CN1939841B

CN1939841B - 废液的处理方法及处理设备

Info

Publication number: CN1939841B
Application number: CN200610142195.9A
Authority: CN
Inventors: 立石文则
Original assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Current assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date: 2005-09-28
Filing date: 2006-09-27
Publication date: 2012-12-12
Anticipated expiration: 2026-09-27
Also published as: CN1939841A; US20070068877A1; US7910007B2

Abstract

本发明目的是在对废液进行冷却时，提供通过冷却来安全处理废液的机制，且不增加成本，不使用大的设备的。提出废液的处理方法，该方法中，将化学液体从化学液体供应部分供给化学处理部分；水从水供应部分供给水处理部分；使从化学液体处理部分排出的第一废液通过废化学品部分流入内管，同时从水处理部分排出的第二废液流经废水处理部分进入外管，所述外管在内管的外部；第二废液的温度低于第一废液的温度。

Description

废液的处理方法及处理设备

技术领域

本发明涉及对以制造半导体器件的制造设备为代表的制造设备产生的废液进行处理的方法，还涉及处理设备。

背景技术

举例来说，在制造如薄膜晶体管(TFT)的半导体器件的工艺中，制造设备产生的废液必须进行处理。生产厂每天产生大量的废液，而废液的处理方法对工厂的运转成本有很大的影响。参考文献1提出一种显影设备的基材处理系统，产生自该显影设备的诸如显影溶液和清洗水的废液在不同系统的不同管道中进行处理(参考文献1：日本专利申请公报No.2003-229356)。此外，存在这样的情况，即通过使用转换阀，使一个设备产生的废液流向不同系统中的不同管道(例如，参考文献2：日本专利申请公报No.H7-78799)。

在安全方面，存在用加倍的管道处理废液的情况(例如，参考文献3：日本专利申请公报No.2000-88148)。参考文献3提出了一种双管系统，该系统中，外管道设置在主管周围。这种情况下，废液只在内部的主管中流动，而在外部的外管有一孔洞。提供外管是为了避免从主管泄漏的危险。

有一种情况是，废液必须冷却到能为废液收集槽接受的温度，因为有些制造工艺产生高温的废液。这种情况下，需要一种制备管道的方法，使其比自然冷却废液所需的长度更长，另外在制造设备上提供用于冷却废液的冷却装置等。在参考文献4中，在设备中另外提供有用于冷却废液的冷却盘管的预冷却槽(参考文献4：日本专利申请公报No.H6-132272)。

发明内容

如上面所述，在测量高温废液时，需要额外投资用于加长管道比所需长度更长，另外提供冷却装置等。此外，一直存在设备尺寸增大的问题。对处理有害废液的情况，提出采用双管以确保安全的方法。然而，由于外管有孔洞，构成了被浪费的空间，因此成本增加，设备无法最小化。另外提供的冷却装置或使用双管都增加了成本并使设备体积增加。

因此，在处理废液时，本发明的一个目的是安全处理废液，且不增加成本，不使用大的设备。

本发明的废液处理方法的一个特点是，使用在外管内部有一内管的双管，第一废液流动通过双管的内管时，使温度低于第一废液的第二废液在内管的外壁与外管的内壁之间流动。

本发明的废液处理方法的一个特点是，该方法包括下面的步骤：将第一处理液体从第一处理液体供应部分供给第一处理部分；将第二处理液体从第二处理液体供应部分供给第二处理部分；使从第一处理部分排出的第一废液流动通过第一废液部分，至位于双管内部的内管；使从第二处理部分排出的第二废液流动通过第二废液部分，至位于双管的内管外壁与外管内壁之间的部分。

本发明的废液处理方法的一个特点是，该方法包括下面的步骤：将第一处理液体从第一处理液体供应部分供给第一处理部分；将第二处理液体从第二处理液体供应部分供给第二处理部分；使从第一处理部分排出的第一废液流动通过第一废液部分，至位于双管内部的内管；使从第二处理部分排出的第二废液流动通过第二废液部分，至位于双管的内管外壁与外管内壁之间部分；其中，第二废液开始从第二处理部分排出时的温度低于第一废液，第二废液包含第一处理液体，所述第一处理液体被第二处理液体中包含的溶剂稀释。

