CN1885134A - 液晶面板和电子设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液晶面板，该液晶面板(1)具有TFT基板(第一基板)(17)、与TFT基板(17)对向的液晶面板用对向基板(第二基板)(12)、在所述TFT基板(17)上设置的取向膜(第一取向膜)(3)、在液晶面板用对向基板(12)设置的取向膜(第二取向膜)(4)、在所述取向膜(3)和取向膜(4)之间设置的液晶层(2)，其中，所述取向膜(3)和取向膜(4)都是通过斜向蒸镀法而形成，存在于具有多个细孔的无机氧化物膜的至少表面上的羟基和醇形成化学键而成，取向膜(3)的醇的平均分子量大于取向膜(4)的醇的平均分子量。由此，本发明提供耐光性出色且难以产生残像的液晶面板和电子设备。

Description

液晶面板和电子设备
技术领域
本发明涉及液晶面板和电子设备。
背景技术
近年来，垂直取向类型的液晶显示元件(液晶面板)在液晶电视(直视型显示装置)、液晶投影仪(投射型显示装置)等中被实用化。
作为在这些垂直取向类型的液晶显示元件中使用的垂直取向膜，例如在液晶电视中使用聚酰亚胺等有机取向膜，在液晶投影仪中使用SiO2等斜向蒸镀膜(无机取向膜)。
无机氧化物的斜向蒸镀膜具有多个细孔，在其表面和细孔的内面上存在大量极化的羟基。该羟基具有作为布朗斯台德酸点的活性，容易吸附在液晶分子或液晶显示元件中含有的杂质、特别是具有极性基的化合物，或者发生反应。
在这里，杂质包括密封剂中的杂质和未反应成分、液晶层中的杂质和水分、在制造过程中附着的污物等。
已知当在斜向蒸镀膜表面附着杂质或发生反应时，表面的形状或极性发生变化，垂直锚固力降低，液晶分子出现取向异常。另外，还已知液晶分子直接与羟基发生化学反应。
因此，作为斜向蒸镀膜(无机氧化物膜)的表面改性法，提出有通过高级醇处理无机取向膜的表面的羟基的方法(例如，参照专利文献1)。
在专利文献1所述的方法中，将SiO2的斜向蒸镀膜暴露于高级醇的蒸气中。此外，这种处理是在对向设置的2个取向膜中且在相同的条件下进行。
不过，在液晶显示元件中，光的入射侧的取向膜和射出侧的取向膜所要求的特性不同，即使在相同的条件下进行处理，也无法得到满足双方要求的元件，在专利文献1所述的液晶显示元件中，无法实现足够的特性改善。
专利文献1：特开平11-160711号公报
发明内容
本发明的目的在于，提供耐光性出色且难以产生残像的液晶面板和电子设备。
这样的目的可以通过下述的本发明来实现。
本发明的液晶面板，具有第一基板、与该第一基板对向的第二基板、在所述第一基板上设置的第一取向膜、在所述第二基板上设置的第二取向膜、在所述第一取向膜和所述第二取向膜之间设置的液晶层，其中，
所述第一取向膜和所述第二取向膜，均是在通过斜向蒸镀法形成并且具有多个细孔的无机氧化物膜的至少表面上的羟基与醇化学键合而形成的取向膜，
所述第一取向膜的醇的平均分子量和所述第二取向膜的醇的平均分子量不同。
由此，实现了耐光性出色，且难以产生残像。
在本发明的液晶面板中，所述第一基板具有驱动用元件，
优选所述第一取向膜的醇的平均分子量比所述第二取向膜的醇的平均分子量大。
由此，实现了耐光性出色，且难以产生残像。
在本发明的液晶面板中，所述第一取向膜的醇的平均分子量优选为100～400。
由此，可以更确实可靠地延长发生取向异常所需要的时间，即可以更确实可靠地提高耐久性(耐光性)。
在本发明的液晶面板中，所述第一取向膜的醇优选主要是碳原子数为6～30的醇。
由此，耐久性效果更加显著。
在本发明的液晶面板中，所述第二取向膜的醇的平均分子量优选为32～70。
由此，可以更确实可靠地防止残像。
在本发明的液晶面板中，所述第二取向膜的醇优选主要是碳原子数为1～4的醇。
由此，残像防止效果更加显著。
在本发明的液晶面板中，所述第一取向膜和所述第二取向膜都是优选存在于所述无机氧化物膜的细孔的内面的羟基也和所述醇形成化学键。
由此，进一步提高耐光性或残像防止效果。
在本发明的液晶面板中，所述第一取向膜的醇和所述第二取向膜的醇中的至少一方，优选含有多种醇而成。
例如，如果组合使用高分子量的醇和低分子量的醇，其优点在于，高分子量的醇彼此之间的羟基、存在于细孔深部的羟基也能与醇形成化学键，可以更确实可靠地减少在无机氧化物膜上残存的羟基。
在本发明的液晶面板中，所述第一取向膜的醇和所述第二取向膜的醇中的任一方是含有多种醇而成，另一方是由一种醇构成，
所述一方的取向膜的醇优选含有与所述另一方的取向膜的醇相同种的醇。
由此，其优点在于，适于防止残像，容易调节相对于液晶分子的垂直锚固力。
在本发明的液晶面板中，所述第一取向膜的醇和所述第二取向膜的醇中的双方都是含有多种醇而成，
所述第一取向膜的醇和所述第二取向膜的醇优选含有同种醇。
由此，其优点在于，适于防止残像，容易调节相对于液晶分子的垂直锚固力。
