KR20070055328A

KR20070055328A - 도포 장치 및 도포 방법

Info

Publication number: KR20070055328A
Application number: KR1020060100769A
Authority: KR
Inventors: 사토시 스즈키
Original assignee: 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
Priority date: 2005-11-24
Filing date: 2006-10-17
Publication date: 2007-05-30
Also published as: KR100754577B1; TW200727737A; CN1970168B; JP2007144240A; CN1970168A

Abstract

도포 장치는, 기판(9)을 향해 유기 EL액을 연속적으로 토출하는 도포 헤드, 도포 헤드를 기판(9)에 대하여 주(主) 주사 방향 및 부(副) 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 헤드 이동 기구 및 기판 이동 기구, 및 이러한 구성을 제어하는 제어부를 구비한다. 도포 장치에서는, 제어부에 의해 각 구성이 제어되고, 기판(9) 상의 도포 영역(91)에 유기 EL액이 도포되는 동시에, 부 주사 방향에 있어서의 도포 헤드의 상대 이동의 기판(9) 상의 종단측에 있어서 도포 영역(91)의 외측의 비도포 영역(92)에 유기 EL액이 도포된다. 이에 따라, 기판(9)의 도포 영역(91)에 있어서의 유기 EL액의 도포의 종단측에 있어서, 분위기 중의 유기 EL액의 용매 성분의 농도가 높아져, 유기 EL액의 건조 시간이 다른 영역에 도포된 유기 EL액의 건조 시간보다 짧아지는 것을 억제할 수 있다.

Description

도포 장치 및 도포 방법{LIQUID MATERIAL APPLYING APPARATUS AND LIQUID MATERIAL APPLYING METHOD}

도 1은, 제1 실시 형태에 따른 도포 장치를 도시한 평면도,

도 2는, 도포 장치의 우측면도,

도 3은, 도포의 흐름을 도시한 도면,

도 4는, 기판을 도시한 평면도,

도 5는, 제2 실시 형태에 따른 도포 장치를 도시한 평면도,

도 6a는, 도포의 흐름을 도시한 도면,

도 6b는, 도포의 흐름을 도시한 도면,

도 7은, 제3 실시 형태에 다른 도포 장치를 도시한 평면도,

도 8은, 제4 실시 형태에 따른 도포 장치를 도시한 평면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1, 1a, 1b 1c : 도포 장치 2 : 제어부

3 : 챔버 4 : 가스 공급 기구

9 : 기판 11 : 기판 유지부

12 : 기판 이동 기구 14 : (제1) 도포 헤드

14a : 제2 도포 헤드 15 : (제1) 헤드 이동 기구

15a : 제2 헤드 이동 기구 17 : (제1) 노즐

17a : 제2 노즐 91 : 도포 영역

92 : 비도포 영역 111, 112 : 홈부

S11∼S14, S21∼S30 : 단계

본 발명은, 기판에 유동성 재료를 도포하는 기술에 관한 것이다.

종래로부터, 반도체 기판(이하, 간단히 「기판」이라고 한다) 상에 레지스트액 등의 유동성 재료를 도포하는 장치로서, 일본 특개 2003-17402호 공보, 일본 특개 2005-13787호 공보 및 일본 특개 2005-13804호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 노즐을 기판 상에서 주사함으로써, 기판의 주면(主面) 전역에 대하여 서로 접촉하는 복수의 평행선 형상으로 유동성 재료를 도포하는 도포 장치가 알려져 있다.

이러한 도포 장치에 의해 유동성 재료가 도포된 기판에서는, 기판 상의 유동성 재료의 막 두께의 균일성이 저하되는 경우가 있다. 또, 기판 상에 도포된 유동성 재료가 순차적으로 건조해 감으로써, 나중에 도포된 유동성 재료가 먼저 도포되어 건조가 진행되고 있는 부위로 끌어 당겨져 막 두께의 균일성이 저하되는 경우도 있다. 이 때문에, 유동성 재료의 막 두께의 균일성을 향상하기 위한 다양한 기술이 제안되어 있다.

예를 들면, 일본 특개 2003-17402호 공보에서는, 레지스트 도포 장치에 의해 도포액이 도포된 기판을, 레지스트 도포 장치와는 별도로 설치된 용제 분위기 장치에 있어서 도포액의 용제 분위기에 노출함으로써, 용제를 도포액 표면에 부착시켜 도포액 표면의 점성을 저하시키고, 그 후, 기판이 수용되어 있는 용기 내에 기류를 형성하여 당해 기류에 의해 도포액의 표면을 평탄화하는 기술이 개시되어 있다. 일본 특개 2003-17402호 공보에서는, 또한, 도포액이 도포된 기판이 수용되어 있는 용기 내를 가압함으로써 도포액의 휘발을 억제하는 기술도 개시되어 있다.

일본 특개 2005-13787호 공보의 도포 성막 장치에서는, 기판의 위쪽 2mm 이내의 위치에 건조 방지판을 설치하고, 당해 건조 방지판에 형성된 직선 형상의 간극에 있어서, 절연막용의 도포액을 토출하는 노즐을 기판에 대하여 주사함으로써, 기판 상에 똑같이 도포액이 도포된다. 이에 따라, 기판과 건조 방지판의 사이에 고농도의 용제 분위기가 형성되고, 기판에 도포된 도포액의 건조가 억제된다. 또, 일본 특개 2005-13804호 공보의 도포막 레벨링 장치에서는, 도포액이 도포된 기판을 용기 내에 수용하고, 당해 용기 내에 용제 증기를 공급함으로써 도포막 중의 용제의 휘발이 억제된다.

그런데, 유동성 재료를 토출하는 노즐을 주사함으로써 기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 장치는, 평면 표시 장치용의 기판에 대하여 화소 형성 재료를 포함하는 유동성 재료를 도포할 때에도 이용되고 있다. 전형적인 예로는, 유동성 재료는 기판 상에 형성된 격벽 사이에 도포되고, 이에 따라, 유동성 재료는 소정의 피치로 배열되는 스트라이프 형상으로 도포된다.

기판 상에서는, 유동성 재료의 각 라인에서 용매 성분이 증발하고, 이러한 라인이 도포된 순서대로 건조해 간다. 유동성 재료는, 건조할 때까지의 사이에 화소 형성 재료가 충분히 분산하여 기판 상에 균일하게 정착하지만, 도포로부터 건조 종료까지의 시간이 짧으면, 화소 형성 재료의 분산의 정도가 다른 영역과 다른 상태로 유동성 재료의 건조가 종료되게 된다.

기판 상의 도포의 개시단측 및 종단측에서는, 도포 영역의 중앙부에 비해, 주위의 유동성 재료에서 증발하는 용매 성분의 양이 적기 때문에, 분위기 중의 용매 성분의 농도가 낮아진다. 이 때문에, 유동성 재료의 건조 시간이 다른 영역에 비해 짧아져, 화소 형성 재료의 분산 상태가 중앙부와 달라질 우려가 있다.

