CN201020584Y - 一种钎焊结合装置 - Google Patents
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Abstract
一种钎焊结合装置，包括上支架和下支架，其特征在于：所述下支架上设置有加热平板，在加热平板下端面固定有冷却箱，冷却箱的一端设有进水管，另一端设有出水管，所述上支架固定有气缸基座，在气缸基座上固定有气缸，所述气缸的位于活塞两侧的两个气室分别连通到两根上、下气管，气缸活塞连接有顶杆，所述顶杆的另一端穿过气缸基座和上支架并连接有压头。与现有技术相比，本实用新型的优点在于通过加热平板内部的加热管把靶材组件加热到较高温度，提高靶材组件之间钎料的流动性能，从而提高最终的焊接结合率，并且通过紧贴于加热平板下端面的冷却箱迅速冷却被加热到高温的组件，严格控制该高温状态的时间，防止因再结晶而影响靶材的溅射性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及焊接领域，特别是一种靶材钎焊用的钎焊结合装置。
背景技术
常规用钎焊方法制备溅射靶材组件的一个步骤过程是：首先，将靶材组件加热到一定温度，该温度需高于钎料熔化温度而低于靶材的再结晶温度；然后，施于靶材组件以一定的压力，促使靶材组件中钎料流动，进而促进钎料分布均匀；最后，室温自然冷却靶材组件，完成焊接。该常规方法的一个缺点是：把靶材组件加热到一个较低的温度，导致了钎料流动性能下降，从而影响靶材组件最终的结合率下降。
要提高靶材组件的结合率，则必须改善钎焊时钎料的流动性能，为此，必须提高钎料的温度，亦即钎焊时靶材组件所需要加热的温度，然而，当为了提高钎料温度而将靶材组件加热到较高温度时，靶材内部有可能发生再结晶，靶材内部组织的晶粒大小，晶粒取向等发生变化，从而影响其溅射性能。
根据大量实验表明，如果将靶材组件加热到较高温度，但严格控制该高温状态的时间，观察不到靶材内部晶粒大小和取向的明显变化。本实用新型即可提供一种满足这样条件的装置，利用本实用新型装置钎焊能获得焊接结合率高，但又不影响溅射性能的靶材。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术现状而提供一种能有效提高靶材组件的温度，并能严格控制该温度状态时间的钎焊结合装置。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：该钎焊结合装置，其包括上、下叠置的上支架和下支架，其特征在于：所述下支架上设置有加热平板，在加热平板下端面固定有冷却箱，冷却箱的一端设有进水管，另一端设有出水管，所述上支架固定有气缸基座，在气缸基座上固定有气缸，所述气缸的位于活塞两侧的两个气室分别连通到两根上、下气管，气缸活塞连接有顶杆，所述顶杆的另一端穿过气缸基座和上支架并连接有压头。
为给加热平板快速均匀的加热，并实时获得加热平板的温度，所述加热平板内部可嵌有加热管和热电偶。
为避免顶杆和压头落下时靶材组件突然受力而产生压痕，所述气缸基座和上支架之间的气缸顶杆上可固定有一压板，所述压板的两端之下分别设置有弹簧，弹簧的下端与上支架相抵，这样的方式取代常规的刚性连接，起到缓冲作用。
为了保持气缸干燥与调节气体压力和方向的方便，在所述气缸的进气管路上依次设置有水汽过滤器、压力调节阀、压力表和双向电磁阀。
为了促进冷却水的流动速度，加速靶材组件的冷却，所述冷却箱的进水管上还可加设一进气管，所述进气管上设有带簧单向阀，防止进水管中的冷却水回流至气阀。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于通过加热平板内部的加热管把靶材组件加热到较高温度，提高靶材组件之间钎料的流动性能，从而提高最终的焊接结合率，并且通过紧贴于加热平板下端面的冷却箱迅速冷却被加热到高温的组件，严格控制该高温状态的时间，防止因再结晶而影响靶材的溅射性能。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图；
