CN201793806U - 一种坩埚搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种坩埚搬运装置，安装在单晶炉的立柱侧面，它包括悬臂、通过直梁连接悬臂的手柄，位于直梁下的卷扬机吊钩，卷扬机吊钩通过钢丝绳连接悬臂内的导线轮，导线轮侧部连接导线轮座，导线轮座下方轴承座，轴承座再连接盖板，所述盖板下设置微型电动卷扬机。连接卷扬机吊钩的钢丝绳穿过导线轮座竖直而下，一直延伸到所述微型电动卷扬机，所述钢丝绳与微型电动卷扬机的转动机构连接，通过钢丝绳卷起或放松，带动卷扬机吊钩勾住的重物做升降运动；而通过人操作手柄转动悬臂在水平方向移动。本实用新型实现了半自动搬运硅料与石英坩埚，节约了劳动力，工作效率高，改变了以前人工搬运易污染原料、效率低的状况。

Description

一种坩埚搬运装置 

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备，特别涉及一种坩埚搬运装置。 

背景技术

目前市场上大部分单晶炉设备都还没有可以实现自动搬运硅料与石英坩埚的功能部件，工厂在拉制晶棒的开始和结束时都需要人工拖运硅料与石英坩埚。人工搬运硅料和石英坩埚时，人为因素极易破坏高价的石英坩埚，和污染硅原料，还有工作效率低，人工搬运困难，劳动力成本高等问题。 

实用新型内容

为了克服上述现有技术存在的缺陷，本实用新型提供一种坩埚搬运装置，实现硅料，石英坩埚等在单晶炉腔体内外的半自动搬运，减少了工人的劳动强度，节省人力与成本，工人操作简单方便，提高了生产效率。 

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下： 

一种坩埚搬运装置，安装在单晶炉的立柱侧面，与单晶炉配合使用，实现半自动搬运硅料与石英坩埚。 

它包括成直角弯曲的手柄，与手柄相连的悬臂，位于手柄与悬臂连接处下方的钢丝绳及与钢丝绳连接的卷扬机吊钩，设置于悬臂内的导线轮，与悬臂通过转轴连接的导线轮座，与所述导线轮座轴承连接的轴承座，位于轴承座下方其内部设有导线轮的盖板，连接在盖板底部的微型电动卷扬机。 

所述钢丝绳依次穿过悬臂内的导线轮、导线轮座及盖板内的导线轮，其末端连接电动卷扬机的转动机构。 

所述微型电动卷扬机电连接手持控制盒，手持控制盒上设置“向上”与“向下”的按钮，按住所述“向上”与“向下”的按钮微型电动卷扬机通过钢丝绳卷起或放松。 

所述悬臂在两侧最大放置角度与转轴的衔接处设置限位开关与机械硬限位，所述机械硬限位采用弹性销钉卡住。 

所述微型电动卷扬机、手持控制盒与限位开关采用变频器控制。 

进一步，所述悬臂包括直梁、弯梁与连接所述直梁与弯梁的连接座，悬臂通过直梁连接所述手柄，所述弯梁通过转轴连接导线轮座。 

卷扬机吊钩上方的钢丝绳在靠近悬臂的直梁上端设置限位机构，限位机构由限位开关与连接在直梁底部的限位座构成，通过限位开关可控制卷扬机吊钩在竖直方向上停止动作。 

手柄转动悬臂在水平方向左右移动，所述悬臂转至两侧最大放置角度时，悬臂与导线轮座之间的转轴两端设置的限位开关动作，同时在最大限位处设有机械硬限位，并有弹性销钉卡住，使悬臂不能在水平方向上随意转动。 

在所述支柱的顶端设置导线轮，所述导线轮侧部连接导线轮座，导线轮安装在所述悬臂内。 

所述悬臂的连接槽内连接一直梁、直梁再连接弯曲的手柄，手柄一端与直梁连接，另一端垂直而下，成90度弯曲；手柄便于人手握操作带动悬臂从一个位置移到另一个位置。 

所述手柄与直梁的衔接处设置调整块，所述调整块下方设置钢丝绳，所述钢丝绳的一端连接在直梁底部，另一端栓接卷扬机吊钩。 

所述钢丝绳比较接近直梁的部位设置限位开关，所述限位开关连接在位于旁侧直梁下的限位座上。 

本实用新型的工作过程是，当单晶炉装料或卸料时，通过本机构把装有硅料的石英坩埚从腔体外吊运至腔体内，或由腔体内吊运至腔体外； 

卷扬机钢丝绳上的吊钩勾住坩埚吊具，一手握住控制盒，按住控制盒的向上或向下按钮，卷杨机通过钢丝绳卷起或放松；带动所吊重物做升降运动，同时另一手可手握悬臂前端的手柄转动所述悬臂从一个位置到所需位置，当上升到快接近悬臂上端时，限位开关动作，同时在最大限位处设有机械硬限位，并有弹性销钉卡住，使悬臂不能随意转动。 

本实用新型的有益效果是，本实用新型所述的一种坩埚搬运装置可直接安装在单晶炉的立柱侧面，不会另外占用更多的场地，使原来的纯工人操作变成半自动化操作，节约了劳动力，性价比高，经济实用性强。 

