CN202070268U - 湿式过滤装置 - Google Patents
湿式过滤装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202070268U CN202070268U CN2011201144295U CN201120114429U CN202070268U CN 202070268 U CN202070268 U CN 202070268U CN 2011201144295 U CN2011201144295 U CN 2011201144295U CN 201120114429 U CN201120114429 U CN 201120114429U CN 202070268 U CN202070268 U CN 202070268U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- machine oil
- housing
- casing
- air inlet
- filter device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种湿式过滤装置，包括壳体，所述壳体包括端盖和顶部具有开口的壳身，所述端盖设置在所述壳身的开口上使壳体内成为一封闭空间，在所述壳体上设有用于导入废气的进气口和导出过滤后气体的出气口，所述壳体上设有用于向壳体内注入机油的注油孔，所述注油孔与壳体内的封闭空间相通，所述壳体上还设有用于排出混浊机油的排污口，废气由进气口导入壳体内，通过机油吸附净化后从出气口导出。本实用新型采用吸附能力更强的机油作为吸附媒体，可充分吸收刻蚀后废气中所含的粉尘和氟离子等附产物，减少等离子体刻蚀机真空泵的损耗，从而延长了真空泵的使用寿命，提高真空泵工作效率；本实用新型的结构简单，维护成本较低。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅太阳能电池制造技术领域，特别涉及一种过滤装置，可以充分过滤刻蚀后废气中所含的粉尘和氟离子等附产物，减少等离子体刻蚀机真空泵的损耗，延长等离子体刻蚀机真空泵的使用寿命。
背景技术
目前，在硅太阳能电池的制造过程中，我国太阳能电池制造厂家所采用的等离子刻蚀机真空泵过滤装置，如图1所示，一般包括壳体1和内置于壳体1中的过滤器2，其中，壳体1包括端盖11和顶部具有开口的壳身12，端盖11位于壳身12的开口上使壳体内成为一封闭空间，在壳身12上设有导入废气的进气口13，端盖11上设有导出过滤后气体的出气口14。该过滤装置的工作过程是：硅太阳能电池制造工段刻蚀后所产生的废气从进气口进入过滤器中，通过过滤器的丝网过滤滤芯进行过滤，废气中的粉尘和氟离子被吸附在过滤滤芯上，过滤后的气体从出气口排出后进入真空泵。
以上过滤装置的缺陷在于：(1)过滤器通过丝网过滤滤芯进行过滤，这种结构的过滤滤芯对刻蚀过程中产生的粉尘和氟离子等附产物无法全部过滤，未经过滤的废气进入真空泵后，会对真空泵进行磨损和腐蚀，从而缩短真空泵的使用寿命；(2)为了保证循环使用，过滤废气后的过滤滤芯需要进行清洗，但是，清洗后的过滤滤芯孔径会增大，当再次使用时，废气中的附产物更容易通过过滤滤芯，因此更加剧了对真空泵的磨损和腐蚀；(3)过滤器采用吸收方式进行过滤，当对废气中的附产物吸附到定量时，在过滤器的进气口处将产生较大的阻力，这会导致真空泵无法正常工作；(4)过滤器过滤滤芯的更换价格较高，使得维护成本高居不下。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构简单、可充分吸收废气中的附产物、延长真空泵的使用寿命、提高真空泵工作效率的湿式过滤装置。
本实用新型的目的通过以下的技术措施来实现：一种湿式过滤装置，包括壳体，所述壳体包括端盖和顶部具有开口的壳身，所述端盖设置在所述壳身的开口上使壳体内成为一封闭空间，在所述壳体上设有用于导入废气的进气口和导出过滤后气体的出气口，其特征在于所述壳体上设有用于向壳体内注入机油的注油孔，所述注油孔与壳体内的封闭空间相通，所述壳体上还设有用于排出混浊机油的排污口，废气由进气口导入壳体内，通过机油吸附净化后从出气口导出。
本实用新型采用具有粉尘吸附能力更强的机油作为吸附媒体，可充分吸收刻蚀后废气中所含的粉尘和氟离子等附产物，减少等离子体刻蚀机真空泵的损耗，从而延长了真空泵的使用寿命，提高真空泵工作效率；本实用新型的结构简单，对真空泵的正常工作状态无影响；当机油吸附至饱和时，直接更换机油即可，维护成本较低。
