CN202072806U - 一种单晶炉的真空系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种单晶炉的真空系统，属于单晶炉技术领域，旨在解决真空泵的振动对系统的影响。该单晶炉的真空系统包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，真空泵排气口通过排气支管与排气总管相连，吸气总管与单晶炉的抽吸口相连，真空泵与吸气总管之间设有过滤器，过滤器进口管道与吸气总管相连通，过滤器出口管道与真空泵吸气口相连接，过滤器出口管道为金属软管，过滤器的进口处安装有膨胀节并通过膨胀节与过滤器进口管道相连，真空泵通过弹性地脚支撑在地面上。真空泵通过弹性地脚支撑在地面上，能够吸收一部分振动，在过滤器的进出口分别设置膨胀节及金属软管可以减小振动的传递。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉的真空系统，属于单晶炉技术领域。
背景技术
目前，通常使用单晶炉制取单晶硅，单晶硅一般采用如下方法制造：将多晶硅装进石英坩埚内，加热熔化，然后，将熔硅略做降温，给予一定的过冷度，把籽晶装入硅籽晶夹持器中，将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接，籽晶固定于夹持器的下端，并且使籽晶与硅熔体接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度，使籽晶体长大。
单晶硅在制造过程中需保持一定的真空度，现有的单晶炉的真空系统包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，真空泵排气口通过排气支管与排气总管相连，吸气总管与单晶炉的抽吸口相连，真空泵与吸气总管之间设有过滤器，过滤器进口管道与吸气总管相连通，过滤器出口管道与真空泵吸气口相连接。由于真空泵在运行过程中产生的振动比较大，该振动会沿着管道传递，长期的振动会使管道产生疲劳裂纹，尤其是三通、接口等首先容易损坏，产生泄漏。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的问题，提供一种单晶炉的真空系统，能够减小真空泵的振动对管道的影响。
为解决以上技术问题，本实用新型所提供的一种单晶炉的真空系统，包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，所述真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，所述真空泵排气口通过排气支管与所述排气总管相连，所述吸气总管与所述单晶炉的抽吸口相连，所述真空泵与所述吸气总管之间设有过滤器，所述过滤器进口管道与所述吸气总管相连通，所述过滤器出口管道与所述真空泵吸气口相连接，所述过滤器出口管道为金属软管，所述过滤器的进口处安装有膨胀节并通过膨胀节与过滤器进口管道相连，所述真空泵通过弹性地脚支撑在地面上。
相对于现有技术，本实用新型取得了以下有益效果：真空泵通过弹性地脚支撑在地面上，能够吸收一部分振动，减小振动源的强度；过滤器的出口通过金属软管与真空泵连接，大大减小了真空泵的振动向过滤器传递，过滤器的进口安装膨胀节，又进一步减轻了振动越过过滤器向前传递。
附图说明
图1为本实用新型单晶炉的真空系统的结构示意图。
图中：1单晶炉、1a抽吸口、2真空泵、2a真空泵吸气口、2b真空泵排气口、2c弹性地脚、3吸气总管、4排气总管、5过滤器、5a过滤器进口管道、5b过滤器出口管道、6膨胀节、7截止阀。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型的单晶炉的真空系统，包括单晶炉1、真空泵2、吸气总管3及排气总管4，真空泵2设有真空泵吸气口2a及真空泵排气口2b，真空泵排气口2b通过排气支管与排气总管4相连，吸气总管3与单晶炉1的抽吸口1a相连，真空泵2与吸气总管3之间设有过滤器5，过滤器进口管道5a与吸气总管3相连通，过滤器出口管道5b与真空泵吸气口2a相连接，过滤器出口管道5b为金属软管，过滤器5的进口处安装有膨胀节6并通过膨胀节6与过滤器进口管道5a相连，过滤器进口管道5a与吸气总管3连接处设有截止阀7，真空泵2通过弹性地脚2c支撑在地面上。
除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围内。
Claims (1)
1.一种单晶炉的真空系统，包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，所述真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，所述真空泵排气口通过排气支管与所述排气总管相连，所述吸气总管与所述单晶炉的抽吸口相连，所述真空泵与所述吸气总管之间设有过滤器，所述过滤器进口管道与所述吸气总管相连通，所述过滤器出口管道与所述真空泵吸气口相连接，其特征在于：所述过滤器出口管道为金属软管，所述过滤器的进口处安装有膨胀节并通过膨胀节与过滤器进口管道相连，所述真空泵通过弹性地脚支撑在地面上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2011201023924U CN202072806U (zh) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | 一种单晶炉的真空系统 |
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| CN2011201023924U CN202072806U (zh) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | 一种单晶炉的真空系统 |
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ID=45110912
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2011201023924U Expired - Fee Related CN202072806U (zh) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | 一种单晶炉的真空系统 |
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|---|---|
| CN (1) | CN202072806U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102618921A (zh) * | 2012-04-11 | 2012-08-01 | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 | 一种双排气平板式外延炉 |
| CN105442036A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-03-30 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶硅生长炉真空支持系统 |
| CN111623067A (zh) * | 2020-04-23 | 2020-09-04 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉 |
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2011
- 2011-04-11 CN CN2011201023924U patent/CN202072806U/zh not_active Expired - Fee Related
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