CN1978355A - 光学监控设备的承载装置 - Google Patents
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Abstract
一种光学监控设备的承载装置，其包括：一固持支架、多个承载基座、一第一驱动装置及一第二驱动装置；该承载基座与该固持支架连接，且可相对于该固持支架旋转；该第一驱动装置用于驱动该固持支架旋转，该第二驱动装置用于驱动该承载基座旋转。
Description
【技术领域】
本发明是关于一种光学监控设备的承载装置。
【背景技术】
光学镀膜制程中通常使用间接监控法监控所镀膜层的厚度，即在镀膜制程中，提供一监控片，其可为玻璃片或石英元件，将该监控片置于与待镀工件相同的镀膜环境中，通过测试该监控片的镀层厚度以间接确定该待镀工件的镀层厚度。
现有技术中，承载该监控片的机构通常为单盘多片式或单盘单片式。单盘多片式承载装置即采用单个承载基盘，基盘上容置有多片监控片；单盘单片式承载装置即采用单个承载基盘，基盘上容置单个监控片，该监控片上设有多个监控点。但采用单盘多片式或单盘单片式承载装置的光学监控系统中，当工件所需镀膜层数较多或膜层厚度精确度要求较高时，所需监控片数较多，且每一膜层镀制完成后需更换监控片，因此使得监控片更换次数多，不利于生产工艺的便利性及连续性。
【发明内容】
鉴于以上内容，有必要提供一种减少监控片更换次数的光学监控设备的承载装置。
一种光学监控设备的承载装置，其包括：一固持支架、多个承载基座、一第一驱动装置及一第二驱动装置；该承载基座与该固持支架连接，且可相对于该固持支架旋转；该第一驱动装置用于驱动该固持支架旋转，该第二驱动装置用于驱动该承载基座旋转。
相较现有技术，所述光学监控设备的承载装置采用多个承载基座以容置监控片，且以驱动机构控制所述承载基座定位及监控点选取，因而使得该承载装置可容置的监控片大大增加，在镀膜制程中监控片更换次数减少，以此提升生产工艺的便利性及连续性，且可在镀膜制程中同时使用多个监控点从而提升监控的精确度。
【附图说明】
图1是本发明较佳实施方式的光学监控设备的承载装置的结构示意图；
图2是图1沿II-II线的剖面结构示意图；
图3是本发明较佳实施方式的光学监控设备的承载装置的应用示例图。
【具体实施方式】
请同时参照图1及图2所示，本发明较佳实施方式所述的光学监控设备的承载装置10包括一固持支架1、多个承载基座3、一第一驱动装置4及一第二驱动装置5。
固持支架1包括一轴座11及沿轴座11的边缘呈辐射状伸出的多个支臂12。轴座11包括一轮齿部112及一轴体部114，该轮齿部112外缘具有齿纹。该轮齿部112及轴体部114以同轴的方式固定连接，其可为一体成型体，使得轮齿部112及轴体部114可绕轴体部114的轴心作一体的转动。该轴座11还具有一贯穿轮齿部112及轴体部114中心的轴孔。支臂12一端固接于轴体部114边缘，另一端呈辐射状伸出。
承载基座3包括基盘31、旋转轴33及轴承组件35。基盘31为圆形盘体，其周缘具有齿纹。旋转轴33一端固定于基盘31中心，另一端通过轴承组件35固接于支臂12从轴座11伸出的一端，使得基盘31可绕旋转轴33的轴心自转。此外，基盘31上还开设有多个容置孔(图未示)以容置监控片6。
第一驱动装置4为马达驱动机构，其包括一第一马达41及变速齿轮43。第一马达41具有一传动轴42，传动轴42连接于变速齿轮43轴心。变速齿轮43与固持支架1的轮齿部112啮合。
第二驱动装置5包括一第二马达51、一传动齿盘52及一轴芯53。其中，传动齿盘52为一圆形盘体，其外缘具有齿纹，传动齿盘52置于多个基盘31之间，且使得传动齿盘52与多个基盘31相啮合。轴芯53的一端固连于传动齿盘52的中心，其与传动齿盘52也可为一体成型体，使得传动齿盘52及轴芯53可绕轴芯53的轴心作一体的转动。轴芯53的另一端贯穿于轴体部114中心的轴孔后，连接于第二马达51的转轴，且使得轴芯53可相对于轴体部114旋转。
所述的光学监控设备的承载装置10作动过程说明如下：开启第一马达41，其输出动力使变速齿轮43旋转，变速齿轮43通过其与轮齿部112的啮合带动轴座11及支臂12绕轴座11的轴心旋转，进而带动承载基座3绕轴座11作公转，基盘31随之绕轴座11作公转。因此，可通过对第一马达41的控制而将多个基盘31之一者调整至适当位置。开启第二马达51时，其驱动传动齿盘52旋转，传动齿盘52通过其与基盘31的啮合而带动基盘31绕其轴心自转，从而将基盘31上用于容置监控片6的容置孔(图未示)调整至适当位置。
所述的光学监控设备的承载装置10适用于工件表面镀覆多层薄膜的制程，其应用示例如图3所示，承载装置10固设于一镀膜设备中，该镀膜设备包括一镀膜室71、一工件承载置具72、镀膜源73，该镀膜设备还包括由光源81、监控遮板82、承载装置10、光侦测器83、透明窗口84构成的光学监控设备。
请同时参照图1及图3，工件承载置具72及承载装置10相对于镀膜源73设置于镀膜室71内，工件9容置于工件承载置具72上。承载装置10的基盘31上容置有多个监控片6，承载装置10可以设置于多个工件承载置具72中心，也可设置于工件承载置具72周边，且使得承载装置10的监控片6与镀膜源73的相对位置近似于工件承载置具72与镀膜源73的相对位置。监控遮板82为一薄板，其上设有一开口821，该开口821的尺寸与监控片6的尺寸近似。监控遮板82设于承载装置10与镀膜源73之间，当多个监控片6中之一者与开口821对准时，监控遮板82使得镀膜粒子恰可通过开口821到达该监控片6，且同时使得承载装置10的其它部分免受镀膜粒子污染。