附图说明

图1为本实用新型结构的立体图。 

图2为与图1对应的主视图。 

图中，1、手柄，2、调整块，3、卷扬机吊钩，4、限位机构，5、弯梁，6、直梁，7、连接槽，8、微型电动卷扬机，9、立柱，10、导线轮，11、导线轮座，12、轴承座，13、盖板。 

具体实施方式：

为了使本实用新型的创作特征、技术手段与达成目的易于明白理解，以下结合具体实施例进一步阐述本实用新型。 

实施例： 

参看图1与图2，一种坩埚搬运装置安装在立柱9的侧面，包括调节悬臂位置的手柄1，所述悬臂由直梁6、连接槽7与弯梁5连接构成；设置于直梁6下方的卷扬机吊钩3，与直梁6通过连接槽7连接的弯梁5，设置在立柱9侧边的微型电动卷杨机8。 

手柄1成直角弯曲，它与直梁6的衔接处设置调整块2，调整块2下方通过钢丝绳连接卷扬机吊钩3，所述卷扬机吊钩勾住坩埚吊具，所述钢丝绳顺着直梁6内延伸绕过导线轮10，顺着导线轮座11垂直向下一直延伸至微型电动卷扬机8，并与微型电动卷扬机8的转动机构连接，微型电动卷扬机8采用变频器控制。 

卷扬机吊钩3上方的钢丝绳在靠近直梁6的位置设置限位机构4，限位机构4设置限位开关与限位座，所述限位开关连接在限位座上。通过所述限位机构4可控制卷扬机吊钩3的位置，使之不会轻易发生 移动。 

悬臂5内设有导线轮10与转轴，导线轮10绕有连接卷扬机吊钩3的钢丝绳。与悬臂5另一侧衔接的是连接在支柱9侧部的导线轮座11，所述转轴与悬臂5连接在一起，通过转轴实现悬臂5水平方向转动。 

进一步，悬臂5旋转至两侧最大放置角度时，所述转轴的两端限位开关动作，并且在所述最大限位处设有机械硬限位，并有弹性销钉卡住，使悬臂5不能随意转动。 

导线轮座11下方是轴承座12，轴承座12通过轴承与导线轮座11衔接； 

轴承座12底部连接盖板13，盖板下方设置微型电动卷扬机8，微型电动卷扬机8的转动机构连接顺着导线轮座11垂直而下的钢丝绳，微型电动卷扬机8通电后，通过转动机构带动钢丝绳及其连接的卷扬机吊钩3勾住装有硅料的石英坩埚从腔体外运至腔体内或由腔体内吊运直腔体外。 

本实用新型的工作过程是，当主机开始装料准备拉晶时，当主机开始装料准备拉晶时，首先将悬臂5前端的滑轮调节至所需位置，将滑轮固定好以防在提升重物时滑轮滑动，使坩埚不能顺利放置到主机腔体内。然后将装满小块状单晶硅料的石英坩埚搬运至本机构的正下方，准备就绪后方可手持控制盒按住“向下”按扭将卷扬机钢丝绳下的卷扬机吊钩3缓慢下降到所需高度后松开按扭，使卷扬机吊钩3勾住连接坩埚的吊具，再按住“向上”按扭不放开始提升，如果要调 节上升速度的快慢，可同时旋转控制盒是的调旋转调节至一定的速度。等坩埚上高度超中炉腔上法兰高度时，松开“向上”的按扭，此时方可手抓悬臂5前端的手柄1缓慢转动悬臂5至炉筒中心位置，手抓住手柄1固定悬臂5不动，开始按“向下”按扭使坩埚慢慢向下运动，当快到位前需以最慢的速度下降以防撞坏石英坩埚，当所述石英坩埚到位后可松开卷扬机吊钩3，卷扬机启动将卷扬机吊钩3上升后抓手柄1的手转动悬臂5至最开始的极限位置，到此整个装料过程结束。 

相反，卸料操作过程原理同上。 

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。 

Claims (5)

1.一种坩埚搬运装置，安装在单晶炉的立柱侧面，其特征在于，它包括成直角弯曲的手柄，与手柄相连的悬臂，位于手柄与悬臂连接处下方的钢丝绳及与钢丝绳连接的卷扬机吊钩，设置于悬臂内的导线轮，与悬臂通过转轴连接的导线轮座，与所述导线轮座轴承连接的轴承座，位于轴承座下方其内部设有导线轮的盖板，连接在盖板底部的微型电动卷扬机。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运装置，其特征在于，所述钢丝绳依次穿过悬臂内的导线轮、导线轮座及盖板内的导线轮，其末端连接电动卷扬机的转动机构。

3.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运装置，其特征在于，所述微型电动卷扬机电连接手持控制盒，手持控制盒上设置“向上”与“向下”的按钮。

4.根据权利要求3所述的一种坩埚搬运装置，其特征在于，所述悬臂在两侧最大放置角度与转轴的衔接处设置限位开关与机械硬限位，所述机械硬限位采用弹性销钉卡住。

5.根据权利要求4所述的一种坩埚搬运装置，其特征在于，所述微型电动卷扬机、手持控制盒与限位开关采用变频器控制。 

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