CN1957182A - 泵送设备 - Google Patents

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Abstract

差动泵送真空系统，它包括多个压力室且连接有用于抽空这些室的泵送设备(100)，此泵送设备包括的第一与第二复式泵(102，104)各具有至少一个第一入口(120)、(124)；第二入口(122)、(126)；第一泵送段(110)与在此第一泵送段下游的第二泵送段(112)，这些段设置成使得从第一入口进入泵的流体通过第一与第二泵送段，而使得从第二入口进入泵的流体只通过所述段中的第二段，其中此第一泵(102)的第一入口(120)连接一第一即较低压力室(10)的出口，此第一泵(102)的第二入口(122)与第二泵(104)的第一入口(102)连接一第二即共用的中等压力室(16)的出口或各相应出口，而此第二泵(104)的第二入口(126)则连接一第三即较高压力室(14)的出口。

Description

泵送设备
本发明涉及泵送设备，特别涉及到用于多室的差动泵送设备。
在差动泵送的质谱仪系统中是将试样与运载气体引入质谱仪用于分析。这方面的一个例子给出于图1中，其中紧随多个抽空的接口室后存在一高真空室10。这类接口室的实际个数取决于系统的类型。在图1所示例子中，此系统包括第一、第二与第三抽空接口室12、14与16。
此第一接口室12是抽空的质谱仪系统中的最高压力室，可包括气体入口装置，通过它可从离子源将离子抽入第一接口室12。离子源取决于所用的电离化方法可以处于大气压力下。第二接口室14与继后的较低压力室则可包含内行人周知的离子光学器件与分析装置。
在这一例子中，使用时的第一接口室12是在约1-10mbar压力下，第二接口室14是在约10-3～10-2mbar压力下，第三接口室16是在约10-5～10-4mbar压力下，而最高真空室则是在约10-7～10-6mbar压力下。
在对上述这些室进行抽真空时，低压室10是由涡轮分子泵20抽空至初级抽气泵22或此真空系统上的另一适当点处，此第二与第三接口室14、16则由复式真空泵24抽空至该初级抽气泵22，并由此初级抽气泵22对第一接口室12进行抽空。此初级抽气泵可以是较大的台式旋片型机械式真空泵或其他适当类型的真空泵。
此例中的复式真空泵24具有两个泵送段取两组涡轮分子级组30、32的形式以及一取Holweck牵引机构34形式的第三泵送段，在此可以用另一种形式的牵引机构如Sigbahn或Gaede机构来取代上述牵引机构。各组涡轮分子级30、32包括多个(图1中为四个，但可以采用任何适当的个数)具有周知的角状结构的转子与定子叶片对。此Holweck机构34包括多个(图1中示明两个，但可采用任意适当的个数)与环形定子对应的旋转缸以及实质上属周知螺旋通道。
第一复式泵入口36与第三接口室16通连，而经由入口36泵送的流体依次地通过两组涡轮分子级30、32与Holweck机构34，经出口38由泵排出。第二复式泵入口40与第二接口室14通连，经此入口40泵送的流体通过涡轮分子级组32与Holweck机构34从出口38自此泵排出。复式泵24在有需要泵送系统的另外的室时可以包括增设的入口例如在涡轮子级与Holweck泵送级之间的。
在进入各复式泵入口的流体，从泵间排出前通过相应的不同个数的级，这种复式泵24也能在室14与16中提供所需的真空能级，而以初级抽气泵22提供室12中所需的真空能级，同时由涡轮分子泵20给室10中提供所需的真空能级。
利用复式泵抽空两或多个相邻室的优点是能使尺寸、成本与部件合理化。但是考虑到通常的复式泵送设备的传导性限制，与各个室中间利用直接安装于其上的专制真空泵进行抽空的设备相比，性能有所削弱。
取决于质谱仪系统的类型，如图1所示当另有气体负载通过例如碰撞腔、气体反应腔或离子阱引入到中间室14或16中之一时，就会显著影响泵送性能。在图1所示例子中，此另加的气体负载描述为引入到室16中的。为了保持此室中的压力，此时要求该室具有等级高得多的泵送性能。
本发明的目的在于为多个室提供一种泵送设备，此设备能给出所要求的性能水平，而不会在此泵送设备中显著加大尺寸，增加成本或泵的个数。
