CN1970168A - 涂敷装置以及涂敷方法 - Google Patents

Abstract

一种涂敷装置，具有：涂敷头，其向基板(9)连续喷出有机EL液；头移动机构及基板移动机构，其让涂敷头相对于基板(9)在主扫描方向及副扫描方向上进行相对移动；控制部，其控制上述这些机构。在涂敷装置中，由控制部控制各机构，在基板(9)上的涂敷区域(91)涂敷有机EL液的同时，在副扫描方向上与涂敷头相对移动的基板(9)上的终端侧，在涂敷区域(91)外侧的非涂敷区域(92)涂敷有机EL液。由此，可以在基板(9)的涂敷区域(91)中的有机EL液的涂敷的终端侧，对环境中的有机EL液的溶媒成分的浓度变高，有机EL液的干燥时间短于被涂敷在其他区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。

Description

涂敷装置以及涂敷方法

技术领域

本发明涉及一种对基板涂敷流动性材料的技术。

背景技术

一直以来，作为在半导体基板(以下，单称“基板”。)上涂敷抗蚀剂液等流动性材料的装置，如JP特开2003-17402号公报、JP特开2005-13787号公报及JP特开2005-13804号公报所公开的那样，公知有这样的涂敷装置：通过让连续地喷出流动性材料的喷嘴在基板上进行扫描，从而对于基板主面的整个区域涂敷互相接触的多个呈平行线状的流动性材料。

由这种涂敷装置涂敷了流动性材料的基板上，存在基板上的流动性材料膜厚的均一性低下的问题。并且，由于涂敷在基板上的流动性材料顺次干燥，因此会发生自后涂敷的流动性材料被在先涂敷、正在干燥的部位牵拉，膜厚的均一性低下的问题。因此，人们提出了各种用于提高流动性材料膜厚的均一性的技术。

例如，在JP特开2003-17402号公报中，公开了一种将由抗蚀剂涂敷装置涂敷了涂敷液的基板，暴露在与抗蚀剂涂敷装置分开而设置的溶剂环境装置中涂敷液的溶剂环境下，从而使溶剂附着在涂敷液表面，使涂敷液表面的粘性降低，其后，在容置基板的容器内形成气流，由该气流将涂敷液的表面平坦化的技术。在JP特开2003-17402号公报中，还公开了一种对容置着涂敷了涂敷液的基板的容器内进行加压，从而抑制敷涂液挥发的技术。

在JP特开2005-13787号公报的涂敷成膜装置中，将干燥防止板设在基板上方2mm以内的位置，在形成于该干燥防止板上的直线状的间隙内，通过让喷出绝缘膜用的涂敷液的喷嘴对基板进行扫描，从而在基板上均一地涂敷涂敷液。由此，在基板和干燥防止板之间形成高浓度的溶剂环境，抑制被涂敷于基板上的涂敷液干燥。并且，在JP特开2005-13804号公报的涂覆膜平整装置中，通过将涂敷了涂敷液的基板容置于容器内，向该容器内供给溶剂蒸气，从而抑制涂敷膜中溶剂的挥发。

然而，通过让喷出流动性材料的喷嘴进行扫描，从而对基板涂敷流动性材料的涂敷装置，也被利用在对平面显示装置用的基板涂敷含有象素形成材料的流动性材料时。在典型示例中，在将流动性材料涂敷在形成于基板上的间隔壁之间上，由此，涂敷流动性材料呈以规定间隔进行配列的条纹状。

在基板上，溶媒成分从流动性材料的各线条蒸发，按这些线条的涂敷顺序进行干燥。在直到干燥为止期间内，象素形成材料充分分散，流动性材料均一地固定附着于基板上，如果从涂敷到干燥完成的时间很短，则在象素形成材料的分散程度与其它区域不同的状态下，结束流动性材料的干燥。

基板上的涂敷始端侧及终端侧，与涂敷区域的中央部相比，从周围的流动性材料蒸发的溶媒成分的量较少，因此环境中的溶媒成分的溶度降低。由此，有流动性材料的干燥时间短于其它区域，象素形成材料的分散状态有可能与中央部不同。

特别地，在涂敷区域的终端侧，被涂敷于最外侧的线条，由于在其一侧不存在其它的线条，因此比内侧的其它的线条干燥得早。并且，从外侧数的第二线条也将比其内侧的线条干燥得快。如此，以与涂敷顺序相异的顺序干燥了线条后的情况，在相邻的线条间的涂敷品质将有很大差异，会产生涂敷不匀。还有，这些由干燥时间不均匀而引起的涂敷不匀，在成品后的平面显示装置中呈现出显示功能的低下。

发明内容

本发明的目的在于，面向对基板涂敷流动性材料的涂敷装置，对于在涂敷区域内的流动性材料的涂敷的至少终端侧，流动性材料的干燥时间短于其它区域的情况进行抑制。

涂敷装置具有：基板保持部，其保持基板；喷出机构，其向上述基板连续地喷出第一流动性材料以及含有上述第一流动性材料的溶媒的第二流动性材料；移动机构，其使上述喷出机构相对于上述基板主面在与该主面平行的主扫描方向上进行相对移动，同时在每次向上述主扫描方向移动时，使上述喷出机构在垂直于上述主扫描方向的副扫描方向上进行相对移动；控制部，其控制上述喷出机构以及上述移动机构，从而在上述基板上的涂敷区域涂敷上述第一流动性材料，同时在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的终端侧，在上述涂敷区域的外侧的非涂敷区域涂敷上述第二流动性材料。根据本发明，可以对在涂敷区域内的第一流动性材料的涂敷的终端侧，第一流动性材料的干燥时间短于其它区域的情况进行抑制。

