CN202107790U - 电镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电镀装置，所述电镀装置包括：电镀容器，所述电镀容器中容纳电镀液；第一分隔组件和第二分隔组件，所述第一分隔组件和所述第二分隔组件间隔地设置在所述电镀容器中，且将所述电镀容器分隔成电镀液混合区、电镀区和电镀液抽取区，其中所述电镀液混合区与所述电镀区连通，所述电镀区与所述电镀液抽取区连通；搅拌器，所述搅拌器对所述电镀液混合区中的电镀液进行搅拌；以及电镀液抽取器，所述电镀液抽取器将所述电镀容器中的电镀液抽取区中的电镀液抽取到所述电镀液混合区中。根据本实用新型实施例的电镀装置可以维持整个电镀环境的离子浓度的均匀性。

Description

电镀装置

技术领域

本实用新型涉及电镀领域，具体而言涉及一种用于进行电镀的电镀装置。

背景技术

图4显示了一种现有的电镀槽，如图4中所示，该电镀槽通常为一个耐腐蚀的容器1′。容器内部装有电镀所需的电镀液及相关的添加剂，内置阴极2′和阳极3′，加直流电压完成电镀。电镀过程中，阴极附近溶液中的离子被快速消耗，然而，该电镀装置没有专门为此设计的装置来实现所消耗的离子的补充，只能通过电镀槽中的浓度差，以扩散的方式自我调节，远不能满足工艺的需求。该装置在电镀过程中，两极溶液之间存在一个较大的浓度差，整个容器的电镀液离子浓度不均匀，影响电镀工艺。

电镀装置可以通过旋转硅片、自动更换电镀液等方式加速电镀液中离子的扩散速度，维持整个电镀环境的离子浓度的均匀性。但这样会大大地增加电镀成本。图5示出了另一种已有的电镀槽，如图5所示，电镀槽被加在磁力搅拌器4′的底座5′上。磁力搅拌器4′利用磁场和漩涡的原理，将电镀液放入容器1′中后将搅拌子6′同时放入电镀液中，当底座5′产生磁场后带动搅拌子6′成圆周循环运动从而达到搅拌液体的目的。利用磁性物质同性相斥的特性，通过不断变换底座5′的两端的极性来推动磁性搅拌子6′转动。通过磁力搅拌器4′搅拌加速离子的扩散，从而维持电镀极所需的离子浓度，同时保证了整个电镀槽电镀液的均匀性。磁力搅拌器4′靠磁场作用完成电镀液的搅拌，而磁场本身对电镀液中的离子有较大的影响，从而增加了电镀工艺的不确定性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种电镀装置，该电镀装置可以良好地维持整个电镀环境的离子浓度的均匀性。

为了实现上述目的，根据本实用新型提出一种电镀装置，所述电镀装置包括：电镀容器，所述电镀容器中容纳电镀液；第一分隔组件和第二分隔组件，所述第一分隔组件和所述第二分隔组件间隔地设置在所述电镀容器中，且将所述电镀容器分隔成电镀液混合区、电镀区和电镀液抽取区，其中所述电镀液混合区与所述电镀区连通，所述电镀区与所述电镀液抽取区连通；搅拌器，所述搅拌器对所述电镀液混合区中的电镀液进行搅拌；以及电镀液抽取器，所述电镀液抽取器将所述电镀容器中的电镀液抽取区中的电镀液抽取到所述电镀液混合区中。

根据本实用新型的电镀装置通过设置所述搅拌器和电镀液抽取器可以使所述电镀装置内的电镀液不断地循环(如图1所示，电镀液按照虚线箭头所标示的路径循环流动)。具体地，所述电镀液抽取器可以将所述电镀液抽取区中的电镀液输送到所述电镀液混合区中，所述搅拌器可以将所述电镀液混合区中的电镀液依次输送到所述电镀区和电镀液抽取区。由于在电镀过程中所述电镀装置内的电镀液不断地循环，因此所述电镀装置可以维持整个电镀环境的离子浓度的均匀性。而且，所述电镀装置通过设置所述第一分隔组件和第二分隔组件将所述电镀容器分隔成互相隔离的所述电镀液混合区、电镀区和电镀液抽取区，从而可以降低了电镀液循环对所述电镀区中的电镀液的影响，即可以降低对电镀的影响。此外，所述电镀装置结构简单、成本低，特别适合作为实验室用的电镀装置。