作为本实用新型的一种改进，所述端盖上设有通孔，所述通孔内活动穿合有一由壳身外伸入壳身内的进气管，所述进气管位于壳身外的管口即为进气口，所述进气管在壳身内的伸入长度可调。进气管在壳体内的伸入长度可以调节，因此可根据吸附的实际情况对其进行调节以实现较好的吸附效果。
为了保证对废气中粉尘和氟离子等附产物的充分吸附，所述进气管位于壳身内的管口为喇叭形。
作为本实用新型的一种实施方式，所述注油孔设置在所述端盖上，所述注油孔穿过端盖并向壳身内伸出一管段。
作为本实用新型的实施方式，所述排污口设置在壳身的底部。
作为本实用新型的一种改进，所述的湿式过滤装置还包括用于监控机油混浊度和高度而进行更换和补充机油的机油监控机构。
作为本实用新型的一种实施方式，所述机油监控机构采用油面透视镜，所述壳身的侧壁上具有安装孔，所述油面透视镜设置在安装孔中且外露于壳身。
本实用新型可从外部通过油面透视镜观察机油的浑浊度和油面的高度，如果发现机油混浊，可通过排污口排出混浊机油，并从注油孔注入新更换的干净机油；如果发现机油的油面高度较低，也可以通过注油孔补充机油。
本实用新型还可以做以下改进，为了实现更好的排污效果，所述端盖上设有用于向壳体内吹入压缩空气以施压于机油的压缩空气吹扫口，为了防止吹扫作业时机油倒流入等离子体刻蚀机中，所述进气管位于壳身外的管段上安装有单向阀。
作为本实用新型的优选实施方式，所述壳体的材质采用不锈钢材料。
与现有技术相比，本实用新型具有如下显著的效果：
(1)本实用新型采用具有粉尘吸附能力更强的机油作为吸附媒体，与现有过滤装置采用丝网过滤滤芯相比，可充分吸收刻蚀后废气中所含的粉尘和氟离子等附产物，减少等离子体刻蚀机真空泵的损耗，从而延长了真空泵的使用寿命，提高真空泵的工作效率。
(2)本实用新型的结构简单，机油对废气中附产物的吸附过程对真空泵的正常工作状态无影响。
(3)当机油吸附至饱和时，直接更换机油即可，减少了现有清洗过滤滤芯的工作量，提高了工作效率，而且机油价格相对较低，从而降低了维护成本。
(4)本实用新型的结构简单，机油监控机构方便于对机油进行监测以便及时更换和补充机油。
(5)本实用新型的单向阀可防止压缩空气吹扫时机油倒流入等离子体刻蚀机内。
(6)本实用新型的压缩空气吹扫口能够进行有效排污。
(7)本实用新型尤其适用于硅太阳能电池的制造工序中，也可以适用于其它需要对气体中附产物进行吸附过滤的场合。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
图1是现有等离子体刻蚀机真空泵过滤装置的结构半剖视图；
图2是本实用新型的结构透视图。
具体实施方式
如图2所示，是本实用新型一种湿式过滤装置，包括壳体1，所述壳体1包括端盖11和顶部具有开口的壳身12，端盖11设置在壳身12的开口使壳体内成为一封闭空间，在壳体1上设有用于导入废气的进气口13和导出过滤后气体的出气口14；在端盖11上设有通孔，通孔内活动穿合有一由壳身12外伸入壳身12内的进气管16，进气管16位于壳身12外的管口即为进气口14，进气管16在壳身12内的伸入长度可调，因此可根据吸附的实际情况对其进行调节以实现较好的吸附效果；进气管16位于壳身12内的管口为喇叭形，以确保机油对废气中粉尘和氟离子等附产物的充分吸附。
端盖11上设有用于向壳体1内注入机油的注油孔15，注油孔15与壳体1内的封闭空间相通，注油孔15穿过端盖11并向壳身12内伸出一管段。壳体1上还设有用于排出混浊机油的排污口16，排污口16设置在壳身12的底部。
作为改进，本实用新型湿式过滤装置还包括用于监控机油混浊度和高度而进行更换和补充机油的机油监控机构。在本实施例中，机油监控机构采用油面透视镜17，壳身12的侧壁上具有安装孔，油面透视镜17设置在安装孔内且外露于壳身12。可通过油面透视镜观察机油的浑浊度和油面的高度，如果发现机油混浊，可通过排污口排出混浊机油，并从注油孔注入新更换的干净机油；如果发现机油的油面高度较低，也可以通过注油孔补充机油。
为了实现更好的排污效果，端盖11上设有用于向壳体1内吹入压缩空气以施压于机油的压缩空气吹扫口18，为了防止吹扫作业时机油倒流入等离子体刻蚀机中，进气管16位于壳身12外的管段上安装有单向阀19。
