JP4918183B2 - 板ガラスの製造装置及び製造方法、並びにガラス製品及び液晶ディスプレイの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、熔融ガラスを鉛直方向に沿って引き下げながら板状に成形しつつ、徐冷することによって板ガラスを製造するための板ガラスの製造装置、及びそのような装置を利用した板ガラスの製造方法、並びにガラス製品の製造方法に関する。

板ガラスの製造方法としては、例えば、１）熔融槽から熔融ガラスを鉛直上方に引き上げながら板状に成形するフルコール法、２）熔融錫槽に熔融ガラスを所定厚みに浮かべた後、水平方向に引き出すフロート法、３）くさび状の成形体の両側面に沿って熔融ガラスを流下させた後、成形体の下端部で合流した熔融ガラスを鉛直下方に引き下げながら板状に成形するフュージョン法などが知られている。

フルコール法のように、熔融ガラスを鉛直上方に引き上げる板ガラスの製造法はアップドロー法とも称され、例えば、特許文献１、特許文献２に、その例が示されている。また、フュージョン法のように、熔融ガラスを鉛直下方に引き下げる板ガラスの製造方法はダウンドロー法とも称され、例えば、特許文献３に、その例が示されている。
これらの方法は、徐冷工程において、板ガラスの厚み方向に対向する二つの主面に及ぼされる重力の影響が等しく、板ガラス表面の平坦度を維持するのに有利な方法といえる。

特公昭３９−７９１５号公報 特公昭４３−４２７８号公報 特開平１０−５３４２６号公報

ところで、特許文献１は、板ガラスの徐冷（焼鈍）における歪の低減、又は膨れの除去を目的とし、特許文献２は、徐冷時のガラス板に起こる平面歪の減少と分布の一様化を目的としているが、いずれも高温の熔融ガラスによる徐冷室内の上昇気流（ドラフト効果）を制御して、板ガラス表面の温度分布を調整しようとするものであり、ドラフト効果により生じた、熔融ガラス浴からの熱を蓄えた気流を徐冷室の加熱に積極的に利用している。

一方、特許文献３のようなダウンドロー法の場合、特許文献１や特許文献２のようなアップドロー法とは異なり、成形装置の最下部に高温の大きな熱源（熔融ガラス）が無い。このため、アップドロー法のような、ドラフト効果による温度調整機能は期待できず、むしろ、ドラフト効果による気流の発生は、部分冷却による弊害を招くものでしかない。

すなわち、ダウンドロー法では、徐冷室下方に熔融ガラス浴などの大きな熱源はないが、板ガラス付近の雰囲気は高温のガラスによって熱せられ、板ガラス表面に沿って温度の異なる気流が発生する。そして、この気流によって板ガラスの表面が部分的に冷却され、このような部分冷却によって板ガラス表面に温度差が生じてしまうと、板ガラス表面の平坦度が悪化してしまう。

近年、大型化が進んだフラットパネルディスプレイに用いられる板ガラスに代表されるように、板ガラスの肉薄化と平坦度の向上の要求が強くなってきており、より平坦度の高い板ガラスを製造するには、このような気流の影響も抑制する必要がある。また、肉薄化されればされるほど、板ガラス表面の平坦度の悪化に及ぼす気流の影響は相対的に大きくなってくるので、肉薄で、かつ、平坦度の高いガラス板を得るには、可能な限りドラフト効果の出現を抑止することが望まれる。

本発明は、上記の事情に鑑みなされたものであって、ダウンドロー法によって板ガラスを製造するにあたり、ドラフト効果による気流の発生を抑止し、より平坦度の高い板ガラスを得ることができる板ガラスの製造装置、及びそのような製造装置を利用した板ガラスの製造方法、並びにそのような方法によって得られた板ガラスから種々のガラス製品を製造するガラス製品の製造方法の提供を目的とする。

本発明に係る板ガラスの製造装置は、溶融ガラスを鉛直方向に沿って引き下げながら板状に成形しつつ、徐冷する板ガラスの製造装置であって、成形途中の板ガラスが通過する複数の徐冷室を備えるとともに、隣接する前記徐令室間相互の気流の流れを抑止しつつ、前記徐冷室の温度がそれぞれ独立して制御されるようにした構成としてある。

