CN201990724U - 用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，属于太阳电池技术领域。射频电源连接机构，包括射频电源、安装在沉积夹具上的阴极板，该阴极板通过连接机构与射频电源连接，其特征在于所述连接机构包括定位部件、调整偏差部件、至少两块射频电源接口固定板、阴极板接口固定板，所述调整偏差部件连接在两块射频电源接口固定板之间，射频电源接口与阴极板接口由定位部件定位对接，且由调整偏差部件调整对接偏差。本实用新型结构简单、能实现阴极板接口和射频电源接口准确定位，并快速、稳固地实现接口对接。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于沉积非晶硅薄膜电池的射频电源连接机构，属于太阳电池技术领域。
背景技术
在非晶硅薄膜太阳能电池生产工艺中，沉积非晶硅层时需要给阴极板外加一个射频电源，在射频电源作用下在真空室内形成等离子体，进行均匀放电，实现低温沉积，如专利号200820152147.2《双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备》及专利号200610074522.1《化学气相沉积设备》都公开的化学气相沉积设备，阴极板安装在沉积夹具上，沉积夹具可以移动，方便放置基片和拿取沉积好的基片。但对于一次沉积多片的夹具，需要多个阴极板和射频电源，形成阴极板组和相应的外接射频电源组，由于夹具是活动的，每次沉积时要将外接射频电源与阴极板连接，沉积后要将射频电源与阴极板分开。已有技术有通过手动或自动连接，其中手动连接是当沉积夹具推入真空室固定位置后，手动将阴极板接口插入相应的射频电源接口内，将接口锁紧螺母的内螺纹与接口锁紧螺栓的外螺纹拧紧，接口锁紧螺母同时带动拉紧轴套使阴极板接口电缆线与射频电源接口连接，对于一次沉积多片的连接机构，需要每个接口都用手动连接，工作效率低，不便于实现生产自动化。因此如何将外接射频电源组与阴极板组快速而可靠的对接成为目前需要解决的问题。
发明内容
本实用新型针对现有技术的不足，解决准确定位，将射频电源插接口快速、稳固地与阴极板插接口对接的技术问题，提供一种快速可靠的化学气相沉积设备的射频电源连接机构。
为了实现以上任务，本实用新型采用的技术方案是：提供一种用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，包括射频电源、安装在沉积夹具上的阴极板，该阴极板通过连接机构与射频电源连接，其特征在于所述连接机构包括定位部件、调整偏差部件、至少两块射频电源接口固定板、阴极板接口固定板，所述调整偏差部件连接在两块射频电源接口固定板之间，射频电源接口与阴极板接口由定位部件定位对接，且由调整偏差部件调整对接偏差。
射频电源接口固定板至少有一块是可活动的。
连接机构的定位部件由导套和导柱组成，导柱插接在导套内导向定位。
导套装在可活动的射频电源插接口固定板上，导柱装在阴极板插接口固定板上。
调整偏差部件为弹簧机构，该弹簧机构一端连接射频电源接口固定板，另一端连接可活动的射频电源接口固定板。
阴极板接口固定板装在沉积夹具的尾部。
射频电源和阴极板的接口上均接有电缆线。
本实用新型的有益效果是结构简单、能实现阴极板接口和射频电源接口准确定位，并快速、稳固地实现接口对接，还可以通过调整偏差部件调整阴极板接口和射频电源接口对接的偏差，进一步保证对接的准确性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是图1中A-A剖视图。
图3是本实用新型射频电源连接机构对接状态示意图。
图4是实施例1的示意图。
图5是实施例2的示意图。
图6是实施例3的示意图。
图1至图6中：1为沉积夹具，2为阴极板接口固定板，3为阴极板接口电缆线，4为阴极板接口，5为真空室，6为射频电源引入接头，7为射频电源接口固定板，8为可活动的射频电源接口固定板，9为射频电源接口电缆线，10为射频电源接口，11为弹簧机构，12为导柱，13为导套。
下面结合附图对本实用新型做详细的说明。
射频电源插接口固定板与可活动的射频电源插接口固定板通过弹簧机构连接，阴极板插接口固定安装在沉积夹具上的阴极板插接口固定板上，在射频电源插接口浮动固定板上装有定位用导套，在阴极板插接口固定板上装有定位用导柱，导柱与导套起定位作用，弹簧机构调整各对阴极板插接口和射频电源插接口对位偏差，使其准确牢固对接。
具体实施方式
实施例1：
如图所示，阴极板接口固定板2通过焊接或螺栓固定在沉积夹具1的尾部，阴极板接口4固定在阴极板接口固定板2上，阴极板接口电缆线3一端连接在阴极板接口4上，另一端连接在阴极板上，射频电源接口固定板7通过焊接或螺栓固定在真空室5腔壁内，可活动的射频电源接口固定板8通过弹簧机构11与射频电源接口固定板7相连，射频电源接口10固定在可活动的射频电源接口固定板8上与阴极板接口4对应位置，射频电源接口电缆线9一端与射频电源接口10相连，另一端与射频电源引入接头6相连，导柱12固定在阴极板接口固定板2上，导套13固定在可活动的射频电源接口固定板8上，导柱12在沉积夹具1推入真空室5时带动阴极板接口固定板2运动插入导套13内实现导向定位，同时使射频电源接口10与阴极板接口4对接，当射频电源接口10与阴极板接口4定位时发生偏差，通过弹簧机构11使得可活动的射频电源接口固定板8可以左右上下允许一定范围的偏移来调整射频电源接口10与阴极板接口4对位偏差。