특히, 도포 영역의 종단측에 있어서 가장 외측에 도포된 라인은, 한쪽측에 다른 라인이 존재하지 않기 때문에, 내측의 다른 라인보다 빨리 건조된다. 또, 외측에서 2번째의 라인도, 그것보다 내측의 라인보다 빨리 건조되는 경우가 있다. 이와 같이, 도포한 순서와는 다른 순서로 라인이 건조되는 경우, 인접하는 라인 사이에서 도포의 질이 크게 달라져, 도포에 얼룩이 생긴다. 그리고, 이러한 건조 시간의 편차에 기인하는 도포 얼룩은, 제품이 된 후의 평면 표시 장치에 있어서, 표시 기능의 저하로서 나타난다.

본 발명은, 기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 장치에 적합하고, 도포 영역에 있어서의 유동성 재료의 도포의 적어도 종단측에 있어서 유동성 재료의 건조 시간이 다른 영역보다 짧아지는 것을 억제하는 것을 목적으로 한다.

도포 장치는, 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 기판을 향해 제1 유동성 재료 및 상기 제1 유동성 재료의 용매를 포함하는 제2 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 토출 기구와, 상기 토출 기구를 상기 기판의 주면에 대하여 평행한 주 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 동시에, 상기 주 주사 방향으로의 이동이 행해질 때마다 상기 토출 기구를 상기 주 주사 방향에 수직인 부 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 이동 기구와, 상기 토출 기구 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 기판 상의 도포 영역에 상기 제1 유동성 재료를 도포하는 동시에, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 종단측에 있어서 상기 도포 영역의 외측의 비도포 영역에 상기 제2 유동성 재료를 도포하는 제어부를 구비한다. 본 발명에 의하면, 도포 영역에 있어서의 제1 유동성 재료의 도포의 종단측에 있어서, 제1 유동성 재료의 건조 시간이 다른 영역보다 짧아지는 것을 억제할 수 있다.

본 발명의 한 바람직한 실시 형태에서는, 상기 제1 유동성 재료와 상기 제2 유동성 재료가 동일 종류이고, 보다 바람직하게는, 상기 제1 유동성 재료 및 상기 제2 유동성 재료가, 평면 표시 장치용의 화소 형성 재료를 포함한다.

본 발명의 다른 바람직한 실시 형태에서는, 상기 제1 유동성 재료가 평면 표시 장치용의 화소 형성 재료 및 상기 용매를 포함하고, 상기 제2 유동성 재료가 상기 용매이다. 이에 따라, 평면 표시 장치의 제조 공정을 간소화할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시 형태에서는, 상기 제어부의 제어에 의해, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 개시단측에 있어서도 상기 도포 영역의 외측의 비도포 영역에 상기 제2 유동성 재료가 도포된다. 이에 따라, 도포 영역에 있어서의 제1 유동성 재료의 도포의 개시단측에 있어서도, 제2 유동성 재료의 건조 시간이 다른 영역보다 짧아지는 것을 억제할 수 있다.

본 발명의 한 국면에서는, 도포 장치는, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 상기 종단측에 있어서 상기 제1 유동성 재료의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 단부 가스 공급부를 더 구비하고, 바람직하게는, 상기 단부 가스 공급부가, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 상기 종단측에 있어서 상기 기판 유지부의 주면 상에 형성되는 동시에, 상기 제1 유동성 재료의 상기 용매가 저류(貯溜)되는 홈부이다. 보다 바람직하게는, 도포 장치는, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 개시단측에 있어서 상기 제1 유동성 재료의 상기 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 또 하나의 단부 가스 공급부를 더 구비한다.

본 발명의 다른 국면에서는, 도포 장치는, 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 기판의 주면 상의 도포 영역을 향해 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 토출 기구와, 상기 토출 기구를 상기 기판의 상기 주면에 대하여 평행한 주 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 동시에, 상기 주 주사 방향으로의 이동이 행해질 때마다 상기 토출 기구를 상기 주 주사 방향에 수직인 부 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 이동 기구와, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 종단측에 있어서 상기 유동성 재료의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 단부 가스 공급부를 구비한다.

본 발명의 또 다른 국면에서는, 도포 장치는, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 개시단측에 있어서 상기 유동성 재료의 상기 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 또 하나의 단부 가스 공급부를 더 구비한다.

본 발명은, 기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 방법에도 적합하다.

상술한 목적 및 다른 목적, 특징, 형태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 행하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 명확해진다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 도포 장치(1)의 구성을 도시한 평면도이고, 도 2는 도포 장치(1)의 우측면도이다. 도포 장치(1)는, 평면 표시 장치용의 유리 기판(이하, 간단히 「기판」이라고 한다)(9)에 유동성 재료를 도포하는 장치이다. 본 실시 형태에서는, 도포 장치(1)에 있어서, 액티브 매트릭스 구동 방식의 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치용의 기판(9)에, 유기 EL 재료 및 용매(예를 들면, 메시틸렌)를 포함하는 유동성 재료(이하, 「유기 EL액」이라고 한다)가 도포된다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 도포 장치(1)는, 기판(9)을 유지하는 기판 유지부(11), 및, 기판 유지부(11)를 기판(9)의 주면에 대하여 평행한 소정의 방향(즉, 도 1 중의 좌우 방향이고, 이하, 「부 주사 방향」이라고 한다)으로 수평 이동하는 동시에, 수직 방향을 향하는 축을 중심으로 하여 회전하는 기판 이동 기구(12)를 구비한다. 기판 유지부(11)는, 내부에 히터에 의한 가열 기구(도시 생략)를 구비한다.

도포 장치(1)는, 또, 기판(9) 상에 형성된 얼라인먼트 마크(도시 생략)를 촬상하여 검출하는 얼라인먼트 마크 검출부(13), 기판 유지부(11) 상의 기판(9)을 향해 3개의 노즐(17)로부터 유기 EL액을 연속적으로 토출하는 토출 기구인 도포 헤드(14), 도포 헤드(14)를 기판 유지부(11)의 이동 방향인 부 주사 방향과는 수직인 방향(즉, 도 1 중의 상하 방향이고, 이하, 「주 주사 방향」이라고 한다)으로 수평 이동하는 헤드 이동 기구(15), 도포 헤드(14)의 이동 방향에 관해 기판 유지부(11)의 양측에 설치되는 동시에, 도포 헤드(14)로부터의 유기 EL액을 받는 2개의 수액부(受液部)(16), 도포 헤드(14)의 3개의 노즐(17)에 동일 종류의 유기 EL액을 공급하는 유동성 재료 공급부(18), 및, 이러한 구성을 제어하는 제어부(2)를 구비한다.

도포 장치(1)에서는, 헤드 이동 기구(15) 및 기판 이동 기구(12)가, 도포 헤드(14)를 기판(9)에 대하여 주 주사 방향 및 부 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 이동 기구가 된다. 후술하는 바와 같이, 도포 장치(1)에서는, 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포시에, 기판(9)이 기판 유지부(11)와 함께 도 1 중의 우측에서 좌측을 향해 이동한다. 이하, 도 1 중에 있어서의 기판(9) 상의 좌측을, 부 주사 방향에 있어서의 도포 헤드(14)의 상대 이동의 기판(9) 상의 개시단측이라고 하고, 기판(9) 상의 우측을, 부 주사 방향에 있어서의 도포 헤드(14)의 상대 이동의 기판(9) 상의 종단측이라고 한다.