本发明的电子设备，其特征在于，具备本发明的液晶面板。
由此，可以得到可靠性高的电子设备。
附图说明
图1是模式地表示本发明的液晶面板的实施方式的纵向截面图。
图2是模式地表示图1所示的液晶面板所具备的取向膜的构成的纵向截面图。
图3是表示在本发明的电子设备用基板的制造方法中使用的处理装置的构成的模式图。
图4是模式地表示已应用本发明的电子设备的投射型显示装置的光学系统的图。
图中：1-液晶面板，2-液晶层，3、4-取向膜，30、40-细孔，31、41-无机氧化物膜，32、42-被膜，11-微透镜基板，111-带微透镜用凹部基板，112-凹部，113-微透镜，114-表层，115-树脂层，12-液晶面板用对向基板，13-黑矩阵，131-开口，14-透明导电膜，17-TFT基板，171-玻璃基板，172-像素电极，173-薄膜晶体管，900-处理装置，910-腔室，920-容器，930-排气机构，931-排气管路，932-泵，933-阀门，940-排液机构，941-排液管路，942-泵，943-阀门，944-回收槽，950-平台，960-供液机构，961-供液管路，962-泵，963-阀门，964-储留槽，S-处理液，300-投射型显示装置，301-光源，302、303-积分透镜，304、306、309-反射镜，305、307、308-分色镜，310～314-聚光透镜，320-屏幕，20-光学模块，21-分色棱镜，211、212-分色镜面，213～215-面，216-射出面，22-投射棱镜，23-显示单元，24～26-液晶光阀。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的液晶面板和电子设备进行详细说明。
图1是模式地表示本发明的液晶面板的实施方式的纵向截面图，图2放大图1所示的液晶面板具备的取向膜并显示的纵向截面图。其中，在图1中，省略对密封材料、布线等的记载。另外，在以下的说明中，图1和图2中的上侧称为“上”，下侧称为“下”。
图1所示的液晶面板(TFT液晶面板)1具有TFT基板(液晶驱动基板)17、与TFT基板17接合的取向膜3、液晶面板用对向基板12、与液晶面板用对向基板12接合的取向膜4、在取向膜3和取向膜4之间的空隙中密封的且含有液晶分子的液晶层2、与TFT基板(液晶驱动基板)17的外表面(上面)侧接合的偏光膜7、与液晶面板用对向基板12的外表面(下面)侧接合的偏光膜8。
液晶面板用对向基板12具备：微透镜基板11、设置在该微透镜基板11的表层114上且形成开口131的黑矩阵13、在表层144上以覆盖黑矩阵13的方式而设置的透明导电膜(共用电极)14。
微透镜基板11具备：设置了具有凹曲面的多个(多数)凹部(微透镜用凹部)112的带微透镜用凹部基板111、在该带微透镜用凹部基板111的设置有凹部112的面上通过树脂层(胶粘剂层)115而接合的表层114。
另外，在树脂层115中，通过在凹部112内填充的树脂，形成有微透镜113。
带微透镜用凹部基板111是由平板状的母材(透明基板)所制造，在其表面上形成有多个(多数)凹部112。
凹部112例如可以通过使用了掩模的干蚀刻法、湿蚀刻法等而形成。
该带微透镜用凹部基板111例如由玻璃等构成。
上述母材的热膨胀系数优选与玻璃基板171的热膨胀系数大致相等(例如两者的热膨胀系数比为1/10～10左右)。由此，在得到的液晶面板1中，当温度发生变化时，可以防止由两者的热膨胀系数的差异产生的翘曲、挠曲、剥离等。
从这一观点出发，带微透镜用凹部基板111、和玻璃基板171优选是由相同种类的材质构成。由此，可以有效防止由温度变化时的热膨胀系数差异引起的翘曲、挠曲、剥离等。
特别地，在后述的TFT基板17中，优选使用难以由于制造时的环境而改变特性的石英玻璃。为此，与其相对应，优选用石英玻璃构成带微透镜用凹部基板111。由此，可以得到难以产生翘曲、挠曲等的稳定性出色的液晶面板1。
在带微透镜用凹部基板111的上面，设置有覆盖凹部112的树脂层(胶粘剂层)115。
在凹部112内，通过填充树脂层115的构成材料，形成有微透镜113。
树脂层115例如可以由折射率比带微透镜用凹部基板111的构成材料的折射率还高的树脂(胶粘剂)构成，例如，能够适当由丙烯酸系树脂、环氧系树脂、丙烯酰环氧系那样的紫外线固化性树脂等构成。
在树脂层115的上面设置有平板状的表层114。
表层(玻璃层)114例如可以由玻璃构成。此时，表层114的热膨胀系数优选与带微透镜用凹部基板111的热膨胀系数大致相等(例如，两者的热膨胀系数的比为1/10～10左右)。由此，可以防止由带微透镜用凹部基板111和表层114的热膨胀系数的差异产生的翘曲、挠曲、剥离等。就这样的效果而言，如果用相同种类的材料构成带微透镜用凹部基板111和表层114，可以得到更好的效果。