本发明的废液处理方法的一个特点是，通过使用第一转换阀，使第一废液流入内管；使用第二转换阀，使第二废液在内管的外壁与外管的内壁之间流动；使用内管中的阀暂时储存第一废液。

本发明的废液处理方法的一个特点是，通过使用第一转换阀，使第一废液流入内管；使用第二转换阀，使第二废液在内管的外壁与外管的内壁之间流动；使用在内管的外壁与外管的内壁之间的阀，暂时储存第二废液。

本发明的废液处理方法的一个特点是，通过使用第一转换阀，使第一废液流入内管；使用第二转换阀，使第二废液在内管的外壁与外管的内壁之间流动；使用内管中的第一阀，暂时储存第一废液；使用在内管的外壁与外管的内壁之间的第二阀，暂时储存第二废液。

本发明的废液处理方法的一个特点是，在第一处理液体供应部分对第一处理液体进行温度控制。

本发明的废液处理方法的一个特点是，由在外管内壁或在内管外壁上的浓度感应器检测包含在第二废液中的第一处理液体的浓度。

本发明的废液处理设备的一个特点是，该设备包括：第一处理部分；第二处理部分；向第一处理部分供应第一处理液体的第一处理液体供应部分；向第二处理部分供应第二处理液体的第二处理液体供应部分；对从第一处理部分排出的第一废液进行处理的第一废液部分；对从第二处理部分排出的第二废液进行处理的第二废液部分；包括内管和外管的双管，所述内管与第一废液部分相连，并且第一废液流动通过该内管，所述外管与第二废液部分相连，并位于内管外部，第二废液流动通过该外管。

本发明的废液处理设备的一个特点是，该设备包括：第一处理部分；第二处理部分；向第一处理部分供应第一处理液体的第一处理液体供应部分；向第二处理部分供应第二处理液体的第二处理液体供应部分；对从第一处理部分排出的第一废液进行处理的第一废液部分；对从第二处理部分排出的第二废液进行处理的第二废液部分；包括内管和外管的双管，所述内管与第一废液部分相连，并且第一废液流动通过该内管，所述外管与第二废液部分相连，并位于内管外部，第二废液流动通过该外管；其中，第二废液开始从第二处理部分排出时的温度低于第一废液，第二废液包含第一处理液体，所述第一处理液体被第二处理液体中包含的溶剂稀释。

本发明的废液处理设备的一个特点是，该设备包括：处理部分；向处理部分供应第一处理液体的第一处理液体供应部分；向处理部分供应第二处理液体的第二处理液体供应部分；包括内管和外管的双管，所述内管与处理部分相连，从处理部分排出的第一废液流动通过该内管，所述外管与处理部分相连，并位于内管外部，第二废液流动通过该外管。

本发明的废液处理设备的一个特点是，该设备包括：处理部分；向处理部分供应第一处理液体的第一处理液体供应部分；向处理部分供应第二处理液体的第二处理液体供应部分；包括内管和外管的双管，所述内管与处理部分相连，从处理部分排出的第一废液流动通过该内管，所述外管与处理部分相连，并位于内管外部，从处理部分排出的第二废液流动通过该外管；其中，第二废液开始从第二处理部分排出时的温度低于第一废液，第二废液包含第一处理液体，所述第一处理液体被第二处理液体中包含的溶剂稀释。

本发明的废液处理设备的一个特点是，在处理部分与双管之间有第一转换阀和第二转换阀，并且双管的外管和内管中至少一个有一个阀。

本发明的废液处理设备的一个特点是，第一处理液体供应部分包括一个温度控制部分。

本发明的废液处理设备的一个特点是，在外管的内壁或内管的外壁上有浓度感应器。

本发明中，通过使温度低于流过内管的废液温度的废液流动通过外管，可以冷却在内管流动的废液。此外，采用双管结构，可以降低诸如有害化学品泄漏的危险。

本发明中，将通常经过处理而不再被利用的废水再利用为冷却介质，这样可以降低冷却的成本。此外，由于不必重新提供再利用废水的冷却装置，可以有效和安全地收集和处理高温的废弃化学品，而不会增加成本。此外，通过使废水流动通过双管的外管来冷却流动通过内管的废液，不经济地延长冷却用管道的要求可以被取消。