在本发明的一个优选实施方式中，上述第一流动性材料和上述第二流动性材料为同一种类，更为优选的是，上述第一流动性材料以及上述第二流动性材料含有平面显示装置用的象素形成材料。

本发明的其它优选实施方式中，上述第一流动性材料含有平面显示装置用的象素形成材料以及上述溶媒，上述第二流动性材料为上述溶媒。由此，可以简化平面显示装置的制造工序。

在本发明的另一实施方式中，根据上述控制部的控制，即使在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的始端侧，也在上述涂敷区域的外侧的非涂敷区域涂敷上述第二流动性材料。从而，即使在涂敷区域内的第一流动性材料的涂敷的始端侧，也可以对第一流动性材料的干燥时间短于其它区域的情况进行抑制。

在本发明的一个方面，涂敷装置还具有，端部气体供给部，其在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的上述终端侧，供给含有上述第一流动性材料的溶媒成分的气体，优选，上述端部气体供给部，为在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的上述终端侧，形成于上述基板保持部的主面上，同时积存上述第一流动性材料的上述溶媒的沟部。更为优选的是，涂敷装置还具有另一个端部气体供给部，其在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的始端侧，供给含有上述第一流动性材料的上述溶媒成分的气体。

在本发明的另一方面，涂敷装置具有：基板保持部，其保持基板；喷出机构，其向上述基板的主面上的涂敷区域，连续地喷出流动性材料；移动机构，其使上述喷出机构相对于上述基板的上述主面在与该主面平行的主扫描方向上进行相对移动，同时在每次向上述主扫描方向移动时，使上述喷出机构在垂直于上述主扫描方向的副扫描方向上进行相对移动；端部气体供给部，其在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的上述终端侧，供给含有上述流动性材料的上述溶媒成分的气体。

在本发明的又一方面，涂敷装置还具有另一个端部气体供给部，其在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的始端侧，供给含有上述流动性材料的上述溶媒成分的气体。

本发明，也适于对基板涂敷流动性材料的涂敷方法。

参照附图，根据以下的本发明的详细说明，可以明确上述的目的以及其它目的、特征、形式和优点。

附图说明

图1为表示第一实施方式所述的涂敷装置的俯视图。

图2为涂敷装置的右侧视图。

图3为表示涂敷流程的图。

图4为表示基板的俯视图。

图5为表示第二实施方式所述的涂敷装置的俯视图。

图6A为表示涂敷流程的图。

图6B为表示涂敷流程的图。

图7为表示第三实施方式所述的涂敷装置的俯视图。

图8为表示第四实施方式所述的涂敷装置的俯视图。

具体实施方式

图1为表示本发明的第一实施方式所述的涂敷装置1的结构的俯视图，图2为涂敷装置1的右侧视图。涂敷装置1是对平面显示装置用的玻璃基板(以下仅称“基板”。)9涂敷流动性材料的装置。在本实施方式中，在涂敷装置1，对主动矩阵驱动方式的有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置用的基板9，涂敷含有有机EL材料以及溶媒(例如，均三甲基苯)的流动性材料(以下，称“有机EL液”)。

如图1及图2所示，涂敷装置1，具有基板保持部11，其保持基板9；以及基板移动机构12，其将基板保持部11，在相对于基板9主面平行的规定方向(即，为图1中的左右方向，以下称“副扫描方向”)上进行水平移动的同时，以朝向垂直方向的轴为中心进行旋转。基板保持部11在内部具有由加热器构成的加热机构(省略图示)。

涂敷装置1还具有：定位标记检测部13，其对形成于基板9上的定位标记(省略图示)进行摄像、检测；涂敷头14，其为从三个喷嘴17连续地向基板保持部11上的基板9喷出有机EL液的喷出机构；头移动机构15，其将涂敷头14在与作为基板保持部11的移动方向的副扫描方向相垂直的方向(即，为图1中的上下方向，以下，称“主扫描方向”)上进行水平移动；两个受液部16，其沿涂敷头14的移动方向，设置在基板保持部11的两侧，同时接受来自涂敷头14的有机EL液；流动性材料供给部18，其对涂敷头14的三个喷嘴17供给同一种类的有机EL液；以及，控制这些机构的控制部2。

涂敷装置1中，头移动机构15及基板移动机构12，成为让涂敷头14相对基板9在主扫描方向及副扫描方向上进行相对移动的移动机构。如后所述，在涂敷装置1中，在对基板9涂敷有机EL液时，将基板9与基板保持部11一起从图1中的右侧开始向左侧移动。以下，将图1中的基板9上的左侧，称为在副扫描方向上与涂敷头14相对移动的基板9上的始端侧；基板9上的右侧，称为在副扫描方向上与涂敷头14相对移动的基板9上的终端侧。

在涂敷装置1中，涂敷头14由控制部2控制，从三个喷嘴17喷出同一种类的有机EL液。三个喷嘴17沿图1中的上下方向(即，主扫描方向)基本被配置呈直线状，同时，沿图1中的左右方向(即，副扫描方向)以仅错开少许的方式被配置。相邻的两个喷嘴17间的在副扫描方向上的距离，等于预先形成于基板9的涂敷区域91(在图1中表示为以虚线包围的区域)上的沿主扫描方向延伸的间隔壁之间的间距(以下，称“间隔壁间距”)的三倍。