就表层114的平均厚度而言，从得到必要的光学特性的观点出发，通常为5～1000μm左右，更优选为10～150μm左右。
其中，表层(阻挡层)114例如还可以由陶瓷构成。其中，作为陶瓷，例如可以举出AlN、SiN、TiN、BN等氮化物系陶瓷，Al2O3、TiO2等氧化物系陶瓷，WC、TiC、ZrC、TaC等碳化物系陶瓷等。
当用陶瓷构成表层114时，对表层114的平均厚度没有特别限制，优选为20nm～20μm左右。更优选为40nm～1μm左右。
其中，这样的表层114可以根据需要被省略。
黑矩阵13具有遮光功能，例如由分散了Cr、Al、Al合金、Ni、Zn、Ti等金属、碳或钛等的树脂等构成。
透明导电膜14具有导电性，例如可以由铟锡氧化物(ITO)、铟氧化物(IO)、氧化锡(SnO2)等构成。
TFT基板17是对液晶层2所含的液晶分子进行驱动(取向控制)的基板，具备：玻璃基板171、在该玻璃基板171上设置的且被配设成矩阵状(行列状)的多个(多数)像素电极172、与各像素电极172相对应的多个(多数)薄膜晶体管(TFT)173。
玻璃基板171出于如上所述的理由，优选由石英玻璃构成。
像素电极172通过在其与透明导电膜(共用电极)14之间进行充放电，驱动液晶层2的液晶分子。该像素电极172例如可以由与上述的透明导电膜14相同的材料构成。
薄膜晶体管173与附近的对应的像素电极172连接。另外，薄膜晶体管173与未图示的控制电路连接，控制提供给像素电极172的电流。由此，控制像素电极172的充放电。
在TFT基板17的外表面(图1中上面)侧配置有偏光膜(偏振片、偏光薄膜)7。同样地，在液晶面板用对向基板12的外表面(图1中下面)侧，配置有偏光膜(偏振片、偏光薄膜)8。
作为偏光膜7、8的构成材料，例如可以举出聚乙烯醇(PVA)等。另外，作为偏光膜，可以使用在上述材料中掺杂了碘的材料等。
作为偏光膜，例如可以使用对由上述材料构成的膜进行单向拉伸的膜。
通过配置这样的偏光膜7、8，可以确实可靠地通过通电量的调节来进行透光率的控制。
偏光膜7、8的偏光轴的方向，通常根据取向膜3、4的取向方向(在本实施方式中为施加电压时)而确定。
另外，在TFT基板(第一基板)17上，与像素电极172接合而设置有取向膜3，在液晶面板用对向基板(第二基板)12上，与透明导电膜14接合而设置有取向膜4。
在这些取向膜3和取向膜4之间设置有液晶层2。液晶层含有液晶分子(液晶材料)，按照像素电极172的充放电，该液晶分子的取向发生变化。
作为液晶分子，例如可以举出苯基环己烷衍生物、联苯衍生物、联苯基环己烷衍生物、联三苯衍生物、苯基醚衍生物、苯酯衍生物、二环己烷衍生物、甲亚胺衍生物、氧化偶氮衍生物、嘧啶衍生物、二噁烷衍生物、立方烷(cubane)衍生物，进而举出在这些衍生物中导入了氟基、三氟甲基、三氟甲氧基、二氟甲氧基等氟系取代基而成的物质等。
其中，如后所述，在使用取向膜3、4的情况下，液晶分子容易发生垂直取向，但作为适于垂直取向的液晶分子，例如可以举出用下述化1～化3表示的化合物等。
[化1]
[化2]
Figure A20061009378200111
[化3]
Figure A20061009378200112
[式中，环A～I相互独立地表示环己烷环或苯环，R1～R6相互独立地表示烷基、烷氧基或氟原子中的任一个，X1～X18相互独立地表示氢原子或氟原子。]
取向膜(垂直取向膜)3、4具有对液晶层2所含的液晶分子(未施加电压时)的取向状态进行限制的功能。
对取向膜3、4的平均厚度没有特别限制，优选为20～300nm左右，更优选为20～150nm左右，进一步优选为20～80nm左右。如果取向膜3、4的厚度过薄，液晶分子直接接触透明导电膜14、像素电极172，有可能无法充分防止短路。另一方面，当取向膜3、4的厚度过厚时，有可能液晶面板1的驱动电压升高，消耗电力增大。
另外，对于这种取向膜3、4的构成在后面进行详细叙述。
在这样的液晶面板1中，通常一个微透镜113、与该微透镜113的光轴Q对应的黑矩阵13的1个开口131、1个像素电极172、与该像素电极172连接的1个薄膜晶体管173，对应于1个像素。
从液晶面板用对向基板12侧入射的入射光L通过带微透镜用凹部基板111，然后，在通过微透镜113时被聚光，并透过树脂层115、表层114、黑矩阵13的开口131、透明导电膜14、液晶层2、像素电极172、玻璃基板171。
此时，由于在微透镜基板11的入射侧配置有偏光膜8(未图示)，所以，在入射光L透过液晶层2时，入射光L变成直线偏振光。
此时，该入射光L的偏振方向被控制成与液晶层2的液晶分子的取向状态对应。因此，通过使透过液晶面板1的入射光L透过偏光膜7，可以控制射出光的亮度。
如此，液晶面板1具有微透镜113，而且，已通过微透镜113的入射光L被聚光，并通过黑矩阵13的开口131。