在第一方面，本发明提供了一种差分泵送真空系统，此系统包括例如质谱仪之类装置，具有多个压力室；在此系统与接装有用来抽空各个室的泵送设备，此泵送设备包括第一与第二复式泵，各个复式泵包括至少第一入口、第二入口、第一泵送段和在此第一泵送段下游的第二泵送段，这些段布置成使得从第一入口进入泵内的流体通过第一与第二泵送段而从第二入口进到泵内的流体则只通过其中的第二泵送段，其中这两个泵中之一的第二入口与另一个泵的第一入口接附到一共用压力室的出口或相应的出口，使得在使用中时此第一复式泵抽空与此第二复式泵并联的压力室中所述的一个。
在最佳实施形式中，此第一泵的第一入口连接一第一的较低压力室的出口，而此第一泵的第二入口则连接一较高压力室的出口或相应的各出口。例如此第一泵的第二入口和第二泵的第一入口连接着一第二中间压力室的出口或各相应出口，而第二泵的第二入口则连接一第三较高压力室的出口。
最好此第一与第二泵送段中的至少一段而更好是这两个段包括至少一个涡轮分子级。这些级的尺寸可以相同或不相同。例如第二泵送段的级可以大于第一泵送段的级来提供选择性的泵送性能。
此第二复式泵最好包括一在第二泵送段下游的第三泵送段，这些段布置成使得从第一入口进入该泵的流体通过第一、第二与第三泵送段，而从第二入口进入该泵的流体则只通过所述第二与第三泵送段。此第三泵送段则最好包括一多级分子牵引机构，例如具有多个排列成一批螺旋的通道的多级Holweck机构。
至少是此第二复式泵包括一第三入口用来从第四压力室接收流体。这些泵送段则布置成使得从此第四压力室进到泵内的流体只通过所述各段中的第三泵送段。此第三泵送段可以设置成使得来自第三入口的流体可以循着一条与来自第二入口的流体所通过的路径不同的路径。例如此第三泵送段可以设置成使得来自第三入口的流体只通过来自第二入口的流体所经路径的一部分。各个复式泵最好要将所述第三入口设置成接收来自第四液力室的流体，而这些复式泵则布置成使第一复式泵与第二复式泵并联地抽空第四压力室。在最佳实施形式中，各所述第三入口与用来将流体从第四压力室出口输送向流处。
上述第二复式泵在有需要泵送系统的附加的一些室时，可包括另设的入口例如在涡轮分子级之间与Holweck泵吸级之间。通过任何附加的口进入泵内的流体可以通过这些泵吸段的仅仅一部分，或是依循一条与通过第一与第二入口进入此泵的路径有部分不同的路径。
至少是此第二复式泵最好包括一在第三泵送段下游的另设泵送段。例如此另设的泵送段可以是一气动泵送机构例如再生级的，其他类型的气动机构包括侧流、侧槽与周边流机构。
在另一实施形式中，此第二泵的第二入口连接第一泵的出口。在此实施形式中，此第二泵的第二泵吸段设置成能在或约在大气压力下排出流体，且最好包括一气动泵吸机构例如再生级的。此第二泵的第一泵吸段与第一泵的第二泵送段这两者中之一或这两者包括一分子牵引机构。此第一泵的第一泵送段包括至少一个涡轮分子级。第一与第二泵中的至少一个包括在其第一入口上游的另设的入口。第一泵还包括位于此另设入口与该第一入口之间的另设泵送段，而此另设的泵送段可包括至少一个涡轮分子级。
本发明的第二方面提供一包括例如质谱仪装置的差动泵真空系统，具有多个压力室；以及一与此装置连接用来抽空上述多个室的泵送设备，此泵送设备包括的第一与第二复式泵各具有至少一个第一入口、第二入口、第一泵送段及其下游的第二泵送段，这两个段设置成使得从此第一入口进到泵内的流体通过上述第一与第二泵送段，而从此第二入口进到泵内的流体则只通过所述段中的第二段。其中此第一泵的第一入口连接一第一的较低压力室的出口，此第一泵的第二入口连接一第二的中间压力室的出口，此第二泵的第一入口连接一第三的较高压力室的出口，而此第二泵的第二入口则连接此第一泵的出口，同时其中第二泵的第二泵送段则在或约在大气压力下排出流体。
各复式泵最好包括这样的驱动轴，其上为每个泵送段安装有至少一个转子件。
上述系统可以是质谱仪系统、涂膜系统或其他形式的包括多个差动泵送室的系统。
