CN201250299Y - 单晶成长炉下料器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶成长炉下料器，利用模块化的下料装置，如第一下料模块与第二下料组，来达到缓冲料品落至坩锅熔汤中的冲击力。再者，第一下料模块还具有重量量测装置，由此侦测已投递料品重量，以免除过度或投料不足的缺失，且在可侦测已投递料品重量的前提下，料品将可以是各种形状，无须再次经过精密的研制步骤，可大幅地降低料品的成本。

Description

单晶成长炉下料器

技术领域

本实用新型是有关一种长晶炉下料器，特别是指一种单晶成长炉下料器。

背景技术

近年来半导体电子组件需求与日剧增，造成半导体级单晶供不应求的现象。举例来说硅单晶是依据特别长晶技术将硅金属在1420℃以上的温度下融化，在小心控制液态-固态凝固过程，而长出所需直径的单一结晶体，以供半导体电子组件的工艺应用。

请参阅图1，现今单晶成长炉的结构示意图。如图所示，现有的单晶成长炉10是在单晶成长炉10的侧边设置一料槽12以及一下料管14，以将料品16装填至料槽12后，经由下料管14将料品16投送至单晶成长炉10的坩锅18内。但这样的设计下，料品16必须是一粒粒呈现球形的外观，以避免塞管，且在此前提下，料品16必须经过相对繁琐的研磨工艺，以形成均匀一致的球状，这将导致料品16单价过于昂贵。再者，因为料品16是直接由料槽12经下料管14直接落至坩锅18内，所以无法对料品16投料的重量进行监控，因此每一球状料品的重量必须一致，以用体积来预估下料重量，这样料品更增加了因研磨工艺所额外增加的成本。且投料时料品16由料槽12落下的重力，因无适当缓冲直接落至坩锅18中，将导致坩锅18中的熔汤20到处喷溅。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶成长炉下料器，以有效克服背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供的单晶成长炉下料器，其包含有：

一第一下料模块，其包含有：

一第一置料槽，其底端具有一第一下料开口；

一第一开关阀，用以开或关该第一下料开口；

一重量量测装置，用以量测该第一开关阀所承受到的料品重量；以及

一第一下料导引管，其承接该第一开关阀开启时所导引的该第一置料槽内的料品；以及

至少一第二下料模块，其设置于该第一下料模块下方，该第二下料模块包含有：

一第二置料槽，其底端具有一第二下料开口，该第二置料槽用以接收由该第一下料导引管所导引的料品；

一第二开关阀，用以开或关该第二下料开口；以及

一第二下料导引管，其承接该第二开关阀开启时所导引的该第二置料槽内的料品。

所述的单晶成长炉下料器，其中该第一下料模块定义于一第一上方支撑座、一第一下方支撑座与数个第一支撑柱所组构成的空间内，该第二下料模块定义于一第二上方支撑座、一第二下方支撑座与数个第二支撑柱所组构成的空间内。

所述的单晶成长炉下料器，其中该第一上方支撑座具有一投料开口。

所述的单晶成长炉下料器，其中该第一下方支撑座与该第二上方支撑座相对各设置有一开口槽，以供该第一下料导引管穿设，将料品由该第一下料模块引导至该第二下料模块。

所述的单晶成长炉下料器，其中该第二下料模块下方设置有另一该第二下料模块，以多重缓冲料品落至该单晶成长炉内的作用力。

所述的单晶成长炉下料器，其中该第一下料导引管与该第二下料导引管的外观呈漏斗状。

所述的单晶成长炉下料器，其装设于单晶成长炉的料槽内。

本实用新型的效果是：

1)可有效缓冲料品落至坩锅时的冲力，以避免坩锅内熔汤喷溅。

2)可实时监控已投料品重量，达到避免过度投料所引起的料品浪费。

3)可实时监控以投料品重量，因此料品将不再必须是等体积球状料品，鉴此料品无须再次经过精密的研制步骤，可大幅地降低料品的成本。

附图说明

图1是公知单晶成长炉的下料示意图。

图2是本实用新型的单晶成长炉下料器的立体示意图。

图3是本实用新型的单晶成长炉下料器的剖面示意图。

图4～6是本实用新型的单晶成长炉下料器的实施例示意图。

附图中主要图号说明

10 单晶成长炉

12 料槽

14 下料管

16 料品

18 坩锅

20 熔汤

30 第一下料模块

32 第二下料模块

34 上方支撑座

36 投料开口

38 下方支撑座

40 支撑柱

42 容置空间

44 置料槽

45 固定杆

46 开关阀

48 重量量测装置

50 下料导引管

52 上方支撑座

54 下方支撑座

56 支撑柱

58 容置空间

60 置料槽

62 下料导引管

64 开关阀

66 固定杆

68 料品

具体实施方式

为能对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，以较佳的实施例配合附图作详细的说明。

本实用新型的精神所在是于公知单晶成长炉的料槽内，装设崭新的下料器，来缓冲料品下料至坩锅内的冲击力道，以减少熔汤的喷溅。

本实用新型的下料器包含有数个具有可开关下料开口的储料槽与数个位于置储料槽下方用以导料的下料导引管。本实用新型利用数个具有可开关下料口的置料槽的配置来缓冲料品下料至坩锅内的冲击力道，以减少熔汤的喷溅。

再者，置料槽下方配置有一重量量测装置，由此可达到监控已下料的料品重量，以避免过度或下料不足。由这样的方式，每单一料品间将不再需要具有相同的重量，且公知对料品球形外观的要求也将不复存在。