도포 장치(1)에서는, 제어부(2)에 의해 도포 헤드(14)가 제어되고, 3개의 노즐(17)에서 동일 종류의 유기 EL액이 토출된다. 3개의 노즐(17)은, 도 1 중의 상하 방향(즉, 주 주사 방향)으로 대략 직선 형상으로 배열되는 동시에, 도 1 중의 좌우 방향(즉, 부 주사 방향)으로 약간 어긋나게 배치된다. 인접하는 2개의 노즐(17) 사이의 부 주사 방향에 관한 거리는, 기판(9)의 도포 영역(91)(도 1 중에 있어서 파선으로 둘러싸 나타낸다) 상에 미리 형성되어 있는 주 주사 방향으로 신장되는 격벽 사이의 피치(이하, 「격벽 피치」라고 한다)의 3배에 다름없어진다.

기판(9)의 도포 영역(91)에 유기 EL액이 도포될 때에는, 3개의 노즐(17)로부터 격벽 사이에 형성되는 3개의 홈부에 유기 EL액이 토출되어 도포된다. 도포 장치(1)에 의해 유기 EL액이 도포되는 2개의 홈부의 사이에는, 다른 도포 장치 등에 의해 다른 종류의 유기 EL액이 도포되는 2개의 홈부가 끼워져 있다. 기판(9)에서는, 도포 영역(91)의 외측의 영역(92)은, 드라이버 회로의 장착이나 후속 공정에 있어서의 절연막에 의한 밀봉 등에 이용되기 때문에, 유기 EL액이 도포되어야 하는 것이 아닌 영역이고, 이하, 「비도포 영역(92)」이라고 한다. 또한, 비도포 영역(92)에는 격벽은 형성되어 있지 않다.

다음에, 도포 장치(1)에 의한 유기 EL액의 도포의 흐름에 대해 설명한다. 도 3은, 유기 EL액의 도포의 흐름을 도시한 도면이다. 도포 장치(1)에 의해 유기 EL액의 도포가 행해질 때에는, 우선, 기판(9)이 기판 유지부(11)에 올려져 유지되고, 얼라인먼트 마크 검출부(13)로부터의 출력에 의거해 기판 이동 기구(12)가 구동되어 기판(9)이 이동하여, 도 1 중에 실선으로 나타내는 도포 개시 위치에 위치 한다(단계 S11). 도포 헤드(14)는 미리 도 1 및 도 2 중에 실선으로 나타내는 대기 위치(즉, 도 1 중의 하측의 수액부(16)의 위쪽)에 위치하고 있다. 이 때, 기판(9)의 도포 영역(91)의 도 1 중에 있어서의 좌측(즉, 부 주사의 개시단측)의 에지는, 도포 헤드(14)의 3개의 노즐(17)보다 약간 우측에 위치한다.

계속해서, 제어부(2)에 의해 도포 헤드(14)가 제어되어 3개의 노즐(17)로부터 유기 EL액의 토출이 개시되는 동시에, 헤드 이동 기구(15)가 제어되어 도포 헤드(14)의 이동이 개시된다. 도포 장치(1)에서는, 3개의 노즐(17)로부터 동일 종류의 유기 EL액을 기판(9)을 향해 연속적으로 토출하면서, 도포 헤드(14)를 도 1 중의 하측에서 상측으로(즉, 주 주사 방향으로) 이동함으로써, 기판(9)의 도포 영역(91)의 좌측(즉, 부 주사의 개시단측)의 비도포 영역(92)에 유기 EL액이 스트라이프 형상으로 도포된다(단계 S12). 이 때, 기판(9) 상에 있어서 인접하는 유기 EL액의 2개의 라인 사이의 거리는, 격벽 피치의 3배에 다름없어진다.

도포 헤드(14)가 도 1 및 도 2 중에 2점 쇄선으로 나타내는 대기 위치(즉, 도 1 중의 상측의 수액부(16)의 위쪽)까지 이동하면, 기판 이동 기구(12)가 구동되어, 기판(9)이 기판 유지부(11)와 함께 도 1 중의 좌측으로(즉, 부 주사 방향으로) 격벽 피치의 9배에 다름없는 거리만큼 이동한다(단계 S13). 이 때, 도포 헤드(14)에서는, 3개의 노즐(17)로부터 수액부(16)를 향해 유기 EL액이 연속적으로 토출된다.

부 주사 방향에 있어서의 기판(9)의 이동이 종료되면, 기판(9) 및 기판 유지부(11)가 도 1 중에 2점 쇄선으로 나타내는 도포 종료 위치까지 이동하였는지의 여 부가 제어부(2)에 의해 확인되고(단계 S14), 도포 종료 위치까지 이동하지 않은 경우에는, 단계 S12로 되돌아가 도포 헤드(14)가 3개의 노즐(17)로부터 유기 EL액을 토출하면서, 도 1 중에 있어서 상측에서 하측으로(즉, 주 주사 방향으로) 이동한다(단계 S12). 이에 따라, 기판(9)의 개시단측의 비도포 영역(92), 및, 도포 영역(91)의 개시단측의 에지에 가장 가까운 홈부에 유기 EL액이 도포된다.

도 4는, 기판(9)을 도시한 평면도이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 도포 장치(1)에서는, 도포 헤드(14)의 주 주사 방향에 있어서의 2회의 이동(즉, 1왕복)에 의해, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측(즉, 도 4 중에 있어서의 도포 영역(91)의 좌측)의 비도포 영역(92)에 5개의 유기 EL액의 라인(93)이 도포되고, 도포 영역(91)의 개시단측에 1개의 유기 EL액의 라인(94)이 도포된다. 비도포 영역(92)에 도포된 유기 EL액의 라인(93)은, 유기 EL액의 도포 종료 후에 제거되기 때문에, 이하, 「더미 라인(93)」이라고 한다. 도포 장치(1)에서는, 도 4 중에 있어서의 도포 영역(91)의 상하의 비도포 영역(92)은 도시 생략의 마스크에 의해 덮여져 있기 때문에 유기 EL액은 도포되지 않는다. 또한, 도 4에서는, 도시의 상황상, 더미 라인(93) 및 라인(94)의 피치를 실제보다 크게 그리고 있으며, 또, 도포 영역(91)의 중앙 근방의 라인(94)의 도시를 생략하였다.

다음에, 부 주사 방향에 있어서의 기판(9)의 이동이 다시 행해져 3개의 노즐(17)이 기판(9)의 도포 영역(91)의 도 1 중에 있어서의 하측에 위치하여(단계 S13), 기판(9)이 도포 종료 위치까지 이동하였는지의 여부가 확인된다(단계 S14). 그 후, 기판(9)이 도포 종료 위치에 위치할 때까지, 기판(9)에 대한 3개의 노즐 (17)의 주 주사 방향으로의 이동이 고속으로 반복하여 행해질 때마다, 부 주사 방향으로의 상대 이동이 행해지고(단계 S12∼S14), 이에 따라, 기판(9)의 도포 영역(91)에 있어서, 유기 EL액이 소정의 피치(즉, 격벽 피치의 3배에 다름없는 피치)로 배열된 스트라이프 형상으로 도포된다.

