CN201334517Y - 一种单驱动双运动的挡板机构 - Google Patents

Abstract

一种单驱动双运动的挡板机构，用于离子束溅射镀膜机中基片的保护，包括密封座，其外端的支架后端装有气缸，密封座后部内轴孔中的内轴后端经联轴器同气缸的转轴联接；内轴与密封座内轴孔之间装有磁流密封件，外轴套装在内轴前部且该外轴的后端装在密封座前部的外轴孔中；第一支撑杆的两端分别同内轴的前端及第一半圆挡片连接，第二支撑杆的两端分别同外轴的前端及第二半圆挡片连接，两半圆挡片位于内轴或外轴一侧且可组成圆形挡板或重叠；内轴装有上端位于外轴的弧形槽内的拨销。它用一个驱动手臂实现挡板的折叠与转位，节省了真空室挡板使用空间，还减少了真空漏点，可节约成本、提升设备的整体性能。

Description

一种单驱动双运动的挡板机构

技术领域

本实用新型涉及半导体设备，进一步是指用于半导体器件工艺中薄膜成膜设备-离子束溅射镀膜机中的基片挡板。

背景技术

离子束溅射镀膜是利用专门的离子源产生离子束，将离子束引出后轰击靶材(膜层材料)，在靶材附近放置有基片，靶材被溅射出来后附着在基片表面，实现在基片表面镀膜的目地。为了使清洗靶材时，杂质材料不溅射到基片上或在离子束源调整时，靶材也不溅射到基片上(保证镀膜的重复性)，基片与靶材之间装有快门挡板，以使离子束源处于正常工作状态或靶材已清洗干净才将靶材溅射到基片上。已有的快门挡板机构一般是采用挡板整体转动或移动方式，但此时溅射室需有放置挡板打开时的空间；对于超高真空设备，由于体积小巧、紧凑，空间受限，不允许内部部件占用太大空间；另一方面，所占空间太大也不利于真空的获得，还增加了制造成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术存在的缺陷，提出一种单驱动双运动的挡板机构，它采用折叠式挡板，转动开闭，只需一个驱动手臂即可实现挡板的折叠、转位两个动作，大大节省了真空室挡板使用空间，且只需一道真空密封，减少了真空漏点，可节约成本、提升设备的整体性能。

本实用新型的技术方案是，所述单驱动双运动的挡板机构包括用以安装在已有真空室专用接口上并伸入真空室内的密封座，固定在密封座外端的支架的后端装有气缸，装在所述密封座后部内轴孔中的内轴后端经联轴器同气缸的转轴联接；其结构特点是，内轴与密封座内轴孔之间装有磁流密封件，外轴套装在内轴前部且该外轴的后端装在密封座前部的外轴孔中；第一支撑杆的两端分别同内轴的前端及第一半圆挡片连接，第二支撑杆的两端分别同外轴的前端及第二半圆挡片连接，第一半圆挡片和第二半圆挡片位于所述内轴或外轴一侧且可在所述内轴或外轴的驱动下重叠或组成圆形挡板；内轴上装有拨销且该拨销的上端位于外轴的弧形槽内。

以下对本实用新型做出进一步说明。

参见图1，本实用新型的技术方案是，所述单驱动双运动的挡板机构包括用以安装在已有真空室专用接口13上并伸入真空室内的密封座9，固定在密封座9外端的支架1的后端装有气缸10，装在所述密封座9后部内轴孔中的内轴2后端经联轴器11同气缸10的转轴联接；其结构特点是，内轴2与密封座9内轴孔之间装有磁流密封件14，外轴4套装在内轴2前部且该外轴4的后端装在密封座9前部的外轴孔中；第一支撑杆6的两端分别同内轴2的前端及第一半圆挡片8连接，第二支撑杆5的两端分别同外轴4的前端及第二半圆挡片7连接，第一半圆挡片8和第二半圆挡片7位于所述内轴2或外轴4一侧且可在所述内轴2或外轴4的驱动下组成圆形挡板或重叠(参见图2、图3)；如图4，内轴2上装有拨销16且该拨销16的上端位于外轴4的弧形槽17内。

