CN202323012U - 一种加热盘与真空机械手定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种加热盘与真空机械手定位装置。采用的技术方案是：包括加热盘和真空机械手，加热盘的外沿与加热盘定位块连接，加热盘中心校准工具置于加热盘上，加热盘中心校准工具末端的内弧面与加热盘的外沿连接，加热盘中心校准工具的中心处设有定位销，真空机械手通过定位销与加热盘固定。本实用新型结构简单，精确度高，可靠性高，能够精确定位加热盘在腔体里的中心的位置和真空机械手相对于加热盘的位置。
Description
技术领域
本实用新型主要应用于PECVD设备中，用于完成加热盘在腔体里的中心的定位和真空机械手相对于加热盘的定位。
背景技术
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术的原理是利用低温等离子体作为能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。在成膜过程中，加热盘相对于腔体的中心位置以及晶圆在加热盘上的相对位置至关重要，在PECVD系统中，加热盘相对于腔体的中心位置以及晶圆在加热盘上的相对位置直接影响到整个射频回路的阻抗，从而影响成膜的质量与成膜速度。
发明内容
为解决加热盘在腔体里的中心的定位和真空机械手相对于加热盘的定位等问题。本实用新型的目的在于提供一种结构简单，能够精确定位加热盘和真空机械手的定位装置。
本实用新型采用的技术方案是：一种加热盘与真空机械手定位装置，包括加热盘和真空机械手，其特征在于：加热盘的外沿与加热盘定位块连接，加热盘中心校准工具置于加热盘上，加热盘中心校准工具末端的内弧面与加热盘的外沿连接，加热盘中心校准工具的中心处设有定位销，真空机械手通过定位销与加热盘固定。
为保证加热盘相对于在腔体里的中心的定位准确，上述的加热盘与真空机械手定位装置，至少设有三个加热盘定位块。
为保证加热盘自身的中心的定位准确，上述的加热盘与真空机械手定位装置，加热盘中心校准工具制成至少设有三个支架。
上述的加热盘与真空机械手定位装置，加热盘定位块制成双弧面结构。
本实用新型的原理是：首先，通过加热盘定位块和加热盘中心校准工具实现加热盘与腔体中心的定位，然后通过定位销再实现真空机械手与加热盘的定位，从而实现晶圆从真空机械手与加热盘的准确交接。
本实用新型在校准时，需要打开腔体，使加热盘处于常温状态。
本实用新型的有益效果是：① 精确度高。只需通过加热盘定位块、加热盘中心校准工具和定位销即可实现精确定位。即，利用加热盘定位块、加热盘中心校准工具和定位销的配合公差，使真空机械手能够精确调整。② 可靠性高。各个零件采用铝合金配合硬质表面氧化处理，有较好的抗变形能力和抗磨性能。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中，1、加热盘定位块；2、加热盘中心校准工具；3、定位销；4、加热盘； 6、真空机械手。
图2为本实用新型的使用状态图。
具体实施方式
如图1所示，一种加热盘与真空机械手定位装置，包括加热盘（4）和真空机械手（6），加热盘（4）的外沿与加热盘定位块（1）连接，加热盘中心校准工具（2）置于加热盘（4）上，其末端的内弧面与加热盘的（4）的外沿连接，加热盘中心校准工具（2）上设有定位销（3），真空机械手（6）通过定位销（3）与加热盘（4）固定。
上述的加热盘与真空机械手定位装置，设有三块加热盘定位块（1）。
上述的加热盘与真空机械手定位装置，加热盘中心校准工具（2）制成至少设有三个支架。
上述的加热盘与真空机械手定位装置，加热盘定位块（1）制成双弧面结构。
如图2所示，安装时，将本实用新型置于PECVD设备的腔体（5）内。首先，加热盘定位块与腔体内壁固定，加热盘置于腔体内，其外沿与加热盘定位块连接，实现加热盘与反应腔体的对中，加热盘定位块具有双弧面结构，可以较好的实现加热盘与腔体的对中定位。其次，将加热盘中心校准工具置于加热盘上，其三个支架末端的内弧面与加热盘的外沿定位，即可实现加热盘中心的定位。再次，将真空机械手放入加热盘上， 通过设在加热盘中心校准工具中心的定位销实现真空机械手与加热盘的定位。因此在工作时，通过真空机械手可将晶圆精确地置于加热盘的中心位置，在样品成膜过程中，使得成膜质量好，成膜速度快。
Claims (5)
1.一种加热盘与真空机械手定位装置，包括加热盘（4）和真空机械手（6），其特征在于：加热盘（4）的外沿与加热盘定位块（1）连接，加热盘中心校准工具（2）置于加热盘（4）上，加热盘中心校准工具（2）末端的内弧面与加热盘（4）的外沿连接，加热盘中心校准工具（2）的中心处设有定位销（3），真空机械手（6）通过定位销（3）与加热盘（4）固定。
2.按照权利要求1所述的加热盘与真空机械手定位装置，其特征在于：至少设有三个加热盘定位块（1）。
3.按照权利要求1或2所述的加热盘与真空机械手定位装置，其特征在于：加热盘中心校准工具（2）制成至少设有三个支架。
4.按照权利要求1或2所述的加热盘与真空机械手定位装置，其特征在于：加热盘定位块（1）制成双弧面结构。
5.按照权利要求4所述的加热盘与真空机械手定位装置，其特征在于：加热盘中心校准工具（2）制成至少设有三个支架。
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| CN202323012U true CN202323012U (zh) | 2012-07-11 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104959934A (zh) * | 2015-07-14 | 2015-10-07 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 三点联动定位工装 |
| CN110310913A (zh) * | 2018-03-20 | 2019-10-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 机械手校准装置及方法 |
| CN110379741A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-10-25 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 一种应用于调整两个件同心的工装 |
| CN113257718A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-08-13 | 陛通半导体设备(苏州)有限公司 | 一种便于位置校准的堆叠结构腔体设备 |
| CN114672781A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-06-28 | 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司 | 应用于装载锁定腔内载具的定位工装及定位方法 |
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2011
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104959934A (zh) * | 2015-07-14 | 2015-10-07 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 三点联动定位工装 |
| CN110310913A (zh) * | 2018-03-20 | 2019-10-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 机械手校准装置及方法 |
| CN110310913B (zh) * | 2018-03-20 | 2022-03-22 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 机械手校准装置及方法 |
| CN110379741A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-10-25 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 一种应用于调整两个件同心的工装 |
| CN113257718A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-08-13 | 陛通半导体设备(苏州)有限公司 | 一种便于位置校准的堆叠结构腔体设备 |
| CN113257718B (zh) * | 2021-06-08 | 2021-09-17 | 陛通半导体设备(苏州)有限公司 | 一种便于位置校准的堆叠结构腔体设备 |
| CN114672781A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-06-28 | 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司 | 应用于装载锁定腔内载具的定位工装及定位方法 |
| CN114672781B (zh) * | 2022-04-06 | 2023-12-05 | 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司 | 应用于装载锁定腔内载具的定位工装及定位方法 |
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