本发明还提供了对多个压力室进行差动抽空的方法，此方法包括下述步骤：提供泵送设备，此设备包括的第一与第二复式泵各具有至少第一入口、第二入口、第一泵送段及其下游的第二泵送段，这两段设置成使得从此第一入口进入该泵的流体通过此第一与第二泵送段而从此第二入口进入该泵的流体则只通过所述两段中的第二段；将这些复式泵的入口与所述压力室通连，使得这两个泵之一的第二入口与另一泵的第一入口连通一共用压力室的出口或各相应出口，使之在使用过程中该第一复式泵与第二复式泵并联地抽空所述压力室之一。
上面相对于本发明系统方方面面所述的特点可以同等地应用于本发明的方法方面，并且反之亦然。
下面参考附图仅仅以举例方式描述本发明的最佳特点，附图中：
图1是通过一适用于抽空差动泵送质谱仪系统的已知泵送设备例子简化横剖面图；
图2是通过一适用于抽空差动泵送质谱仪系统的依据本发明一泵送设备的第一实施形式的简化横剖面图；
图3是通过一适用于抽空差动泵送质谱仪系统的依据本发明一泵送设备的第二实施形式的简化横剖面图；
图4是通过一适用于抽空差动泵送质谱仪系统的依据本发明一泵送设备的第三实施形式的简化横剖面图。
用于抽空图1的差动泵送质谱仪系统的泵送设备100的第一实施形式概示于图2。此泵送设备100包括第一复式多端口泵102、第二复式多端泵104以及初级抽气泵105。
各复式泵102、104包括一多部件体106而其中安装一驱动轴108。此轴108的转动由绕其定位的马达(未图示)例如无刷dc马达实现。例如此驱动轴108可以由混合式永磁轴承与油润滑的轴承系统支承。此驱动轴的定向示明为与质谱仪系统的纵轴共轴(图2中示明为水平的)，但它也可按照系统的性能与几何结构要求以任意角度倾斜例如取正交的或任何其他的定向且具有所需的延伸的入口。
各复式泵包括至少三个泵送段110、112、114。第一泵送段110包括一组涡轮分子级。在图2所示实施例中，这组涡轮分子级110包括取已知角状结构的四个转子叶片和四个定子叶片。本例中这些转子叶片与驱动轴108构成一体。
在图2所示实施例中，此第二泵送段112类似于第一泵送段110，也包括一组具有周知角状结构的四个转子叶片与四个定子叶片的涡轮分子级。本例中的转子叶片也与驱动轴108成为一体。或者，此第二泵送段112可以由差动分子泵送机构如外螺纹的或螺旋式转子提供。
上述第一与第二泵送段的下游是取分子牵引机构例如Holweck牵引机构形式的第三泵吸段。在本实施形式中，Holweck机构包括一或多个转筒和其中以实质上周知方式形成有螺旋槽的相应环形定子。这些转筒最好由碳纤维材料形成，安装到位于驱动轴108上的盘件116之上。本例中，此盘件116同样与驱动轴108成为一体。Holweck机构114的下游是泵出口118，初级抽气泵105通过出口108与复式泵102、104反接。或者，此第一复式泵102的出口可以与真空系统上另一适当点连通，以使经出口118从泵102排出的气体能在进入初级抽气泵105之前通过此真空系统的另一部分。
如图2所示，各复式泵102、104具有至少两个入口。在各复式泵102、104中，该第一低压入口位于所有泵送段的上游。该第二中间压力入口则位于第一泵送段110与第二泵送段112之间。虽然在本实施形式中只用到两个入口，但当有要求时各个复式泵可以有另增的入口来泵送增设的系统室例如在涡轮分子级与Holweck泵送级之间的另设的室。通过任何增设入口进入该泵的流体可以只是通过这些泵送段的一部分或是依循一条与通过第一与第二入口进入此泵的路径有部分不同的路径。
在使用当中，各个入口与此差动泵送质谱仪系统的室连通。在本实施形式中，第一复式泵102的第一入口120连接高真空的最低压力室10，第一复式泵102的第二入口122与第二复式泵104的第一入口124都连接中等压力的第三接口室16，而第二复式泵104的第二入口126则与高压的第二接口室14连接。最高的压大气压力的第一接口室12由初级抽气泵105抽空。在用到了另设的接口室时，这些接口室可连接另设的入口(未图示)。
流体从最低压力室10通过第一复式泵102的第一入口120进入泵102，通过第一泵吸段110，通过第二泵吸段112，通过Holweck机构114的所有级经由泵出口118从泵102排出。
流体从第三接口室16通过第一复式泵102的第二入口122进入泵102，通过第二泵送段112，通过Holweck机构114的所有级经由泵出口118从泵102排出。