附图说明

附图中：

图1示出本发明的一种废液处理方法。

图2A和2B示出本发明的一种废液处理方法。

图3示出本发明的一种废液处理方法。

图4A和4B是本发明双管结构的截面图。

图5A和5B示出本发明的一种废液处理方法。

图6A和6B示出实施本发明的一种废液处理方法的处理设备。

图7示出实施本发明的一种废液处理方法的处理设备。

图8A和8B示出实施本发明的一种废液处理方法的处理设备。

具体实施方式

参照附图说明本发明。本领域的技术人员能容易地理解，本发明不限于下面的描述，在不偏离本发明精神和范围的前提下可以在形式和细节上进行变化。因此，本发明不应限于下面实施方式的描述。附图中同样的标号通常表示同样的部件或具有同样功能的部件，并省略对其的详细说明。实施方式1至4可以相互自由组合。

实施方式1

参见图1至4B，实施方式1描述了一种废液处理方法和处理设备，其中，使温度低于流过内管的废液温度的废液流动通过外管。

图1示出处理设备101。该处理设备101包括：化学液体供应部分104，该部分将化学液体供给化学液体处理部分102，该处理部分102对化学液体进行处理；废弃化学品部分106，该部分对从化学液体处理部分102排出的废液进行处理；水供应部分105，该部分将水供应给水处理部分103，该处理部分103用水进行处理；废水部分107，该部分对从水处理部分103排出的废液进行处理。此外，处理设备101包括双管(未示出)，从化学液体处理部分102排出的废液以及从水处理部分103排出的废液流入该双管。应注意，处理设备101的结构不限于图1所示的结构，处理设备101可以包括多个化学液体处理部分或多个水处理部分。

这种实施方式中，在化学液体处理部分102，可以进行诸如湿蚀刻、显影或剥膜(剥离)的处理。因此，从化学液体处理部分102排出的废液含有化学液体。

这种实施方式中，在水处理部分103，可以对例如已经在化学液体处理部分进行处理的基片进行诸如清洗的处理。这种情况下，从水处理部分103排出的废液含有的化学液体的浓度低于从化学液体处理部分102排出的废液的浓度。在水处理部分103，对在化学液体处理部分102进行处理之前的基片等进行清洗，这种情况下，从水处理部分103排出不含化学液体的污水作为废液。

这种实施方式中，从水处理部分103排出的废液的温度必须低于从化学液体处理部分102排出的废液的温度。可以使用自来水或通过除去悬浮物或杂质制成的蒸馏水(即纯水)，作为从水供应部分105供给水处理部分103的水。对于半导体器件的制造设备，优选使用纯水。

在化学液体供应部分104(图1)中有温度控制部分108，用来控制化学液体的温度。这种实施方式中，对下面的情况进行描述，即将通过温度控制部分108预先控制在高温的化学液体供给化学液体处理部分102，对从该化学液体处理部分102排出的废液进行处理；但是，提供温度控制部分108并不是必需的。本发明还可应用于以下情况，在化学液体处理部分102引发放热的化学反应，并处理因此而具有高温的废液。换句话说，只要从化学液体处理部分102排出的废液温度高于从水处理部分103排出的废液的温度，就可以进行本发明。

作为处理设备101，可以使用图2A所示的设备。图2B是图2A中虚线A-B所示部分的示意剖面图。在这种实施方式中，在废水部分107内有废化学品部分106。这样，形成了双管111，从废化学品部分106的排放管延伸的内管112被从废水部分107的排放管延伸的外管113包覆(图2A和2B)。即，内管112在外管113的内部。

这种实施方式中，将由温度控制部分108控制在高温的化学液体从化学液体供应部分104供给化学液体处理部分102，并在化学处理部分102中进行处理。然后，用从水供应部分105供给的水在水处理部分103中进行处理。或者，在水处理部分103进行处理，然后在化学液体处理部分102中进行处理。处理的顺序可根据目的适当改变。

接下来，从化学液体处理部分102排出的废液以及从水处理部分103排出的废液并流进入双管111，分别通过废化学品部分106和废水部分107。换句话说，从化学液体处理部分102排出的废液流入内管112，从水处理部分103排出的废液流入外管113，即外管113的内壁与内管112的外壁之间的空间。这种实施方式中，流动通过外管113的废液的温度低于开始从水处理部分103排出时流动通过内管112的废液的温度。因此，流动通过内管112的废液被流动通过外管113的废液冷却。