在基板9的涂敷区域91上涂敷有机EL液时，有机EL液从三个喷嘴17向形成于间隔壁之间的三个沟部被喷出而进行涂敷。在由涂敷装置1涂敷有机EL液的两个沟部之间，挟着由其它涂敷装置等涂敷其它种类的有机EL液的两个沟部。基板9上，涂敷区域91外侧的区域92，被利用于驱动电路的组装或后续工序中的由绝缘膜构成的封装等，所以是不应该被涂敷有机EL液的区域，以下称为“非涂敷区域92”。此外，在非涂敷区域92上不形成间隔壁。

接下来，说明由涂敷装置1进行有机EL液的涂敷的流程。图3为表示有机EL液的涂敷的流程的图。由涂敷装置1进行有机EL液的涂敷时，首先，基板9被装载并保持在基板保持部11上，根据定位标记检测部13的输出，基板移动机构12被驱动，从而移动基板9并使基板9位于图1中实线所示的涂敷开始位置(步骤S11)。涂敷头14预先处于图1及图2中实线所示的待机位置(即，图1中下侧的受液部16的上方)。此时，基板9的涂敷区域91在图1中的左侧(即，副扫描的始端侧)边缘，位于涂敷头14的三个喷嘴17的稍右侧。

接着，涂敷头14由控制部2被控制，开始从三个喷嘴17喷出有机EL液的同时，头移动机构15被控制，开始移动涂敷头14。在涂敷装置1中，一边从三个喷嘴17向基板9连续地喷出同一种类的有机EL液，一边将涂敷头14从图1中的下侧向上侧(即，在主扫描方向上)移动，由此在基板9的涂敷区域91左侧(即，副扫描的始端侧)的非涂敷区域92上，有机EL液呈条纹状地被涂敷(步骤S12)。此时，在基板9上，相邻的有机EL液的两个线条之间的距离等于间隔壁间距的三倍。

如果涂敷头14移动至图1及图2中双点划线所示的待机位置(即，图1中的上侧的受液部16的上方)，则基板移动机构12被驱动，仅将基板9与基板保持部11一起向图1中左侧(即，在副扫描方向上)移动9倍于间隔壁间距的距离(步骤S13)。此时，在涂敷头14中，有机EL液从三个喷嘴17向受液部16连续地被喷出。

如果副扫描方向上的基板9的移动结束，则由控制部2确认基板9及基板保持部11是否移动到了图1中双点划线所示的涂敷结束位置(步骤S14)，当没有移动到涂敷结束位置时，返回步骤S12，涂敷头14一边从三个喷嘴17喷出有机EL液，一边沿图1中从上侧向下侧(即，在主扫描方向上)的方向进行移动(步骤S12)。由此，有机EL液被涂敷到了最接近与基板9的始端侧的非涂敷区域92以及涂敷区域91的始端侧的边缘的沟部。

图4为表示基板9的俯视图。如图4所示，在涂敷装置1中，由于涂敷头14在主扫描方向上的两次移动(即，一个往返)，在基板9上的副扫描的始端侧(即，图4中涂敷区域91的左侧)的非涂敷区域92涂敷有5根有机EL液的线条93，在涂敷区域91的始端侧涂敷有一根有机EL液的线条94。被涂敷在非涂敷区域92上了的有机EL液的线条93，由于将在有机EL液的涂敷结束后被除去，所以以下称为“临时线93”。在涂敷装置1中，图4中的涂敷区域91上下的非涂敷区域92由省略了图示的掩膜覆盖，所以有机EL液将不被涂敷。此外，在图4中，为了方便图示，临时线93以及线条94的间距画得比实际大，并且，省略了涂敷区域91中央附近的线条94的图示。

然后，再次进行沿副扫描方向上的基板9的移动，三个喷嘴17位于基板9的涂敷区域91的图1中的下侧(步骤S13)，确认基板9是否移动到了涂敷结束位置(步骤S14)。此后，一直到基板9位于涂敷结束位置前，每次高速重复进行三个喷嘴17相对基板9向主扫描方向的移动时，进行向副扫描方向的相对移动(步骤S12～S14)，从而，在基板9的涂敷区域91，有机EL液被涂敷为呈按规定的间距(即，等于间隔壁间距的三倍的间距)排列的条纹状。

在涂敷装置1中，在结束对涂敷区域91整体的有机EL液的涂敷后，也由于基板9位于涂敷结束位置前，高速重复三个喷嘴17的主扫描及副扫描，所以如图4所示，在基板9上的副扫描的终端侧(即，图4中涂敷区域91的右侧)的非涂敷区域92，五根有机EL液的临时线93也被涂敷呈条纹状。

并且，如果基板9移动至图1中双点划线所示的涂敷结束位置，则停止从喷嘴17喷出有机EL液，结束对基板9的有机EL液的涂敷。如上所述，在基板9上的副扫描的始端侧及终端侧，被涂覆在非涂敷区域92上的10根临时线93(参照图4)，在被涂敷于涂敷区域91的有机EL液的干燥工序中同样地干燥，临时线93所含的有机EL材料将残留在非涂敷区域92上。非涂敷区域92上的有机EL材料将在该干燥工序结束后被除去。

