CN101988212B - 湿式镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种湿式镀膜装置，其包括分别用于夹持多个待镀膜基板的多个夹持单元、一个本体及用于连接该多个夹持单元与该本体的多个连接体。每个夹持单元包括一个悬臂及一个用于夹持该待镀膜基板的夹持件。该悬臂包括相对的两个端面及一个连接该两个端面的侧面，该连接体与该侧面固接，该夹持件固接在悬臂的其中一个端面上。所述湿式镀膜装置，通过设置多个夹持单元，以使该多个夹持单元分别夹持多个待镀膜基板进行镀膜，从而镀膜基板的生产速率得到提高。

Description

湿式镀膜装置

技术领域

本发明涉及一种镀膜技术，尤其涉及一种湿式镀膜装置。

背景技术

目前，薄膜制备技术一般分为干式镀膜与湿式镀膜两种方法。其中，湿式镀膜制程具有制程设备简单、便宜、沉积速率快、易控制沉积厚度及特性、制程温度低、不受限于形状复杂之基板、适用于多样性材料、更可将薄膜制备于软性基材上等优点。故，近年来湿式镀膜制程已广泛被用来沉积陶瓷、高分子、金属等材料的镀层。

但是，一般的湿式镀膜制程对应的湿式镀膜装置一次只能对一个镀膜基板进行镀膜，这样生产效率较低。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种提高生产效率的湿式镀膜装置。

一种湿式镀膜装置，其包括分别用于夹持多个待镀膜基板的多个夹持单元、一个本体及用于连接该多个夹持单元与该本体的多个连接体。每个夹持单元包括一个悬臂及一个用于夹持该待镀膜基板的夹持件。该悬臂包括相对的两个端面及一个连接该两个端面的侧面，该连接体与该侧面固接，该夹持件固接在悬臂的其中一个端面上。

与现有技术相比，所述湿式镀膜装置，通过设置多个夹持件可同时夹持多个待镀膜基板进行镀膜，从而提高了生产效率。

附图说明

图1为本发明第一实施方式提供的湿式镀膜装置的立体示意图。

图2为本发明第二实施方式提供的湿式镀膜装置的立体示意图。

图3为图2中沿III-III线的湿式镀膜装置的夹持单元的剖面示意图。

图4为本发明第三实施方式提供的湿式镀膜装置的立体示意图。

图5为图4中沿V-V线的湿式镀膜装置的剖面示意图。

图6为本发明第四实施方式提供的湿式镀膜装置的立体示意图。

图7为图6中沿VII-VII线的湿式镀膜装置的剖面示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施方式作进一步的详细说明。

请参阅图1，为本发明第一实施方式提供的湿式镀膜装置100，其放置于一真空镀膜腔(图未示)内并用于将多个待镀膜基板101分别浸入在多个待镀液体102中进行镀膜。每个待镀液体102承载在一容器104中。该湿式镀膜装置100包括分别用于夹持该多个待镀膜基板101的多个夹持单元11、一个本体12及用于连接该多个夹持单元11与该本体12的多个连接体13。

本体12包括一个顶壁121、多个首尾相接的侧壁123及一个与该顶壁121相对的底壁125。该多个侧壁123连接该顶壁121与该底壁125。

每个夹持单元11均包括一个悬臂110及一个夹持件113。该悬臂110包括相对的两个端面110a、110b及一个连接该两个端面110a、110b的侧面110c。每个连接体13的一端固接一悬臂110的侧面110c，该连接体13的另一端固接该本体121的其中一个侧壁123。该夹持件113设置在该悬臂110远离该本体12的端面110b上，该夹持件113用于夹持该待镀膜基板101，优选地，该夹持件113为夹爪。在本实施方式中，该待镀膜基板101的数量为6个，该夹持单元11、该待镀液体102、该容器104、该侧壁123与该待镀膜基板101的数量一一对应，可以理解，该待镀膜基板101的数量可以更多。

进一步，为了监控该待镀膜基板101进行镀膜，湿式镀膜装置100还包括一个固接在该悬臂110的另一个端面11a上的监控器15。该监控器15用于监控该待镀膜基板101进行镀膜，如监控该带镀膜基板101浸润在该待镀液体102中的深度、时间等镀膜参数。当该待镀膜基板101达到最佳浸润时间时，该监控器15可发出报警动作以提示作业人员。在本实施方式中，该监控器15采用以下方式实现自动监控功能。该夹持件113设置有一个与该监控器15电性连接的传感器1131，该传感器1131用于采集数据(如电压值、电流值)，并将数据传输至该监控器15。当该夹持件113协同该传感器1131进入该待镀液体102中时，该传感器1131根据该待镀液体102产生信号，并将该信号传递至该监控器15。该监控器15根据该传感器1131的信号，掌控该待镀膜基板101浸润在该待镀液体102中的深度、时间。该监控器15与该传感器1131通过导线(图未示)电性连接，可以理解，该导线可以埋藏在该夹持单元11内。具体地，当该传感器1131接触到该待镀液体102时，该传感器1131的电压(也可以是电流)发生巨大变化，该监控器15接收到该传感器1131的电压发生巨大变化时，该监控器15提示作业人员：该待镀膜基板101已以最佳的形式浸润在该待镀液体102中，并且该监控器15开始计时，当该监控器15计算到该待镀膜基板101在该待镀液体102中的最佳浸润时间时，该监控器15提示作业人员：该待镀膜基板101已在该待镀液体102中到达最佳浸润时间。