图3是图2A所示的废化学品部分106、废水部分107、内管112和外管113这些部分的示意剖面图。如图3所示，废化学品部分106和废水部分107包括有一坡度的废化学品排放盘109和有另一坡度的废水排放盘110。本文中，排放盘指一斜面板，该板将从各处理部分排出的废液引导至内管或外管，并且使废液平稳流入各管。或者，处理部分与双管111直接相连，不提供排放盘。

对于双管111的内管112和外管113的形状，管截面可以是图4A所示的圆形，或者是图4B所示的多边形。管截面具有图4A所示的圆形，但是，可以是椭圆形。此外，管截面是图4B所示的四边形；然而，不限于四边形，可以是多边形，如三角形或五边形。

通过使温度低于流过内管112的废液温度的废液流动通过外管113，可以冷却流动通过内管112的废液。此外，采用双管结构，可以降低诸如有害化学品泄漏的危险。

此外，将通常经过处理而不再被利用的废水再利用为冷却介质，这样可以降低冷却的成本。此外，由于不必重新提供再利用废水的冷却装置，可以有效和安全地收集和处理高温的废化学品，而不会增加成本。此外，通过使废水流动通过双管的外管来冷却在内管流动的废液，可以取消不经济地延长冷却用管道的要求。

实施方式2

实施方式2描述了在废液处理设备和废液处理方法中在外管提供浓度感应器的情况，其中，使温度低于流过内管的废液温度的废液流动通过外管。

在双管结构的外管113的内壁上提供至少一个浓度感应器114(图5A和5B)。图5B是图5A的剖面图。在处理设备中，浓度感应器114能检测流动通过外管113的废液，并观察内管112中流动的废液是否混入在外管113中流动的废液中。浓度感应器114是一种能报警的器件，例如，根据内管112中流动的废化学品的组成发出警报。例如，可以在内管112的外壁上或在外管113的内壁上提供浓度感应器114，只要浓度感应器114能观察到流过外管113中的废液的浓度。浓度感应器114需要固定，以免随废液流动。

对于浓度感应器114响应的浓度值，考虑到在处理期间可能的混合量，确定一个参考浓度值。在流经外管113的废液中检测到在内管112中流动的废液所包含的化学品的浓度，且该浓度等于或大于参考浓度值时，就可以判断废化学品从内管112发生了泄漏，并对此发出警报。

在双管结构情况中，由于不能从外部观察到从内管的泄漏，因此所述响应很可能是滞后的。但是，如同在这种实施方式中那样，通过提供浓度感应器，可以较早检测到泄漏。此外，在本发明的双管结构中，因为液体还流动通过外管，通过在外管的下部只提供一个用于液相的浓度感应器，就能观察到整个管道的泄漏情况。

注意到，这种实施方式可以与其他实施方式自由组合。

实施方式3

实施方式3结合附图描述了一种间歇型处理设备。

图6A和6B示出实施本发明的废液处理方法的间歇型处理设备的结构。图6B是图6A的示意俯视图。

间歇型处理设备包括：工作站201、化学液体处理槽205、水处理槽206、包括臂卡具204的自动装置203、废液处理部分207。臂卡具204由自动装置203控制。

首先，将处理对象202移入工作站201，使用臂卡具204，移入化学液体处理槽205。然后，在化学液体处理槽205中，使用化学液体对处理对象202进行处理。例如，对于湿蚀刻设备，在化学液体处理槽205内，用氟化酸、草酸等对处理对象202进行蚀刻处理。在剥膜(剥离)设备中，化学液体处理槽205例如有两个化学液体处理槽，即剥膜(剥离)溶液槽和异丙醇(IPA)槽，在这两个化学液体处理槽的每个槽中对处理对象202进行剥膜(剥离)处理。

接下来，用臂卡具204，将处理对象202移入水处理槽206中。在水处理槽206中，对已经在化学液体处理槽205中进行过处理的处理对象202进行诸如清洗的处理。

将一定量的控制了温度的化学液体持续供给化学液体处理槽205，并且化学液体始终溢流。当转入了处理对象202时，有一定体积的处理对象202的化学液体进一步溢流。向水处理槽206持续供给一定量的水，使水始终处于溢流状态。当转入了处理对象202时，含有一定体积的处理对象202的水进一步溢流。

