CN202281785U - 检测探针气冷装置 - Google Patents
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Abstract
一种检测探针气冷装置，包括一个框架，设有至少一个可连接冷空气源的气源孔；一个探针座，该探针座结合于该框架中，该探针座的上表面列设若干个沟槽，对应该沟槽的探针座底部为若干个探针群组，每一探针群组中具有至少一个贯穿该沟槽的槽底结构壁厚的气孔；该探针座的沟槽与该框架的气源孔通连。据上述构造，由一个空气源所提供的冷空气可通过该气源孔输送至该沟槽，并通过气孔而分散于探针群组所在的区域中，在检测过程中冷却探针与电子元件的温度。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子元件检测作业的冷却系统，特别是一种利用气冷方式使电子元件以及检测探针保持所预设的温度范围的检测探针气冷装置。
背景技术
电子元件在制作完成后，需经检测作业以区分良品和不良品。检测机构是以探针接触电子元件，将电子元件的电讯号传递至该检测机构的分析系统。然而，在一些诸如IC、记忆卡等功能多元化的电子元件进行检测时，探针与电子元件会快速的产生发热的现象，且温度很快超过预设的容许范围。而过高的温度除了会影响检测的品质和结果，更可能使探针和电子元件受损。因此，监测及保持检测温度是必需的。
而保持检测温度的技术手段包括了空气冷却技术、晶片致冷技术、冷却液雾化技术…等，诸如中国台湾专利I306148、I324958、200931021等案所揭露的技术。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种检测探针气冷装置，该装置可以控制探针以及电子元件的发热现象，使两者的温度保持在预设的容许范围中，提高检测品质，并且保护探针的使用寿命，保护电子元件避免在检测过程中受损。
为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：
一种检测探针气冷装置，它包括：
一个框架，设有至少一个可连接冷空气源的气源孔；
一个探针座，该探针座结合于该框架中，该探针座的上表面列设若干个沟槽，对应该沟槽的探针座底部为若干个探针群组，该每一个探针群组中具有至少一个贯穿该沟槽的槽底结构壁厚的气孔；该探针座的沟槽与该框架的气源孔通连。
所述探针座的侧面设有至少一个与所述气源孔连通的导气孔，该导气孔连通所述沟槽。
据上述构造，由一个空气源所提供的冷空气可通过该气源孔输送至该沟槽，并通过气孔而分散于探针群组所在的区域中，从而在检测过程中，冷却探针与电子元件的温度。
本实用新型的有益效果是：本实用新型气冷装置可以将冷空气导入探针座中，并通过探针座所预设的气孔，输送至探针以及与之接触的电子元件之间，使探针以及电子元件之间的检测空间保持一致冷温度，从而控制探针以及电子元件的发热现象，使两者的温度保持在预设的容许范围中，提高检测品质，并且保护探针的使用寿命，保护电子元件避免在检测过程中受损。
附图说明
图1为本实用新型的框架的俯视图。
图2为图1的2-2剖面图。
图3为图1的3-3剖面图。
图4为本实用新型的探针座的俯视图。
图5为图4箭头5方向的侧视图。
图6为图4中6-6剖面图。
图7为本实用新型的框架与探针座的结合剖面图之一。
图8为本实用新型的框架与探针座的结合剖面图之二。
附图标号：10、框架；11、边框；111、气源孔；12、支撑缘；20、探针座；21、沟槽；22、探针群组；222、探针；23、气孔；24、导气孔；50、电子元件；90、冷空气源接头。
具体实施方式
为便于说明本实用新型所表达的中心思想，现以具体实施例说明。实施例中各种不同物件是按适于说明的比例、尺寸、变形量或位移量而描绘，而非按实际元件的比例予以绘制，合先叙明。且以下的说明中，类似的元件是以相同的编号来表示。
本实用新型检测探针气冷装置，包括一个框架10（如图1、2、3所示）、一个探针座20（如图4、5、6所示），该探针座20是组装于该框架10中，两者均具有将冷空气源所提供的冷空气导入及流通的气道和气孔。详细的结构说明如下。
如图1、2、3所示，该框架10具有一个矩形的边框11，该边框11的内侧具有相对而设的支撑缘12，该边框11上设有若干个可连接冷空气源接头90（如图8所示）的气源孔111。
如图4、5、6所示，上述探针座20为一个实板构造，其上表面列设若干个沟槽21，该等沟槽21的槽底预设若干个探针群组22，每一个探针群组22包含若干个探针222，且探针222延伸于该探针座20的底面。每一个探针群组22中包含至少一个贯穿该沟槽21的槽底结构壁厚的气孔23。该探针座20的侧面设有若干个导气孔24，该导气孔24连通该沟槽21。
如图7、8所示，上述探针座20设于该框架10中，其边缘被该支撑缘12所支持，并利用若干个锁固元件将探针座20固定。该探针座20与框架10组合，该框架10的气源孔111与该探针座20的导气孔24及沟槽21是相连通的。
空气源（图未示）的管路连接于该空气源接头90，冷空气由该空气源接头90注入，经由该导气孔24进入该探针座20的沟槽21中，通过分配于每一个探针孔群组22的气孔23而分散于该探针座20底部的探针区。
检测进行时，探针222与电子元件50接触，基于冷空气源分散于探针区，所以冷空气即被输送至探针和电子元件之间，使探针以及电子元件之间的检测空间保持一致冷温度，从而控制探针以及电子元件的发热现象，使两者的温度保持在预设的容许范围中，提高检测品质，并且保护探针的使用寿命，保护电子元件避免于检测过程中受损。
虽然本实用新型是以一个最佳实施例做说明，但精于此技艺者能在不脱离本实用新型精神与范畴下做各种不同形式的改变。以上所举实施例仅用以说明本实用新型而已，非用以限制本实用新型的范围。举凡不违本实用新型精神所从事的种种修改或变化，俱属本实用新型申请专利范围。
Claims (2)
1. 一种检测探针气冷装置，其特征在于，它包括：
一个框架，设有至少一个可连接冷空气源的气源孔；
一个探针座，该探针座结合于该框架中，该探针座的上表面列设若干个沟槽，对应该沟槽的探针座底部为若干个探针群组，该每一个探针群组中具有至少一个贯穿该沟槽的槽底结构壁厚的气孔；该探针座的沟槽与该框架的气源孔通连。
2. 根据权利要求1所述的检测探针气冷装置，其特征在于，所述探针座的侧面设有至少一个与所述气源孔连通的导气孔，该导气孔连通所述沟槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201120384487XU CN202281785U (zh) | 2011-10-11 | 2011-10-11 | 检测探针气冷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201120384487XU CN202281785U (zh) | 2011-10-11 | 2011-10-11 | 检测探针气冷装置 |
Publications (1)
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| CN202281785U true CN202281785U (zh) | 2012-06-20 |
Family
ID=46227949
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201120384487XU Expired - Fee Related CN202281785U (zh) | 2011-10-11 | 2011-10-11 | 检测探针气冷装置 |
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| CN (1) | CN202281785U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103091522A (zh) * | 2013-02-27 | 2013-05-08 | 上海华力微电子有限公司 | 一种兼容高低温测试的探针卡 |
| CN105445501A (zh) * | 2014-08-22 | 2016-03-30 | 环旭电子股份有限公司 | 用于环境测试的电性检测装置 |
| CN109713385A (zh) * | 2017-10-25 | 2019-05-03 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 电池化成系统及其针盘 |
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2011
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| CN105445501A (zh) * | 2014-08-22 | 2016-03-30 | 环旭电子股份有限公司 | 用于环境测试的电性检测装置 |
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