CN201110907Y - 一种显微镜移动载物台 - Google Patents

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CN201110907Y CNU2007201724078U CN200720172407U CN201110907Y CN 201110907 Y CN201110907 Y CN 201110907Y CN U2007201724078 U CNU2007201724078 U CN U2007201724078U CN 200720172407 U CN200720172407 U CN 200720172407U CN 201110907 Y CN201110907 Y CN 201110907Y
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陆贺生
鲁聪
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Shenzhen Holitech Optoelectronics Co Ltd
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Abstract

本实用新型是关于一种显微镜移动载物台,包括基座(1)、可左右移动地连接在该基座(1)上的X移动板(2),其中,所述X移动板(2)上可移动地连接有可前后移动的Y移动板(3)。采用这种结构后,对于将显微镜用于进行大批量检测产品,且产品的检测的前后、左右尺寸大于显微镜的视野时,作业员就不需要用手前后移动产品,产品的表面不会在检测过程中磨花或产生折皱。

Description

一种显微镜移动载物台
技术领域
本实用新型涉及一种显微镜,尤其涉及一种显微镜移动载物台。
背景技术
目前使用的显微镜或放大镜检验载物台都是固定的或简易移动的,作业员检查产品时需要用手把产品移动观察。这样通过显微镜全面检查产品或样本时,可视的视野比较小,用手移动产品或样本容易造成漏看,检查速度慢,作业员不停用手移产品容易产生疲劳和效率低且操作不方便。同时,如果检测的产品是电子产品,在移动过程中产品与载物台产生磨擦引起静电对电子元器件造成静电击穿损坏。特别是FPC柔性板在检验过程中频繁移动产品容易把表面磨花或有折皱造成新的不良。而且在检查的过程中都是俯视检查的,需要对一些角度进行检查还要用手转换检查。
中国实用新型专利200620040469.9说明书公开了一种光学显微镜自移式载物台,在载物台上设置有一与载物台固结的可移动面板,可移动面板上方装一带有移动臂的步进马达,侧面则装一带有条形齿轮的步进马达;所述的移动臂,通过设于该移动臂上的伞齿轮组以及设于可移动面板上、与移动臂同轴向设置的平面齿条构成左右移动的位移调控机构;所述的步进马达上的条形齿轮则与设于可移动面板的另一上下位置设置的平面齿条构成上下移动的位移调控机构;步进马达采用数字集成电路控制。这种载物台只能实现左右移动和上下移动,不能实现前后移动,对于将显微镜用于进行大批量检测产品,且产品的检测的前后、左右尺寸大于显微镜的视野时,作业员需要不停用手前后移动产品,容易把表面磨花或有折皱造成新的不良,而且在检查的过程中都是俯视检查的,需要对一些角度进行检查还要用手转换检查,操作不方便。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种可前后移动的显微镜移动载物台。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种显微镜移动载物台,其包括基座1、可左右移动地连接在该基座1上的X移动板2,其中,所述X移动板2上可移动地连接有可前后移动的Y移动板3。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述X移动板2通过第一丝杠螺母机构4连接在所述基座1上。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述第一丝杠螺母机构4由第一伺服马达41驱动。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述基座1上设有可感应所述X移动板2相对该基座1移动的左、右极限位置的左位置传感器42和右位置传感器43,该左位置传感器42和右位置传感器43可控制所述第一伺服马达41停止转动。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述Y移动板3通过第二丝杠螺母机构5连接在所述X移动板2上。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述第二丝杠螺母机构5由第二伺服马达51驱动。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述X移动板2上设有可感应所述Y移动板3相对该X移动板2移动的前、后极限位置的前位置传感器52和后位置传感器53,该前位置传感器52和后位置传感器53可控制所述第二伺服马达51停止转动。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述Y移动板3的顶面上设有可吸附被检查产品的真空吸气孔。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述Y移动板3的顶面上固定有底板6,该底板6的一侧铰接有面板7,该底板6与该面板7之间连接有真空气囊8。
作为本实用新型的进一步改进,其中,所述面板7的顶面上设有可吸附被检查产品的真空吸气孔71。
本实用新型一种显微镜移动载物台与现有技术相比,由于在可左右移动的X移动板上可移动地连接有可前后移动的Y移动板,因此,对于将显微镜用于进行大批量检测产品,且产品的检测的前后、左右尺寸大于显微镜的视野时,作业员就不需要用手前后移动产品,产品的表面不会在检测过程中磨花或产生折皱。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。
图1是用本实用新型一种显微镜移动载物台的立体分解结构示意图。
具体实施方式
为了说明方便,将在使用显微镜时,使用者的左边方向定义为左方向,右边方向定义为右方向;远离使用者的面前的方向定义为前方向,接近使用者的面前的方向定义为后方向。
请参阅图1,本实用新型一种显微镜移动载物台,包括基座1、X移动板2、Y移动板3、第一丝杠螺母机构4、第二丝杠螺母机构5、底板6、面板7、真空气囊8。
基座1用于将载物台固定在显微镜的工作台上;X移动板2通过第一丝杠螺母机构4连接在基座1上,该第一丝杠螺母机构4由第一伺服马达41驱动,使该X移动板2可以相对基座1左右移动;为了防止第一伺服马达41驱动第一丝杠螺母机构4使X移动板2超出移动范围而损坏第一伺服马达41,在基座1上设有可感应X移动板2相对该基座1移动的左、右极限位置的左位置传感器42和右位置传感器43,该左位置传感器42和右位置传感器43可控制第一伺服马达41停止转动。在该基座1上设有引导该X移动板2移动的第一导轨,X移动板2上设有与该第一导轨相匹配的第一导向块(利用导轨和导向块引导一部件相对另一部件平稳滑动或移动使惯用手段,故在图中未示出),以保证X移动板2能相对基座1平稳地移动。当然,第一导轨也可以设置在X移动板2上,第一导向块设置在该基座1上,也可以起到导向作用。
Y移动板3通过第二丝杠螺母机构5连接在X移动板2上,该第二丝杠螺母机构5由第二伺服马达51驱动,使该Y移动板3相对该X移动板2前后移动;为了防止第二伺服马达51驱动第二丝杠螺母机构5使Y移动板3超出移动范围而损坏第二伺服马达51,在X移动板2上设有可感应所述Y移动板3相对该X移动板2移动的前、后极限位置的前位置传感器52和后位置传感器53,该前位置传感器52和后位置传感器53可控制所述第二伺服马达51停止转动。在该X移动板2上设有引导该Y移动板3移动的第二导轨,Y移动板3上设有与该第二导轨相匹配的第二导向块,以保证Y移动板3能相对X移动板2平稳地移动。当然,第二导轨也可以设置在Y移动板3上,第一导向块设置在该X移动板2上,也可以起到导向作用。
该第一伺服马达41和该第二伺服马达51由伺服集成电路摇杆装置(图中未示出)。
Y移动板3的顶面上固定有底板6,该底板6的一侧铰接有面板7,该面板7的顶面上设有可吸附被检查产品的真空吸气孔71;该底板6与该面板7之间连接有真空气囊8,通过控制该真空气囊8内的真空度(亦即充气的饱满程度)可以控制该面板7的倾斜角度,以适应对检测产品时产品需要倾斜一定角度的需要。
当然,在Y移动板3的顶面上也可以设置可吸附被检查产品的真空吸气孔,以方便定位对没有角度倾斜要求的产品进行定位。

