CN1893100A - 固体摄像元件及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供固体摄像元件及其制造方法。在具备在半导体基板上形成为矩阵状的多个受光元件、和分别对应于多个受光元件的多个彩色滤光器(10)的固体摄像元件中，彩色滤光器(10)由在多个受光元件的上层淀积着色粒子(12)而形成的着色膜(8)、和填充在着色粒子(12)之间的间隙中的树脂形成。填充在着色粒子(12)之间的间隙中的树脂(9)可以是透明的，也可以被着色。
Description
技术领域
本发明涉及固体摄像元件及其制造方法。
背景技术
近年，固体摄像元件被用作数字静态照相机或数字视频摄像机的摄像元件，或者被用作传真机、扫描器、复印机的图像读取元件，其需求正在扩大。作为主要的固体摄像器件，众所周知的是MOS型固体摄像元件、或CCD(coupled charged device：电子耦合器件)型固体摄像元件。另外，近年，在多数情况下，这些固体摄像元件为了获取彩色图像而具备彩色滤光器。
图5是表示以往的固体摄像元件的构成的部分剖面图。图5所示的固体摄像元件是CCD型固体摄像元件。如图5所示，固体摄像元件具备在半导体基板21上布置成矩阵状的多个光电二极管22。另外，光电二极管22的垂直方向的每列设置有垂直传送部23。
在图5的例中，半导体基板21是p型硅基板，光电二极管22是n型的半导体区域。垂直传送部23具备沿着光电二极管22的垂直方向的列而形成的沟道区域23b、和设置在沟道区域23b上的传送电极23a。传送电极23a由绝缘膜24覆盖。
另外，在各光电二极管22的上层，间隔着第1平坦化膜25，形成有层内微透镜26。而且，在层内微透镜26的上层，间隔着第2平坦化膜27，形成有彩色滤光器28a～28c。彩色滤光器28a～28c对每个光电二极管22形成，而且布置成矩阵状，构成彩色滤光器阵列。
在图5的例中，彩色滤光器28a是绿色(G)的彩色滤光器、彩色滤光器28b是蓝色(B)的彩色滤光器、彩色滤光器28c是红色(R)的彩色滤光器。另外，一个彩色滤光器对应于一个光电二极管22的受光面，对各光电二极管22仅入射红色光、蓝色光、以及绿色光中的任意一个。
而且，替代使用这样原色的彩色滤光器，有时也用由青色(C)、品红色(MG)、黄色(Y)、绿色(G)的组合构成的补色彩色滤光器。另外，作为彩色滤光器28a～28c的形成方法可以列举染色法、光致抗蚀法等。而且，作为使用在后者光致抗蚀法中的抗蚀剂可以列举颜料分散抗蚀剂、染料分散抗蚀剂等。
另外，在彩色滤光器28a～28c的上层，间隔着第3平坦化膜29，形成口径比层内微透镜26更大的微透镜30。微透镜30也按每个光电二极管22形成矩阵状。图1所示的固体摄像元件中，外部的光通过微透镜30和层内微透镜26这两个透镜，经两级聚光后入射到各光电二极22中。因而，在图5所示的固体摄像元件中，未实现对于从倾斜方向入射的光的灵敏度的提高。
但在固体摄像元件的领域中，为了提高分辨率，有逐年增加像素数的倾向。另外，固体摄像元件因像素数的增加而大型化时，搭载了固体摄像元件的产品的小型化变得困难，因此，正在追求像素的小型化。预想这样的倾向在今后会进一步发展。
图6是表示与图5所示的例子相比，实现了多像素化以及像素小型化的固体摄像元件的构成的部分剖面图。图6所示的固体摄像元件的构成除增加像素数以及小型化像素尺寸这两点以外，其他和图5所示的固体摄像元件的构成相同。在图6所示的例中，为了实现像素的小型化，光电二极管22的一边的长度H2与图5所示的光电二极管的一边的长度H1相比变短(H2＜H1)。
但是，各平坦化膜或彩色滤光器的薄膜化是有限度的，因此，图6的例中的光电二极管22和微透镜30间的距离L2、与图5的例中的光电二极管22和微透镜30间的距离L1大致相等(L2≈L1)。因而，在图6所示的光电二极管22中，与图5所示的光电二极管相比，微透镜30的F值变小，对于从倾斜方向入射的光的灵敏度降低了。