本实施方式提供的湿式镀膜装置100通过设置6个夹持单元11，以使该6个夹持单元分别夹持6个带镀膜基板101，从而该湿式镀膜装置100能同时对该6个带镀膜基板101进行镀膜，使该湿式镀膜装置100具有高生产率。

请一并参阅图2及图3，为本发明第二实施方式提供的湿式镀膜装置200，其与第一实施方式提供的湿式镀膜装置100的区别在于：该湿式镀膜装置200的每个夹持单元21还包括一个传动件212，该传动件212的一端连接该悬臂210，该传动件212的另一端连接该夹持件213；该悬臂210为中空的且包括一个内顶壁2101，该悬臂210的内表面上开设有第一内螺纹2108，该传动件212的外表面开设有与该第一内螺纹2108相螺合的第一外螺纹2121，该悬臂210与该传动件212相螺合以使该传动件212可被该悬臂210的第一内螺纹2108导引移动；该悬臂210内的内顶壁2101上设置有一个与该监控器25电性连接并受该监控器25控制的马达2100及一个与该内顶壁2101垂直的转轴2102，该传动件212靠近该转轴2102的一端开设有一个用于收容该转轴2102的凹槽2120，该转轴2102一端与该马达2100固定，该转轴2102的另一端与该传动件212相螺合并收容在该凹槽2120内，该转轴2102的外表面设置有第二外螺纹2104，该凹槽2120内壁设置有与该第二外螺纹2104相螺合的第二内螺纹2122，且第一内螺纹2108与第二内螺纹2122同步；该监控器25控制该马达2100带动该转轴2102旋转，以使该传动件212的第一外螺纹2121与该悬臂210的第一内螺纹2108相配合，从而使该转轴2102的第二外螺纹2104与该传动件212的第二内螺纹2122相螺合，进而使该传动件212在该悬臂210内自由伸缩。当然，驱动传动件212在悬臂210内自由伸缩的形式不局限于本实施方式中的螺纹驱动方式，还可以更多。

由于该传动件212能在该悬臂210内自由伸缩，故，该传动件212带动该夹持件213协同该带镀膜基板101可被该悬臂210导引移动。因此，该监控器25监控到该待镀膜基板101的最佳浸润深度时，该监控器25控制该马达2100停止转动；该监控器25监控到该待镀膜基板101的最佳浸润时间时，控制该马达2100带动该传动件212以使该带镀膜基板101从待镀液体102中拉出。可以理解，驱动该传动件212被该悬臂210的内螺纹2108导引移动的方式不局限于本实施方式中的马达200。与该湿式镀膜装置100相比，该湿式镀膜装置200除具有该湿式镀膜装置100的有益效果之外，该湿式镀膜装置200还能自动将该待镀膜基板101进行浸入或拉出待镀液体102中，实现该湿式镀膜装置200的智能控制，降低作业人员的劳动强度。

请一并参阅图4及图5，为本发明第三实施方式提供的湿式镀膜装置300，其与第一实施方式提供的湿式镀膜装置100的区别在于：该湿式镀膜装置300的本体32、连接体33及悬臂310均为中空的，且该本体32、该连接体33及该悬臂310相互连通；该本体32的顶壁321开设有一个入风口3210，该悬臂310的端面310b开设有与该入风口3210相通的多个出风口311；该监控器35还用于监控该待镀膜基板101的烘烤温度、烘烤时间等参数。

优选地，在该入风口3210设置一个吹风机36，该监控器35与该吹风机36电性连接并控制该吹风机36的运转。当该待镀膜基板101从该待镀液体102撤离时，该监控器35控制该吹风机36往该入风口3210进风，以使残留在该待镀膜基板101上的待镀液体102迅速发挥。优选地，从该入风口3210进的风为氮气，由于该氮气不会影响该待镀膜基板101及该待镀液体102的组成成分，因此，该待镀膜基板101的镀膜质量不会受到影响。该监控器35监控到该待镀膜基板101达到最佳烘烤温度以及最佳烘烤时间时，该监控器35控制该吹风机36停止运转。与该湿式镀膜装置100相比，该湿式镀膜装置300除具有该湿式镀膜装置100的有益效果之外，该湿式镀膜装置300通过经由该入风口3210进热风，将该热风从该多个出风口311吹出，从而将残留在该待镀膜基板101上的待镀液体102迅速发挥。因此，该已镀膜的基板在转移的过程中，由于避免在空气中暴露，从而不会受到空气的腐蚀或氧化，使得该已镀膜的基板的镀膜品质较佳。