另一方面，在黑矩阵13的未形成开口131的部分，入射光L被遮光。因此，在液晶面板1中，防止没有用的光从像素以外的部分泄漏，而且抑制入射光L在像素部分衰减。为此，液晶面板1B在像素部具有高透光率。
另外，如图2所示，取向膜3、4是，由利用斜方蒸镀法形成的无机氧化物膜31(41)、和利用如后所述的方法对该无机氧化物膜31(41)实施处理而形成的被膜32(42)构成。
无机氧化物膜31(41)是利用斜方蒸镀法形成的，所以如图2所示，成为具有多个细孔30(40)的结构，各细孔30(40)的轴相对于TFT基板17(液晶面板用对向基板12)的上面(形成取向膜3(4)的面)以倾斜的状态进行单轴取向。
在这里，各细孔30(40)的轴进行单轴取向，是指大多数的细孔30(40)的轴朝向大致相同的方向(细孔30(40)的轴的平均方向被控制)，在多个细孔30(40)中，还可以含有轴的方向朝向与大多数细孔不同的方向的细孔30(40)。
如此，通过各细孔30(40)的规则排列，无机氧化物膜31(41)具有高结构规则性。
通过这样的构成，液晶层2含有的液晶分子容易进行垂直取向(homeotropic取向)。因此，这样的构成的取向膜3(4)在VA(垂直对齐：vertical alignment)型的液晶面板的构建中有用。
另外，因为取向膜3(4)具有高结构规则性，液晶分子的取向方向也更准确地与恒定方向(垂直方向)相一致。其结果，可以实现液晶面板1的性能(特性)的改善。
其中，对细孔30(40)和TFT基板17(液晶面板用对向基板12)的上面的夹角(图2中的角度θ)没有特别限制，优选为30～70°左右，更优选为40～60°左右。由此，可以更确实可靠地使液晶分子垂直取向。
无机氧化物膜31(41)是以无机氧化物为主材料构成的膜。通常，无机材料与有机材料相比具有更出色的化学稳定性(光稳定性)。为此，无机氧化物膜31(41)与由有机材料构成的取向膜相比，具有特别出色的耐光性。
另外，构成无机氧化物膜31(41)的无机氧化物，优选其介电常数比较低的无机氧化物。由此，可以在液晶面板1中更有效地防止图像的残像等。
作为这样的无机氧化物，例如可以举出SiO2、SiO那样的硅氧化物，Al2O3、MgO、TiO、TiO2、In2O3、Sb2O3、Ta2O5、Y2O3、CeO2、WO3、CrO3、GaO3、HfO2、Ti3O5、NiO、ZnO、Nb2O5、ZrO2、Ta2O5等金属氧化物，可以使用其中的1种或组合使用其中的2种以上，但特别优选以SiO2或Al2O3为主成分。SiO2或Al2O3的介电常数特别低，且具有高光稳定性。
沿着这样的无机氧化物膜31(41)的至少表面(在本实施方式中为表面和细孔30(40)的内面)，形成有被膜32(42)。
该被膜32(42)是通过使用后述的处理液对无机氧化物膜31(41)进行处理而形成的膜，即，是存在于无机氧化物膜31(41)的表面和细孔30(40)的内面的活性羟基、和醇所具有的羟基发生化学反应(脱水缩合反应)而形成的膜，是以醇的主骨架部分为主而成的膜。
通过形成被膜32(42)，可以减少在无机氧化物膜31(41)上存在的活性羟基的数量，可以防止各种杂质附着于无机氧化物膜31上，或防止无机氧化物膜31(41)与液晶分子发生反应等。为此，例如可以防止取向膜3(4)相对于液晶分子的垂直锚固力的降低等，其结果，可以防止液晶分子出现取向异常。
特别是在本实施方式中，存在于细孔30(40)的内面的羟基也与醇形成化学键，上述效果更加显著。
在本发明中，就取向膜3和取向膜4而言，其特征在于，与无机氧化物膜31、41形成化学键的醇的平均分子量不同。
在本实施方式中，在TFT基板17侧设置的取向膜3的醇的平均分子量，大于在液晶面板用对向基板12侧设置的取向膜4的醇的平均分子量。即，与无机氧化物膜41相比，无机氧化物膜31与分子量大(碳原子数多)的醇形成更多的化学键。由此，可以提高液晶面板1的特性。
通常，从防止液晶面板1的残像的观点出发，当使液晶分子发生取向的力达到必要以上而过强时，出现残像的趋势增高，所以为了在某种程度上减弱液晶分子和取向膜的分子间力，作为与无机氧化物膜31(41)形成化学键的醇，优选选择分子量比较小的(碳原子数比较少)的醇。
另一方面，从防止液晶面板1伴随存在于无机氧化物膜31(41)的羟基和液晶分子发生反应而出现取向异常(提高耐光性、耐久性)的观点出发，尽可能使液晶分子远离在无机氧化物膜31(41)的表面残存的羟基，作为与无机氧化物膜31(41)形成化学键的醇，优选选择分子量比较大的(碳原子数比较多)的醇。
然而，TFT基板17具备TFT173，相对于液晶面板用对向基板12容易达到高温且残存于无机氧化物膜31上的羟基通过加热，其活性更高。为此，在取向膜3和液晶层2的界面上，液晶分子与活性羟基发生反应，成为容易变质、劣化的状态。因此，在TFT基板17侧的取向膜3中，使分子量更大的醇形成化学键，确实可靠地防止液晶分子接触无机氧化物膜31，这是特别有效的。
