CN202481732U - 一种外传输校正系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种外传输校正系统，具体地讲是涉及一种在薄膜太阳能电池生产领域的外传输校正系统。其包括玻璃、传输皮带等，还包括设置在传输皮带两侧的对中气缸和气缸支板等。本实用新型采用在装载台和卸载台上安装对中气缸的外传输系统，对外传输部分的玻璃传输起到纠偏取正作用，从而降低了玻璃破碎率，提高生产的稳定性。

Description

一种外传输校正系统

技术领域

本实用新型涉及一种外传输校正系统，具体地讲是涉及一种在薄膜太阳能电池生产领域的外传输校正系统。 

背景技术

随着能源的日益短缺，可再生绿色能源的开发和利用越来越受到人们的关注，尤其是对太阳能的利用，带动了太阳能光伏发电系统，特别是光伏电池和大面积光伏模块器件的开发和应用。 

非晶硅薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电，其生产过程能耗低，具备大幅度降低原材料和制造成本的潜力。由于工艺温度低,可生产大面积电池板组件,因此得到广泛的应用。近年来，以玻璃为基板材料的低压金属有机物化学气相沉积工艺（LPCVD）凭借其成本低廉、工艺成熟、应用范围广泛等优势，逐渐从各种类型的薄膜太阳能电池工艺中脱颖而出。 

由于采用玻璃这种易碎的材料作为镀膜介质，故碎片率成为制约成品率的首要因素。碎片几率一方面取决于玻璃质量，由于现有的低压气相沉积工艺所需温度在200℃左右，为了保证生产的节奏，镀膜用玻璃需在短时间内经历从室温加热到工艺温度，再从工艺温度冷却到室温的过程，在这一过程中，存在质量缺陷的玻璃会因为温度的急剧转换而破裂；另一方面与设备结构息息相关。现有的低压气相沉积工艺设备中，传输系统分内传输和外传输两部分，具体传输流程为1100mm×1300mm的玻璃片加载到装载台上，待加热腔破真空到大气压进入腔室加热到200℃后，通过传输滚轮进入工艺腔，待镀膜结束后进入冷却腔，待腔室破真空至大气压传出到卸载台，在卸载台上冷却降温至70℃左右，通过下传输传回装载台进行下一步工艺。其中玻璃在加热腔、工艺腔和冷却腔的移 动为内传输，装载台、卸载台和下传输共同组成外传输部分。 

如图1所示，包括：装载台101、加热腔102、工艺腔103、冷却腔104、卸载台105、升降台106，玻璃从加热腔、工艺腔至冷却腔属于内传输部分，玻璃从卸载台经皮带传输（下传输）至装载台属于外传输部分。内传输由金属滚轮驱动，滚轮外部有挡板限位，如图2和3所示，包括：玻璃201、滚轮挡板202、滚轮203。外传输由特氟龙皮带驱动，皮带外缘有限位滚轮，传输行程14m，如图4所示，包括：传输皮带301、尼龙限位轮302。为了保证传输的流畅性，内传输限位挡板之间的距离需略大于玻璃宽度，所以玻璃在内传输过程中不是严格意义上的沿直线传送，当从内传输过渡到外传输时，在卸载台上的位置会与皮带传输方向稍微偏移，造成玻璃在长行程传送过程中与限位滚轮频繁碰撞造成碎片。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种外传输校正系统，即两对对称的气缸，分别安装在装载台和卸载台上，对经内传输传送到装载台的玻璃起到纠偏取正作用，使其在进入下传输之前重新回到传输中轴线上，降低了玻璃碎片率，从而降低玻璃破碎率，提高生产的稳定性。 

本实用新型采用如下技术解决方案： 

一种外传输校正系统，包括玻璃、传输皮带等，还包括设置在装载台和卸载台传输皮带两侧的对中气缸和气缸支板等。 

所述对中气缸通过气缸支板安装在装载台和卸载台上。 

所述对中气缸包括标准气缸和推杆等，标准气缸位于装载台和卸载台的传输皮带的两侧，推杆连接在标准气缸上。气缸支板固定在装载台和卸载台上，标准气缸固定在气缸支板上，标准气缸驱动推杆推动玻璃，气缸行程为25mm。 