도포 장치(1)에서는, 도포 영역(91) 전체에 대한 유기 EL액의 도포가 종료한 후에도, 기판(9)이 도포 종료 위치에 위치할 때까지 3개의 노즐(17)의 주 주사 및 부 주사가 고속으로 반복됨으로써, 도 4에 도시한 바와 같이, 기판(9) 상의 부 주사의 종단측(즉, 도 4 중에 있어서의 도포 영역(91)의 우측)의 비도포 영역(92)에도, 5개의 유기 EL액의 더미 라인(93)이 스트라이프 형상으로 도포된다.

그리고, 기판(9)이 도 1 중에 2점 쇄선으로 나타낸 도포 종료 위치까지 이동하면, 노즐(17)로부터의 유기 EL액의 토출이 정지되어 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포가 종료된다. 상술한 바와 같이, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측에 있어서 비도포 영역(92)에 도포된 10개의 더미 라인(93)(도 4 참조)은, 도포 영역(91)에 도포된 유기 EL액의 건조 공정에 있어서 동일하게 건조되고, 더미 라인(93)에 포함되어 있었던 유기 EL 재료가 비도포 영역(92)에 남겨진다. 비도포 영역(92) 상의 유기 EL 재료는, 당해 건조 공정의 종료 후에 제거된다.

이상에 설명한 바와 같이, 도포 장치(1)에서는, 도포 헤드(14), 헤드 이동 기구(15) 및 기판 이동 기구(12)가 제어부(2)에 의해 제어됨으로써, 기판(9) 상의 도포 영역(91)에 유기 EL액이 도포되는 동시에, 부 주사 방향에 있어서의 도포 헤드(14)의 상대 이동의 기판(9) 상의 종단측에 있어서 도포 영역(91)의 외측의 비도 포 영역(92)에 유기 EL액이 도포된다. 그리고, 비도포 영역(92)에 도포된 유기 EL액은, 도포 영역(91)에 도포된 유기 EL액과 동일 종류이고, 유기 EL 재료 및 메시틸렌 등의 용매(즉, 도포 영역(91)에 도포된 유기 EL액의 용매)를 포함한다.

도포 장치(1)에 의한 유기 EL액 도포 후의 기판(9)에서는, 부 주사의 종단측에 있어서, 비도포 영역(92)에 도포된 유기 EL액으로부터 용매가 증발함으로써, 주위의 분위기 중의 유기 EL액의 용매 성분의 농도가 높아진다. 이에 따라, 기판(9)의 도포 영역(91)에 있어서의 유기 EL액의 도포의 종단측에 있어서, 유기 EL액의 건조(즉, 용매 성분의 증발)가 억제되고, 유기 EL액의 건조 시간(즉, 유기 EL액이 도포된 후 건조 종료까지 요하는 시간)이 다른 영역에 도포된 유기 EL액의 건조 시간보다 짧아지는 것을 억제할 수 있다.

특히, 도포 영역(91)에 있어서, 가장 종단측의 라인이나 당해 가장 종단측의 라인에 인접하는 라인이, 그 이전에 도포된 근방의 라인보다 빨리 건조되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 도포 영역(91)에 있어서의 유기 EL액의 도포의 종단측에 있어서, 건조 시간의 편차에 기인하는 도포 얼룩의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 여기에서의 도포 얼룩이란, 한 라인이 건조할 때까지의 시간이 짧아져 유기 EL 재료의 분산의 정도가 다른 영역과 다른 상태로 유기 EL액의 건조가 종료해 버리고, 근방의 라인에 비해 당해 라인의 도포의 질이 저하해 버림으로써, 복수의 라인 전체로서 본 경우에 발생하는 얼룩을 의미한다.

도포 장치(1)에서는, 또, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측에 있어서도, 도포 헤드(14), 헤드 이동 기구(15) 및 기판 이동 기구(12)가 제어부(2)에 의해 제어 됨으로써, 도포 영역(91)의 외측의 비도포 영역(92)에 유기 EL액이 도포되고, 도포된 유기 EL액으로부터 용매가 증발함으로써 분위기 중의 유기 EL액의 용매 성분의 농도가 높아진다. 이에 따라, 기판(9)의 도포 영역(91)에 있어서의 유기 EL액의 도포의 개시단측에 있어서도, 유기 EL액의 건조 시간이 다른 영역에 도포된 유기 EL액의 건조 시간보다 짧아지는 것을 억제할 수 있다.

그런데, 유기 EL 표시 장치 등의 평면 표시 장치용의 기판에 대한 유동성 재료의 도포에서는, 도포 영역(91)에 있어서 인접하는 유기 EL액의 라인 사이에 간극(즉, 격벽)이 형성되기 때문에, 라인 사이에 간극을 형성하지 않고 도포된 경우에 비해, 각 라인이 비교적 건조되기 쉽다. 본 실시 형태에 따른 도포 장치(1)에서는, 상술한 바와 같이, 도포 영역(91)의 개시단측 및 종단측에 있어서, 유기 EL액의 건조 시간이 짧아지는 것을 억제할 수 있기 때문에, 유기 EL액을 소정의 피치로 스트라이프 형상으로 도포하는 도포 장치로서 특히 적합하다.

여기에서, 도포 영역(91)에 도포되는 유동성 재료를 제1 유동성 재료라고 인식하고, 비도포 영역(92)에 도포되는 유동성 재료를 제2 유동성 재료라고 인식한 경우, 도포 장치(1)에서는, 도포 헤드(14)의 노즐(17)로부터 토출되는 제1 유동성 재료 및 제2 유동성 재료는 모두 유기 EL액이고, 동일 종류가 된다. 이와 같이, 도포 장치(1)에서는 1종류의 유동성 재료로 도포 영역(91) 및 비도포 영역(92)에 대한 도포가 행해지기 때문에, 도포 장치(1)의 구조를 간소화할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 도포 장치(1a)에 대해 설명한다. 도 5는, 도포 장치(1a)의 구성을 도시한 평면도이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 도포 장치(1a)는, 또 하나의 도포 헤드(14a), 도포 헤드(14a)를 도포 헤드(14)와는 독립하여 도 5 중의 상하 방향(즉, 주 주사 방향)으로 이동하는 또 하나의 헤드 이동 기구(15a), 및, 도포 헤드(14a)에 유동성 재료를 공급하는 또 하나의 유동성 재료 공급부(18a)를 구비한다. 이하의 설명에서는, 도포 헤드(14) 및 도포 헤드(14a)를 구별하기 위해서, 각각 「제1 도포 헤드(14)」 및 「제2 도포 헤드(14a)」라고 한다. 또, 헤드 이동 기구(15) 및 헤드 이동 기구(15a)를 각각, 「제1 헤드 이동 기구(15)」 및 「제2 헤드 이동 기구(15a)」라고 하고, 유동성 재료 공급부(18) 및 유동성 재료 공급부(18a)를 각각, 「제1 유동성 재료 공급부(18)」 및 「제2 유동성 재료 공급부(18a)」라고 한다.

제2 도포 헤드(14a)는, 도 5 중에 있어서 제1 도포 헤드(14)의 우측에 위치하는 동시에, 2개의 노즐(17a)을 구비한다. 이하, 노즐(17) 및 노즐(17a)을 각각, 「제1 노즐(17)」 및 「제2 노즐(17a)」이라고 한다. 제2 도포 헤드(14a)에서는, 2개의 제2 노즐(17a)이, 도 5 중의 좌우 방향(즉, 부 주사 방향)으로 약간 어긋나게 배치된다. 도포 장치(1a)의 그 밖의 구성은 도 1과 동일하여, 이하의 설명에 있어서 같은 부호를 붙인다.