另一方面，在液晶面板用对向基板12侧的取向膜4中，因为着眼于防止残像，所以积极选择分子量小的醇。
其中，在各取向膜3、4的醇中，它们的平均分子量可以存在差异，作为醇，可以适当组合高分子量的醇和低分子量的醇。
特别地，在应该使用高分子量醇的取向膜3中，如果组合使用低分子量的醇，可以在高分子量的醇彼此之间的羟基、存在于细孔30的深部的羟基上也与醇形成化学键，可以更确实可靠地减少在无机氧化物膜31上残存的羟基。
由此，在本实施方式中，选择用于无机氧化物膜31、41的处理的醇，以使在TFT基板17侧设置的取向膜3的醇的平均分子量，大于在液晶面板用对向基板12侧设置的取向膜4的醇的平均分子量。
在这里，当分子量为醇X＞醇Y＞醇Z时，作为取向膜3的醇的平均分子量大于取向膜4的醇的平均分子量的组合，例如可以举出如下所示的组合。
I：取向膜3：X、   取向膜4：Y或者Z
II：取向膜3：X+Y、取向膜4：X+Y(其中，X/Y：取向膜3＞取向膜4)
III：取向膜3：X+Y、取向膜4：Y+Z
IV：取向膜3：X   、取向膜4：X+Z
另外，当取向膜3的醇和取向膜4的醇当中的任一方含有多种醇而成，另一方是由一种醇构成时，一方的取向膜的醇优选含有与另一方的取向膜的醇为相同种的醇(参照上述IV)。
另外，当取向膜3的醇和取向膜4的醇双方都是含有多种醇而成时，取向膜3的醇和取向膜4的醇优选含有同种醇(参照上述III)。
如此，当通过使取向膜3的醇和取向膜4的醇含有同种醇，调节相对于液晶分子的垂直锚固力时，可以防止在取向膜3、4中的垂直锚固力出现较大的差异，换言之，可以容易地控制微小的力的差。即，存在相对于液晶分子的垂直锚固力容易调节的优点。
取向膜3的醇的平均分子量优选为100～400左右，更优选为120～400左右。由此，在液晶面板1中，可以更确实可靠地延长发生取向异常所需的时间，即可以更确实可靠地改善耐久性(耐光性)。
另外，取向膜3的醇优选以碳原子数为6～30的醇(特别是碳原子数为8～30的醇)为主要成分。由此，上述效果会更加显著。
具有这样的碳原子数的醇在常温下为液态，或者即使半固态形状(固态形状)也能在比较低的温度下成为液态。为此，通过后述的处理液对无机氧化物膜31(41)进行处理时的操作比较容易。另外，相对于液晶分子的亲和性更高，所以可以确实可靠地增大相对于液晶分子的垂直锚固力。
作为这样的醇，可以举出脂肪族醇、芳香族醇、脂环醇、杂环醇、多元醇或它们的卤素取代物(特别是氟取代物)，但是，其中，优选脂肪族醇、脂环醇或其氟取代物(氟代醇)。通过使用脂肪族醇、脂环醇或其氟取代物，可以进一步增大相对于液晶分子的垂直锚固力，更确实可靠地使液晶分子发生垂直取向。
另外，脂环醇或其氟取代物更优选具有甾体骨架的物质。具有甾体骨架的脂环醇或其氟取代物具有高平面性的结构，因此对液晶分子的取向控制功能特别出色。
由此，作为取向膜3的醇，适合使用辛醇、壬醇、癸醇、十一烷醇、十二烷醇、十三烷醇、十四烷醇、十五烷醇、十六烷醇、十七烷醇、十八烷醇、二十烷醇、廿一烷醇、二十二烷醇、廿三烷醇、廿四烷醇等脂肪族醇，胆甾醇、表胆甾醇、胆甾烷醇、表胆甾烷醇、麦角烷醇、表麦角烷醇、粪醇、表粪醇(epicoprostanol)、α-麦角甾醇、β-谷甾醇、豆甾醇(stigmasterol)、菜油甾醇等脂环醇或它们的氟取代物为主要成分。
另外，就脂肪族醇或其氟取代物而言，其烃部分或氟化碳部分(主骨架部分)可以是直链状，还可以是支链状。
另一方面，取向膜4的醇的平均分子量优选为32～70左右，更优选为32～60左右。由此，可以更确实可靠地防止液晶面板1的残像。
另外，取向膜4的醇优选以碳原子数为1～4的醇(特别优选碳原子数为1～3的醇)。由此，上述效果更加显著。
另外，就这样的碳原子数的第一醇而言，其分子尺寸小，所以可以确实可靠地浸透至细孔40的深部。另外，因为常温下是液状，通过后述的处理液处理无机氧化物膜31(41)时的操作比较容易。
作为这样的醇，可以举出脂肪族醇、多元醇或它们的卤素取代物(特别是氟取代物)，但其中，优选脂肪族醇或其氟取代物(氟代醇)。
所以，作为取向膜4的醇，适合以甲醇、乙醇、丙醇或它们的氟取代物为主。
此外，在液晶分子中有大量被氟化的分子，所以通过使用氟取代物，与液晶分子的亲和性提高，进一步提高使液晶分子垂直取向的效果。
在本实施方式中，对使成为高温的TFT基板(第一基板)17侧的取向膜3的醇的平均分子量大于液晶面板用对向基板(第二基板)12侧的取向膜4的醇的平均分子量的情况进行说明，当为第二基板温度比第一基板侧高的构成的液晶面板时，优选设定成第二基板侧的取向膜的醇的平均分子量大于第一基板侧的取向膜的醇的平均分子量。
另外，本发明的目的除了防止取向异常的产生或残像的产生之外，例如，其目的还在于，可以用于消除一对取向膜中的电特性偏差等。