另外，根据本实用新型的电镀装置可以具有如下附加的技术特征：

所述第一分隔组件包括：第一挡板，所述第一挡板的第一端悬置在所述电镀容器的顶部且第二端伸入所述电镀容器中的电镀液中；第二挡板，所述第二挡板与所述第一挡板分开地设置，并靠近电镀区一侧，所述第二挡板的第二端设置在所述电镀容器的底部上且所述第二挡板的第一端伸入所述电镀液中，其中所述第一挡板和第二挡板之间限定出第一电镀液通道；所述第二分隔组件包括：第三挡板，所述第三挡板的第二端设置在所述电镀容器的底部上且所述第三挡板的第一端伸入所述电镀液中；第四挡板，所述第四挡板与所述第三挡板分开地设置，所述第四挡板靠近所述电镀液抽取区的一侧，所述第四挡板的第一端悬置在所述电镀容器的顶部上且第二端伸入所述电镀容器中的电镀液中，其中所述第三挡板和第四挡板之间限定出第二电镀液通道。

所述第二挡板的长度大于所述第三挡板的长度。这样不仅可以充分地降低电镀液循环对所述电镀区中的电镀液的影响，而且可以使所述电镀液在所述电镀区内沿所述电镀区的对角线方向进行流动，从而可以提高整个电镀环境的离子浓度的均匀性。

第一通孔板，所述第一通孔板设在所述第二挡板和第三挡板之间且与所述第二挡板和第三挡板间隔开；和第二通孔板，所述第二通孔板设在所述第一通孔板和第三挡板之间且与所述第一通孔板和第三挡板间隔开，其中所述第一通孔板和第二通孔板之间限定出电镀区。通过设置所述第一通孔板和第二通孔板可以进一步降低电镀液循环对所述电镀区中的电镀液的影响。

所述电镀装置还包括第三通孔板，所述第三通孔板设在所述第一通孔板和第二通孔板之间且与所述第一通孔板和第二通孔板间隔开，其中所述第三通孔板相对于所述第二通孔板更邻近所述第一通孔板，所述第三通孔板和第二通孔板之间限定出电镀区。

所述电镀装置还包括过滤件，所述过滤件设在所述第一通孔板和所述第三通孔板之间，这样可以滤除电镀液中的杂质和气泡。

所述搅拌器包括：叶轮，所述叶轮设在所述电镀液混合区内；以及叶轮驱动电机，所述叶轮驱动电机设置在所述电镀容器上且与所述叶轮相连并驱动所述叶轮转动。

所述电镀液抽取器包括：电镀液汲取器，所述电镀液汲取器的一部分设在所述电镀液抽取区内且汲取所述电镀液抽取区内的电镀液；以及电镀液输送器，所述电镀液输送器的第一端与所述电镀液汲取器相连且所述电镀液输送器的第二端延伸至所述电镀液混合区并将所述电镀液汲取器汲取的电镀液输送到所述电镀液混合区。

所述电镀液输送器沿所述电镀容器的长度方向设置且所述电镀液输送器的第一端高于所述电镀液输送器的第二端，所述第二端设在所述电镀液混合区内。这样可以使汲取的电镀液在重力势差的作用下流入所述电镀液混合区。

所述电镀液汲取器包括：旋转轮驱动电机；旋转轮，所述旋转轮与所述旋转轮驱动电机相连且被所述旋转轮驱动电机驱动旋转，其中所述旋转轮的一部分设在所述电镀液抽取区内；和汲水管，所述汲水管的第一端开口且第二端封闭，其中所述汲水管相对于所述旋转轮的外周壁呈预定角度倾斜设置。

所述预定角度为30度至60度范围内的任一角度。

所述汲水管为多个且所述多个汲水管均匀地间隔设置在所述旋转轮的外周壁上，这样不仅可以加快电镀液的循环速度，而且可以使电镀液以相同的速度进行循环。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型的电镀装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型的电镀装置的电镀液汲取器的结构示意图；

图3是根据本实用新型的电镀装置的电镀液汲取器的局部结构示意图；

图4是一种已有的电镀槽的结构示意图；以及

图5是另一种已有的电镀槽的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，除非另有规定和限定，需要说明的是，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