상기와 같이, 도포 장치(1a)에서는, 제1 헤드 이동 기구(15)가 제1 노즐(17)을 이동하는 제1 노즐 이동 기구로 되어 있고, 제2 헤드 이동 기구(15a)가 제2 노즐(17a)을 이동하는 제2 노즐 이동 기구로 되어 있으며, 제1 헤드 이동 기구(15), 제2 헤드 이동 기구(15a) 및 기판 이동 기구(12)가, 제1 노즐(17) 및 제2 노즐(17a)을 기판(9)에 대하여 주 주사 방향 및 부 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 이동 기구로 되어 있다.

도포 장치(1a)에서는, 제1 유동성 재료 공급부(18)에서 제1 도포 헤드(14)에 유기 EL액(즉, 유기 EL 표시 장치용의 유기 EL 재료 및 용매를 포함하는 유동성 재료)이 공급되고, 3개의 제1 노즐(17)에서 기판(9)의 도포 영역(91)을 향해 유기 EL액이 토출되어 도포된다. 또, 제2 도포 헤드(14a)에는, 제2 유동성 재료 공급부(18a)에서 유기 EL액의 용매(이하, 간단히 「용매」라고 한다)가 공급되고, 2개의 제2 노즐(17a)에서 기판(9)의 비도포 영역(92)을 향해 용매가 토출되어 도포된다. 바꿔 말하면, 도포 장치(1a)에서는, 제1 도포 헤드(14) 및 제2 도포 헤드(14a)가 제1 노즐(17) 및 제2 노즐(17a)을 구비한 토출 기구로 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측의 각각에 있어서, 비도포 영역(92)에 4개의 용매의 더미 라인이 도포된다. 여기에서, 도포 영역(91)에 도포되는 유동성 재료를 제1 유동성 재료라고 인식하고, 비도포 영역(92)에 도포되는 유동성 재료를 제2 유동성 재료라고 인식한 경우, 도포 장치(1a)에서는, 제1 노즐(17)에 의해 제1 유동성 재료가 토출되고, 제2 노즐(17a)에 의해, 제1 유동성 재료의 용매인 제2 유동성 재료가 토출된다.

도 6a 및 도 6b는, 도포 장치(1a)에 의한 유기 EL액의 도포의 흐름을 도시한 도면이다. 도포 장치(1a)에 의해 유기 EL액의 도포가 행해질 때에는, 우선, 기판 유지부(11)에 유지된 기판(9)이 이동되어 도 5 중에 실선으로 나타낸 도포 개시 위치에 위치한다(단계 S21). 이 때, 기판(9)의 도포 영역(91)의 도 5 중에 있어서의 좌측(즉, 부 주사의 개시단측)의 에지는, 제2 도포 헤드(14a)의 2개의 제2 노즐 (17a)보다 약간 우측에 위치한다.

기판(9)이 도포 개시 위치에 위치하면, 제어부(2)에 의해 제2 도포 헤드(14a)가 제어되어 제2 노즐(17a)에서 용매의 토출이 개시되는 동시에, 제2 헤드 이동 기구(15a)가 제어되어 제2 도포 헤드(14a)가 도 5 중의 하측에서 상측으로 이동됨으로써, 기판(9)의 도포 영역(91)의 좌측(즉, 부 주사의 개시단측)의 비도포 영역(92)에 용매가 2개의 스트라이프 형상으로 도포된다(단계 S22). 계속헤서, 기판 이동 기구(12)에 의해 기판(9)이 도 5 중의 좌측으로(즉, 부 주사 방향으로) 이동한다(단계 S23).

부 주사 방향에 있어서의 기판(9)의 이동이 종료되면, 부 주사의 개시단측의 비도포 영역(92)에 있어서 용매의 더미 라인의 도포가 종료하였는지의 여부가 제어부(2)에 의해 확인되고(단계 S24), 종료되지 않는 경우에는, 단계 S22로 되돌아가 제2 도포 헤드(14a)의 주 주사 방향으로의 이동과 기판(9)의 부 주사 방향으로의 이동이 행해진다(단계 S22, S23).

개시단측의 비도포 영역(92)에 대한 4개의 더미 라인의 도포가 종료되면(단계 S24), 제어부(2)의 제어에 의해, 제2 도포 헤드(14a)에 있어서 제2 노즐(17a)로부터의 용매의 토출이 정지되는 동시에, 제1 도포 헤드(14)에 있어서 제1 노즐(17)로부터의 유기 EL액의 토출이 개시된다. 그리고, 제1 실시 형태와 동일하게, 제1 도포 헤드(14)의 주 주사 방향으로의 이동 및 기판(9)의 부 주사 방향으로의 이동이 행해져(단계 S25, S26), 기판(9)의 도포 영역(91)에 유기 EL액이 스트라이프 형상으로 도포된다. 이 때, 도포 영역(91)에 있어서 서로 인접하는 유기 EL액의 2개 의 라인 사이의 거리는, 격벽 피치의 3배에 다름없어진다.

부 주사 방향에 있어서의 기판(9)의 이동 후, 도포 영역(91) 전체에 대한 유기 EL액의 도포가 종료하였는지의 여부가 제어부(2)에 의해 확인되고(단계 S27), 도포 영역(91) 전체로의 도포가 종료될 때까지 제1 도포 헤드(14)의 주 주사 방향으로의 이동과 기판(9)의 부 주사 방향으로의 이동이 반복된다(단계 S25∼S27).

도포 영역(91) 전체에 대한 유기 EL액의 도포가 종료되면, 제어부(2)의 제어에 의해, 제1 도포 헤드(14)에 있어서 제1 노즐(17)로부터의 유기 EL액의 토출이 정지되는 동시에, 제2 도포 헤드(14a)에 있어서 제2 노즐(17a)로부터의 용매의 토출이 개시된다. 그리고, 기판(9)의 도포 영역(91)의 우측(즉, 부 주사의 종단측)의 비도포 영역(92)에 대한 용매의 도포가 종료될 때까지, 제2 도포 헤드(14a)의 주 주사 방향으로의 이동과 기판(9)의 부 주사 방향으로의 이동이 반복되어(단계 S28∼S30), 부 주사의 종단측의 비도포 영역(92)에도 4개의 용매의 더미 라인이 도포된다.

기판(9)이 도 5 중에 2점 쇄선으로 나타낸 도포 종료 위치까지 이동하면, 제2 노즐(17a)로부터의 용매의 토출이 정지되어 기판(9)에 대한 유기 EL액(및 용매)의 도포가 종료한다. 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측에 있어서 비도포 영역(92)에 도포된 8개의 더미 라인은, 도포 영역(91)에 도포된 유기 EL액의 건조 공정에 있어서 자연스럽게 증발하여 기판(9) 상으로부터 제거된다.

이상에 설명한 바와 같이, 도포 장치(1a)에서는, 도포 영역(91)에 대한 유기 EL액의 도포의 전후에 있어서, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측의 비도 포 영역(92)에 용매가 도포된다. 이에 따라, 제1 실시 형태와 동일하게, 기판(9)의 도포 영역(91)에 있어서의 유기 EL액의 도포의 개시단측 및 종단측에 있어서, 유기 EL액의 건조 시간이 다른 영역에 도포된 유기 EL액의 건조 시간보다 짧아지는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 건조 시간의 편차에 기인하는 도포 얼룩의 발생을 방지할 수 있다.