这样的液晶面板1例如可以如下所示地进行制造。
[1]首先，准备通过公知的方法制造的TFT基板17和液晶面板用对向基板12。
[2]接着，在TFT基板17上以覆盖像素电极172和TFT 173的方式形成取向膜3，另一方面，在液晶面板用对向基板12的透明导电膜14上形成取向膜4。
取向膜3、4的形成方法(形成工序)相同，所以以取向膜3的形成方法为代表进行说明。
其中，在工序[22]～[24]中，例如使用图3所示的处理装置900。
图3所示的处理装置900具备：腔室910、在腔室910内设置的平台950、在平台950上配置的容器920、向容器920内提供处理液S的给液机构960、对容器920内的处理液S进行排液的排液机构940、和对腔室910内进行排气的排气机构930。
另外，在平台950上例如设置有加热器等加热机构(未图示)。
排气机构930是，由泵932、连通泵932和腔室910的排气管路931、在排气管路931的中途设置的阀933构成。
另外，排液机构940是，由回收处理液S的回收槽944、连通回收槽944和容器920的排液管路941、在排液管路941的中途设置的泵942和阀943构成。
另外，给液机构960是，由储留处理液S的储留槽964、将处理液S从储留槽964引导至容器920的给液管路961、在给液管路961的中途设置的泵962和阀963构成。
另外，在排液机构940和给液机构960上分别设置有未图示的加热机构(例如，加热器等)，可以对处理液S进行加热。
下面，按顺序说明各工序。
[21]首先，在TFT基板17上，通过斜方蒸镀法形成无机氧化物膜31。通过使用斜方蒸镀法，得到具有多个细孔30的无机氧化物膜31。
在这里，就从蒸发源气化的无机氧化物而言，通过适当设定达到TFT基板17的上面的角度，可以对细孔30相对于TFT基板17的上面的角度进行调节。
另外，TFT基板17和蒸发源优选尽可能分离设置。通过TFT基板17和蒸发源分离足够远，从蒸发源气化的无机氧化物从几乎相等的方向到达TFT基板17的表面。由此，形成取向性更高的无机氧化物膜31。
[22]接着，形成无机氧化物膜31的TFT基板17被浸渍在含有如上所述的醇的处理液S中。
具体而言，开放腔室910，搬入形成无机氧化物膜31的TFT基板17，设置在容器920内。
接着，以密闭腔室910的状态，使泵962作动，在该状态下打开阀963，由此借助给液管路961，将处理液S从储留槽964提供给容器920。
此外，当向容器920内提供规定量的处理液S、即完全浸渍TFT基板17的量的处理液S时，停止泵962，同时关闭阀963。
在这里，作为醇，可以在常温下为液态，还可以在常温下为固态形状或半固态形状。
当使用常温下为液态的醇时，除了可以在处理液S中使用该醇本身(醇的含量大致为100％)之外，可以将醇混合在适当的溶剂中而使用。
另外，当使用常温下为固态形状或半固态形状的醇时，除了可以在处理液S中使用经加热使该醇成为液态的醇之外，可以将醇溶解在适当的溶剂中而使用。
当在溶剂中混合或溶解醇时，在溶剂中，选择能混合或溶解醇且极性比醇还低的溶剂。由此，溶剂可以防止对后工序[24]中的无机氧化物膜31的羟基和醇的反应造成妨碍，可以确实可靠地发生化学反应。
[23]接着，通过对腔室910内(设置处理液S的空间)进行减压，使处理液S浸透到无机氧化物膜31的细孔30内。
具体而言，使腔室910成为密闭状态，使泵932作动，在该状态下，通过打开阀933，借助排气管路931，将腔室910内的气体排出到处理装置900之外。
通过缓慢降低腔室910内的压力，除掉处理液S中和无机氧化物膜31的细孔30内的气体(例如空气等)，在细孔30内浸透处理液S。
此外，当腔室910内达到规定的压力时，停止泵932，同时关闭阀933。
该腔室910内(空间)的规定压力、即腔室910内的真空度优选为10-4～104Pa左右，更优选为10-2～103Pa左右。由此，从无机氧化物膜31的细孔30内充分除去空气，可以使处理液S充分浸透到细孔30内。
接着，使泵942作动，在该状态下，通过打开阀943，借助排液管路941将容器920内的剩余的处理液S回收到回收槽944中。
此外，当从容器920内回收了处理液S的几乎全部时，停止泵942，同时关闭阀943。
[24]接着，在无机氧化物膜31的表面和细孔30的内面，使醇形成化学键(酯键)。
具体而言，通过使在平台950上设置的加热机构作动，对形成无机氧化物膜31的TFT基板17进行加热。
由此，在存在于无机氧化物膜31的表面和细孔30的内面的羟基、和醇具有的羟基之间发生脱水缩合反应，在无机氧化物膜31的表面和细孔30的内面，使醇形成化学键。
其结果，沿着无机氧化物膜31的表面和细孔30的内面，形成以醇的主骨架部分为主而成的被膜32，得到取向膜3。
其中，在进行该加热之前，根据需要，可以再次对腔室910内减压。