下面参照图1描述根据本实用新型实施例的电镀装置。如图1所示，根据本实用新型实施例的电镀装置包括电镀容器110、第一分隔组件、第二分隔组件、搅拌器130和电镀液抽取器140。电镀容器110中容纳电镀液。所述第一分隔组件和所述第二分隔组件间隔地设置在电镀容器110中，且将电镀容器110分隔成电镀液混合区、电镀区和电镀液抽取区，其中所述电镀液混合区与所述电镀区连通，所述电镀区与所述电镀液抽取区连通。搅拌器130对所述电镀液混合区中的电镀液进行搅拌。电镀液抽取器140将电镀容器110中的电镀液抽取区中的电镀液抽取到所述电镀液混合区中。

根据本实用新型的电镀装置通过设置搅拌器130和电镀液抽取器140可以使所述电镀装置内的电镀液不断地循环(如图1所示，电镀液按照虚线箭头所标示的路径循环流动)。具体地，电镀液抽取器140可以将所述电镀液抽取区中的电镀液输送到所述电镀液混合区中，搅拌器130可以将所述电镀液混合区中的电镀液依次输送到所述电镀区和电镀液抽取区。由于在电镀过程中所述电镀装置内的电镀液不断地循环，因此所述电镀装置可以维持整个电镀环境的离子浓度的均匀性；而且，所述电镀装置通过设置所述第一分隔组件和第二分隔组件将电镀容器110分隔成互相隔离的所述电镀液混合区、电镀区和电镀液抽取区，从而可以降低了电镀液循环对所述电镀区中的电镀液的影响，即可以降低对电镀的影响。此外，所述电镀装置结构简单、成本低，特别适合作为实验室用的电镀装置。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一分隔组件可以包括第一挡板121和第二挡板122。第一挡板121的第一端可以悬置在电镀容器110的顶部，且第一挡板121的第二端可以伸入电镀容器110中的电镀液中。第二挡板122可以与第一挡板121分开地设置，并靠近电镀区一侧，第二挡板122的第二端可以设置在电镀容器110的底部上，且第二挡板122的第一端可以伸入电镀容器110中的电镀液中。其中，第一挡板121和第二挡板122之间可以限定出第一电镀液通道128，所述电镀液混合区中的电镀液可以在搅拌器130的作用下经过第一电镀液通道128进入到所述电镀区。具体地，第一电镀液通道128的进口可以邻近电镀容器110的底部，第一电镀液通道128的出口可以邻近电镀容器110的顶部，这样可以充分地降低电镀液循环对所述电镀区中的电镀液的影响。

如图1所示，在本实用新型的一些实施例中，所述第二分隔组件可以包括第三挡板123和第四挡板124。第三挡板123的第二端可以设置在电镀容器110的底部上，且第三挡板123的第一端可以伸入电镀容器110中的电镀液中。第四挡板124可以与第三挡板123分开地设置，如图1所示，所述第四挡板124靠近所述电镀液抽取区的一侧，第四挡板124的第一端可以悬置在电镀容器110的顶部上，且第四挡板124的第二端可以伸入电镀容器110中的电镀液中。其中，第三挡板123和第四挡板124之间可以限定出第二电镀液通道129。在本实用新型的一个具体示例中，第二挡板122的长度可以大于第三挡板123的长度。具体地，如图1所示，第二电镀液通道129的进口和出口都可以邻近电镀容器110的底部，且第二电镀液通道129的出口可以在第二电镀液通道129的进口的下方，这样不仅可以充分地降低电镀液循环对所述电镀区中的电镀液的影响，而且可以使所述电镀液在所述电镀区内沿所述电镀区的对角线方向进行流动，从而可以提高整个电镀环境的离子浓度的均匀性。

在本实用新型的一些示例中，所述电镀装置还可以包括第一通孔板125和第二通孔板126。第一通孔板125可以设置在第二挡板122和第三挡板123之间且可以与第二挡板122和第三挡板123间隔开。第二通孔板126可以设置在第一通孔板125和第三挡板123之间且可以与第一通孔板125和第三挡板123间隔开。其中，第一通孔板125和第二通孔板126之间可以限定出所述电镀区。通过设置第一通孔板125和第二通孔板126可以进一步地降低电镀液循环对所述电镀区中的电镀液的影响。在电镀过程中，电镀液可以通过第一通孔板125上的通孔进入到所述电镀区，并可以通过第二通孔板126上的通孔进入到所述电镀液抽取区。