このような構成とした本発明に係る板ガラスの製造装置によれば、隣接する徐令室間相互の気流の流れを抑止して、より平坦度の高い板ガラスを製造することができる。

また、本発明に係る板ガラスの製造装置は、より具体的には、前記徐令室を通過する前記板ガラスに対して所定のクリアランスをもって、前記板ガラスの幅方向両端側に設置された固定隔壁と、前記板ガラスを挟むように対向配置され、前記板ガラスの厚み方向に沿って水平にスライド可能となるように前記固定隔壁に支持された一対の可動隔壁とにより、前記徐冷室が仕切られており、前記板ガラスの厚みに応じて前記可動隔壁をスライドさせることにより、前記板ガラスとの間に形成される隙間を極力小さくして、隣接する前記徐令室間相互の気流の流れを抑止しつつ、前記徐冷室の温度がそれぞれ独立して制御されるようにした構成とする。

また、本発明に係る板ガラスの製造装置は、前記固定隔壁及び前記可動隔壁とともに、前記徐冷室を画成する炉壁の断熱性能が、前記徐冷室ごとに独立して調整されている構成とすることができる。

また、本発明に係る板ガラスの製造方法は、溶融ガラスを鉛直方向に沿って引き下げながら板状に成形しつつ、徐冷する板ガラスの製造方法であって、相互の気流の流れを抑止しつつ、それぞれ独立に温度制御された複数の徐冷室に、成形途中の板ガラスを通過させて徐冷する方法としてある。

このような方法とした本発明に係る板ガラスの製造方法によれば、成形途中の板ガラスを複数の徐冷室を通過させて徐冷するに際して、隣接する徐令室間相互の気流の流れを抑止して、より平坦度の高い板ガラスを製造することができる。

また、本発明に係る板ガラスの製造方法は、前記徐令室を通過する前記板ガラスに対して所定のクリアランスをもって、前記板ガラスの幅方向両端側に設置された固定隔壁に、前記板ガラスの厚み方向に沿って水平にスライド可能となるように支持され、前記板ガラスを挟むように対向配置された一対の可動隔壁間の離間距離を、成形が安定してきた段階で、前記板ガラスとの間の隙間が極力小さくなるように調整することにより、隣接する前記徐令室間相互の気流の流れを抑止する方法とする。
これにより、運転開始時における板ガラスとの接触を避けながらも、成形が安定してきた定常運転時にあっては、その時点での板ガラスの厚みに応じて可動隔壁をスライドさせることにより、板ガラスとの間に形成される隙間を極力小さくして、隣接する徐令室間相互の気流の流れを抑止することができる。

また、本発明に係る板ガラスの製造方法は、前記徐冷室ごとに、前記固定隔壁及び前記可動隔壁とともに、前記徐冷室を画成する炉壁の断熱性能を独立に調整して、ガラスの成形を行う方法とすることができる。

また、本発明に係る板ガラスの製造方法は、得ようとする板ガラスの厚さが１．５ｍｍ以下である方法とすることができ、このような肉薄の板ガラスを得ようとする場合に、特に好適である。

また、本発明に係るガラス製品の製造方法は、上記したような板ガラスの製造方法によって板ガラスを製造し、当該方法によって製造された板ガラスを分割する方法としてあり、本発明に係る液晶ディスプレイの製造方法は、上記したような板ガラスの製造方法によって板ガラスを製造し、当該方法によって製造された板ガラスを分割することによって得られたガラス基板の上に、少なくとも配線パターンを形成する工程を含む方法としてある。

以上のように、本発明によれば、溶融ガラスを鉛直方向に沿って引き下げながら板状に成形しつつ、複数の徐冷室を通過させて徐冷することによって板ガラスを製造するに際し、隣接する徐令室間相互の気流の流れを抑止することによって、より平坦度の高い板ガラスを製造することができる。