对TFT基板17的加热温度没有特别限制，但优选为80～250℃左右，更优选为100～200℃左右，当加热温度过低时，根据醇的种类、或无机氧化物的种类等，有可能无法在无机氧化物膜31上使醇充分形成化学键，另一方面，即使增高加热温度并超过上述上限值，估计也无法获得其以上的效果。
另外，对TFT基板17的加热时间也没有特别限定，但优选为20～180分钟左右，更优选为40～100分钟左右。当加热时间过短时，根据加热温度等其他条件，有可能无法在无机氧化物膜31上使醇充分形成化学键，另一方面，即使延长加热时间并超过上述上限值，估计也无法获得其以上的效果。
如上所述，作为使存在于无机氧化物膜31的表面和细孔30的内面的羟基、和醇发生反应的方法，通过使用通过加热的方法，可以比较容易且确实可靠地进行上述反应。
其中，上述反应不限于通过加热的方法，例如，也可以通过紫外线的照射、红外线的照射等进行。在该情况下，将进行各处理所必需的构件(机构)设置在处理装置900中。
此外，作为醇，当使用多种醇时，可以在上述处理液S中同时混合多种醇。此时，与无机氧化物膜31形成化学键的多种醇的比率，例如可以通过适当设定处理液中的多种醇的配合比、种类或分子量、处理条件等进行调节。
另外，准备分别含有各醇的多种处理液，顺次使用各处理液，如前所述可以处理TFT基板17。此时，优选从含有分子量最小的醇的处理液，向含有分子量更大的醇的处理液顺次变更，处理TFT基板17。由此，可以更确实可靠地使低分子量的醇形成化学键直到细孔30的深部。
进而，在可以选择性地使醇与无机氧化物膜31的表面附近形成化学键时，可以使处理液S单纯接触无机氧化物膜31的表面。由此，可以省略如前所述的处理装置900的使用，可以实现液晶面板1的制造工序的简化、或制造成本的降低。
作为使无机氧化物膜31接触处理液S的方法，例如，可以举出在无机氧化物膜31上涂布处理液S的方法(涂布法)、将形成无机氧化物膜31的TFT基板17浸渍到处理液S中的方法(浸渍法)、将无机氧化物膜31暴露于处理液S的蒸气中的方法等，可以使用其中的一种，还可以组合使用2种以上。
其中，就涂布法而言，可以使用旋涂法、浇铸法、细微凹版印刷涂敷法、凹版印刷涂敷法、棒涂法、辊涂法、拉丝锭涂敷法、浸涂法、喷涂法、丝网印刷法、苯胺印刷法、胶印印刷法、喷墨印刷法等。
[3]接着，使取向膜3、4对向，通过密封材料(未图示)接合TFT基板17和液晶面板用对向基板12，从由此形成的空隙部的密封孔(未图示)将液晶(液晶组合物)注入到空隙部内，然后堵塞该密封孔。
其中，在上述液晶面板1中，使用TFT基板用作液晶驱动基板，但液晶驱动基板可以使用TFT以外的其他液晶驱动基板、例如TFD基板、STN基板等。
接着，作为本发明的电子设备的一个例子，对使用了上述液晶面板1的电子设备(液晶投影仪)进行说明。
图4是模式地表示本发明的电子设备(投射型显示装置)的光学系统的图。
如该图所示，投射型显示装置300具有：光源301、具备多个积分透镜的照明光学系统、具备多个分色镜等的颜色分离光学系统(导光光学系统)、与红色对应的(红色用的)液晶光阀(液晶光闸阵列)24、与绿色对应的(绿色用的)液晶光阀(液晶光闸阵列)25、与蓝色对应的(蓝色用的)液晶光阀(液晶光闸阵列)26、形成只反射红色光的分色镜面211和只反射蓝色光的分色镜面212的分色棱镜(颜色合成光学系统)21、投射透镜(投射光学系统)22。
另外，照明光学系统具有积分透镜302和303。颜色分离光学系统具有：反射镜304、306、309，反射蓝色光和绿色光的(只透过红色光)的分色镜305，只反射绿色光的分色镜307，只反射蓝色光的分色镜(或反射蓝色光的反射镜)308，聚光透镜310、311、312、313、314。
液晶光阀25具备上述的液晶面板1。液晶光阀24和26的构成也与液晶光阀25相同。这些液晶光阀24、25和26具备的液晶面板1，分别与未图示的驱动电路连接。
其中，在投射型显示装置300中，由分色棱镜21和投射透镜22构成光学模块20。另外，由该光学模块20、固定设置在分色棱镜21上的液晶光阀24、25和26构成显示单元23。
下面，说明投射型显示装置300的作用。
从光源301射出的白色光(白色光束)透过积分透镜302和303。该白色光的光强度(亮度分布)通过积分器透镜302和303变得均匀。就从光源301射出的白色光而言，优选其光强度比较大的光。由此，可以使在屏幕320上形成的图像更加鲜明。另外，在投射型显示装置300中，使用耐光性出色的液晶面板1，所以，即使在从光源301射出的光的强度较大的情况下，也可以得到出色的长期稳定性。
透过积分透镜302和303的白色光，通过反射镜304向图4中左侧反射，其反射光中的蓝色光(B)和绿色光(G)分别通过分色镜305向图4中下侧反射，红色光(R)透过分色镜305。