如上述说明，在涂敷装置1中，涂覆头14、头移动机构15及基板移动机构12由控制部2控制，从而，在对基板9上的涂敷区域91涂敷有机EL液的同时，在副扫描方向上与涂敷头14相对移动的基板9上的终端侧，对涂敷区域91外侧的非涂敷区域92涂敷有机EL液。并且，被涂敷于非涂敷区域92上的有机EL液与被涂敷于涂敷区域91上的有机EL液为同一种类，含有有机EL材料及均三甲基苯等的溶媒(即，被涂敷于涂敷区域91上的有机EL液的溶媒)。

由涂敷装置1进行有机EL液涂敷后的基板9上，由于在副扫描的终端侧，溶媒从被涂敷于非涂敷区域92的有机EL液蒸发，因此使周围环境中有机EL液的溶媒成分的浓度升高。由此，可以在基板9的涂敷区域91中的有机EL液的涂敷的终端侧，抑制有机EL液的干燥(即，溶媒成分的蒸发)，从而可以对有机EL液的干燥时间(即，有机EL液从涂敷到干燥结束所需的时间)短于其它区域涂敷的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。

特别地，可以对在涂敷区域91中，最终端侧的线条和与该最终端侧的线条邻接的线条，早于在他们之前被涂敷的、附近的线条而干燥的情况进行抑制。其结果，可以在涂敷区域91中的有机EL液的涂敷的终端侧，防止由于干燥时间不均匀引起的涂敷不匀的产生。另外，这里的涂敷不匀是指，某一条线条的干燥时间缩短，在有机EL材料的分散程度异于其它区域的状态下结束有机EL液的干燥，与附近的线条相比，该线条的涂敷品质低下，由此从多条线条整体的角度观察时产生的不匀。

在涂敷装置1中，在基板9上的副扫描的始端侧，也由控制部2控制涂敷头14、头移动机构15以及基板移动机构12，由此有机EL液被涂敷在涂敷区域91外侧的非涂敷区域92，并由于溶媒从被涂敷后的有机EL液蒸发，因此周围环境中的有机EL液的溶媒成分的浓度升高。由此，即使在基板9的涂敷区域91的有机EL液的涂敷的始端侧，也可以对有机EL液的干燥时间短于被涂敷于其它区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。

然而，在对有机EL显示装置等的平面显示装置用的基板涂敷流动性材料时，在涂敷区域91内，在邻接的有机EL液的线条之间设置了间隙(即，间隔壁)，因此与不在线条之间设置间隙而涂敷的情况相比，各条线条比较容易干燥。本实施方式所述的涂敷装置1中，如上所述，可以在涂敷区域91的始端侧及终端侧，对有机EL液的干燥时间缩短的情况进行抑制，所以特别适于作为以规定间距呈条纹状地涂敷有机EL液的涂敷装置。

此处，在将被涂敷于涂敷区域91的流动性材料作为第一流动性材料，将被涂敷于非涂敷区域92的流动性材料作为第二流动性材料的情况下，在涂敷装置1中，从涂敷头14的喷嘴17喷出的第一流动性材料以及第二流动材料均为有机EL液，且为同一种类。如此，因为在涂敷装置1中用一种流动性材料对涂敷区域91及非涂敷区域92进行涂敷，所以可以简化涂敷装置1的结构。

接下来，说明本发明第二实施方式所述的涂敷装置1a。图5为表示涂敷装置1a结构的俯视图。如图5所示，涂敷装置1a具有：另一个涂敷头14a；另一个头移动机构15a，其将涂敷头14a独立于涂敷头14而存在，在图5的上下方向(即，主扫描方向)移动；以及，另一个流动性材料供给部18a，其向涂敷头14a供给流动性材料。在以下的说明中，为了区分涂敷头14和涂敷头14a，对他们分别称为“第一涂敷头14”及“第二涂敷头14a”。并且，将头移动机构15及头移动机构15a分别称为“第一头移动机构15”及“第二头移动机构15a”，将流动性材料供给部18及流动性材料供给部18a分别称为“第一流动性材料供给部18”及“第二流动性材料供给部18a”。

第二涂敷头14a，位于图5中第一涂敷头14的右侧，并具备两个喷嘴17a。以下，将喷嘴17及喷嘴17a分别称为“第一喷嘴17”及“第二喷嘴17a”。第二涂敷头14a中，两个第二喷嘴17a沿图5中的左右方向(即，副扫描方向)以仅错开少许的方式被配置。涂敷装置1a的其它结构与图1相同，在以下的说明中附以相同的附图标记。

如上所述，在涂敷装置1a中，第一头移动机构15成为移动第一喷嘴17的第一喷嘴移动机构，第二头移动机构15a成为移动第二喷嘴17a的第二喷嘴移动机构，第一头移动机构15、第二头移动机构15a以及基板移动机构12，成为使第一喷嘴17以及第二喷嘴17a相对于基板9在主扫描方向及副扫描方向上进行相对移动的移动机构。