为了解决这样的问题，例如，(日本)特开2002-314058号公报中提出使用乾式成膜法形成彩色滤光器的方案。作为乾式成膜法的一例，众所周知的是在彩色滤光器的形成区域，通过蒸镀使如颜料粒子或染料粒子这样的着色粒子淀积的蒸镀法。利用乾式成膜法，彩色滤光器比以往更薄膜化，光电二极管22和透镜30之间的距离变短，因此，解决了上述问题。
但是，使用乾式成膜法时，在彩色滤光器的内部形成间隙，由此，发生固体摄像元件的灵敏度或S/N比降低的问题。使用图7对该问题进行说明。
图7是表示利用乾式成膜法形成的以往的彩色滤光器的部分剖面图，图7(a)～(c)分别表示着色粒子淀积状态不同的例子。另外，图7(a)～(c)上仅示出在剖面露出的线。
如图7(a)～(c)所示，彩色滤光器28a～28c是多个着色粒子31的集合体，使用乾式成膜法时，在已淀积的着色粒子31和着色粒子31之间发生了间隙32。因而，入射到了彩色滤光器28a～28c的光因间隙32而散射。其结果，如上所述，固体摄像元件的灵敏度或S/N比降低。
发明内容
本发明的目的在于消除上述问题，提供能够抑制灵敏度或S/N比降低的固体摄像元件及其制造方法。
为了达到上述目的，本发明的固体摄像元件，其特征在于：具备在半导体基板上布置成矩阵状的多个受光元件、和分别对应于上述多个受光元件的多个彩色滤光器；上述彩色滤光器具有在上述多个受光元件的上层淀积着色粒子而形成的着色膜、和填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂。
另外，为了达到上述目的，本发明的固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备在半导体基板上形成为矩阵状的多个受光元件、和分别对应于上述多个受光元件的多个彩色滤光器，该固体摄像元件的制造方法的特征在于至少具备以下工序，(a)使着色粒子淀积在上述多个彩色滤光器各自的形成区域而形成着色膜的工序，(b)在上述着色粒子之间的间隙中填充树脂的工序。
由于以上特征，若采用本发明，则彩色滤光器中的空洞由树脂填埋，抑制入射到彩色滤光器的光的散射(散乱)。因而，与以往相比，能够得到灵敏度或S/N比高的固体摄像元件。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式中的固体摄像元件的构成的一部分的部分剖面图，图1(a)～(c)分别表示着色粒子淀积状态不同的例子。
图2是表示本发明的实施方式中的固体摄像元件的制造方法的剖面图，图2(a)～(d)分别表示一连串的主要工序。
图3是表示本发明的实施方式中的具备了遮光膜的固体摄像元件的一例的俯视图。
图4是表示本发明的实施方式中的具备了遮光区域的固体摄像元件的其他例的俯视图。
图5是表示以往的固体摄像元件的构成的部分剖面图。
图6是表示与图5所示的例相比，实现了多像素化以及像素的小型化的固体摄像元件的构成的部分剖面图。
图7是表示利用乾式成膜法形成的以往的彩色滤光器的部分剖面图，图7(a)～(c)分别表示着色粒子淀积状态不同的例子。
本发明的固体摄像元件，其特征在于：具备在半导体基板上布置成矩阵状的多个受光元件、和分别对应于上述多个受光元件的多个彩色滤光器；上述彩色滤光器具有在上述多个受光元件的上层淀积着色粒子而形成的着色膜、和填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂。
在上述本发明的固体摄像元件中，作为上述着色粒子能够使用包含了颜料粒子以及染料粒子中的至少一种的着色粒子。另外，在上述本发明的固体摄像元件中，填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂可以是透明的，也可以是着色的。在本发明的固体摄像元件中，通过调整填充在颜料粒子之间的树脂的颜色，能够调整彩色滤光器的分光特性。