本实用新型的工作过程是：等离子体刻蚀机刻蚀过程中产生的粉尘和氟离子等附产物经进气口进入壳体内，由进气管吹入机油中，利用机油能够吸附粉尘等颗粒性杂质和防锈防蚀的特性，将废气中的粉尘和氟离子等物质进行吸附，经过过滤后的气体通过等离子体刻蚀机真空泵的吸力由出气口吸出；过滤出的粉尘和氟离子等物质受重力作用沉淀至壳体的底部，当沉淀物质达到一定量时，打开排污口，并通过压缩空气吹扫口吹入的压缩空气所施加的压力作用将含有杂质的机油排出，从注油孔补充入干净机油后即可再次使用。
本实用新型的壳体采用不锈钢材料制成，另外本实用新型其它的零部件的材质也采用不锈钢材料，因此本实用新型在使用过程中不易腐蚀损坏。
本实用新型的实施方式不限于此，根据本实用新型的上述内容，按照本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下，机油监控机构还可以采用其它现有机构，因此本实用新型还可以做出其它多种形式的修改、替换或变更，均落在本实用新型权利保护范围之内。
Claims (9)
1.一种湿式过滤装置，包括壳体(1)，所述壳体(1)包括端盖(11)和顶部具有开口的壳身(12)，所述端盖(11)设置在所述壳身(12)的开口上使壳体(1)内成为一封闭空间，在所述壳体(1)上设有用于导入废气的进气口(13)和导出过滤后气体的出气口(14)，其特征在于：所述壳体(1)上设有用于向壳体(1)内注入机油的注油孔(15)，所述注油孔(15)与壳体(1)内的封闭空间相通，所述壳体(1)上还设有用于排出混浊机油的排污口(16)，废气由进气口(13)导入壳体(1)内，通过机油吸附净化后从出气口(14)导出。
2.根据权利要求1所述的湿式过滤装置，其特征在于：所述端盖(11)上设有通孔，所述通孔内活动穿合有一由壳身(12)外伸入壳身(12)内的进气管(16)，所述进气管(16)位于壳身(12)外的管口即为进气口(13)，所述进气管(16)在壳身(12)内的伸入长度可调。
3.根据权利要求2所述的湿式过滤装置，其特征在于：所述进气管(16)位于壳身(12)内的管口为喇叭形。
4.根据权利要求1或3所述的湿式过滤装置，其特征在于：所述注油孔(15)设置在所述端盖(11)上，所述注油孔(15)穿过端盖(11)并向壳身(12)内伸出一管段。
5.根据权利要求4所述的湿式过滤装置，其特征在于：所述排污口(16)设置在壳身(12)的底部。
6.根据权利要求5所述的湿式过滤装置，其特征在于：所述的湿式过滤装置还包括用于监控机油混浊度和高度而进行更换和补充机油的机油监控机构。
7.根据权利要求6所述的湿式过滤装置，其特征在于：所述机油监控机构采用油面透视镜(17)，所述壳身(12)的侧壁上具有安装孔，所述油面透视镜(17)设置在安装孔内且外露于壳身(12)。
8.根据权利要求7所述的湿式过滤装置，其特征在于：所述端盖(11)上设有用于向壳体(1)内吹入压缩空气以施压于机油的压缩空气吹扫口(18)，所述进气管(16)位于壳身(12)外的管段上安装有用于防止吹扫作业时机油倒流的单向阀(19)。
9.根据权利要求1所述的湿式过滤装置，其特征在于：所述壳体(1)的材质采用不锈钢材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011201144295U CN202070268U (zh) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | 湿式过滤装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011201144295U CN202070268U (zh) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | 湿式过滤装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202070268U true CN202070268U (zh) | 2011-12-14 |
Family
ID=45108384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011201144295U Expired - Lifetime CN202070268U (zh) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | 湿式过滤装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202070268U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107684795A (zh) * | 2016-08-03 | 2018-02-13 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 尾气过滤装置及单晶炉真空系统 |