在涂敷装置1a中，从第一流动性材料供给部18向第一涂敷头14供给有机EL液(即，含有有机EL显示装置用的有机EL材料以及溶媒的流动性材料)，从三个第一喷嘴17向基板9的涂敷区域91喷出有机EL液而进行涂敷。且，从第二流动性材料供给部18a对第二涂敷头14a供给有机EL液的溶媒(以下，仅称“溶媒”)，从两个第二喷嘴17a向基板9的非涂敷区域92喷出溶媒而进行涂敷。换言之，在涂敷装置1a中，第一涂敷头14及第二涂敷头14a成为具备第一喷嘴17以及第二喷嘴17a的喷出机构。在本实施方式中，分别在基板9上的副扫描的始端侧及终端侧，在非涂敷区域92涂敷有四条溶媒的临时线。在此，在将被涂敷于涂敷区域91的流动性材料作为第一流动性材料，将被涂敷于非涂敷区域92的流动性材料作为第二流动性材料的情况下，在涂敷装置1a中，由第一喷嘴17喷出第一流动性材料，由第二喷嘴17a喷出作为第一流动性材料的溶媒的第二流动性材料。

图6A及图6B为表示由涂敷装置1a进行有机EL液的涂敷的流程的图。由涂敷装置1a进行有机EL液的涂敷时，首先移动被基板保持部11保持的基板9至图5中实线所示的涂敷开始位置(步骤S21)。此时，基板9的涂敷区域91在图5中的左侧(即，副扫描的始端侧)的边缘，位于第二涂敷头14a的两个喷嘴17a的稍右侧。

如果基板9位于涂敷开始位置，则由控制部2控制第二涂敷头14a开始从第二喷嘴17a喷出溶媒，同时控制第二头移动机构15a使第二涂敷头14a从图5中的下侧向上测移动，从而，在基板9的涂敷区域91的左侧(即，副扫描的始端侧)的非涂敷区域92，溶媒呈两条的条纹状地被涂敷(步骤S22)。接着，由基板移动机构12，将基板9向图5中的左侧(即，在副扫描方向上)移动(步骤S23)。

如果在副扫描方向上的基板9的移动结束，则由控制部2确认副扫描始端侧的非涂敷区域92内的溶媒临时线的涂敷是否结束了(步骤S24)，当没有结束时，返回步骤S22，进行第二涂敷头14a向主扫描方向的移动和基板9向副扫描方向的移动(步骤S22、S23)。

如果对始端侧的非涂敷区域92的四条临时线的涂敷结束(步骤S24)，则根据控制部2的控制，在第二涂敷头14a中来自第二喷嘴17a的溶媒的喷出被停止，同时在第一涂敷头14中来自第一喷嘴17的有机EL液的喷出被开始。并且，与第一实施方式相同，进行第一涂敷头14向主扫描方向的移动及基板9向副扫描方向的移动(步骤S25、S26)，有机EL液呈条纹状地被涂敷在基板9的涂敷区域91。此时，在涂敷区域91上，邻接的有机EL液的两个线条之间的距离等于间隔壁间距的三倍。

在副扫描线方向上的基板9的移动进行之后，由控制部2确认对涂敷区域91整体的有机EL液的涂敷是否结束了(步骤S27)，到向涂敷区域91整体的涂敷结束为止，重复第一涂敷头14向主扫描方向的移动和基板9向副扫描方向的移动(步骤S25～S27)。

如果对涂敷区域91整体的有机EL液的涂敷结束，则由于控制部2的控制，在第一涂敷头14中来自第一喷嘴17的有机EL液的喷出被停止，同时在第二涂敷头14a中来自第二喷嘴17a的溶媒的喷出被开始。并且，到对基板9的涂敷区域91右侧(即，副扫描的终端侧)的非涂敷区域92涂敷溶媒的操作结束为止，重复第二涂敷头14a向主扫描方向的移动和基板9向副扫描方向的移动(步骤S28～S30)，在副扫描终端侧的非涂敷区域92上也涂敷有四条溶媒的临时线。

如果基板9移动至图5中双点划线所示的涂敷结束位置，则停止从第二喷嘴17a喷出溶媒，结束对基板9涂敷有机EL液(以及溶媒)。在基板9上的副扫描的始端侧及终端侧，被涂敷于非涂敷区域92的八条临时线，将在被涂敷于涂敷区域91上的有机EL液的干燥工序中自然蒸发，从基板9上被除去。

如上述说明，在涂敷装置1a中，在对涂敷区域91涂敷有机EL液的前后，溶媒被涂敷在基板9上的副扫描的始端侧以及终端侧的非涂敷区域92上。由此，与第一实施方式相同，可以在基板9的涂敷区域91中的有机EL液的涂敷的始端侧及终端侧，对有机EL液的干燥时间短于被涂敷在其它区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制，其结果，可以防止由干燥时间的不均匀引起的涂敷不匀的产生。

在涂敷装置1a中，特别地，由于对非涂敷区域92仅涂敷不含有机EL液材料的溶媒，所以在被涂敷于涂敷区域91的有机EL液的干燥工序之后，不必从非涂敷区域92除去有机EL材料，可以简化有机EL装置的制造工序。

并且，在涂敷装置1a中，由于可以将向涂敷区域91的有机EL液的涂敷和向非涂敷区域92的溶媒的涂敷分开单独进行，所以可以提高涂敷作业的自由度。例如，在向涂敷区域91的有机EL液的涂敷之前，可以在基板9上的副扫描的始端侧以及终端侧，使溶媒的临时线涂敷在非涂敷区域92上。在涂敷装置1a中，设置了让第二涂敷头14a沿副扫描方向移动的移动机构，可以让第二涂敷头14a相对于第一涂敷头14在副扫描方向上进行相对移动。由此，可以同时进行对涂敷区域91的有机EL液的涂敷和对非涂敷区域92的溶媒的涂敷，所以能够进一步提高涂敷作业的自由度。