如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，所述电镀装置还可以包括第三通孔板127，第三通孔板127可以设置在第一通孔板125和第二通孔板126之间，且第三通孔板127可以与第一通孔板125和第二通孔板126间隔开。其中，第三通孔板127相对于第二通孔板126可以更邻近第一通孔板125，第三通孔板127和第二通孔板126之间可以限定出所述电镀区。也就是说，第三通孔板127与第一通孔板125之间的距离可以小于第三通孔板127与第二通孔板126之间的距离。通过设置第三通孔板127可以进一步地降低电镀液循环对所述电镀区中的电镀液的影响。这样，第一挡板121和第三通孔板127之间可以限定出第一缓冲区，所述第一缓冲区可以缓冲搅拌器130搅拌所述电镀液混合区中的电镀液对所述电镀区中的电镀液的影响。第四挡板124和第二通孔板126之间可以限定出第二缓冲区，所述第二缓冲区可以缓冲电镀液抽取器140抽取所述电镀液抽取区中的电镀液对所述电镀区中的电镀液的影响。

在本实用新型的一个示例中，所述电镀装置还可以包括过滤件，所述过滤件可以设置在第一通孔板125和第三通孔板127之间，也可以设置在第一通孔板125或者第三通孔板127的表面上。通过设置所述过滤件可以滤除电镀液中的杂质和气泡。

如图1所示，在本实用新型的一些实施例中，搅拌器130可以包括叶轮131和叶轮驱动电机132。叶轮131可以设置在所述电镀液混合区内。叶轮驱动电机132可以设置在电镀容器110外的顶部且与叶轮131相连并驱动叶轮131转动以对所述电镀液混合区内的电镀液进行搅拌。由于利用搅拌器130对所述电镀液混合区内的电镀液进行搅拌不会引入磁场，因此搅拌器130不会对电镀产生影响。具体地，叶轮131可以设置在邻近电镀容器110的底部的位置处以充分地搅拌所述电镀液混合区内的电镀液。叶轮驱动电机132可以直接设置在电镀容器110的容器盖上，也可以在电镀容器110上设置叶轮驱动电机支架，并将叶轮驱动电机132安装在所述叶轮驱动电机支架上。

在本实用新型的一些实施例中，电镀液抽取器140可以包括电镀液汲取器141和电镀液输送器145。电镀液汲取器141的一部分可以设在所述电镀液抽取区内且可以汲取所述电镀液抽取区内的电镀液。电镀液输送器145的第一端可以与电镀液汲取器141相连，且电镀液输送器145的第二端可以延伸至所述电镀液混合区并可以将汲取的电镀液输送到所述电镀液混合区。

如图1所示，在本实用新型的一个具体示例中，电镀液输送器145可以沿电镀容器110的长度方向设置，且电镀液输送器145的第一端可以高于电镀液输送器145的第二端，所述第二端可以设置在所述电镀液混合区内，这样可以使汲取的电镀液在重力势差的作用下流入所述电镀液混合区。

如图2和图3所示，在本实用新型的一些实施例中，电镀液汲取器141可以包括旋转轮驱动电机142、旋转轮143和汲水管144。旋转轮143可以与旋转轮驱动电机142相连，且旋转轮驱动电机142可以驱动旋转轮143旋转。其中，旋转轮143的一部分可以设置在所述电镀液汲取区内。汲水管144的第一端可以开口，且汲水管144的第二端可以封闭，其中汲水管144可以相对于旋转轮143的外周壁呈预定角度倾斜设置。也就是说，电镀液汲取器141可以是水车式的汲取装置。通过利用电镀液汲取器141取代常规的泵循环装置来汲取所述电镀液抽取区中的电镀液，可以避免电镀液对泵的腐蚀。具体地，所述预定角度为30度至60度范围内的任一角度，例如所述预定角度可以是45度。

如图2和图3所示，旋转轮143在旋转轮驱动电机142的带动下沿方向A(图3中的箭头方向)旋转，当汲水管144进入所述电镀液抽取区时装满电镀液，并且汲水管144在经过最高点后将电镀液倒入电镀液输送器145。旋转轮143的旋转方向可以与汲水管144的倾斜方向相匹配，汲水管144的第一端可以先于汲水管144的第二端经过最高点。在本实用新型的一个具体示例中，如图2所示，汲水管144可以是多个，且多个汲水管144可以均匀地间隔设置在旋转轮143的外周壁上，这样不仅可以加快电镀液的循环速度，而且可以使电镀液以相同的速度进行循环。

本领域技术人员可以理解的是，在利用所述电镀装置进行电镀时，可以在所述电镀区内设置阳极和阴极。其中，阴极可以设置在靠近所述电镀液混合区的位置处，阳极可以设置在靠近所述电镀液抽取区的位置处。例如，阴极可以设置在靠近第三通孔板127的位置处，阳极可以设置在靠近第二通孔板126的位置处。