Claims (10)

1.一种显微镜移动载物台,包括基座(1)、可左右移动地连接在该基座(1)上的X移动板(2),其特征在于:所述X移动板(2)上可移动地连接有可前后移动的Y移动板(3)。
2.根据权利要求1所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述X移动板(2)通过第一丝杠螺母机构(4)连接在所述基座(1)上。
3.根据权利要求2所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述第一丝杠螺母机构(4)由第一伺服马达(41)驱动。
4.根据权利要求3所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述基座(1)上设有可感应所述X移动板(2)相对该基座(1)移动的左、右极限位置的左位置传感器(42)和右位置传感器(43),该左位置传感器(42)和右位置传感器(43)可控制所述第一伺服马达(41)停止转动。
5.根据权利要求1所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述Y移动板(3)通过第二丝杠螺母机构(5)连接在所述X移动板(2)上。
6.根据权利要求5所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述第二丝杠螺母机构(5)由第二伺服马达(51)驱动。
7.根据权利要求6所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述X移动板(2)上设有可感应所述Y移动板(3)相对该X移动板(2)移动的前、后极限位置的前位置传感器(52)和后位置传感器(53),该前位置传感器(52)和后位置传感器(53)可控制所述第二伺服马达(51)停止转动。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述Y移动板(3)的顶面上设有可吸附被检查产品的真空吸气孔。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述Y移动板(3)的顶面上固定有底板(6),该底板(6)的一侧铰接有面板(7),该底板(6)与该面板(7)之间连接有真空气囊(8)。
10.根据权利要求9所述的一种显微镜移动载物台,其特征在于:所述面板(7)的顶面上设有可吸附被检查产品的真空吸气孔(71)。
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