如此，在第二实施方式的涂敷装置1a中，可以将向涂敷区域91及非涂敷区域92的涂敷作业分开单独进行，所以特别适合在涂敷区域91和非涂敷区域92涂敷不同种类的流动性材料(本实施方式中为有机EL液和溶媒)的情况。

另一方面，在第一实施方式的涂敷装置1的涂敷头14(参照图1)中，没有分开单独设置向涂敷区域91喷出有机EL液进行涂敷的喷嘴和、向非涂敷区域92喷出有机EL液进行涂敷的喷嘴，而是由相同的三个喷嘴17对涂敷区域91以及非涂敷区域92双方涂敷有机EL液，因此可以简化涂敷装置1的结构。该涂敷头14的结构，特别适于在涂敷区域91以及非涂敷区域92涂敷同一种类流动性材料的情况。

接下来，说明本发明的第三实施方式的涂敷装置1b。图7为表示涂敷装置1b结构的俯视图。如图7所示，在涂敷装置1b中，在基板保持部11的主面上，在基板9的左侧以及右侧(即，在副扫描方向上涂敷头14进行相对移动的基板9上的始端侧以及终端侧)形成沟部111、112。其它结构与图1相同，在以下的说明中附以相同附图标记。

在涂敷装置1b中，在沟部111、112积存了有机EL液的溶媒，由于该溶媒蒸发，气化后的溶媒向周围环境中被供给。换言之，沟部111、112，在基板9上的副扫描的始端侧以及终端侧，成为了供给含有有机EL液的溶媒成分的气体的两个端部气体供给部。

在涂敷装置1b中，在沟部111、112预先积存了溶媒的状态下，一边从喷嘴17喷出有机EL液一边让涂敷头14相对于基板9在主扫描方向以及副扫描方向上进行相对移动，由此仅对基板9的涂敷区域91呈条纹状地涂敷有机EL液。

在涂敷装置1b中，在基板9的副扫描方向的始端侧及终端侧，从沟部111、112向环境中供给气化后的溶媒，由此提高周围环境中有机EL液的溶媒成分的浓度。从而，与第一实施方式相同，可以在基板9的涂敷区域91中的有机EL液的涂敷的始端侧以及终端侧，对有机EL液的干燥时间短于被涂敷于其它区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。其结果，可以防止由干燥时间的不均匀引起的涂敷不匀的产生。

涂敷装置1b与第一实施方式相同，特别适合作为以规定的间距呈条纹状地涂敷有机EL液(即，有机EL液的各线条以比较容易干燥的形态而被涂敷)的涂敷装置。

在涂敷装置1b中，如上所述，通过在形成于基板保持部11上的沟部111、112积存有机EL液的溶媒来实现向环境中的含有有机EL液的溶媒成分的气体的供给，因此与另设置积存部的情况相比，可以简化涂敷装置1b的结构。另外，在沟部111、112中，也可以代替为溶媒而积存含有溶媒的流动性材料(例如，有机EL液)。

接下来，说明本发明的第四实施方式的涂敷装置1c。图8为表示涂敷装置1c结构的俯视图。如图8所示，涂敷装置1c除图1所示的涂敷装置1的结构之外，还具有腔室3以及气体供给机构4，在该腔室3的内部容纳有基板保持部11、基板移动机构12、定位标记检测部13、涂敷头14、头移动机构15以及受液部16，该气体供给机构4向腔室3的内部空间供给含有有机EL液的溶媒成分的气体。其它的结构与图1相同，在以下说明中附以相同附图标记。

在涂敷装置1c中，与第三实施方式的涂敷装置1b(参照图7)相同，在基板保持部11的主面形成积存有机EL液的溶媒的沟部111、112。沟部111、112，在腔室3的内部，成为在基板9上的副扫描的始端侧以及终端侧，供给含有有机EL液的溶媒成分的气体的两个端部气体供给部。

由涂敷装置1c进行有机EL液的涂敷时，从气体供给机构4向腔室3的内部空间供给含有有机EL液的溶媒成分的气体。此外，通过在沟部111、112积存溶媒，从而在基板9的副扫描方向的始端侧及终端侧，从沟部111、112向环境供给气化了的溶媒。

在涂敷装置1c中，在这样地环境中的有机EL液的溶媒成分的浓度被提高了的状态下，一边从喷嘴17喷出有机EL液，一边让涂敷头14相对于基板9在主扫描方向以及副扫描方向上进行相对移动，由此，与第一实施方式相同，在基板9上的副扫描的始端侧，有机EL液的临时线被涂敷在非涂敷区域92，有机EL液呈条纹状地被在涂敷于涂敷区域91，进而，在基板9上的副扫描的终端侧，有机EL液的临时线被涂敷于非涂敷区域92。

在涂敷装置1c中，与第一实施方式相同，通过在非涂敷区域92涂敷有机EL液的临时线，从而可以在基板9的涂敷区域91中的有机EL液涂敷的始端侧以及终端侧，对有机EL液的干燥时间短于被涂敷在其它区域内的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。并且，与第三实施方式相同，由于被积存在沟部111、112的溶媒蒸发，可以在涂敷区域91的始端侧以及终端侧，更可靠地对有机EL液的干燥时间短于被涂敷于其它区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。