流体从第三接口室16通过第二复式泵104的第一入口124进入泵104，通过第一泵送段110，通过第二泵送段112，通过Holweck机构114的所有级经由泵出口118从泵104排出。
流体从第二接口室14通过第二复式泵104的第一入口126进入泵104，通过第二泵送段112，通过Holweck机构114的所有级而经由泵出口118从泵104排出。
本例中，工作时类似于参考图1所述，第一接口室12在约1～10mbar压力下，第二接口室14在约10-3～10-2mbar压力下，而第三接口室在约10-5～10-4mbar压力下，而此高真空室10在约10-7～10-8mbar压力下。
在上述实施形式中，通过将两复式泵的不相似入口即第一复式泵102的第二入口122与第二复式泵104的第一入口连接着同一室，在所示情形下连接到第三接口室16时(不过此同一室可以根据气体负载分布与性能要求选取)，能够为这些室之一提供并行泵送，这样的布置形式对于将另外的气体负载引入接口室16而提出了另外的泵送要求以及对于此差动泵送质谱仪系统各个其他室而言，都使得泵送装置100的泵送效率得到优化。提供一个室的这种平行泵送要比采用相同容量的单个泵入口的情形能给并行泵送的室提供更高水平的效率。此外，与其中的复式泵是以“真实并行”运转即两个复式泵以相似入口用来对同一室抽真空的情形相比，能够使可用来接其他室的入口数最大化，例如两个复式泵各具有两个入口进行实际并行作业将只给两个室提供差动泵送，而采用不相似入口的相似泵来对这些室之一抽真空时则可允许至少对三个室进行差动泵送。将泵送设备100最少化为两个复式泵102、104以及初级抽气泵105，这样便提供了一种低成本、部件个数少的紧凑的泵送设备。
如图2所示，复式泵102、104可以是相同的，这样就可使泵送设备100更加合理化，当然这并非绝对必须的；考虑质谱仪系统各级的特殊气体负载对复式泵102、104作最优选择，就能为特殊的质谱仪系统提供最优的泵送效率。
初级抽气泵105通常是较大的台式泵。取决于所用初级抽气泵的类型，由此初级抽气泵在第一接口室12中提供的效率会受到工作频率的显著影响。例如根据50Hz电源运行的直接串联初级抽气泵会使第一室12中产生的效率比在60Hz下运行的同一泵产生的效率低约20％。由于其余各室10、14、16都与第一室12连接，第一室12中的效率变化都会显著影响此其余各室的效率。
为了解决上述问题，图3示明一泵送设备200的第二实施例适用于通过复合式泵从差动泵送质谱系统中抽出99％以上的质量流。此泵送设备200与泵送设备100类似，例外的是各复式泵102、104包括位于第一与第二入口下游的第三入口202。导管204有一入口206，经此入口来自第一接口室12的流体进入此导管204，此导管204将此流体输送给各复式泵102、104的第三入口202，在上面参考图2所述的第三接口室16的并行泵送之外，提供第一接口室12的“真实并行”泵送。
各第三入口202可位于Holweck机构114的上游或如图3所示在此机构的两个级之间，使得此机构的所有级都与第一与第二入口120、122流体通连，而在图3所示的设备中则只是这些级的一部分(一个或多个)与第三入口202流体通连，使得在工作中从第一接口室12通过各第三入口202的流体进到各相应的复式泵内，通过Holweck机构114的至少一部分槽而经由泵出口118由该泵排出。
通过提供泵送设备200而其中的复式泵能处理该质谱仪系统的99％以上总的质量流，就可减少由于初级抽气泵电源频率导致的与系统性能波动有关的上述问题。
此外，通过提供最高压力室12的并行泵送，就可将此最高压力室的效率提高四倍之多。提高此最高压力室的效率便降低了继后各室中的气体负载，于是便有效地提高了这些室的效率。这样就可补偿一般复式泵送设备的传导限制有关的问题，提高此最高压力室的效率也能从离子源将离子与载运气体的较高的入口流进入质谱仪系统，由此便可提高质谱仪系统的灵敏度同时保持各室内有最佳的流体压力。还可增加室与室之间的孔口个数以与通过此系统的增多的离子数相适应，同时保持各室内的最优流体压力。