从化学液体处理槽205溢流的废化学品以及从水处理槽206溢流的废水流入废液处理部分207。类似于图2A，废液处理部分207具有废化学品部分和废水部分。与实施方式1类似，从化学液体处理槽205溢流的废化学品通过废化学品部分后流入双管的内管，而从水处理槽206溢流的废水通过废水处理部分后流入双管的外管。

这种实施方式中，温度低于流经内管的废液温度的废液流动通过外管。因此，流经内管的废液被流经外管的废液冷却。此外，由于这种双管结构，可以降低诸如有害化学品泄漏的危险。

实施方式4

实施方式4结合附图描述一种单晶片设备。

图7所示是一种作为单晶片设备的一个例子的旋涂设备的结构，该设备采用了本发明的废液处理方法。

这种实施方式的旋涂设备上有水供应部分301和化学液体供应部分302，它们分别有用来排放水的水排放喷嘴303和用来排放化学液体的化学液体排放喷嘴304。化学液体供应部分302可以有温度控制功能，以控制化学液体的温度。

首先，将处理对象305定位于旋转台306上，该旋转台在一杯形物(也称作处理部分)307中。这种实施方式中，所述杯形物307对应于化学液体处理部分和水处理部分。接下来，将化学液体排放喷嘴304排出的化学液体施涂在处理对象305上，同时，位于旋转台306上的处理对象305以最佳旋转速度旋转。在处理对象上进行施涂后，此步骤产生的废化学品流入内管312。

接下来，使用来自水排放喷嘴303的水对处理对象进行清洗。然后，该清洗处理产生的废水流入外管311。

这种实施方式中，与上面所述的实施方式不同，化学液体和水的处理都可以在杯形物307中进行。因此，提供转换阀308，分别使废化学品流入双管的内管312，废水流入双管的外管311。

图8A和8B是图7中的转换阀的示意俯视图。在从化学液体排放喷嘴304排出化学液体，然后使废化学品流入内管312的情况中，将转换阀308切换到外侧，以关闭外管311的进口，打开内管312的进口，如图8A所示。在从水排放喷嘴303排出水，然后使废水流入外管311的情况中，将转换阀308切换到内侧，以关闭内管312的进口，打开外管311的进口，如图8B所示。因此，废化学品流入内管312，废水流入外管311。

与上面所述的实施方式不同，在这种实施方式中，废化学品和废水在不同时间各自流入双管。因此，在废化学品通过内管的同时，废水不通过外管，反之亦然。因此，存在废化学品不被冷却的可能。为解决此问题，如图7所示，在本实施方式的旋涂设备中，在外管311的内侧提供外管槽阀309，在内管312的内侧提供内管槽阀310。

这种实施方式中，当化学液体从化学液体排放喷嘴304排出时，转换阀308切换到外侧，使废化学品流入内管312。然后，内管槽阀310关闭，暂时储存废化学品。当水从水排放喷嘴303排出时，转换阀308切换到内侧，使废水流入外管311。然后，外管槽阀309关闭，暂时储存废水。之后，同时打开外管槽阀309和内管槽阀310，对废液进行处理。利用外管槽阀309和内管槽阀310，可以对废化学品和废水进行有效冷却。

外管槽阀309和内管槽阀310不必都提供，可以提供其中任意一个。这种情况下，制造这样的结构，使废液储存在管道的端部，管道上有槽阀。例如，在只有外管槽阀309的情况下，来自水排放喷嘴303的废水储存在外管311中，当从化学品排放喷嘴304产生的废化学品流入内管312时，外管槽阀309打开。在只有内管槽阀310的情况中，来自化学液体排放喷嘴304的废化学品储存在内管312中，当从水排放喷嘴303产生的废水流入外管311时，内管槽阀310打开。或者，可以同时提供外管槽阀309和内管槽阀310，但可以只使用其中一个槽阀。

这种实施方式中，温度低于流过内管的废液温度的废液流动通过外管。因此，流经内管的废液可以被流经外管的废液冷却。此外，采用双管结构，可以降低诸如有害化学品泄漏的危险。