进而，通过将基板保持部11、基板移动机构12、涂敷头14以及头移动机构15等容纳于腔室3的内部，对基板9的涂敷区域91涂敷有机EL液时，向腔室3的内部空间供给含有有机EL液的溶媒成分的气体，由此提高基板9周围环境中的有机EL液的溶媒成分的浓度。从而，可以对被涂敷于涂敷区域91的有机EL液的干燥时间变短的情况进行抑制。并且，可以在涂敷区域91的始端侧以及终端侧，进一步可靠地对有机EL液的干燥时间短于被涂敷于其它区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。

以上，说明了本发明的实施方式，但本发明并不限于上述实施方式，而可以进行各种变更。

例如，在第一实施方式的涂敷装置1中，与第二实施方式相同，也可以对非涂敷区域92涂敷与涂敷区域91不同种类的流动性材料(例如，有机EL液的溶媒)作为临时线。该情况下，在涂敷装置1中，在涂敷头14内进行向喷嘴17供给的流动性材料的切换。或者，在涂敷头14内，也可以将向涂敷区域92的涂敷用的喷嘴独立于喷嘴17而设置。

在第一及第二实施方式的涂敷装置中，在涂敷区域91两侧的非涂敷区域92中，分别涂敷四条或五条临时线，但临时线的条数可以根据有机EL液的种类等进行适当地变更。

在第三实施方式的涂敷装置1b中，通过由控制部2控制涂敷头14、基板移动机构12以及头移动机构15，可以在基板9上的副扫描的始端侧以及终端侧，在非涂敷区域92上涂敷有机EL液的临时线。此外，与第二实施方式相同，可以设置与涂敷头14以及头移动机构15不同的另一组涂敷头以及头移动机构，在非涂敷区域92上涂敷有机EL液的溶媒的临时线。

在第三以及第四实施方式所述的涂敷装置的基板保持部11中，在沿主扫描方向的基板9的两侧，也可以形成积存含有有机EL液溶媒的流动性材料的沟部。此外，代替沟部111、112，可以将积存含有该溶媒的流动性材料的积存槽设于基板保持部11的周围。该积存槽可以被装载在基板保持部11的主面上。

进而，代替沟部111、112，通过设置贯通基板保持部11的多个气体供给孔，该气体供给孔经由被连接在基板保持部11下面侧的配管而被连接到供给含有有机EL液的溶媒成分的气体的供给源上，从而可以在基板9上的副扫描的始端侧以及终端侧，提高环境中的有机EL液的溶媒成分的浓度。另外，在第四实施方式中，气体的供给源被设置在腔室3的外部。

第一至第三实施方式的涂敷装置，均与第四实施方式相同，可以设置在内部容纳装置各结构的腔室；以及，气体供给机构，其向腔室的内部空间供给含有有机EL液的溶媒成分的气体。

在上述实施方式的涂敷装置中，可以从涂敷头14的三个喷嘴17，将分别含有红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的颜色相互不同的三种有机EL材料的三种有机EL液同时喷出，并涂敷在基板9上。此情况下，在涂敷头14中，邻接的两个喷嘴17之间的、在副扫描方向的距离等于间隔壁间距。此外，在涂敷头14中，喷嘴17的个数不必限定于三个，也可以在涂敷头14上设置一个、两个或四个以上的喷嘴17。在上述涂敷装置中，可以将含有空穴输送材料的流动性材料涂敷在基板9上。在此，“空穴输送材料”即形成有机EL显示装置的空穴输送层的材料，“空穴输送层”不仅意味着狭义的向由有机EL材料形成的有机EL层输送空穴的空穴输送层，还包含有进行空穴注入的空穴注入层。

上述实施方式的涂敷装置，也可以利用于由一张基板制造多个有机EL显示装置(所谓进行多面取处理)的情况。并且，上述涂敷装置，并非必须要仅利用于有机EL显示装置用的有机EL材料或含有空穴输送材料的流动性材料的涂敷，例如，也可以利用于对于液晶显示装置及等离子显示装置等的平面显示装置用的基板，涂敷含有着色材料或荧光材料等的其它种类的象素形成材料的流动性材料的情况。

如上所述，涂敷装置因为可以防止干燥时间的不均匀引起的涂敷不匀的产生，所以特别适合含有易于出现成品时的显示功能的下降的涂敷不匀的、平面显示装置用的象素形成材料(上述实施方式中，有机EL显示装置用的有机EL材料)的流动性材料的涂敷，但上述涂敷装置也可以利用于对平面显示装置用的基板或半导体基板等的各种基板的各个种类的流动性材料的涂敷。

以上，针对本发明进行了详细地描述说明，但已述的说明是示例性的而非限定性的。因此，在不脱离本发明的宗旨的范围内，可以进行各种各样的变形、变化。

Claims (20)

1.一种涂敷装置，其在基板上涂敷流动性材料，其特征在于，具有：

基板保持部，其保持基板；

喷出机构，其向上述基板连续地喷出第一流动性材料以及含有上述第一流动性材料的溶媒的第二流动性材料；

移动机构，其使上述喷出机构相对于上述基板主面在与该主面平行的主扫描方向上进行相对移动，同时在每次向上述主扫描方向移动时，使上述喷出机构在垂直于上述主扫描方向的副扫描方向上进行相对移动；