以下、本発明の好ましい実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、図１は、本実施形態における板ガラスの製造装置の概略を示す説明図である。図２は、図１に示す製造装置１０の要部拡大図であり、一つの徐冷室と、この上下に隣接する徐令室の一部を示している。図３は、図２のＡ−Ａ断面図であり、図４は、図２のＢ−Ｂ断面図である。

製造装置１０は、図示しない熔融ガラス供給手段に接続された、樋状の成形体１を備えている。成形体１としては、いわゆるフィーディングセルと称されるものが利用でき、図示するように、成形体１の両側面に沿って流出する熔融ガラスが下端部で合流するようになっている。
成形体１の下端部で合流した熔融ガラスは、そのまま鉛直方向に沿って引き下げられ、板状に成形されつつ、徐冷工程を経て、板ガラスＧとなって製造装置１０から取り出される。

また、製造装置１０は、炉壁２で囲まれた内部の空間が、複数の徐冷室１０ａ〜１０ｋに仕切られている。各徐令室１０ａ〜１０ｋは、それぞれ独立した加熱手段６を備え、図示しない制御手段によって所定の温度に制御されている。

徐冷工程にある成形途上の板ガラスＧは、図示するように、その幅方向（図１において、紙面に対して垂直な方向）の両端縁が複数対のローラー５で狭持され、装置内を下方に繰り出されていく。このとき、各徐冷室１０ａ〜１０ｋは、板ガラスＧの進行方向である下方に向かって、順次、温度が下がるように設定、制御されており、これらの徐冷室１０ａ〜１０ｋを通過することによって、板ガラスＧは、高い平坦度が保たれたまま、除歪、冷却される。

このようにして、板ガラスＧを成形、徐冷するにあたり、各徐冷室１０ａ〜１０ｋを仕切る隔壁には、板ガラスＧの通過を許容する貫通路を設けなければならないが、板ガラスＧと貫通路との間に大きな隙間が形成されていると、異なる設定温度に制御された隣接する徐冷室間に、ドラフト効果による気流が発生する。そして、このような気流の流れが、板ガラスＧの主面（厚み方向に対向する面積最大の面）に沿って生じると、板ガラスＧの幅方向に沿った温度分布の均一性が乱されて、板ガラスＧの表面の平坦度に悪影響を及ぼしてしまう。

板ガラスＧとの間の隙間が極力小さくなるように貫通路の寸法を設定すれば、隣接する徐令室間相互の気流の流れは抑止され、上記のような不都合はないように思われるものの、通常、製造装置１０の運転を開始した時点では、定常運転時に比べて、成形途上の板ガラスＧの肉厚が相当に厚い。

したがって、定常運転時の板ガラスＧの肉厚に基づいて貫通路の寸法を設定すると、運転開始時に板ガラスＧが隔壁に接触し、成形に支障をきたしてしまうことになる。一方、運転開始時の板ガラスＧの肉厚に基づいて貫通路の寸法を設定すると、通常運転となった時に、板ガラスＧとの間に大きな隙間が形成されてしまい、隣接する徐令室間相互の気流の流れを抑止することができない。

このため、本実施形態にあっては、各徐冷室１０ａ〜１０ｋを通過する成形途中の板ガラスＧに対して所定のクリアランスをもって、板ガラスＧの幅方向両端側に固定隔壁３を設置するとともに、板ガラスＧを挟むように対向配置され、板ガラスＧの厚み方向に沿って水平にスライド可能とされた一対の可動隔壁４を固定隔壁３に支持することにより、各徐令室１０ａ〜１０ｋを仕切っている。

このようにすることで、スライド可能とされた一対の可動隔壁４を近接、離間させることにより、板ガラスＧとの間に形成される隙間の大きさを調整することができ、これによって、板ガラスＧとの間に常に適度の隙間を確保しつつ、板ガラスＧの通過を許容する貫通路を形成することが可能となる。その結果、運転開始時における板ガラスＧとの接触を避けながらも、定常運転時にあっては、その時点での板ガラスＧの厚みに応じて可動隔壁４をスライドさせることにより、板ガラスＧとの間に形成される隙間を極力小さくして、隣接する徐令室間相互の気流の流れを抑止することができる。