如图1，还可在所述密封座9的内轴孔两端与内轴2之间分别安装前端轴承12和后端轴承15，并在后端轴承15的外侧(即近所述外轴孔一侧)安装压紧螺母3。

本实用新型的工作原理是(参见图1和图4)，所述单驱动双运动的挡板机构由真空室上专用接口伸入到真空室内，密封座装在真空室专用接口上，第一半圆挡片8和第二半圆挡片7放在真空室内基片和靶材之间，驱动元件(气缸10)在真空室外；由一根轴驱动带动内部两根轴转动。内轴、外轴及两半圆挡片均由密封座支撑；内轴2既是密封轴又是支撑一个挡片的转轴，轴体上采用磁流体密封，保证转动时超高真空密封可靠。实际运行时，气缸10先驱动内轴2转动一个角度(设为图4所示逆时针转动)，此时内轴2上的拨销16在外轴4的弧形槽17中滑动而外轴4不转动；当所述拨销16随内轴2逆时针转动至图4所示的弧形槽17的一端并继续转动时，则带动外轴4一起转动，即实现所述的单驱动双运动。当挡板关闭时，两个半圆挡片张开成一个完整的圆形，如图2所示，遮挡住基片；挡板打开，两半圆挡片即为图3所示的重叠状态。由于只需对一根输入轴进行密封，保证了真空密封的可靠性；同时，采用折叠式挡板后，可将挡板面积减小一半，放置在真空室空余的地方，在不增加挡板本身驱动复杂程度和密封难度的条件下，节省了挡板使用空间和设备成本，使设备结构紧凑。

由以上可知，本实用新型为一种单驱动双运动的挡板机构，它采用折叠式挡板，转动开闭，只需一个驱动手臂即可实现挡板的折叠、转位两个动作，大大节省了真空室挡板使用空间，且只需一道真空密封，减少了真空漏点，可节约成本、提升设备的整体性能，更好地满足了半导体器件工艺线上薄膜制造设备-离子束溅射镀膜机中基片挡板的需要。

附图说明

图1是本实用新型一种实施例的剖视结构图；

图2是图1所示装置中两个半圆挡片组成圆形挡板的结构示意图；

图3是图1所示装置中两个半圆挡片为重叠状态的结构示意图；

图4是图1中A-A向剖视结构。

在图中：

1-支架，           2-内轴，          3-压紧螺母，

4-外轴，           5-第二支撑杆，    6-第一支撑杆，

7-第二半圆挡片，   8-第一半圆挡片，  9-密封座，

10-气缸，          11-联轴器，       12-前端轴承，

13-真空室专用接口，                  14-磁流密封件，

15-后端轴承，      16-拨销，         17-弧形槽。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型的单驱动双运动的挡板机构包括用以安装在已有真空室专用接口13上并伸入真空室内的密封座9，固定在密封座9外端的支架1的后端装有气缸10，装在所述密封座9轴孔中的内轴2后端经联轴器11同气缸10的转轴联接；内轴2与密封座9轴孔之间装有磁流密封件14，外轴4套装在内轴2前部且该外轴4的后端装在密封座9前部的外轴孔中；第一支撑杆6的两端分别同内轴2的前端及第一半圆挡片8连接，第二支撑杆5的两端分别同外轴4的前端及第二半圆挡片7连接，第一半圆挡片8和第二半圆挡片7位于所述内轴2或外轴4一侧且可在所述内轴2或外轴4的驱动下组成圆形挡板或重叠(参见图2、图3)；如图4，内轴2上装有拨销16且该拨销16的上端位于外轴4的弧形槽17内。

Claims (2)

1、一种单驱动双运动的挡板机构，包括用以安装在已有真空室专用接口(13)上并伸入真空室内的密封座(9)，固定在密封座(9)外端的支架(1)的后端装有气缸(10)，装在所述密封座(9)后部内轴孔中的内轴(2)后端经联轴器(11)同气缸(10)的转轴联接；其特征是，内轴(2)与密封座(9)内轴孔之间装有磁流密封件(14)，外轴(4)套装在内轴(2)前部且该外轴(4)的后端装在密封座(9)前部的外轴孔中；第一支撑杆(6)的两端分别同内轴(2)的前端及第一半圆挡片(8)连接，第二支撑杆(5)的两端分别同外轴(4)的前端及第二半圆挡片(7)连接，第一半圆挡片(8)和第二半圆挡片(7)位于所述内轴(2)或外轴(4)一侧且可在所述内轴(2)或外轴(4)的驱动下组成圆形挡板或重叠；内轴(2)上装有拨销(16)且该拨销(16)的上端位于外轴(4)的弧形槽(17)内。

2、根据权利要求1所述单驱动双运动的挡板机构，其特征是，在所述密封座(9)的内轴孔两端与内轴(2)之间分别安装前端轴承(12)和后端轴承(15)，并在后端轴承(15)的外侧安装压紧螺母(3)。

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