所述推杆材质为柔性树脂材料。 

所述标准气缸在装载台上安装前后两对，共四个；在卸载台上安装前后两对，共四个。 

对中气缸安装后，玻璃的传输流程如下：1100mm×1300mm的玻璃片加载到装载台上，此时装载台的升降台处于高位，手动控制对中气缸动作，完成一次夹紧玻璃的动作，使玻璃对中；待加热腔破真空到大气压，装载台与加热腔之间的阀门打开，玻璃沿传输中轴线传进加热腔室，玻璃由外传输进入内传输；在抽真空的同时，加热腔开始对玻璃加热，在限定时间内加热到所需温度，这时加热腔与工艺腔之间阀门打开，玻璃沿滚轮轨道传进工艺腔；玻璃到达限定位置后，工艺腔底部顶针顶起玻璃，滚轮回缩，玻璃落随顶针落到加热板表面，开始工艺流程，待工艺结束后，顶针顶起玻璃，滚轮伸出，顶针回落，玻璃回到滚轮上，等到冷却腔真空度抽至与工艺腔一致，工艺腔与冷却腔之间阀门打开，玻璃传进冷却腔；冷却腔破真空至大气压，冷却腔与卸载台之间阀门打开，玻璃传出冷却腔，玻璃由内传输过渡到外传输；待玻璃在卸载台上传到指定位置后，传输停止，卸载台上两组对中气缸自动执行对中动作，纠正玻璃传输方向重新回到传输中轴线上；待玻璃在卸载台上冷却降温至70℃附近，升降台下降至下传输传送平面，玻璃沿下传输以25m/min速度传送回装载台，取出玻璃，完成一次完整的低压气相沉积工艺。 

本实用新型提供在装载台和卸载台上安装对中气缸的外传输系统，装载台加装对中气缸，使得每次玻璃进入腔室前方向与皮带严格平行，实现可重复性定位，避免手动摆放玻璃产生位置偏移，保证玻璃每次传进腔室时都沿着内传输的中轴线前进，且与内传输两侧滚轮间距相等；卸载台加装对中气缸，保证玻璃每次进入下传输时与传输皮带严格平行，且玻璃传输方向中轴线与皮带中 轴线重合；玻璃从下传输回到装载台经气缸对中，使玻璃被机械手取走放进玻璃匣的位置相同且没有偏移，保证玻璃进入下一工序时位置统一且合适。外传输系统加装对中气缸在大大减少玻璃碎片率、提高产品成品率的同时，增加了玻璃传输生产线的稳定性。 

附图说明

图1是传统的传输系统的结构示意图； 

图2是传统的内传输系统俯视图的结构示意图； 

图3是传统的内传输系统正视图的结构示意图； 

图4是传统的下传输系统的结构示意图； 

图5是本实用新型实施例1的结构示意图。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。 

实施例1 

一种外传输校正系统，如图5所示，包括玻璃401、传输皮带402等，还包括设置在装载台和卸载台传输皮带两侧的对中气缸和气缸支板等。对中气缸通过气缸支板安装在装载台和卸载台上。对中气缸包括标准气缸404和树脂推杆403等，标准气缸固定在气缸支板上，且标准气缸404位于装载台和卸载台的传输皮带402的两侧，树脂推杆403连接在标准气缸404上。树脂推杆403的材质为柔性树脂材料。标准气缸404在装载台上安装前后两对，共四个；在卸载台上安装前后两对，共四个。 

Claims (5)

1.一种外传输校正系统，包括玻璃、传输皮带，其特征在于还包括设置在装载台和卸载台传输皮带两侧的对中气缸和气缸支板。

2.根据权利要求1所述的外传输校正系统，其特征在于所述对中气缸通过气缸支板安装在装载台和卸载台上。

3.根据权利要求1所述的外传输校正系统，其特征在于所述对中气缸包括标准气缸和推杆，标准气缸固定在气缸支板上，且位于装载台和卸载台的传输皮带的两侧；推杆连接在标准气缸上。

4.根据权利要求3所述的外传输校正系统，其特征在于所述推杆的材质为柔性树脂材料。

5.根据权利要求3所述的外传输校正系统，其特征在于所述标准气缸在装载台上安装前后两对，共四个；在卸载台上安装前后两对，共四个。

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