製造装置１０を形成する各部の具体的な構成は、公知のこの種のガラス製造装置のものを利用することができるが、可動隔壁４は、スライド可能とする上で、比較的軽量の肉薄の板材からなるのが好ましい。その一方で、可動隔壁４によって仕切られる徐冷室の間には温度差があり、可動隔壁４の材料に金属などを用いると、その上面と下面との間に生じる温度差によって、可動隔壁４に反りが生じるおそれがある。
このため、可動隔壁４の反りを抑えつつ、徐冷室間を断熱するには、セラミックス製の板材を用いて可動隔壁４を構成するのが好ましい。より具体的には、薄くても優れた断熱性を備え、温度差による反りも生じにくい、セラミックファイバーボードなどを例示することができる。

ところで、図示する例において、各徐令室１０ａ〜１０ｋは、それぞれが独立した加熱手段６を備えて温度制御されるようにしてあるが、徐冷室内の温度を所望の温度に保持するに際して、冷却手段として低温の熱媒体を通した熱交換器を徐冷室内に設置することが考えられるが、低温の熱媒体の周囲にはその熱媒体に近い温度の空気ができることになると同時に、熱交換器が周囲の熱を必要以上に奪ってしまうと加熱手段６の出力を上げる必要が生じる。この加熱手段の出力向上は、当然熱源の温度が上がることを意味するので、熱源近くにはその熱源に近い温度の空気ができることになる。同一空間（徐冷室）内に存在する低温の熱媒体近くの低温の空気と、高温の熱源の近くの高温の空気は気流を発生させる原因となるので、その温度差が大きいほど気流発生のエネルギーは大きくなり、その空間内に存在する板ガラスＧの温度分布を悪化させる引き金となりうる。したがって、より平坦度の高い板ガラスを得るには、徐冷室内における気流の発生を誘発するような、高温の熱源による加熱も、低温の熱媒体による冷却も行わないで、徐冷室内の温度を制御するのが好ましい。

このような温度制御手段の一つとして、成形途上にある板ガラスＧから放出される熱を熱源として徐冷室内に必要な熱量を確保しつつ、その熱の一部を必要に応じて外部に放出することで、それぞれの徐冷室内の温度を所望の温度に制御することが考えられる。このような温度制御手段を実現するには、固定隔壁３や可動隔壁４とともに徐冷室を画成する炉壁２の断熱性能を、それぞれの徐冷室ごとに調整すればよい。
すなわち、例えば、板ガラスＧが高温な上位の徐冷室では、その炉壁２に高い断熱性能を持たせて急激な温度低下を避けつつ、板ガラスＧの温度が低下とともに、しだいに断熱性能を下げていく。そして、下位の徐冷室の炉壁２ほど断熱性能が低くなるようにして、好適な温度勾配が得られるように、それぞれの徐冷室の炉壁２に付与する断熱性能を独立して調整すればよい。

断熱性能を調整するにあたり、より具体的には、断熱材として徐冷室の炉壁２の内側に貼り付けているセラミックファイバー製の断熱ボードの厚みを、上位の徐冷室では十分に厚くする一方で、下位に向かうにしたがって徐々に薄くしていく。そして、放熱量が不足する場合は、断熱材を用いないで、鉄製の壁面むき出しとし、さらに必要に応じて、その放射率を高める塗料を炉壁２の内面及び外面に塗布するなどの断熱性能調整方法を用いることができる。

なお、以上のようにして炉壁２の断熱性能を調整するにあたり、板ガラスＧの幅方向両端に対向する炉壁２の断熱性能を下げると、板ガラスＧの幅方向の温度分布に影響を与え、板ガラスＧの平坦度への影響が大きい。このため、この部分での断熱性能は一定以上を維持したまま、板ガラスＧの主面に対向する炉壁２の断熱性能の程度を増減させるのが好ましい。
すなわち、本実施形態にあっては、固定隔壁３及び可動隔壁４とともに、徐冷室を画成する炉壁２のうち、板ガラスＧの主面に対向する部分の断熱性能が、徐冷室ごとに独立して調整されているのが特に好ましい。

