CN202576645U - 一种石墨基座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种石墨基座，包括底座(1)，所述底座(1)上设置有安装位(2)，所述安装位(2)内安装有可拆卸的石英圆环(3)，所述石英圆环(3)的外圈与所述安装位(2)的内圈紧密贴合。本实用新型是在传统的6寸石墨基座的每一个安装位内放上一个可拆卸的石英圆环，使石英圆环的外圈紧贴安装位的外圈。这样就可保证6寸的石墨基座可以生产两种尺寸的外延片。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体领域外延层的生长技术中的基座，特别是涉及一种石墨基座。
背景技术
传统的6寸(即15.24cm)石墨基座只能用在生长6寸外延层的腔体，试用比较单一。由于在半导体领域涉及生产订单更换比较平凡，随着半导体技术的不断进步，大尺寸的外延片需求是市场所需，考虑到以后5寸外延片逐步淘汰，所需的5寸石墨基座也可能逐步淘汰，所以在做石墨备品备件时，由于石墨基座价格比较昂贵，为了减少5寸石墨基座的采购量，需要用6寸的石墨基座来代替使用。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石墨基座，可以生产两种尺寸的外延片。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种石墨基座，包括底座，所述底座上设置有安装位，所述安装位内安装有可拆卸的石英圆环，所述石英圆环的外圈与所述安装位的内圈紧密贴合。
所述安装位有8个，均匀分布在所述底座上表面。
所述石英圆环的内径为12.7cm。
所述石英圆环的厚度为0.36mm。
有益效果
由于采用了上述的技术方案，本实用新型与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：本实用新型是在传统的6寸石墨基座的每一个安装位内放上一个可拆卸的石英圆环，使石英圆环的外圈紧贴安装位的外圈。这样就可保证6寸的石墨基座可以生产两种尺寸的外延片。需要长6寸外延片时只要将8个石英圆环从6寸的基座上拿下来，而需要安装5寸时将8个石英环装上就可以，起到了很好的兼容性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
本实用新型的实施方式涉及一种石墨基座，如图1所示，包括底座，所述底座上设置有安装位，所述安装位内安装有可拆卸的石英圆环，所述石英圆环的外圈与所述安装位的内圈紧密贴合。其中，安装位共有8个，均匀分布在所述底座上表面。石英圆环的内径为12.7cm(即5寸)，厚度约为0.36mm。
不难发现，本实用新型是在传统的6寸石墨基座的每一个安装位内放上一个可拆卸的石英圆环，使石英圆环的外圈紧贴安装位的外圈。这样就可保证6寸的石墨基座可以生产两种尺寸的外延片。需要长6寸外延片时只要将8个石英圆环从6寸的基座上拿下来，而需要安装5寸时将8个石英环装上就可以，起到了很好的兼容性。
Claims (4)
1.一种石墨基座，包括底座(1)，所述底座(1)上设置有安装位(2)，其特征在于，所述安装位(2)内安装有可拆卸的石英圆环(3)，所述石英圆环(3)的外圈与所述安装位(2)的内圈紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的石墨基座，其特征在于，所述安装位(2)有8个，均匀分布在所述底座(1)上表面。
3.根据权利要求1所述的石墨基座，其特征在于，所述石英圆环(3)的内径为12.7cm。
4.根据权利要求1所述的石墨基座，其特征在于，所述石英圆环(3)的厚度为0.36mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 201220177112 CN202576645U (zh) | 2012-04-24 | 2012-04-24 | 一种石墨基座 |
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Publications (1)
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ID=47246075
Family Applications (1)
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| CN 201220177112 Expired - Lifetime CN202576645U (zh) | 2012-04-24 | 2012-04-24 | 一种石墨基座 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN202576645U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103510158A (zh) * | 2013-10-15 | 2014-01-15 | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 | 碳化硅外延炉兼容小盘基座及其使用方法 |
| CN105280534A (zh) * | 2014-06-02 | 2016-01-27 | 晶元光电股份有限公司 | 承载盘 |
| CN108441945A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-08-24 | 东莞市中晶半导体科技有限公司 | 一种提高薄膜生长外延片均匀性的方法 |
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2012
- 2012-04-24 CN CN 201220177112 patent/CN202576645U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103510158A (zh) * | 2013-10-15 | 2014-01-15 | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 | 碳化硅外延炉兼容小盘基座及其使用方法 |
| CN105280534A (zh) * | 2014-06-02 | 2016-01-27 | 晶元光电股份有限公司 | 承载盘 |
| CN105280534B (zh) * | 2014-06-02 | 2020-04-24 | 晶元光电股份有限公司 | 承载盘 |
| CN108441945A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-08-24 | 东莞市中晶半导体科技有限公司 | 一种提高薄膜生长外延片均匀性的方法 |
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Granted publication date: 20121205 |