另外，在上述本发明的固体摄像元件中，最好是如下状况：上述彩色滤光器形成在该固体摄像元件的有效像素区域的内侧以及外侧；在位于上述有效像素区域的外侧的彩色滤光器，填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂，用相对于上述着色粒子的颜色为补色或对比色的颜色来着色。根据这样的状况，位于有效像素区域的外侧的彩色滤光器具有作为遮光区域的功能，因此能够抑制光斑(flare)的发生。
而且，在上述本发明的固体摄像元件中，最好是如下状况：上述多个彩色滤光器布置成矩阵状而形成彩色滤光器阵列；上述彩色滤光器阵列具有沿着相邻的上述彩色滤光器间的边界而形成了的格子状的遮光区域；上述遮光区域具有在相邻的上述彩色滤光器间淀积着色粒子而形成的着色膜、和填充在上述着色粒子之间的间隙中且用相对于上述着色粒子的颜色为补色或对比色的颜色来着色的树脂。在这样的状况下，能够简单地形成格子状的遮光区域。另外，利用该格子状的遮光区域，能够抑制因来自相邻的像素的发散光(迷光)而发生的混色，因此，能够促进像素尺寸的小型化。
另外，在上述本发明的固体摄像元件的制造方法中，该固体摄像元件具备在半导体基板上形成为矩阵状的多个受光元件、和分别对应于上述多个受光元件的多个彩色滤光器，该固体摄像元件的制造方法的特征在于至少具备以下工序，(a)使着色粒子淀积在上述多个彩色滤光器各自的形成区域而形成着色膜的工序，(b)在上述着色粒子之间的间隙中填充树脂的工序。
在上述本发明的固体摄像元件的制造方法中，作为上述着色粒子能够使用包含了颜料粒子以及染料粒子中的至少一种。另外，在上述本发明的固体摄像元件的制造方法中，上述(a)的工序中，通过蒸镀法、溅射法、以及离子镀法的任意一种，能够使上述着色粒子淀积在上述形成区域。这时，能够抑制着色膜的厚度变大。
另外，在上述本发明的固体摄像元件的制造方法中，上述(b)的工序中，在上述着色膜上涂敷上述树脂，利用毛细管现象，能够在上述着色粒子之间的间隙中填充所涂敷的树脂。此外，上述(b)的工序中，在上述着色膜上涂敷上述树脂，使上述着色膜的内部和外部之间产生压力差，能在上述着色粒子间的间隙中填充所涂敷的树脂。
具体实施方式
以下，参照图1以及图2对本发明的实施方式中的固体摄像元件以及固体摄像元件的制造方法进行说明。首先，使用图1对本实施方式中的固体摄像元件的构成进行说明。图1是表示本发明的实施方式中的固体摄像元件的构成的一部分的部分剖面图，图1(a)～(c)分别表示着色粒子淀积状态不同的例子。而且，图1(a)～(c)上只显示了剖面显现的线。
如图1(a)～(c)所示，本实施方式中、与背景技术中图5以及图6所示的以往例相同，彩色滤光器10形成在起到受光元件作用的光电二极管(参照图2)的上层。另外，彩色滤光器10与多个光电二极管的每个光电二极管分别对应地形成。
但是，在本实施方式中，彩色滤光器10的构成与背景技术中图7所示的以往例不同。如图1(a)～(c)分别所示，彩色滤光器10具有着色膜8和填充在着色粒子12之间的间隙中的树脂9。着色膜8是通过利用乾式成膜法淀积着色粒子12而形成的。
这样，在本实施方式的固体摄像器件中，彩色滤光器10中的空洞(着色粒子12的间隙)被树脂9填埋。因而，抑制入射到了彩色滤光器10的光的散射。其结果，根据本实施方式的固体摄像元件，与以往相比，能够实现灵敏度或S/N比的提高。
而且，本实施方式的固体摄像元件，除彩色滤光器10的构成这点以外，其他与图5以及图6所示的以往的固体摄像元件相样形成。在图1中，省略彩色滤光器10的上层的图示。另外，7是覆盖层内透镜(参照图2)的第2平坦化膜(参照图2)。
接着，使用图2对本发明的固体摄像元件的制造方法进行说明。图2是表示本发明的实施方式中的固体摄像元件的制造方法的剖面图，图2(a)～(d)分别表示一连串的主要工序。通过实施图2所示的各工序，能够得到图1所示的本实施方式的固体摄像元件。
首先，如图2(a)所示，在半导体基板1上形成布置成矩阵状的光电二极管2、以及沿着光电二极管2的垂直方向的列布置的沟道区域3b。本实施方式中，半导体基板1是p型的硅基板，光电二极管2以及沟道区域3b是n型的半导体区域。