请一并参阅图6至图7，为本发明第四实施方式提供的湿式镀膜装置400，其与第二实施方式提供的湿式镀膜装置200的区别在于：该湿式镀膜装置400的本体42及连接体43均为中空的，且该本体42、该连接体43及该悬臂410相互连通；该本体42的顶壁421开设有一个入风口4210，该悬臂410的端面410b开设有与该入风口4210相通的多个出风口411；该监控器45还用于监控该待镀膜基板101的烘烤温度、烘烤时间等参数。

优选地，在该入风口4210设置一个吹风机46，该监控器45与该吹风机46电性连接并控制该吹风机46的运转。当该待镀膜基板101从该待镀液体102撤离时，该监控器45控制该吹风机往该入风口4210进风，以使残留在该待镀膜基板101上的待镀液体102迅速发挥。优选地，从该入风口3210进的风为氮气，由于该氮气不会影响该待镀膜基板101及该待镀液体102的组成成分，因此，该待镀膜基板101的镀膜质量不会受到影响。该监控器45监控到该待镀膜基板101达到最佳烘烤温度以及最佳烘烤时间时，该监控器45控制该吹风机46停止运转。与该湿式镀膜装置100相比，该湿式镀膜装置400除具有该湿式镀膜装置200的有益效果之外，该湿式镀膜装置400通过经由该入风口4210进热风，将该热风从该多个出风口411吹出，从而将残留在该待镀膜基板101上的待镀液体102迅速发挥。因此，该已镀膜的基板101在转移的过程中，由于避免在空气中暴露，从而不会受到空气的腐蚀或氧化，使得该已镀膜的基板101的品质较佳。

虽然本发明已以较佳实施方式披露如上，但是，其并非用以限定本发明，另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化等。当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (11)

1.一种湿式镀膜装置，其特征在于，其包括分别用于夹持多个待镀膜基板的多个夹持单元、本体及用于连接该多个夹持单元与该本体的多个连接体，每个夹持单元包括悬臂及用于夹持该待镀膜基板的夹持件，该悬臂包括相对的两个端面及连接该两个端面的侧面，该连接体与该侧面固接，该夹持件固接在悬臂的其中一个端面上。

2.如权利要求1所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该湿式镀膜装置还包括多个监控器，每个监控器固接在每个夹持单元的悬臂的另一个端面上，该监控器用于监控该待镀膜基板进行镀膜。

3.如权利要求2所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该本体、该连接体及该悬臂均为中空的，且该本体、该连接体及该悬臂相互连通，该本体包括一个入风口，该悬臂包括与该入风口相通的多个出风口，该多个出风口开设在该悬臂设置有该夹持件的端面上。

4.如权利要求2所述的湿式镀膜装置，其特征在于，每个夹持单元还包括一个传动件，该传动件的一端连接该悬臂，该传动件的另一端连接该夹持件，该悬臂为中空的，该悬臂的内表面具有第一内螺纹，该传动件的外表面具有与该第一内螺纹相螺合的第一外螺纹，该悬臂与该传动件相螺合以使该连传动件可被该悬臂的第一内螺纹导引移动。

5.如权利要求4所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该本体及该连接体均为中空的，且该本体、该连接体及该悬臂相互连通，该本体包括一个入风口，该悬臂包括与该入风口相通的多个出风口，该多个出风口开设在该悬臂设置有该传动件的端面上。

6.如权利要求3或5所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该本体包括一个顶壁及多个首尾相接的侧壁，且该多个侧壁与该顶壁连接，该入风口开设在该顶壁上，该多个连接体分别固接在该多个侧壁上。

7.如权利要求6所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该湿式镀膜装置还包括一个设置在该入风口处的吹风机，该监控器与该吹风机电性连接并控制该吹风机往该入风口进风。

8.如权利要求5所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该悬臂还包括一个内顶壁，该内顶壁上设置有一个与该监控器电性连接并受该监控器控制的马达及一个与该顶壁垂直的转轴，该监控器控制该马达带动该转轴旋转，该传动件靠近该转轴的一端开设有一个用于收容该转轴的凹槽，该转轴一端与该马达固定，该转轴的另一端与该传动件相螺合并收容在该凹槽内，该转轴的外表面设置有第二外螺纹，该凹槽内壁设置有与该第二外螺纹相螺合的第二内螺纹，且第一内螺纹与第二内螺纹同步。

9.如权利要求1所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该夹持件为夹爪。

10.如权利要求1所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该本体包括多个首尾相连的侧壁，该多个连接体分别固接在该多个侧壁上。

11.如权利要求2所述的湿式镀膜装置，其特征在于，该湿式镀膜装置还包括一个与该监控器电性连接的传感器，该传感器设置在该夹持件上以使该夹持件进入一待镀液体中时，该传感器根据该待镀液体产生信号，并将该信号传递至该监控器。

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