以上のような製造装置１０によって板ガラスＧを成形するにあたり、成形体１から流出する熔融ガラスは、鉛直方向に沿って引き下げられながら板状に成形されつつ、各徐冷室１０ａ〜１０ｋへと繰り出されていくが、前述したように、成形を開始した初期の段階では、成形途中の板ガラスＧの肉厚は、定常運転時に比べて相当に厚い。このため、成形開始時には、一対の可動隔壁４の離間距離を十分広くしておき、可動隔壁４が板ガラスＧの繰り出しを妨げないようにする。

そして、成形が安定してきて、成形途中の板ガラスＧの厚みが定常運転時の厚みに近づいてきた段階で、可動隔壁４の離間距離を狭めて、板ガラスＧとの間の隙間が極力小さくなるように調整することにより、隣接する徐令室間相互の気流の流れを抑止する
このように、相互の気流の流れを抑止しつつ、それぞれ独立に温度制御された複数の徐冷室１０ａ〜１０ｋに、成形途中の板ガラスを通過させて徐冷することにより、より平坦度の高い板ガラスを得ることができる。そして、板ガラスＧの平坦度の悪化に及ぼす気流の影響は、肉薄化されればされるほど相対的に大きくなってくるので、得ようとする板ガラスＧの厚さが１．５ｍｍ以下の肉薄となる場合に、特に好適である。

ここで、運転を開始してから定常運転に移行するまでの間、板ガラスＧは、ロータ５に引っ張られながら幅方向に揺れ動く。このため、板ガラスＧの側面（幅方向両端における端面）と、固定隔壁３の間には、ある程度の隙間（図３参照）がないと、板ガラスＧが固定隔壁３に接触してしまう。
また、板ガラスＧの平坦度は、主面の温度分布に大きな影響を受けるため、主面に沿ったドラフト効果による気流の流れを十分に抑止する必要があるが、板ガラスＧの両端部は、溶融ガラスが成形体１から離脱後の表面張力による幅収縮に伴い、板ガラスＧの中央部に比べ２倍近い厚みを持ち、謂わば「柱」のような働きをする。このため、板ガラスＧの側面に沿ってドラフト効果による気流が発生しても、板ガラスＧの平坦度には、それほど大きな影響を与えない。
したがって、定常運転に移行した後は、板ガラスＧが幅方向に揺れ動くことはなく、板ガラスＧ側面と固定隔壁３との間に隙間を設ける必要はないが、この部分に隙間を残した状態で定常運転を行っても差支えない。

徐冷工程を経て、製造装置１０から取り出された板ガラスＧは、所定の大きさに分割されて種々のガラス製品に加工される。このとき、ナールロールやローラー５と接触した両端部分を切り落とせば、非常に平坦な主面を有し、かつ、その主面どうしの平行度も高い、一定の厚みの板状のガラス製品を得ることができる。

板ガラスＧを分割することによって製造されるガラス製品としては、例えば、ガラス基板や、カバーガラスなど、高精度の平坦性が要求される板状のガラス製品を例示することができる。

より具体的には、例えば、アルミノボロシリケート系の組成を有する無アルカリガラスをガラス原料とし、製造装置１０により板ガラスＧを成形して、徐冷した後に幅方向に沿って切断し、両端部を切り落とすことで、ＴＦＴアクティブマトリックス方式の液晶ディスプレイ用のガラス基板を製造することができ、このガラス基板には、ＴＦＴアレイと配線パターンとを良好に形成することができる。

このように、得られた板ガラスＧを所望の大きさ、形状に分割すれば、板厚が目標の厚さになるように成形するだけで、その主面を研磨することなく、高精度な平坦面が要求されるガラス製品を製造することができるが、得られた板ガラスＧに対しては、その主面に、必要に応じて研磨を施すようにしてもよい。この場合、もともとの主面の平坦度が高いため、研磨工程にそれほどの手間をかけなくても、研磨後の主面を、より高精度の平坦面とすることができる。