控制部，其控制上述喷出机构以及上述移动机构，从而在上述基板上的涂敷区域涂敷上述第一流动性材料，同时在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的终端侧，在上述涂敷区域的外侧的非涂敷区域涂敷上述第二流动性材料。

2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，上述第一流动性材料和上述第二流动性材料为同一种类。

3.如权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，上述第一流动性材料和上述第二流动性材料，含有平面显示装置用的象素形成材料。

4.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

上述第一流动性材料含有平面显示装置用的象素形成材料及上述溶媒，

上述第二流动性材料为上述溶媒。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，

上述喷出机构具备有喷嘴，所述喷嘴在向上述涂敷区域喷出上述第一流动性材料的同时，向上述非涂敷区域喷出上述第二流动性材料。

6.如权利要求1至4中任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，

上述喷出机构具有：

第一喷嘴，该第一喷嘴向上述涂敷区域喷出上述第一流动性材料；

第二喷嘴，该第二喷嘴向上述非涂敷区域喷出上述第二流动性材料，

上述移动机构具有：

第一喷嘴移动机构，该第一喷嘴移动机构移动上述第一喷嘴；

第二喷嘴移动机构，该第二喷嘴移动机构使上述第二喷嘴独立于上述第一喷嘴而进行移动。

7.如权利要求1至4中任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，

通过上述控制部的控制，在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的始端侧，也在上述涂敷区域外侧的非涂敷区域涂敷上述第二流动性材料。

8.如权利要求1至4中任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，

还具有：

腔室，在该腔室的内部容纳上述基板保持部、上述喷出机构以及上述移动机构；

气体供给机构，该气体供给机构向上述腔室的内部空间供给含有上述第一流动性材料的溶媒成分的气体。

9.如权利要求1至4中任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，还具有端部气体供给部，该端部气体供给部在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的上述终端侧，供给含有上述第一流动性材料的溶媒成分的气体。

10.如权利要求9所述的涂敷装置，其特征在于，还具有另一个端部气体供给部，该另一个端部气体供给部在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的始端侧，供给含有上述第一流动性材料的上述溶媒成分的气体。

11.如权利要求9所述的涂敷装置，其特征在于，上述端部气体供给部为如下这样的沟部，即，该沟部是在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的上述终端侧，形成于上述基板保持部的主面上，同时积存上述第一流动性材料的上述溶媒。

12.如权利要求1至4中任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，在上述基板的上述涂敷区域中，上述第一流动性材料被涂敷为以规定的间隔进行排列的条纹状。

13.一种涂敷装置，其在基板上涂敷流动性材料，其特征在于，具有：

基板保持部，其保持基板；

喷出机构，其向上述基板的主面上的涂敷区域，连续地喷出流动性材料；

移动机构，其使上述喷出机构相对于上述基板的上述主面在与该主面平行的主扫描方向上进行相对移动，同时在每次向上述主扫描方向移动时，使上述喷出机构在垂直于上述主扫描方向的副扫描方向上进行相对移动；

端部气体供给部，其在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的终端侧，供给含有上述流动性材料的溶媒成分的气体。

14.如权利要求13所述的涂敷装置，其特征在于，还具有另一个端部气体供给部，该另一个端部气体供给部在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的始端侧，供给含有上述流动性材料的上述溶媒成分的气体。

15.如权利要求13或14所述的涂敷装置，其特征在于，上述端部气体供给部为如下这样的沟部，即，该沟部是在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的上述终端侧，形成于上述基板保持部的主面上，同时积存上述流动性材料的溶媒。

16.如权利要求13或14所述的涂敷装置，其特征在于，还具有：

腔室，在该腔室的内部容纳上述基板保持部、上述喷出机构、上述移动机构以及上述端部气体供给部；

气体供给机构，该气体供给机构向上述腔室的内部空间供给含有上述流动性材料的上述溶媒成分的气体。

17.如权利要求13或14所述的涂敷装置，其特征在于，上述流动性材料含有平面显示装置用的象素形成材料以及溶媒。

18.如权利要求13或14所述的涂敷装置，其特征在于，在上述基板的上述涂敷区域中，上述流动性材料被涂敷为以规定的间隔进行排列的条纹状。

19.一种涂敷方法，是在基板上涂敷流动性材料的涂敷方法，其特征在于，具备：

a)从喷出机构向基板连续地喷出第一流动性材料或含有上述第一流动性材料的溶媒的第二流动性材料，同时使上述喷出机构相对于上述基板的主面在与该主面平行的主扫描方向上进行相对移动的工序；

b)使上述喷出机构在平行于上述基板的上述主面、且垂直于上述主扫描方向的副扫描方向上进行相对移动的工序；

c)重复上述a)工序以及b)工序的工序，

通过实行上述a)工序至上述c)工序，上述第一流动性材料被涂敷在上述基板上的涂敷区域上，同时在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的终端侧，上述第二流动性材料被涂敷在上述基板上的上述涂敷区域外侧的非涂敷区域上。

20.如权利要求19所述的涂敷方法，其特征在于，通过实行上述a)工序至上述c)工序，在上述副扫描方向上与上述喷出机构相对移动的上述基板上的始端侧，上述第二流动性材料被涂敷在上述基板上的上述涂敷区域外侧的非涂敷区域上。

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