도포 장치(1a)에서는, 특히, 비도포 영역(92)에 유기 EL 재료를 포함하지 않은 용매만이 도포되기 때문에, 도포 영역(91)에 도포된 유기 EL액의 건조 공정의 후에, 비도포 영역(92)으로부터 유기 EL 재료를 제거할 필요가 없고, 유기 EL 표시 장치의 제조 공정을 간소화할 수 있다.

또, 도포 장치(1a)에서는, 도포 영역(91)으로의 유기 EL액의 도포와 비도포 영역(92)으로의 용매의 도포를 독립하여 행할 수 있기 때문에, 도포 작업의 자유도를 향상할 수 있다. 예를 들면, 도포 영역(91)으로의 유기 EL액의 도포보다 전에, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측에 있어서, 용매의 더미 라인이 비도포 영역(92)에 도포되어도 된다. 도포 장치(1a)에서는, 제2 도포 헤드(14a)를 부 주사 방향으로 이동하는 이동 기구가 설치되고, 제2 도포 헤드(14a)가 제1 도포 헤드(14)에 대하여 부 주사 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 되어도 된다. 이에 따라, 도포 영역(91)에 대한 유기 EL액의 도포와 비도포 영역(92)에 대한 용매의 도포를 병행하여 행할 수 있기 때문에, 도포 작업의 자유도를 보다 향상시킬 수 있다.

이와 같이, 제2 실시 형태에 따른 도포 장치(1a)에서는, 도포 영역(91) 및 비도포 영역(92)으로의 도포 작업을 독립하여 행할 수 있기 때문에, 도포 영역(91)과 비도포 영역(92)에서 다른 종류의 유동성 재료(본 실시 형태에서는, 유기 EL액과 용매)를 도포하는 경우에 특히 적합하다.

한편, 제1 실시 형태에 따른 도포 장치(1)의 도포 헤드(14)(도 1 참조)에서는, 도포 영역(91)을 향해 유기 EL액을 토출하여 도포하는 노즐과 비도포 영역(92)을 향해 유기 EL액을 토출하여 도포하는 노즐이 개별적으로 설치되는 것이 아니라, 동일한 3개의 노즐(17)에 의해 도포 영역(91) 및 비도포 영역(92)의 쌍방에 유기 EL액이 도포되기 때문에, 도포 장치(1)의 구조를 간소화할 수 있다. 당해 도포 헤드(14)의 구조는, 도포 영역(91) 및 비도포 영역(92)에 동일 종류의 유동성 재료를 도포하는 경우에 특히 적합하다.

다음에, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 도포 장치(1b)에 대해 설명한다. 도 7은, 도포 장치(1b)의 구성을 도시한 평면도이다. 도 7에 도시한 바와 같이, 도포 장치(1b)에서는, 기판 유지부(11)의 주면 상에 있어서, 기판(9)의 좌측 및 우측(즉, 부 주사 방향에 있어서의 도포 헤드(14)의 상대 이동의 기판(9) 상에 있어서의 개시단측 및 종단측)에 홈부(111, 112)가 형성된다. 그 밖의 구성은 도 1과 동일하여, 이하의 설명에 있어서 같은 부호를 붙인다.

도포 장치(1b)에서는, 홈부(111, 112)에 유기 EL액의 용매가 저류되어 있고, 당해 용매가 증발함으로써, 가스화한 용매가 분위기 중에 공급된다. 바꿔 말하면, 홈부(111, 112)는, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측에 있어서, 유기 EL액의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 2개의 단부 가스 공급부로 되어 있다.

도포 장치(1b)에서는, 홈부(111, 112)에 미리 용매가 저류된 상태로, 노즐(17)에서 유기 EL액을 토출하면서, 도포 헤드(14)가 기판(9)에 대하여 주 주사 방향 및 부 주사 방향으로 상대 이동됨으로써, 기판(9)의 도포 영역(91)에만 유기 EL액이 스트라이프 형상으로 도포된다.

도포 장치(1b)에서는, 기판(9)의 부 주사 방향의 개시단측 및 종단측에 있어서, 홈부(111, 112)에서 가스화한 용매가 분위기 중에 공급되기 때문에, 주위의 분위기 중의 유기 EL액의 용매 성분의 농도가 높아진다. 이에 따라, 제1 실시 형태와 동일하게, 기판(9)의 도포 영역(91)에 있어서의 유기 EL액의 도포의 개시단측 및 종단측에 있어서, 유기 EL액의 건조 시간이 다른 영역에 도포된 유기 EL액의 건조 시간보다 짧아지는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 건조 시간의 편차에 기인하는 도포 얼룩의 발생을 방지할 수 있다.

도포 장치(1b)는, 제1 실시 형태와 동일하게, 유기 EL액을 소정의 피치로 스트라이프 형상으로 도포하는(즉, 유기 EL액의 각 라인이 비교적 건조되기 쉬운 형태로 도포된다) 도포 장치로서 특히 적합하다.

도포 장치(1b)에서는, 상술한 바와 같이, 분위기 중으로의 유기 EL액의 용매 성분을 포함하는 가스의 공급이, 기판 유지부(11) 상에 형성된 홈부(111, 112)에 유기 EL액의 용매를 저류함으로써 실현되기 때문에, 별도로 저류부를 설치하는 경우와 비교해 도포 장치(1b)의 구조를 간소화할 수 있다. 또한, 홈부(111, 112)에는, 용매 대신에 용매를 포함하는 유동성 재료(예를 들면, 유기 EL액)가 저류되어도 된다.

다음에, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 도포 장치(1c)에 대해 설명한다. 도 8은, 도포 장치(1c)의 구성을 도시한 평면도이다. 도 8에 도시한 바와 같이, 도포 장치(1c)는, 도 1에 도시한 도포 장치(1)의 구성에 더하여, 기판 유지부(11), 기판 이동 기구(12), 얼라인먼트 마크 검출부(13), 도포 헤드(14), 헤드 이동 기구(15) 및 수액부(16)을 내부에 수용하는 챔버(3), 및, 챔버(3)의 내부 공간에 유기 EL액의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 가스 공급 기구(4)를 더 구비한다. 그 밖의 구성은 도 1과 동일하여, 이하의 설명에 있어서 같은 부호를 붙인다.

도포 장치(1c)에서는, 제3 실시 형태에 따른 도포 장치(1b)(도 7 참조)와 동일하게, 기판 유지부(11)의 주면에 유기 EL액의 용매가 저류되는 홈부(111, 112)가 형성되어 있다. 홈부(111, 112)는, 챔버(3)의 내부에 있어서, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측에서 유기 EL액의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 2개의 단부 가스 공급부로 되어 있다.

도포 장치(1c)에 의해 유기 EL액의 도포가 행해질 때에는, 가스 공급 기구(4)에서 챔버(3)의 내부 공간에 유기 EL액의 용매 성분을 포함하는 가스가 공급된다. 또, 홈부(111, 112)에 용매가 저류됨으로써, 기판(9)의 부 주사 방향의 개시단측 및 종단측에 있어서, 홈부(111, 112)에서 가스화한 용매가 분위기 중에 공급된다.