可以对复式泵102、104增加另外的泵送级以降低初级抽气泵所需的效率。例如可于Holweck机构114的下游设置第四泵送段(未图示)如气动再生级。这种再生级可以方便地由Holweck机构114的盘件116之上安装的或与之成一体的，取环形阵列形式的多个隆起环件的一批转子提供。Holweck机构l14的定子也可形成再生级的定子，其中形成有让转子在内转动的环形槽。工作时，这种改进的泵送设备能够同于第一与第二实施形式中的泵送设备100、200，在差动泵送质谱仪系统的各室中有利地产生相似的效率，除了由上述各实施形式提供的可能的效率优点外，此设备还可提供另外两个优点。第一个优点是当由不同效率级的泵例如直接联机在50或60Hz上工作的初级抽气泵作初级抽气时，此系统的性能一致。在此设备中，可以预期对参考图3所描述的系统而言，要是此初级抽气泵105的工作频率在50Hz与60Hz间变化时，此系统效率的变化将低于1％，这样就能给用户提供具有稳定系统性能的灵活泵送设备。
第二个附加的优点是，通过于Holweck段下游提供另外的泵送段，此复式泵102、104组成的泵送设备能够使初级抽气泵的容量从而其尺寸显著地小于第一与第二实施形式的。这是由于借助这些另加的泵送段，上述各复式泵可以在10mbar以上的压力下排出流体。对比之下，第一与第二实施形式的复式泵通常是在约1～10mbar的压力下排出流体，从而可以显著减小初级抽气泵105的尺寸。可以期望这种尺寸减小在某些质谱仪系统中可以达到5～10倍而不会降低系统的效率。这也可降低泵送设备的总的功率消耗。
当应用这种在Holweck机构114下游另设有泵送级的设备时，取决于效率与功率要求，可能只需将复式泵102、104中之一与最高压力室12连接。或者可将至少一个入口202设在Holweck机构114与该另设的泵级之间，以使通过此入口进入此复式泵的流体不通过Holweck机构114。
作为减小初级抽气泵105尺寸的另一种方法可以是将多个分别用于抽空相应质谱仪系统的泵送设备接附到一个初级抽气泵上，这对于这些质谱仪系统而言便减小了所有泵送设备的总体尺寸。
图4所示泵送设备300的第三实施形式提供了相似的优点，它也适用于通过复式的多口泵从差动泵送质谱仪系统排空到接近大气压力将99％以上的总的质量流抽空。
此泵送设备300包括一类似于第二实施例中复式泵102的第一复式泵。简单地说，复式泵102包括一内部安装有驱动轴108的多部件体106。此轴108由马达(未图示)例如绕此轴设定的无刷DC马达带动转动。轴108安装在相对的两个轴承(未图示)上。例如驱动轴108可由混合式永磁轴承与油润滑轴承系统支承。复式泵102包括至少三个泵送段110、112、114。第一泵送段110与第二泵送段112各可包括一组涡轮分子级，或者此第二泵送段112可以通过不同的分子泵送机构如外螺纹的或螺旋式转子提供。在图4所示实施形式中，各组涡轮分子级可包括周知角状结构的四个转子叶片与四个定子叶片。本例中，这些转子叶片与驱动轴108成为一体。第三泵送段114取分子牵引机构例如Holweck牵引机构的形成。在此实施形式中，Holweck机构包括一或多个转筒和其中以实际上为周知方式形成有螺旋槽的环形定子。这些转筒最好由碳纤维材料形成，安装于位在驱动轴108之上的盘件116上。本例中，此盘件116也与驱动轴108成为一体。Holweck机构114的下游是泵的出口118。
如图4所示，复式泵102有三个入口。第一的低流体压力入口120位于这些泵送段的上游。第二的即中间流体压力入口122位于第一泵送段110和第二泵送段112之间。第三的即较高流体压力的入口202则位于Holweck机构114的各个级的上游或如图4所示位于这些级之间，此使此Holweck机构的所有级与该第一和第二入口120、122流体通道，而在图4所示的设备中则只是一部分(一或多个)级与第三入口202流体通连。
上述泵送设备300还包括一第二复式泵302，第二复式泵302的泵件304中安装着驱动轴306。由围绕轴306定位的马达308带动轴306转动。轴306安装在两个相对的轴承(未图示)上。
复式泵302包括两个泵送段312、314。第一泵送段312取分子牵引机构例如一般形成于体部304上部中的Holweck牵引机构的形式。第二泵送段314则取决于此Holweck机构312下游的气动再生级的形式。