接着，在半导体基板1上的沟道区域3b上，形成传送电极3a、覆盖它的绝缘膜4。这样一来，完成了在垂直方向上传送积累在光电二极管2中的电荷的垂直传送部3。接着，为了覆盖光电二极管2以及垂直传送部3而形成绝缘膜，平坦化绝缘膜后，形成第1平坦化膜5。而且，在第1平坦化膜5上，顺序地形成层内微透镜6、以及第2平坦化膜7。
接着，在第2平坦化膜7上，使着色粒子(参照图1)淀积，由此形成着色膜8。在本实施方式中，可以使用颜料粒子作为着色粒子。但是在本实施方式中，着色粒子不仅局限于颜料粒子。着色粒子也可以是染料粒子，也可以包含颜料粒子和染料粒子两种。
另外，着色粒子的淀积能够通过例如蒸镀法、溅射法、以及离子镀法的任意一种来进行。其中，在本实施方式中，使用颜料粒子作为如上所述的着色粒子，因此最好使用蒸镀法。由于蒸镀法加热颜料使其升华，利用蒸镀法，不会破坏颜料的构造，因此能够进行颜料粒子的淀积。
另外，本实施方式中，着色膜8由颜色各不相同的3种着色膜8a、8b、以及8c构成。具体地，着色膜8a由绿色(Green)的着色粒子形成。着色膜8b由篮色(Blue)的着色粒子形成。另外，着色膜8c由红色(Red)的着色粒子形成。
而且，着色膜8的种类不仅局限于3种，也可以如上所述。另外，着色膜8的颜色也可以是绿色、蓝色、以及红色以外的颜色。例如，着色膜也可以由青色(C)、品红色(MG)、黄色(Y)、绿色(G)各着色膜构成。
本实施方式中使用颜料粒子作为着色粒子时，作为颜料粒子能够使用例如蒽醌、二酮基吡咯并吡咯、酞菁染料、二甲基喹吖啶酮等有机颜料。其中，特别地，在形成红色(R)的着色膜8c时，最好使用蒽醌、二酮基吡咯并吡咯等有机颜料。另外，在形成蓝色(B)的着色膜8b时，最好使用酞菁等有机颜料。而且，在品红色(MG)的着色膜形成时，最好使用二甲基喹吖啶酮等有机颜料。
而且，本实施方式中，使用染料粒子作为着色粒子时，作为染料粒子能够使用例如二苯乙烯类染料。特别地，在形成黄色(Y)的着色膜时，使用二苯乙烯类染料更好。
接着，如图2(b)所示，在着色膜8(着色膜8a～8c)上，涂敷树脂9。作为树脂9的涂敷方法可列举例如各种印刷方法、芯片涂敷法(die coating)、旋转涂敷法等。作为树脂9可列举例如丙烯类树脂、环氧类树脂、聚胺酯类树脂等。其中，因为透明且容易通过紫外线照射或加热而成形的原因，最好使用丙烯类树脂。
另外，最好以不溶解于有机溶剂的方式涂敷树脂9。这是因为在有机溶剂中溶解了树脂9的情况下，涂敷、干燥后溶剂成分蒸发，因此当所涂敷的树脂9的体积与间隙总体的体积大致相同时，存在在干燥后间隙不能完全地被填埋的可能性。另外，这也因为存在没有溶剂成分的部分作为空隙(void)残留的可能性。但是，考虑到溶剂成分蒸发后的薄膜化，若树脂9的涂敷膜厚还厚出与该部分对应的量，则树脂9也可以对应于涂敷方法在溶解于有机溶剂的状态下涂敷。
另外，图2(b)的例中，作为树脂9使用透明的树脂，但也能够使用被着色的树脂。当使用被着色的树脂作为树脂9时，能够调整彩色滤光器的分光特性。例如，作为渗透到红色的着色膜8c或绿色的着色膜8a中的树脂9，能够使用被着色为黄色的树脂。作为渗透到蓝色的着色膜8b中的树脂9，能够使用被着色为紫色的树脂。
接着，如图2(c)所示，使所涂敷的树脂9渗透到着色膜8中，用树脂9填充在着色膜8中形成的着色粒子的间隙(参照图1)。具体地，涂敷树脂9后暂时静置。所涂敷的树脂9通过毛细管现象渗透到着色粒子的间隙中。这时，为了使树脂9不固化，最好用例如大致100℃来加热半导体基板1。通过加热，所涂敷的树脂9的粘度降低，树脂9的流动性变好，因此与不加热时相比较，树脂9更容易渗透到着色粒子的间隙中。
另外，图2(c)所示的工序中，为了提高所涂敷的树脂9填入到着色膜8中的填充率，最好在着色膜8的内部和外部之间产生压力差。具体地，使用所谓的真空浸渍法，将半导体基板1的环境设定在大气压以下。这样，积存在着色粒子之间的间隙中的气体更容易跑掉，能够使树脂9渗透到更小的间隙中。