도포 장치(1c)에서는, 이와 같이 분위기 중의 유기 EL액의 용매 성분의 농도가 높아진 상태로, 노즐(17)로부터 유기 EL액을 토출하면서, 도포 헤드(14)가 기판(9)에 대하여 주 주사 방향 및 부 주사 방향으로 상대 이동됨으로써, 제1 실시 형 태와 동일하게, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측에 있어서 비도포 영역(92)에 유기 EL액의 더미 라인이 도포되고, 도포 영역(91)에 유기 EL액이 스트라이프 형상으로 도포되며, 또한 기판(9) 상의 부 주사의 종단측에 있어서 비도포 영역(92)에 유기 EL액의 더미 라인이 도포된다.

도포 장치(1c)에서는, 제1 실시 형태와 동일하게, 비도포 영역(92)에 유기 EL액의 더미 라인이 도포됨으로써, 기판(9)의 도포 영역(91)에 있어서의 유기 EL액의 도포의 개시단측 및 종단측에 있어서, 유기 EL액의 건조 시간이 다른 영역에 도포된 유기 EL액의 건조 시간보다 짧아지는 것을 억제할 수 있다. 또, 제3 실시 형태와 동일하게, 홈부(111, 112)에 저류된 용매가 증발함으로써, 도포 영역(91)의 개시단측 및 종단측에 있어서, 유기 EL액의 건조 시간이 다른 영역에 도포된 유기 EL액의 건조 시간보다 짧아지는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

또한, 기판 유지부(11), 기판 이동 기구(12), 도포 헤드(14) 및 헤드 이동 기구(15) 등이 챔버(3)의 내부에 수용되어, 기판(9)의 도포 영역(91)에 대한 유기 EL액의 도포시에, 챔버(3)의 내부 공간에 유기 EL액의 용매 성분을 포함하는 가스가 공급됨으로써, 기판(9)의 주위의 분위기 중에 있어서의 유기 EL액의 용매 성분의 농도가 높아진다. 이에 따라, 도포 영역(91)에 도포된 유기 EL액의 건조 시간이 짧아지는 것을 억제할 수 있다. 또, 도포 영역(91)의 개시단측 및 종단측에 있어서, 유기 EL액의 건조 시간이 다른 영역에 도포된 유기 EL액의 건조 시간보다 짧아지는 것을 더욱 확실하게 억제할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태 에 한정되는 것이 아니라, 다양한 변경이 가능하다.

예를 들면, 제1 실시 형태에 따른 도포 장치(1)에서는, 제2 실시 형태와 동일하게, 비도포 영역(92)에 대하여 도포 영역(91)과는 다른 종류의 유동성 재료(예를 들면, 유기 EL액의 용매)가 더미 라인으로서 도포되어도 된다. 이 경우, 도포 장치(1)에서는, 도포 헤드(14)에 있어서 노즐(17)에 공급하는 유동성 재료의 전환이 행해진다. 혹은, 도포 헤드(14)에 있어서, 비도포 영역(92)으로의 도포용의 노즐이 노즐(17)과는 별도로 설치되어도 된다.

제1 및 제2 실시 형태에 따른 도포 장치에서는, 도포 영역(91)의 양측의 비도포 영역(92)에 있어서, 각각 4개 또는 5개의 더미 라인이 도포되지만, 더미 라인의 개수는 유기 EL액의 종류 등에 맞추어 적당히 변경되어도 된다.

제3 실시 형태에 따른 도포 장치(1b)에서는, 제어부(2)에 의해 도포 헤드(14), 기판 이동 기구(12) 및 헤드 이동 기구(15)가 제어됨으로써, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측에 있어서, 비도포 영역(92)에 유기 EL액의 더미 라인이 도포되어도 된다. 또, 제2 실시 형태와 동일하게, 도포 헤드(14) 및 헤드 이동 기구(15)와는 다른 또 1세트의 도포 헤드 및 헤드 이동 기구가 설치되고, 비도포 영역(92)에 유기 EL액의 용매의 더미 라인이 도포되어도 된다.

제3 및 제4 실시 형태에 따른 도포 장치의 기판 유지부(11)에서는, 주 주사 방향에 관한 기판(9)의 양측에도, 유기 EL액의 용매를 포함하는 유동성 재료가 저류되는 홈부가 형성되어도 된다. 또, 홈부(111, 112) 대신에, 당해 용매를 포함하는 유동성 재료가 저류되는 저류조가 기판 유지부(11)의 주위에 설치되어도 된다. 당해 저류조는, 기판 유지부(11)의 주면 상에 올려져 있어도 된다.

또한, 홈부(111, 112) 대신에, 기판 유지부(11)를 관통하는 복수의 가스 공급 구멍이 설치되고, 당해 가스 공급 구멍이 기판 유지부(11)의 하면측에 접속되는 배관을 통해 유기 EL액의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 공급원에 접속됨으로써, 기판(9) 상의 부 주사의 개시단측 및 종단측에 있어서, 분위기 중의 유기 EL액의 용매 성분의 농도가 높아져도 된다. 또한, 제4 실시 형태에서는, 가스의 공급원은 챔버(3)의 외부에 설치된다.

제1 내지 제3 실시 형태에 따른 도포 장치에서도, 제4 실시 형태와 동일하게, 장치의 각 구성을 내부에 수용하는 챔버, 및, 챔버의 내부 공간에 유기 EL액의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 가스 공급 기구가 설치되어도 된다.

상기 실시 형태에 따른 도포 장치에서는, 도포 헤드(14)의 3개의 노즐(17)로부터, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)으로 서로 색이 다른 3종류의 유기 EL 재료를 각각 포함하는 3종류의 유기 EL액이 동시에, 토출되어 기판(9)에 도포되어도 된다. 이 경우, 도포 헤드(14)에서는, 인접하는 2개의 노즐(17) 사이의 부 주사 방향에 관한 거리가 격벽 피치와 같아진다. 또, 도포 헤드(14)에서는, 노즐(17)의 개수는 반드시 3개로는 한정되지 않고, 1개 또는 2개, 혹은, 4개 이상의 노즐(17)이 도포 헤드(14)에 설치되어도 된다. 상기 도포 장치에서는, 정공(正孔) 수송 재료를 포함하는 유동성 재료가 기판(9)에 도포되어도 된다. 여기에서, 「정공 수송 재료」란, 유기 EL 표시 장치의 정공 수송층을 형성하는 재료이며, 「정공 수송층」이란, 유기 EL 재료에 의해 형성된 유기 EL층으로 정공을 수송하는 좁은 의미의 정공 수 송층만을 의미하는 것이 아니라, 정공의 주입을 행하는 정공 주입층도 포함한다.

상기 실시 형태에 따른 도포 장치는, 1장의 기판으로부터 복수의 유기 EL 표시 장치를 제조하는(이른바, 다면따기를 행하는) 경우에도 이용할 수 있다. 또한, 상기 도포 장치는, 반드시 유기 EL 표시 장치용의 유기 EL 재료 또는 정공 수송 재료를 포함하는 유동성 재료의 도포에만 이용되는 것이 아니라, 예를 들면, 액정 표시 장치나 플라스마 표시 장치 등의 평면 표시 장치용의 기판에 대해, 착색 재료나 형광 재료 등의 다른 종류의 화소 형성 재료를 포함하는 유동성 재료를 도포하는 경우에 이용되어도 된다.