第二复式泵304同样有三个入口。第一即低流体压力入口316位于所有泵送段的上游。第二即中间流体压力入口318在Holweck机构312的各级之间，使得此Holweck机构的所有级与第一入口316流体通连，而在图4所示设备中则只有部分(一或多个)级与第二入口318流体通连。此第三即较高压力入口320则可位于Holweck机构312与再生级314之间。
工作中，第一复式泵102的第一入口120连接高真空的最低压力室10，第一复式泵102的第二入口122连接中等压力接口室16，第二复式泵302的第一入口316连接较高压力接口室14，而第一复式泵102的第三入口202与第二复式泵302的第二入口318两者则都经导管322与最高压力接口室12连接，以对此接口室进行并联泵送。第二复式泵302的第三入口320与第一复式泵102的出口118连接。
从最低压力室10通过第一复式泵102的第一入口120的流体进入泵102内，通过第一泵送段110、通过第二泵送段112、通过Holweck机构114的所有槽，经由泵的出口118自泵102排出，再通过第二复式泵的再生级314在或接近大气压力下经出口由泵302排出。这样，此最低压力室10便为此第一与第二复式泵102、302两者一系列相连接的级抽空。
中等压力接口室16类似地由第一与第二复式泵102、302两者一系列的相连级抽空。从此中间压力接口室16通过第一复式泵102的第二入口122的流体进入泵102，通过第二泵送段112、通过Holweck机构114的所有槽，经由泵的出口118自泵102排出，再通过第二复式泵302的再生级而经出口324在或接近大气压力下从泵302排出。
如较早以前所述，此最高压力接口室12可以通过将其连接第一与第二复式泵102、302的不相似入口并联地抽空。从最高压力接口室12通过第一复式泵102的第三入口202进入泵102，只通过Holweck机构114的一部分经泵的出口118从泵102排出，通过第二复式泵302的再生级314而由出口324自泵302排出。从最高压力接口室12通过第二复式泵304的第二入口318进入泵302，只通过Holweck机构312的一部分，通过再生级314经出口324从泵302排出。
从高压力接口室16通过第二复式泵302的第一入口316进入泵302，通过Holweck机构312与再生级314而经由出口324从泵302排出。
本例中，工作时接口室12是在约1～10mbar的压力下，接口室14是在约10-3～10-2mbar的压力下，接口室16是在约10-5～10-4mbar的压力下，而高真空室10是在约10-7～10-6mbar压力下，在此实施形式中，复式泵302是在或约在大气压力下排空流体。这样就能省除第一与第二实施形式中的初级抽气泵。
与前面参考图3所描述的实施形式类似，取决于效率与功率的要求，有可能只需将复式泵102、302中之一连接该最高压力室12。

Claims (33)

1.差动泵送真空系统，它包括多个压力室以及连接有用于抽空这些室的泵送设备，此泵送设备包括第一与第二复式泵，各具有至少一个第一入口、第二入口、第一泵送段与在此第一泵送段下游的第二泵送段，这些段设置成使得从第一入口进入泵的流体通过第一与第二泵送段，而使得从第二入口进入泵的流体只通过所述段中的第二段，其中这两个泵之一的第二入口与另一个泵的第一入口连接共用压力室的出口或各相应出口，使得工作时此第一复式泵与第二复式泵并联地抽空所述压力室之一。
2.权利要求1的系统，其中此第一泵的第一入口连接第一的较低压力室的出口，而此第一泵的第二入口与第二泵的第一入口则连接共用较高压力室的出口或各相应出口。
3.权利要求2的系统，其中此第一泵的第二入口与第二泵的第一入口连接第二的中等压力室的出口或各相应出口，而此第二泵的第二入口则连接第三的较高压力室的出口。
4.上述任一项权利要求的系统，其中此第一与第二泵送段的至少一个包括至少一个涡轮分子级。
5.上述任一项权利要求的系统，其中此第一与第二泵送段包括至少一个涡轮分子级。
6.上述任一项权利要求的系统，其中此第一与第二泵送段具有不同尺寸。