镀膜时，镀膜源73的镀膜粒子会镀覆于工件9表面，同时也可透过开口821镀覆于监控片6表面。光源81的光线可经由开口821到达监控片6表面时一部分发生反射，经过透明窗口84后由光侦测器83接收，通过光侦测器83所侦测的监控片6的反射率差异变化，可测算出监控片6的膜厚，从而间接监测工件9表面的膜厚。
可以理解地，光源81的光线到达监控片6表面时也可发生透射，因此也可将光侦测器83置于该光线的透射光路中，以侦测监控片6的透射率差异变化，从而监测监控片6的膜厚，以此间接监测工件9表面的膜厚。
承载装置10工作时，开启第一马达41，其输出动力使变速齿轮43旋转，变速齿轮43通过其与轮齿部112的啮合带动轴座11及支臂12绕轴座11的轴心旋转，进而带动承载基座3绕轴座11作公转，基盘31随的绕轴座11作公转。因此，通过对第一马达41的控制将多个基盘31之一者调整至适当位置，关闭第一马达41，使该基盘31为测试基盘。
开启第二马达51时，其驱动传动齿盘52旋转，传动齿盘52通过其与基盘31的啮合而带动基盘31绕其轴心自转，使得基盘31上的一个监控片6对准开口821，关闭第二马达51，从而使该监控片6作为测试目标。
当一个镀层完成后，再次开启第二马达51调控基盘31自转，使得下一个监控片6对准开口821而作为测试目标；当该基盘31的监控片6用尽后，再次开启第一马达41调控承载基座3绕轴座11公转，基盘31相应地也绕轴座11公转，从而可选取下一个基盘31作为测试基盘。
可以理解地，监控遮板82上的开口821也可为多个，每个开口821可对应一个监控片6，从而使得所述的光学监控设备的承载装置10也可同时选取多个监控片6作为测试目标。
因此，本发明所述的光学监控设备的承载装置10于多层镀膜制程中或膜厚要求较为精确时，不需要中止后续制程以更换监控片，其可通过承载基座3的公转及自转而选取监控片6，从而可达到连续生产及测试可靠度高的功效。
Claims (8)
1.一种光学监控设备的承载装置，其特征在于：该光学监控设备的承载装置包括一固持支架、多个承载基座、一第一驱动装置及一第二驱动装置；该承载基座与该固持支架连接，且可相对于该固持支架旋转；该第一驱动装置用于驱动该固持支架旋转，该第二驱动装置用于驱动该承载基座旋转。
2.如权利要求1所述的光学监控设备的承载装置，其特征在于：该固持支架包括一轴座及多个支臂，该多个支臂沿该轴座的边缘呈辐射状伸出。
3.如权利要求2所述的光学监控设备的承载装置，其特征在于：该轴座包括一轮齿部及轴体部，该轮齿部及该轴体部为一体成型体；该轮齿部外缘具有齿纹，该轴座具有一贯穿该轮齿部及该轴体部中心的轴孔。
4.如权利要求3所述的光学监控设备的承载装置，其特征在于：第一驱动装置包括一第一马达及一变速齿轮，该第一马达具有一传动轴，该传动轴连接于该变速齿轮的轴心，该变速齿轮与该固持支架的轮齿部啮合。
5.如权利要求3所述的光学监控设备的承载装置，其特征在于：该第二驱动装置包括一第二马达、一传动齿盘及一轴芯，该轴芯的一端固定连接于该传动齿盘的中心，其另一端贯穿于该轴座中心的轴孔后连接于该第二马达。
6.如权利要求5所述的光学监控设备的承载装置，其特征在于：该承载基座包括一基盘，该基盘外缘设有齿纹，且该基盘与该传动齿盘相啮合。
7.如权利要求6所述的光学监控设备的承载装置，其特征在于：该承载基座还包括一旋转轴及轴承组件，该旋转轴一端固定于该基盘中心，另一端通过该轴承组件固接于该支臂从轴座伸出的一端。
8.如权利要求6所述的光学监控设备的承载装置，其特征在于：该基盘上开设有多个容置孔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200510101996 CN1978355A (zh) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 光学监控设备的承载装置 |
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| CN 200510101996 CN1978355A (zh) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 光学监控设备的承载装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN1978355A true CN1978355A (zh) | 2007-06-13 |
Family
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| CN 200510101996 Pending CN1978355A (zh) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 光学监控设备的承载装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101988212B (zh) * | 2009-08-05 | 2013-06-05 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 湿式镀膜装置 |
| CN104577336A (zh) * | 2014-12-18 | 2015-04-29 | 西安华为技术有限公司 | 一种负载调节装置及天线 |
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2005
- 2005-12-02 CN CN 200510101996 patent/CN1978355A/zh active Pending
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