图2为图1中加热平板和水箱的侧视图；
图3为图2的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
如图1-3所示为本实用新型实施例一种溅射靶材钎焊用结合装置，其包括有两个上下叠置的上支架1和下支架2，在下支架2上固定有内部均匀嵌设二十四根加热管32的加热平板3，在加热管32上方的接近于加热平板3上端面的位置处插有一根热电偶31，用于实时测量加热平板3的温度，当给加热管32通以电源，并且把热电偶31的信号反馈到控制箱，这样就构成了钎焊结合装置的加热系统；
紧贴加热平板3的下端面是一冷却箱4，其左端有一进水管41用于冷却水进入，右端有一出水管44用于经过冷却箱4的冷却水排出，并且在进水管41进入冷却箱4之前还加设有一带带簧单向阀42的进气管43，通过来自该进气管43的气体加速冷却箱4内的水流速度，从而迅速降低加热平板3的温度，此即钎焊结合装置的冷却系统；
在下支架2上架设了上支架1，上支架1上固定有用于支撑气缸5的气缸基座51，该气缸5通过活塞分为上、下两气室，分别有上气管52和下气管53连通到上、下两气室，在压缩气体进入上、下气管前还依次经过了水汽过滤器57、压力调节阀56、压力表55和双向电磁阀54，水汽过滤器57用于干燥进入气缸的压缩气体，压力调节阀56和压力表55用于调节和显示进入气缸5的压力，双向电磁阀54主要用于气流换向，保证上气管52的进气和下气管53的排气；气缸活塞连接到顶杆7上，该顶杆7穿过气缸基座51和上支架1，在其末端固定有一压头8，在气缸基座51和上支架1之间的一段顶杆7上固定有一压板6，压板6左、右两端头分别连接于两根弹簧61的两端，弹簧61的另两端固定于上支架1上，这样的方式取代常规的刚性连接，起到缓冲作用，避免顶杆和压头落下时靶材组件突然受力而产生压痕，这样构成了钎焊结合装置的气缸压力系统；
当使用该装置时，可以将载物台10放到加热平板3上，然后将工件或试样9放置在载物台10上，开启装置电源，该装置的加热系统、冷却系统和气缸压力系统即会在可编程控制器PLC的控制下自动工作，自动完成对被焊工件的加热、施压和冷却。
Claims (5)
1.一种钎焊结合装置，其包括上、下叠置的上支架(1)和下支架(2)，其特征在于：所述下支架(2)上设置有加热平板(3)，在加热平板(3)下端面固定有冷却箱(4)，冷却箱(4)的一端设有进水管(41)，另一端设有出水管(44)，所述上支架(1)固定有气缸基座(51)，在气缸基座(51)上固定有气缸(5)，所述气缸(5)的位于活塞两侧的两个气室分别连通到两根上、下气管(52)和(53)，气缸活塞连接有顶杆(7)，所述顶杆(7)的另一端穿过气缸基座(51)和上支架(1)并连接有压头(8)。
2.根据权利要求1所述的钎焊结合装置，其特征在于：所述加热平板(3)内部嵌有加热管(32)和热电偶(31)。
3.根据权利要求1所述的钎焊结合装置，其特征在于：所述气缸基座(51)和上支架(1)之间的气缸顶杆(7)上固定有一压板(6)，所述压板(6)的两端之下分别设置有弹簧(61)，弹簧(61)的下端与上支架(1)相抵。
4.根据权利要求1所述的钎焊结合装置，其特征在于：在所述气缸(5)的进气管路上依次设置有水汽过滤器(57)、压力调节阀(56)、压力表(55)和双向电磁阀(54)。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的钎焊结合装置，其特征在于：所述冷却箱(4)的进水管(41)上还加设有一进气管(43)，所述进气管(43)上设有带簧单向阀(42)。
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