より具体的には、例えば、所定のガラス原料からなる板ガラスＧを成形し、所望の長さに切断するとともに、両端部分部を切り落とした後、円盤状に切り出して中心に孔を開け、次いで、主面を研削、研磨してディスク状のガラス基板に仕上げれば、磁気ディスクなどの情報記録媒体用のガラス基板とすることもできる。そして、このガラス基板の主面上に、磁気記録膜を形成することによって、磁気ディスクなどの情報記録媒体とすることができる。
また、得られた板ガラスＧを長方形や正方形などの方形に切り出し、主面を研削、研磨すれば、携帯電話用のカバーガラスや、デジタルカメラ用のカバーガラスなどの各種カバーガラスとすることもできる。

これらのガラス製品は、薄い板ガラスをさらに研削、研磨しているので、より薄いガラス製品になっているが、硝酸ナトリウム及び硝酸カリウムの混合熔融塩中に浸漬して化学強化することにより強度を向上させることで、信頼性、耐久性の面で優れた製品に仕上げることができる。

なお、上記の例では、板ガラスＧから切り出したガラス片を研削、研磨したが、板ガラスＧの主面を研削、研磨してから切り出しを行ってもよいし、板ガラスＧの主面を研削した後、切り出し、切り出したガラスの主表面を研磨してもよい。

次に、具体的な実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。

［実施例］
図１に示す製造装置１０を用いて、ガラス転移点が５００℃、歪点が４６０℃、１００℃〜３００℃までの平均線膨張係数が９０×１０^−７／℃、ガラス成分としてＬｉ_２Ｏ及びＮａ_２Ｏを含むアルミノシリケート系の組成を有するガラス原料から、板ガラスＧを成形した。このとき、各徐冷室を仕切る可動壁４と、成形途中の板状ガラスＧとの間に形成される隙間が、成形が安定してきた段階で２〜３ｍｍ程度に保たれるように調整した。そして、１２ｍｍ／ｓｅｃの成形速度で鉛直方向に沿って引き下げて、幅６００ｍｍ、厚み１．１ｍｍの板ガラスＧを成形した。

なお、各徐冷室の設定温度は、上から順番に５２０℃、５１０℃、５００℃、４８０℃、４４０℃、４００℃、３６０℃、３２０℃、２８０℃、２４０℃、１８０℃となうように制御した。このとき、各徐冷室を区画する炉壁のうち、板ガラスＧの幅方向両端に対向する炉壁の内側には、セラミックファイバー製の断熱ボードを１５０ｍｍ厚みで内張りした。また、ガラス板Ｇの主面に対向する炉壁にあっては、最上位の徐冷室では断熱ボードの厚みを１５０ｍｍとし、下方に行くに従って設定温度に応じて断熱ボードの厚みを減少させ、最下位の徐冷室には断熱ボードは設置しなかった。

徐冷した上記板ガラスを切断し、さらに所望の形状、寸法に加工した後、硝酸ナトリウムと硝酸カリウムの混合熔融塩に浸漬し、化学強化した。このようにして携帯電話用のカバーガラスや、デジタルカメラ用のカバーガラスなどの各種カバーガラスを作製した。これらカバーガラスは耐擦傷強度が高く、高い信頼性を有するものであった。

次に、ガラスをアルミノボロシリケート系の組成を有する無アルカリガラスに変更し、同様の成形を行った。得られた徐冷済み板ガラスを切断して液晶ディスプレイ基板とし、基板上にポリシリコンの配線パターンを形成してＴＦＴアレイを形成した。そして、この基板を用いて液晶ディスプレイを作製した。

［比較例］
各徐冷室を仕切る可動壁４と、成形途中の板状ガラスＧとの間に形成される隙間を２０ｍｍ以上とした以外は、実施例と同様にして板ガラスＧを成形した。

得られた板ガラスＧを６００ｍｍ四方に切り出して、その反り具合をみてみたところ、実施例における反りの最大値は、比較例に対して、平均で５０％以上改善された。また、反りの値のばらつきも５０％以上改善された。

以上、本発明について、好ましい実施形態を示して説明したが、本発明は、前述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。