7.上述任一项权利要求的系统，其中至少此第二复式泵包括有在该第二泵送段下游的第三泵送段，这些段设置成使得从该第一入口进入上述泵内的流体通过此第一、第二与第三泵送段，而从该第二入口进入上述泵内的流体则只通过这几个段中的第二与第三泵送段。
8.权利要求7的系统，其中的第三泵送段包括多级式分子牵引机构。
9.权利要求8的系统，其中此分子牵引机构是具有排列成一批螺旋形的许多槽的多级式Holweck机构。
10.权利要求7或9的系统，其中至少是此第二复式泵包括有用于从第四压力室接收流体的第三入口，而这些泵送段则设置成使得从此第四室进到流泵的流体只通过所述各段中的第三泵送段。
11.权利要求10的系统，其中此第三泵送段设置成使得从第三入口通过其内的流体可以依循一条不同于从第二入口通过其内的流体的路径。
12.权利要求11的系统，其中此第三泵送段设置成使得从第三入口通过其内的流体只依循从第二入口通过其内的流体的路径的一部分。
13.权利要求10～12中任一项的系统，其中各复式泵已将所述第三入口设置成接收第四压力室的流体，而这些复式泵则布设成使得第一复式泵与第二复式泵并联地抽空第四压力室。
14.权利要求13的系统，其中各所述第三入口连接导管装置用以使来自第四压力室的出口的流体输送到其内。
15.权利要求7～14任一项的系统，其中至少是第二复式泵包括有在第三泵送段下游的另一泵送段。
16.权利要求15的系统，其中此另一泵送段包括气动泵送机构。
17.权利要求16的系统，其中此气动泵送机构包括再生级。
18.权利要求1～14中任一项的系统，其中包括另一压力室，具有与初级抽气泵直接连接的出口，用于接收从这些复式泵排出的流体。
19.权利要求1～17中任一项的系统，其中这些复式泵设置成使得该质谱仪的最高压力室并联地被抽空。
20.权利要求2的系统，其中此第二泵的第二入口连接该第一泵的出口。
21.权利要求20的系统，其中此第二泵的第二泵送段设置成在或约在大气压力下排空流体。
22.权利要求20或21的系统，其中此第二泵的第二泵送段包括气动泵送机构。
23.权利要求22的系统，其中此气动机构包括再生级。
24.权利要求19～23中任一项的系统，其中此第二泵的第一泵送段包括分子牵引机构。
25.权利要求19～24中任一项的系统，其中此第一泵的第二泵送段包括分子牵引段。
26.权利要求19～25中任一项的系统，其中此第一泵的第一泵送段至少一个涡轮分子级。
27.权利要求19～26中任一项的系统，其中此第一与第二泵中至少一个包括在其第一入口上游的另一入口。
28.权利要求27的系统，其中此第一泵包括位于上述另一入口与该第一入口之间的另一泵送段。
29.权利要求28的系统，其中此另一泵送段包括至少一个涡轮分子级。
30.差动泵送真空系统，它包括多个压力室以及连接有用于抽空这些室的泵送设备，此泵送设备包括第一与第二复式泵，各具有至少一个第一入口、第二入口、第一泵送段与在此第一泵送段下游的第二泵送段，这些段设置成使得从第一入口进入泵的流体通过第一与第二泵送段，而使得从第二入口进入泵的流体只通过所述段中的第二段，其中此第一泵的第一入口连接一第一较低压力室的出口，此第一泵的第二入口连接一第二中等压力室的出口，此第二泵的第一入口连接一第三较高压力室的出口，此第二泵的第二入口连接此第一泵的出口，且其中的第二泵的第二泵送段设置成在或约在大气压力下将流体排空。
31.上述任一项权利要求的系统，其中各复式泵所包括的驱动轴上对于各个泵送段安装有至少一个转子件。
32.上述任一项权利要求的系统，其中所述多个压力室构成质谱仪的一部分。
33.差动抽空多个压力室的方法，此方法包括下述步骤：提供泵送设备，此设备包括的第一与第二复式泵各个有至少第一入口、第二入口、第一泵送段及其下游的第二泵送段，所述段设置成使得从此第一入口流入泵的流体通过此第一与第二泵送段而从此第二入口进入该泵的流体则只通过所述两段中的第二段；将这些复式泵的入口与所述压力室通连，使得这两个泵之一的第二入口与另一泵的第一入口连通一共用压力室的出口或各相应出口，使之在使用过程中该第一复式泵与第二复式泵并联地抽空所述压力室之一。
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