| CN107966039A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-27 | 宁夏昇力恒真空设备有限公司 | 废气油浴处理装置及废气多级处理式真空气氛烧结炉 |
| CN112495337A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-03-16 | 常熟理工学院 | 利用含油污泥制备陶粒滤料的方法 |
-
2011
- 2011-04-15 CN CN2011201144295U patent/CN202070268U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107684795A (zh) * | 2016-08-03 | 2018-02-13 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 尾气过滤装置及单晶炉真空系统 |
| CN107966039A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-27 | 宁夏昇力恒真空设备有限公司 | 废气油浴处理装置及废气多级处理式真空气氛烧结炉 |
| CN112495337A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-03-16 | 常熟理工学院 | 利用含油污泥制备陶粒滤料的方法 |
| CN112495337B (zh) * | 2020-11-11 | 2022-06-14 | 常熟理工学院 | 利用含油污泥制备陶粒滤料的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202070268U (zh) | 湿式过滤装置 | |
| CN207805265U (zh) | 一种脉冲式滤筒除尘器 | |
| CN201105195Y (zh) | 一种多级过滤空气滤清器 | |
| CN106621523A (zh) | 一种立式自动清洗过滤器 | |
| CN211462631U (zh) | 一种有机废气收集净化装置 | |
| CN209885475U (zh) | 一种电气自动化除尘装置 | |
| CN208275186U (zh) | 一种静电式工业油雾净化器 | |
| CN2928196Y (zh) | 一种过滤器 | |
| CN203043683U (zh) | 一种排沙自洁式过滤器 | |
| CN201249089Y (zh) | 一种机械空气净化滤清器 | |
| CN208121055U (zh) | 一种天然气过滤器 | |
| CN105727641A (zh) | 一种自清洁空气过滤器 | |
| CN207755929U (zh) | 车间废气处理用净化系统 | |
| CN205627363U (zh) | 一种自清洁空气过滤器 | |
| CN209155495U (zh) | 喷淋活性炭一体罐 | |
| CN220609592U (zh) | 一种新型滤筒除尘设备 | |
| CN205055695U (zh) | 连铸二冷区高压空气杂质过滤系统 | |
| CN215822562U (zh) | 一种钨原料加工用烟气处理装置 | |
| CN208073882U (zh) | 一种多功能风压式加油器 | |
| CN204752394U (zh) | 一种砂滤装置 | |
| CN202682972U (zh) | 一种柴油发电机组废汽回收装置 | |
| CN205084520U (zh) | 液体净化装置 | |
| CN203253281U (zh) | 一种滤筒式除尘机组 | |
| CN219111247U (zh) | 一种多功能过滤器 | |
| CN210815156U (zh) | 一种催化剂的保护系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20111214 |