本申请基于2005年9月28日提交的日本专利申请No.2005-281869，该申请的内容参考结合于本文。

Claims

1.一种废液处理方法，该方法包括下面的步骤：

将第一处理液体从第一处理液体供应部分供给第一处理部分；

将第二处理液体从第二处理液体供应部分供给第二处理部分；

使从第一处理部分排出的第一废液流动通过第一废液部分，至位于双管内部的内管；以及

使从第二处理部分排出的第二废液流动通过第二废液部分，至位于双管的内管外壁与外管内壁之间的部分。

2.一种废液处理方法，该方法包括下面的步骤：

使从所述第一处理部分排出的第一废液流动通过双管的内管；

当第一废液流动通过内管时，使从所述第二处理部分排出的第二废液在双管的内管外壁与外管内壁之间流动，所述第二废液的温度低于所述第一废液的温度，其中，

所述内管在外管的内部。

3.如权利要求2所述的废液处理方法，其特征在于，通过使用转换阀，使第一废液流入内管；通过使用该转换阀，使第二废液在内管外壁与外管内壁之间流动；以及通过使用内管中的阀，暂时储存第一废液。

4.如权利要求2所述的废液处理方法，其特征在于，通过使用转换阀，使第一废液流入内管；通过使用该转换阀，使第二废液在内管外壁与外管内壁之间流动；以及通过使用在内管外壁与外管内壁之间的阀，暂时储存第二废液。

5.如权利要求2所述的废液处理方法，其特征在于，通过使用转换阀，使第一废液流入内管；通过使用该转换阀，使第二废液在内管外壁与外管内壁之间流动；通过使用内管中的第一阀，暂时储存第一废液；以及通过使用在内管外壁与外管内壁之间的第二阀，暂时储存第二废液。

6.一种废液处理方法，该方法包括下面的步骤：

使从第一处理部分排出的第一废液流动通过第一废液部分，至包含在双管内且位于双管内侧的内管；以及

使从第二处理部分排出的第二废液流动通过第二废液部分，至位于双管的内管外壁与外管内壁之间的部分，其中，

第二废液开始从第二处理部分排出时的温度低于第一废液，

第二废液包含第一处理液体，所述第一处理液体被第二处理液体中包含的溶剂稀释。

7.如权利要求1、2和6中任一权利要求所述的废液处理方法，其特征在于，在第一处理液体供应部分对第一处理液体进行温度控制。

8.如权利要求1、2和6中任一权利要求所述的废液处理方法，其特征在于，由在外管内壁或在内管外壁上的浓度感应器监测包含在第二废液中的第一处理液体的浓度。

9.一种处理设备，包括：

第一处理部分；

第二处理部分；

向第一处理部分供应第一处理液体的第一处理液体供应部分；

向第二处理部分供应第二处理液体的第二处理液体供应部分；

对从第一处理部分排出的第一废液进行处理的第一废液部分；

对从第二处理部分排出的第二废液进行处理的第二废液部分；以及

包括内管和外管的双管，

所述内管与第一废液部分相连，并且第一废液流动通过该内管；

所述外管与第二废液部分相连，并位于内管外部，第二废液流动通过该外管。

10.一种处理设备，包括：

第一处理部分；

第二处理部分；

包括内管和外管的双管，

所述内管与第一废液部分相连，并且第一废液流动通过该内管，

所述外管与第二废液部分相连，并位于内管外部，第二废液流动通过该外管；

第二废液开始从第二处理部分排出时的温度低于第一废液，第二废液包含第一处理液体，所述第一处理液体被第二处理液体中包含的溶剂稀释。

11.一种处理设备，包括：

处理部分；

向处理部分供应第一处理液体的第一处理液体供应部分；

向处理部分供应第二处理液体的第二处理液体供应部分；以及

包括内管和外管的双管，

所述内管与处理部分相连，从处理部分排出的第一废液流动通过该内管，

所述外管与处理部分相连，并位于内管外部，第二废液流动通过该外管。

12.一种处理设备，包括：

处理部分；

向处理部分供应第一处理液体的第一处理液体供应部分；

包括内管和外管的双管，

所述外管与处理部分相连，并位于内管外部，从处理部分排出的第二废液流动通过该外管，

第二废液开始从处理部分排出时的温度低于第一废液，第二废液包含第一处理液体，所述第一处理液体被第二处理液体中包含的溶剂稀释。

13.如权利要求11或12所述的处理设备，其特征在于，

在处理部分与双管之间设有第一转换阀和第二转换阀，

双管的外管和内管中至少一个有一个阀。

14.如权利要求11或12所述的处理设备，其特征在于，第一处理液体供应部分包括一个温度控制部分。

15.如权利要求11或12所述的处理设备，其特征在于，在外管内壁或内管外壁上有浓度感应器。