然后，如图2(d)所示，进行加热或紫外线照射，当使着色膜8以及树脂9发挥效果时，能够得到彩色滤光器10。图2(d)的例中，彩色滤光器10由绿色(G)的彩色滤光器10a、蓝色(B)的彩色滤光器10b、红色(R)的彩色滤光器10c构成。另外，彩色滤光器10a～10c分别对应于光电二极管布置成矩阵状，形成一个彩色滤光器阵列。
彩色滤光器10完成后，如背景技术中图5以及图6所示，形成第3平坦化膜或微透镜等。因此，完成固体摄像元件。这样，根据本实施方式，能够用树脂简单地填埋着色膜中的着色粒子之间的间隙，能够以低成本得到实施方式的固体摄像元件。
另外，根据本实施方式的固体摄像元件的制造方法，能够简单地在固体摄像元件上形成遮光区域。使用图1进行说明，若使用将相对于着色粒子12的颜色作为补色或对比色的颜色来着色的树脂，作为填充在着色粒子12之间的间隙中的树脂9，则填充了该树脂的区域成为带黑色的颜色，具有作为遮光区域的功能。
例如，着色粒子12的颜色是红色时，最好使用被着色为绿色系的颜色的树脂9。另外，着色粒子12的颜色是绿色时，最好使用被着色为红色系的颜色的树脂9。着色粒子12的颜色是篮色时，最好使用被着色为橙色系的颜色的树脂9。
在此，使用图3以及图4对形成了遮光区域的例子更具体地进行说明。图3是表示本发明的实施方式中的具备了遮光膜的固体摄像元件的一例的俯视图。图3中，省略彩色滤光器阵列11更上层的图示。
如图3所示，在本例中，彩色滤光器阵列11扩展到固体摄像元件的有效像素区域13的外侧。总之，彩色滤光器不仅形成在固体摄像元件的有效像素区域13的内侧，而且还形成在外侧。在图3中，14表示形成在有效像素区域13外侧的彩色滤光器。
另外，本例中，在形成在有效像素区域13外侧的彩色滤光器14中，填充在着色粒子之间的间隙中的树脂，用相对于着色粒子的颜色为补色或对比色的颜色来着色。因此，彩色滤光器14在有效像素区域13的外侧具有用作遮光区域的功能。
因而，根据图3的例，能够抑制入射光被形成在有效像素区域的周边的多个金属布线反射。因而，由该金属布线反射的光，被固体摄像器件封装的玻璃部分或装在封装内的透镜再度反射，能够抑制入射到有效像素区域内，从而能够抑制光斑的发生。
另外，在有效像素区域13的内侧以及外侧形成了着色膜后，能够使用剥离法(lift off)形成彩色滤光器14。具体地，首先，在着色膜上形成光致抗蚀剂图形，该光致抗蚀剂图形在彩色滤光器14的形成区域开口。接着，在光致抗蚀剂图形的开口部分涂敷树脂(参照图2(b))，而且使该树脂渗透到着色膜中(参照图2(c))。其后，使树脂固化(参照图2(d))。
图4是表示本发明的实施方式中的具备了遮光区域的固体摄像元件的其他例的俯视图。图4中，放大并示出有效像素区域内的一部分。另外，在图4中，也与图3相同，省略彩色滤光器阵列11更上层的图示。
如图4所示，本例中，沿着相邻的彩色滤光器间的边界形成格子状的遮光区域15。另外，本例中的遮光区域15也与图3所示的遮光区域一样，是彩色滤光器。总之，遮光区域15具有形成在相邻彩色滤光器间的着色膜、和填充在该着色膜的着色粒子之间的间隙中的树脂。另外，该树脂用相对于着色粒子的颜色为补色或对比色的颜色来着色。
图4的例中，遮光区域15通过以下工序形成。首先，在有效像素区域内，形成对应于各光电二极管布置成矩阵状的多个着色膜(参照图2(a))。接着，沿着相邻的着色膜间的边界，形成格子状的光致抗蚀剂图形后，在光致抗蚀剂图形的开口涂敷树脂(参照图2(b))，使其渗透到着色膜中(参照图2(c))。而且，当使所渗透的树脂固化时，形成彩色滤光器10a～10c(参照图2(d))。
其后，形成覆盖彩色滤光器10a～10c的光致抗蚀剂图形，在光致抗蚀剂图形开口的部分上，涂敷被相对于着色粒子的颜色为补色或对比色的颜色着色树脂，使其渗透到着色膜中。而且，当使渗透的树脂固化时，能够得到遮光区域15。而且，在遮光区域15形成后，形成彩色滤光器10a～10c的情况也是可以的。