见图4，本实施例一次可同时沉积16片非晶硅电池基片，需要4对射频电源接口10与阴极板接口4，在阴极板接口固定板2上安装4个阴极板接口4和1个导柱12，在可活动的射频电源接口固定板8安装4个射频电源接口10和1个导套13，可活动的射频电源接口固定板8和射频电源接口固定板7通过2个弹簧机构11连接，可保证射频电源接口10与阴极板接口4的不同心的偏差不超过导柱12直径的一半范围内。
实施例2：
实施方式同实施例1，在此不再赘述。见图5，本实施例一次可同时沉积32片非晶硅电池基片，需要8对射频电源接口10与阴极板接口4，在阴极板接口固定板2上安装8个阴极板接口4和2个导柱12，在可活动的射频电源接口固定板8安装8个射频电源接口10和2个导套13，可活动的射频电源接口固定板8和射频电源接口固定板7通过4个弹簧机构11连接，可保证射频电源接口10与阴极板接口4的不同心的偏差不超过导柱12直径的一半范围内。
实施例3：
实施方式同实施例1，在此不再赘述。见图6，本实施例一次可同时沉积48片非晶硅电池基片，需要12对射频电源接口10与阴极板接口4，在阴极板接口固定板2上安装12个阴极板接口4和2个导柱12，在可活动的射频电源接口固定板8安装12个射频电源接口10和2个导套13，可活动的射频电源接口固定板8和射频电源接口固定板7通过9个弹簧机构11连接，可保证射频电源接口10与阴极板接口4的不同心的偏差不超过导柱12直径的一半范围内。
Claims (7)
1.一种用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，包括射频电源、安装在沉积夹具上的阴极板，该阴极板通过连接机构与射频电源连接，其特征在于所述连接机构包括定位部件、调整偏差部件、至少两块射频电源接口固定板、阴极板接口固定板，所述调整偏差部件连接在两块射频电源接口固定板之间，射频电源接口与阴极板接口由定位部件定位对接，且由调整偏差部件调整对接偏差。
2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，其特征在于所述射频电源接口固定板至少有一块是可活动的。
3.根据权利要求2所述的用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，其特征在于所述连接机构的定位部件由导套和导柱组成，导柱插接在导套内导向定位。
4.根据权利要求3所述的用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，其特征在于所述导套装在可活动的射频电源插接口固定板上，导柱装在阴极板插接口固定板上。
5.根据权利要求2所述的用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，其特征在于所述调整偏差部件为弹簧机构，该弹簧机构一端连接射频电源接口固定板，另一端连接可活动的射频电源接口固定板。
6.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，其特征在于所述阴极板接口固定板装在沉积夹具的尾部。
7.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，其特征在于所述射频电源和阴极板的接口上均接有电缆线。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011200556404U CN201990724U (zh) | 2011-03-04 | 2011-03-04 | 用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011200556404U CN201990724U (zh) | 2011-03-04 | 2011-03-04 | 用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN201990724U true CN201990724U (zh) | 2011-09-28 |
Family
ID=44667218
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2011200556404U Expired - Lifetime CN201990724U (zh) | 2011-03-04 | 2011-03-04 | 用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201990724U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103388134A (zh) * | 2013-07-22 | 2013-11-13 | 北京工业大学 | 容性耦合等离子体增强化学气相沉积制备厚度均匀薄膜的方法 |
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2011
- 2011-03-04 CN CN2011200556404U patent/CN201990724U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103388134A (zh) * | 2013-07-22 | 2013-11-13 | 北京工业大学 | 容性耦合等离子体增强化学气相沉积制备厚度均匀薄膜的方法 |
| CN103388134B (zh) * | 2013-07-22 | 2016-05-18 | 北京工业大学 | 容性耦合等离子体增强化学气相沉积制备厚度均匀薄膜的方法 |
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