以下是以各具有一置料槽与一下料导引管的第一下料模块与第二下料模块所构成的崭新下料器，来说明本实用新型，但本领域技术人员当知，只要是在本实用新型的精神范畴所在，所做的任何修改或者润饰，如改变置料槽数量或者下料导引管数量或者两者结构上的相互配置关系的改变，当仍属本实用新型的范畴，于此说明。

首先请一并参阅图2与图3，为本实用新型的单晶成长炉下料器的立体示意图与剖面示意图。如图所示，本实用新型的单晶成长炉下料器包含有一可缓冲下料与已投料重量量测的第一下料模块30；以及一装设于第一下料模块30下方，用以缓冲下料的第二下料模块32。

第一下料模块30包含有一上方支撑座34，其上具有一投料开口36；一下方支撑座38，其上具有一穿孔(图中未示)；而上方支撑座34与下方支撑座38间利用适当数量的支撑柱40支撑定位，以定义出一容置空间42。

容置空间42内容设有一下方具有一开口的置料槽44，是利用一固定杆45，固定于下方支撑座38上；一用以开关置料槽44开口，且开启时可成倾斜状导引料品的开关阀46；一承载开关阀46的重量量测装置48，是由量测开关阀46所承受到的料品重量，来获知置料槽44内所容设料品重量；以及，一底端穿设过重量量测装置46与下方支撑座38的穿孔的下料导引管50，其承接并导引由开关阀46所导引的料品。此外，下料导管50呈现漏斗状。

第二下料模块32包含有一上方支撑座52，其上具有一穿孔(图中未示)，以供插设下料导引管50的下方端；一下方支撑座54，其上具有一穿孔(图中未示)；而上方支撑座52与下方支撑座54间利用适当数量的支撑柱56支撑定位，定义出一容置空间58。

容置空间58容设有一下方具有一开口的置料槽60；一穿设过下方支撑座54穿孔的下料导引管62；以及，一设置于置料槽60的下方，用以开关置料槽60开口的开关阀64，其开启时可成倾斜状，以将料品引导至下料导引管62。其中置料槽60是利用一固定杆66，固定于下方支撑座54上。

请一并参阅图4～图6，是本实用新型的单晶成长炉下料器的实施例示意图。首先如图4所示，利用开关阀46关闭置料槽44的开口，并将料品68装设于第一下料模块30的置料槽44，此时重量量测装置将可量测开关阀46所承受到的料品重量，以获知原有料品68重量(例如为W1)。接续，如图5所示，开启开关阀46，将料品68引导至下料导引管50，由下料导引管50落至第二下料模块32的置料槽60，如图6所示。此时可将第一下料模块30的开关阀46关闭，再利用量测装置48量测剩余于置料槽44内料品所施予开关阀46的重量(例如为W2)，由此即可获知已下料品重量(W1-W2)。

接续，开启第二下料模块32的开关阀64，以将料品68下料至下料导引管62，并进入下料管14(请一并参阅图1)，而落至坩锅中20，由此，缓冲料品由料槽直接落至坩锅的强大冲击力，进而避免坩锅内熔汤喷溅。

再者，本实用新型模块化的结构方式，可有利于实际使用时进行适当变化，举例来说，当长晶炉的料槽高度较大时，可配置一具有量测重量的第一下料模块，再搭配数个仅提供料品下料缓冲的下料模块，如第二下料模块，以达到较佳的下料缓冲效果。

综上所述，本实用新型提供一种崭新的单晶成长炉下料器，其利用装设料槽内的第一与第二下料模块，来达到缓冲料品至坩锅的冲力，以避免坩锅内熔汤的喷溅，此外，第一下料模块还设置有一重量量测装置，以监控投料的量，达到省料的目的，且因第一下料模块可实时监控投料的量，可免除公知须使用等体积球状料品的诟病，以降低料品因研制所增加的高额成本。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围。故即凡依本实用新型申请范围所述的特征及精神所为的均等变化或修饰，均应包括于本实用新型申请的权利要求范围内。

Claims (7)

1、一种单晶成长炉下料器，其特征在于，包含有：

一第一下料模块，其包含有：

一第一置料槽，其底端具有一第一下料开口；

一用以开或关该第一下料开口的第一开关阀；

一用以量测该第一开关阀所承受到的料品重量的重量量测装置；以及

一第一下料导引管，其承接该第一开关阀开启时所导引的该第一置料槽内的料品；以及

至少一第二下料模块，其设置于该第一下料模块下方，该第二下料模块包含有：

一用以接收由该第一下料导引管所导引的料品的第二置料槽，其底端具有一第二下料开口，；

一用以开或关该第二下料开口第二开关阀；以及

一第二下料导引管，其承接该第二开关阀开启时所导引的该第二置料槽内的料品。

2、如权利要求1所述的单晶成长炉下料器，其特征在于，其中该第一下料模块定义于一第一上方支撑座、一第一下方支撑座与数个第一支撑柱所组构成的空间内，该第二下料模块定义于一第二上方支撑座、一第二下方支撑座与数个第二支撑柱所组构成的空间内。

3、如权利要求2所述的单晶成长炉下料器，其特征在于，其中该第一上方支撑座具有一投料开口。

4、如权利要求2所述的单晶成长炉下料器，其特征在于，其中该第一下方支撑座与该第二上方支撑座相对各设置有一开口槽，供该第一下料导引管穿设，将料品由该第一下料模块引导至该第二下料模块。

5、如权利要求1所述的单晶成长炉下料器，其特征在于，其中该第二下料模块下方设置有另一该第二下料模块。

6、如权利要求1所述的单晶成长炉下料器，其特征在于，其中该第一下料导引管与该第二下料导引管的外观呈漏斗状。

7、如权利要求1所述的单晶成长炉下料器，其特征在于，其装设于单晶成长炉的料槽内。

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