根据本实用新型实施例的电镀装置可以维持整个电镀环境的离子浓度的均匀性。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (13)

1.一种电镀装置，其特征在于，包括：

电镀容器，所述电镀容器中容纳电镀液；

第一分隔组件和第二分隔组件，所述第一分隔组件和所述第二分隔组件间隔地设置在所述电镀容器中，且将所述电镀容器分隔成电镀液混合区、电镀区和电镀液抽取区，其中所述电镀液混合区与所述电镀区连通，所述电镀区与所述电镀液抽取区连通；

搅拌器，所述搅拌器对所述电镀液混合区中的电镀液进行搅拌；以及

电镀液抽取器，所述电镀液抽取器将所述电镀液抽取区中的电镀液抽取到所述电镀液混合区中。

2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述第一分隔组件包括：

第一挡板，所述第一挡板的第一端悬置在所述电镀容器的顶部且第二端伸入所述电镀容器中的电镀液中；

第二挡板，所述第二挡板与所述第一挡板分开地设置，并靠近电镀区一侧，所述第二挡板的第二端设置在所述电镀容器的底部上且所述第二挡板的第一端伸入所述电镀液中，其中所述第一挡板和第二挡板之间限定出第一电镀液通道。

3.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述第二分隔组件包括：

第三挡板，所述第三挡板的第二端设置在所述电镀容器的底部上且所述第三挡板的第一端伸入所述电镀液中；

第四挡板，所述第四挡板与所述第三挡板分开地设置，所述第四挡板靠近所述电镀液抽取区的一侧，所述第四挡板的第一端悬置在所述电镀容器的顶部上且第二端伸入所述电镀容器中的电镀液中，其中所述第三挡板和第四挡板之间限定出第二电镀液通道。

4.根据权利要求3所述的电镀装置，其特征在于，所述第二挡板的长度大于所述第三挡板的长度。

5.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，还包括：

第一通孔板，所述第一通孔板设在所述第二挡板和第三挡板之间且与所述第二挡板和第三挡板间隔开；和

第二通孔板，所述第二通孔板设在所述第一通孔板和第三挡板之间且与所述第一通孔板和第三挡板间隔开，其中所述第一通孔板和第二通孔板之间限定出电镀区。

6.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，还包括第三通孔板，所述第三通孔板设在所述第一通孔板和第二通孔板之间且与所述第一通孔板和第二通孔板间隔开，其中所述第三通孔板相对于所述第二通孔板更邻近所述第一通孔板，所述第三通孔板和第二通孔板之间限定出电镀区。

7.根据权利要求6所述的电镀装置，其特征在于，还包括过滤件，所述过滤件设在所述第一通孔板和所述第三通孔板之间。

8.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述搅拌器包括：

叶轮，所述叶轮设在所述电镀液混合区内；以及

叶轮驱动电机，所述叶轮驱动电机设置在所述电镀容器外的顶部且与所述叶轮相连并驱动所述叶轮转动。

9.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀液抽取器包括：

电镀液汲取器，所述电镀液汲取器的一部分设在所述电镀液抽取区内且汲取所述电镀液抽取区内的电镀液；以及

电镀液输送器，所述电镀液输送器的第一端与所述电镀液汲取器相连且所述电镀液输送器的第二端延伸至所述电镀液混合区并将所述电镀液汲取器汲取的电镀液输送到所述电镀液混合区。

10.根据权利要求9所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀液输送器沿所述电镀容器的长度方向设置且所述电镀液输送器的第一端高于所述电镀液输送器的第二端，所述第二端设在所述电镀液混合区内。

11.根据权利要求9或10所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀液汲取器包括：

旋转轮驱动电机；

旋转轮，所述旋转轮与所述旋转轮驱动电机相连且被所述旋转轮驱动电机驱动旋转，其中所述旋转轮的一部分设在所述电镀液抽取区内；和

汲水管，所述汲水管的第一端开口且第二端封闭，其中所述汲水管相对于所述旋转轮的外周壁呈预定角度倾斜设置。

12.根据权利要求11所述的电镀装置，其特征在于，所述预定角度为30度至60度范围内的任一角度。

13.根据权利要求11所述的电镀装置，其特征在于，所述汲水管为多个且所述多个汲水管均匀地间隔设置在所述旋转轮的外周壁上。

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