すなわち、図示する成形装置１０は一例であり、成形途中の板ガラスが通過する複数の徐冷室を備えるとともに、隣接する徐令室間相互の気流の流れを抑止しつつ、徐冷室の温度がそれぞれ独立して制御されるようになっていれば、これに限られない。徐冷室の数、徐冷室が備える加熱手段の配置、成形途中の板ガラスを繰り出すローラーの配置など、装置の細部は必要に応じて適宜変更することができる。

さらに、図示する例では、可動隔壁４は、固定隔壁３の端面に形成された段部に支持されて、スライド可能となるようにしてあるが（図４参照）、可動隔壁４を固定隔壁３に支持させる具体的な手段は、一対の可動隔壁４を近接、離間させて、板ガラスＧとの間に形成される隙間の大きさを調整することができれば、これに限られない。

本発明によれは、表面の平坦度が高い板ガラスを容易に製造することができる。

本発明に係る板ガラスの製造装置の実施形態の概略を示す説明図である。 図１に示す製造装置の要部拡大図である。 図２のＡ−Ａ断面図である。 図２のＢ−Ｂ断面図である。

符号の説明

１ 成形体
３ 固定隔壁
４ 可動隔壁
６ 加熱手段
１０ 製造装置
１０ａ〜１０ｋ 徐冷室
Ｇ 板ガラス

Claims (7)

1. 溶融ガラスを鉛直方向に沿って引き下げながら板状に成形しつつ、徐冷する板ガラスの製造装置であって、
   成形途中の板ガラスが通過する複数の徐冷室を備えるとともに、
   前記徐令室を通過する前記板ガラスに対して所定のクリアランスをもって、前記板ガラスの幅方向両端側に設置された固定隔壁と、前記板ガラスを挟むように対向配置され、前記板ガラスの厚み方向に沿って水平にスライド可能となるように前記固定隔壁に支持された一対の可動隔壁とにより、前記徐冷室が仕切られており、
   前記板ガラスの厚みに応じて前記可動隔壁をスライドさせることにより、前記板ガラスとの間に形成される隙間を極力小さくして、隣接する前記徐令室間相互の気流の流れを抑止しつつ、前記徐冷室の温度がそれぞれ独立して制御されるようにしたことを特徴とする板ガラスの製造装置。
2. 前記固定隔壁及び前記可動隔壁とともに、前記徐冷室を画成する炉壁の断熱性能が、前記徐冷室ごとに独立して調整されている請求項１に記載の板ガラスの製造装置。
3. 溶融ガラスを鉛直方向に沿って引き下げながら板状に成形しつつ、徐冷する板ガラスの製造方法であって、
   相互の気流の流れを抑止しつつ、それぞれ独立に温度制御された複数の徐冷室に、成形途中の板ガラスを通過させて徐冷するにあたり、
   前記徐令室を通過する前記板ガラスに対して所定のクリアランスをもって、前記板ガラスの幅方向両端側に設置された固定隔壁に、前記板ガラスの厚み方向に沿って水平にスライド可能となるように支持され、前記板ガラスを挟むように対向配置された一対の可動隔壁間の離間距離を、
   成形が安定してきた段階で、前記板ガラスとの間の隙間が極力小さくなるように調整することにより、隣接する前記徐令室間相互の気流の流れを抑止することを特徴とする板ガラスの製造方法。
4. 前記徐冷室ごとに、前記固定隔壁及び前記可動隔壁とともに、前記徐冷室を画成する炉壁の断熱性能を独立に調整して、ガラスの成形を行う請求項３に記載の板ガラスの製造方法。
5. 得ようとする板ガラスの厚さが１．５ｍｍ以下である請求項３〜４のいずれか１項に記載の板ガラスの製造方法。
6. 請求項３に記載の板ガラスの製造方法によって板ガラスを製造し、当該方法によって製造された板ガラスを分割することを特徴とするガラス製品の製造方法。
7. 請求項３に記載の板ガラスの製造方法によって板ガラスを製造し、当該方法によって製造された板ガラスを分割することによって得られたガラス基板の上に、少なくとも配線パターンを形成する工程を含む液晶ディスプレイの製造方法。

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