記載の環状ガラス基板。

実施形態１０
上記環状ガラス基板は、６０ｍｍ〜１００ｍｍの直径を備える、実施形態６に記載の環状ガラス基板。

実施形態１１
上記環状ガラス基板は、８０ＧＰａ〜８６ＧＰａのヤング率、０．２０〜０．２６のポアソン比、及び２５００ｋｇ／ｍ^３〜２７００ｋｇ／ｍ^３の密度を備える、実施形態６に記載の環状ガラス基板。

実施形態１２
上記環状ガラス基板は、０．２０μｍ未満の反りを備える、実施形態６に記載の環状ガラス基板。

実施形態１３
ガラスを加工するための方法であって、
上記方法は：
ドロー方向に溶融ガラスのリボンを形成するステップ；
上記ドロー方向及び上記ドロー方向を横断する方向において、上記リボンの固化ゾーンの温度勾配を制御することによって、上記リボンをドーム又はボウル形状に成形するステップ；並びに
上記リボンを、上記ドーム又はボウル形状を備えたガラスシートへと切断するステップ
を含む、ガラスを加工するための方法。

実施形態１４
上記固化ゾーンの温度勾配を制御する上記ステップは、上記リボンの上記固化ゾーンの熱制御ユニットを制御することによって、上記リボンの上記固化ゾーンの冷却速度を、上記ドロー方向及び上記ドロー方向を横断する方向において制御するステップを含む、実施形態１３に記載の方法。

実施形態１５
上記リボンの上記固化ゾーンにおいて、上記リボンを複数の牽引ロールで牽引することにより、上記リボンを上記ドーム又はボウル形状へと成形するステップを更に含む、実施形態１３に記載の方法。

実施形態１６
上記複数の牽引ロールのそれぞれの平面外オフセットを制御することによって、上記リボンの位置を制御するステップを更に含む、実施形態１５に記載の方法。

実施形態１７
上記複数の牽引ロールのそれぞれのトルク、傾斜位置、又はピンチ力を制御することによって、上記リボンに作用する機械的張力の量を制御するステップを更に含む、実施形態１５に記載の方法。

実施形態１８
上記溶融ガラスのリボンを形成する上記ステップは、０．３ｍｍ〜２ｍｍの厚さを備えた上記溶融ガラスのリボンを形成するステップを含む、実施形態１３に記載の方法。

実施形態１９
上記ドーム又はボウル形状は、以下の関係：
Ｚ＝０．８ｘ^２＋０．８ｙ^２
の関数であり、
Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、実施形態１３に記載の方法。

実施形態２０
上記ガラスシートを切断して、ドーム又はボウル形状を備える複数の環状ガラス基板を形成するステップを更に含む、実施形態１３に記載の方法。

１００ ハードディスクドライブ、ＨＤＤ
１０２ 部分ハウジング、ハウジング
１０４ スピンドル
１０６ スペーサ
１０８ ディスク
１１０ 負の平面外最大値
１１２ 正の平面外最大値
２１０ ガラス製造装置
２１２ ガラス溶融炉
２１４ 溶融用容器、ガラス溶融用容器
２１６ 上流側フガラス製造装置
２１８ 原材料貯蔵用蓋付き容器
２２０ 原材料送達デバイス
２２２ モータ
２２４ 原材料
２２６ 矢印
２２８ 溶融ガラス
２３０ 下流側ガラス製造装置
２３２ 第１の接続導管
２３４ 清澄用容器
２３６ 混合装置
２３８ 第２の接続導管
２４０ 送達用容器
２４２ 成形用本体
２４４ 流出導管
２４６ 第３の接続導管
２４８ 成形装置
２５０ 流入導管
２５２ トラフ
２５４ 成形用表面
２５６ 下縁部、基部
２５８ ガラスリボン
２６０ ドロー方向
２６２ ガラスシート
２６６ 熱制御ユニット
２６８ 固化ゾーン
２７０ 上側牽引ロールペア
２７０ａ 牽引ロール
２７０ｂ 牽引ロール
２７４ 下側牽引ロールペア
２８０ コントローラ
２８２ 信号経路
２８４ 信号経路
２８６ 信号経路
３００ ガラスシート
３０２ 環状ガラス基板
３０４ 第１の主面
３０６ 第２の主面
３０８ 縁部表面
３５０ 環状ガラス基板
３５４ 第１の主面
３５６ 第２の主面
３５８ 縁部表面

Claims (12)

1. 第１の主面；
   前記第１の主面の反対側の第２の主面；及び
   前記第１の主面と前記第２の主面との間に延在する縁部表面
   を備える、ガラスシートであって、
   前記ガラスシートは、０．３ｍｍ〜２ｍｍの厚さを備え、
   前記ガラスシートは、ドーム形状、ボウル形状、サドル形状、円筒形状、又はこれらの組み合わせを備える、ガラスシート。
2. 前記形状は、以下の関係：
   Ｚ＝０．８ｘ^２＋０．８ｙ^２
   の関数であり、
   Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、請求項１に記載のガラスシート。
3. 前記形状は、以下の関係：
   

   

   の関数であり、
   Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、請求項１に記載のガラスシート。
4. 前記ガラスシートは、０．３ｍｍ〜０．７ｍｍの厚さを備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラスシート。
5. 前記ガラスシートは、フュージョンガラスシートを含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラスシート。
6. 第１の主面；
   前記第１の主面の反対側の第２の主面；及び
   前記第１の主面と前記第２の主面との間に延在する縁部表面
   を備える、環状ガラス基板であって、
   前記環状ガラス基板は、０．３ｍｍ〜２ｍｍの厚さを備え、
   前記環状ガラス基板は、ドーム形状、ボウル形状、サドル形状、円筒形状、又はこれらの組み合わせを備える、環状ガラス基板。
7. 前記形状は、以下の関係：
   Ｚ＝０．８ｘ^２＋０．８ｙ^２
   の関数であり、
   Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、請求項６に記載の環状ガラス基板。
8. 前記形状は、以下の関係：
   

   

   の関数であり、
   Ｚ、ｘ、及びｙは、ミリメートルを単位とするデカルト座標値である、請求項６に記載の環状ガラス基板。
9. 前記環状ガラス基板は、０．３ｍｍ〜０．７ｍｍの厚さを備える、請求項６〜８のいずれか１項に記載の環状ガラス基板。
10. 前記環状ガラス基板は、６０ｍｍ〜１００ｍｍの直径を備える、請求項６〜９のいずれか１項に記載の環状ガラス基板。
11. 前記環状ガラス基板は、８０ＧＰａ〜８６ＧＰａのヤング率、０．２０〜０．２６のポアソン比、及び２５００ｋｇ／ｍ^３〜２７００ｋｇ／ｍ^３の密度を備える、請求項６〜１０のいずれか１項に記載の環状ガラス基板。
12. 前記環状ガラス基板は、０．２０μｍ未満の反りを備える、請求項６〜１１のいずれか１項に記載の環状ガラス基板。

Images