这样，本例中，为分离相邻的彩色滤光器10a～10c而形成遮光区域15。因而，根据本例，能够抑制由来自邻接像素的散射光产生的混色的发生。另外，因为像素尺寸越小，混色越容易发生，所以图4所示的情况对于像素尺寸因多像素化而变小的情况是有效的。
以上，本实施方式中，对固体摄像元件是CCD型固体摄像元件的情况进行了说明，但本发明不仅局限于此。本发明中，固体摄像元件也可以是MOS型固体摄像元件。本发明能够无一例外地适用于具备彩色滤光器的固体摄像元件。另外，虽然本发明的固体摄像元件是CCD型固体摄像元件的情况，但本发明不局限于图1～图4所示的例子。本发明中，也可以适用例如在不设置层内微透镜的情况。
本发明的固体摄像元件以及固体摄像元件的制造方法能够适用于数字静态照相机以及数字视频摄像机的摄像元件，或者传真机、扫描器、复印机等图像读取元件。由此，本发明的固体摄像元件以及固体摄像元件的制造方法在工业上具备利用的可能性。
以上说明的实施方式，具有彻底地阐明本发明的技术内容的意图，本发明不仅局限于这样的具体例，能够在本发明的精神和权利要求书中所述的范围内进行各种变更并实施，应广义地解释本发明。
Claims (11)
1.一种固体摄像元件，其特征在于，
具备在半导体基板上布置成矩阵状的多个受光元件、和分别对应于上述多个受光元件的多个彩色滤光器；
上述彩色滤光器具有在上述多个受光元件的上层淀积着色粒子而形成的着色膜、和填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂。
2.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，上述着色粒子包含颜料粒子以及染料粒子中的至少一种。
3.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂是透明的。
4.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂被着色。
5.如权利要求4所述的固体摄像元件，其特征在于，上述彩色滤光器形成在该固体摄像元件的有效像素区域的内侧以及外侧；
在位于上述有效像素区域的外侧的彩色滤光器中，填充在上述着色粒子之间的间隙中的树脂，用相对于上述着色粒子的颜色为补色或对比色的颜色来着色。
6.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，上述多个彩色滤光器布置成矩阵状而形成彩色滤光器阵列；
上述彩色滤光器阵列具有沿着相邻的上述彩色滤光器间的边界而形成了的格子状的遮光区域；
上述遮光区域具有在相邻的上述彩色滤光器间淀积着色粒子而形成的着色膜、和填充在上述着色粒子之间的间隙中且用相对于上述着色粒子的颜色为补色或对比色的颜色来着色的树脂。
7.一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备在半导体基板上形成为矩阵状的多个受光元件、和分别对应于上述多个受光元件的多个彩色滤光器，该固体摄像元件的制造方法至少具备以下工序：
(a)使着色粒子淀积在上述多个彩色滤光器各自的形成区域而形成着色膜的工序；
(b)在上述着色粒子之间的间隙中填充树脂的工序。
8.如权利要求7所述的固体摄像元件的制造方法，其特征在于，上述着色粒子包含颜料粒子以及染料粒子中的至少一种。
9.如权利要求7所述的固体摄像元件的制造方法，其特征在于，在上述(a)的工序中，通过蒸镀法、溅射法、以及离子镀法的任意一种，使上述着色粒子淀积在上述形成区域。
10.如权利要求7所述的固体摄像元件的制造方法，其特征在于，在上述(b)的工序中，在上述着色膜上涂敷上述树脂，利用毛细管现象，在上述着色粒子之间的间隙中填充所涂敷的树脂。
11.如权利要求7所述的固体摄像元件的制造方法，其特征在于，在上述(b)的工序中，在上述着色膜上涂敷上述树脂，使上述着色膜的内部和外部之间产生压力差，在上述着色粒子之间的间隙中填充所涂敷的树脂。
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