상술한 바와 같이, 도포 장치는, 건조 시간의 편차에 기인하는 도포 얼룩의 발생을 방지할 수 있기 때문에, 제품이 되었을 때의 표시 기능의 저하로서 도포 얼룩이 느껴지기 쉬운 평면 표시 장치용의 화소 형성 재료(상기 실시 형태에서는, 유기 EL 표시 장치용의 유기 EL 재료)를 포함하는 유동성 재료의 도포에 특히 적합하지만, 상기 도포 장치는, 평면 표시 장치용의 기판이나 반도체 기판 등의 다양한 기판에 대한 여러 가지 종류의 유동성 재료의 도포에 이용되어도 된다.

이 발명을 상세하게 묘사하여 설명하였지만, 전술한 설명은 예시적으로서 한정적인 것은 아니다. 따라서, 이 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 형태가 가능한 것이 이해된다.

Claims

기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 장치로서,

기판을 유지하는 기판 유지부와,

상기 기판을 향해 제1 유동성 재료 및 상기 제1 유동성 재료의 용매를 포함하는 제2 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 토출 기구와,

상기 토출 기구를 상기 기판의 주면에 대하여 평행한 주 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 동시에, 상기 주 주사 방향으로의 이동이 행해질 때마다 상기 토출 기구를 상기 주 주사 방향에 수직인 부 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 이동 기구와,

상기 토출 기구 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 기판 상의 도포 영역에 상기 제1 유동성 재료를 도포하는 동시에, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 종단측에 있어서 상기 도포 영역의 외측의 비도포 영역에 상기 제2 유동성 재료를 도포하는 제어부를 구비하는 도포 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 제1 유동성 재료와 상기 제2 유동성 재료가 동일 종류인 도포 장치.
청구항 2에 있어서,

상기 제1 유동성 재료 및 상기 제2 유동성 재료가, 평면 표시 장치용의 화소 형성 재료를 포함하는 도포 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 제1 유동성 재료가 평면 표시 장치용의 화소 형성 재료 및 상기 용매를 포함하고,

상기 제2 유동성 재료가 상기 용매인 도포 장치.
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,

상기 토출 기구가, 상기 도포 영역을 향해 상기 제1 유동성 재료를 토출하는 동시에, 상기 비도포 영역을 향해 상기 제2 유동성 재료를 토출하는 노즐을 구비하는 도포 장치.
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,

상기 토출 기구가,

상기 도포 영역을 향해 상기 제1 유동성 재료를 토출하는 제1 노즐과,

상기 비도포 영역을 향해 상기 제2 유동성 재료를 토출하는 제2 노즐을 구비하고,

상기 이동 기구가,

상기 제1 노즐을 이동하는 제1 노즐 이동 기구와,

상기 제2 노즐을 상기 제1 노즐과는 독립하여 이동하는 제2 노즐 이동 기구를 구비하는 도포 장치.
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제어부의 제어에 의해, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 개시단측에 있어서도 상기 도포 영역의 외측의 비도포 영역에 상기 제2 유동성 재료가 도포되는 도포 장치.
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판 유지부, 상기 토출 기구 및 상기 이동 기구를 내부에 수용하는 챔버와,

상기 챔버의 내부 공간에 상기 제1 유동성 재료의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 가스 공급 기구를 구비하는 도포 장치.
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,

상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 상기 종단측에 있어서 상기 제1 유동성 재료의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 단부 가스 공급부를 더 구비하는 도포 장치.
청구항 9에 있어서,

상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 개시단측에 있어서 상기 제1 유동성 재료의 상기 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 또 하나의 단부 가스 공급부를 더 구비하는 도포 장치.
청구항 9에 있어서,

상기 단부 가스 공급부가, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 상기 종단측에 있어서 상기 기판 유지부의 주면 상에 형성되는 동시에, 상기 제1 유동성 재료의 상기 용매가 저류되는 홈부인 도포 장치.
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판의 상기 도포 영역에 있어서, 소정의 피치로 배열된 스트라이프 형상으로 상기 제1 유동성 재료가 도포되는 도포 장치.
기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 장치로서,

기판을 유지하는 기판 유지부와,

상기 기판의 주면 상의 도포 영역을 향해 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 토출 기구와,

상기 토출 기구를 상기 기판의 상기 주면에 대하여 평행한 주 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 동시에, 상기 주 주사 방향으로의 이동이 행해질 때마다 상기 토출 기구를 상기 주 주사 방향에 수직인 부 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 이동 기구와,

상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 종단측에 있어서 상기 유동성 재료의 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 단부 가스 공급부를 구비하는 도포 장치.
청구항 13에 있어서,

상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 개시단측에 있어서 상기 유동성 재료의 상기 용매 성분을 포함하는 가스를 공급하는 또 하나의 단부 가스 공급부를 더 구비하는 도포 장치.
청구항 13 또는 14에 있어서,

상기 단부 가스 공급부가, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 상기 종단측에 있어서 상기 기판 유지부의 주면 상에 형성되는 동시에, 상기 유동성 재료의 용매가 저류되는 홈부인 도포 장치.
청구항 13 또는 14에 있어서,

상기 기판 유지부, 상기 토출 기구, 상기 이동 기구 및 상기 단부 가스 공급부를 내부에 수용하는 챔버와,

상기 챔버의 내부 공간에 상기 유동성 재료의 상기 용매 성분을 포함하는 가 스를 공급하는 가스 공급 기구를 구비하는 도포 장치.
청구항 13 또는 14에 있어서,

상기 유동성 재료가, 평면 표시 장치용의 화소 형성 재료 및 용매를 포함하는 도포 장치.
청구항 13 또는 14에 있어서,

상기 기판의 상기 도포 영역에 있어서, 소정의 피치로 배열된 스트라이프 형상으로 상기 유동성 재료가 도포되는 도포 장치.
기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 방법으로서,

a) 토출 기구에서 기판을 향해 제1 유동성 재료 또는 상기 제1 유동성 재료의 용매를 포함하는 제2 유동성 재료를 연속적으로 토출하면서, 상기 토출 기구를 상기 기판의 주면에 대하여 평행한 주 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 공정과,

b) 상기 토출 기구를 상기 기판의 상기 주면에 대하여 평행하고 상기 주 주사 방향에 수직인 부 주사 방향으로 상대적으로 이동하는 공정과,

c) 상기 a) 공정 및 상기 b) 공정을 반복하는 공정을 구비하고,

상기 a) 공정 내지 상기 c) 공정의 실행에 의해, 상기 기판 상의 도포 영역에 상기 제1 유동성 재료가 도포되는 동시에, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 종단측에 있어서 상기 기판 상의 상기 도 포 영역의 외측의 비도포 영역에 상기 제2 유동성 재료가 도포되는 도포 방법.
청구항 19에 있어서,

상기 a) 공정 내지 상기 c) 공정의 실행에 의해, 상기 부 주사 방향에 있어서의 상기 토출 기구의 상대 이동의 상기 기판 상의 개시단측에 있어서 상기 기판 상의 상기 도포 영역의 외측의 비도포 영역에 상기 제2 유동성 재료가 도포되는 도포 방법.