已透过分色镜305的红色光通过反射镜306向图4中下侧反射，其反射光被聚光透镜310所修整，入射到红色用的液晶光阀24。
用分色镜305反射的蓝色光和绿色光中的绿色光通过分色镜307向图4中左侧反射，蓝色光透过分色镜307。
用分色镜307反射的绿色光被聚光透镜311所修整，入射到绿色用的液晶光阀25。
另外，透过分色镜307的蓝色光通过分色镜(或反射镜)308向图4中左侧反射，其反射光通过反射镜309向图4中上侧反射。上述蓝色光被聚光透镜312、313和314所修整，入射到蓝色用的液晶光阀26。
如此，从光源301射出的白色光，通过颜色分离光学系统被分离成红色、绿色和蓝色的三原色，分别导入到对应的液晶光阀而入射。
此时，液晶光阀24具有的液晶面板1的各像素(薄膜晶体管173和在其上连接的像素电极172)，通过根据红色用的图像信号作动的驱动电路(驱动机构)，进行开关控制(ON/OFF)即调制。
同样地，绿色光和蓝色光分别入射到液晶光阀25和26，由各自的液晶面板1所调制，由此形成绿色用的图像和蓝色用的图像。此时，液晶光阀25具有的液晶面板1的各像素，由根据绿色用的像素信号作动的驱动电路进行开关控制，液晶光阀26具有的液晶面板1的各像素，由根据蓝色用的像素信号作动的驱动电路进行开关控制。
由此，红色光、绿色光和蓝色光分别通过液晶光阀24、25和26进行调制，分别形成红色用的图像、绿色用的图像和蓝色用的图像。
由上述液晶光阀24形成的红色用的图像、即来自液晶光阀24的红色光，从面213入射到分色棱镜21，通过分色镜面211向图4中左侧反射，透过分色镜面212，从射出面216射出。
另外，由上述液晶光阀25形成的绿色用的图像、即来自液晶光阀25的绿色光，从面214入射到分色棱镜21，分别透过分色镜面211和212，从射出面216射出。
另外，由上述液晶光阀26形成的蓝色用的图像、即来自液晶光阀26的蓝色光，从面215入射到分色棱镜21，通过分色镜面212向图4中左侧反射，透过分色镜面211，从射出面216射出。
如此，来自上述液晶光阀24、25和26的各色光、即通过液晶光阀24、25和26形成的各图像，是由分色棱镜21合成，由此形成彩色的图像。该图像通过投射透镜22被投影(放大投射)在设置于规定位置上的屏幕320上。
本实施方式的投射型显示装置300具有3个液晶面板，所有液晶面板都应用液晶面板1，并对此进行说明，但可以是其中的至少一个为液晶面板1。此时，优选至少在蓝色用的液晶光阀中应用液晶面板1。
其中，就本发明的电子设备而言，除了图4的投射型显示装置之外，还可以举出个人电脑(移动型个人电脑)、移动电话机(包括PHS)、数码相机、电视、摄影机、探视器、监视器直视型的磁带录像机、导航装置、寻呼机、电子笔记本(也包括通信功能)、电子词典、台式电子计算机、电子游戏机、文字处理器、工作站、电视电话、防范用电视监视器、电子双眼望远镜、POS终端、具备接触面板的设备(例如金融机关的自动提款机、自动售票机)、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖计、心电显示装置、超声波诊断装置、内窥镜用显示装置)、鱼群探测器、各种测定设备、仪器类(例如，车辆、航空机、船舶的仪器类)、飞行模拟装置等。此外，作为这些各种电子设备在显示部、监视器部具备的液晶面板，当然可以应用上述本发明的液晶面板。
以上，根据图示的实施方式，说明本发明的液晶面板和电子设备，但本发明并不限于此。
例如，在本发明的液晶面板和电子设备中，各部的构成可以置换成发挥同样功能的任意构成，另外，也可以附加任意构成。
实施例
接着，对本发明的具体实施例进行说明。
1.带取向膜TFT基板的制造
下面，分别制作各样品No.的带取向膜TFT基板各10个。
(样品No.11)
<1A>首先，准备图1所示的TFT基板，设置在真空蒸镀装置，并使基板面相对于蒸镀源的夹角为50°。
此外，对蒸镀装置内减压(10-4Pa)，斜向蒸镀SiO2，制作带有斜向蒸镀膜(无机氧化物膜)的TFT基板。
其中，就得到的斜向蒸镀膜而言，其细孔相对于玻璃基板的上面的角度约为70°。
<2A>接着，在清洁炉中，在200℃×90分钟下对带有斜向蒸镀膜的TFT基板进行加热，在加热结束后，马上移动至干燥的氮气气氛中，直接放置。
<3A>接着，准备1-辛醇(分子量：130)和2-丙醇(分子量：60)的混合液(重量比＝95∶5)，使用过滤器除去离子性杂质，然后通过氮发泡除去含有的微量水分，制备处理液。
<4A>接着，在图3所示的处理装置内，搬入带有斜向蒸镀膜的TFT基板，在容器(聚四氟乙烯制)内，设置成使斜向蒸镀膜朝上。
此外，密闭腔室之后，向容器内提供已准备好的处理液，将带有斜向蒸镀膜的TFT基板浸渍在处理液中。
<5A>接着，在上述工序<4A>的状态下，将腔室内减压至100Pa。
由此，将斜向蒸镀膜的细孔内的气体置换成处理液。即，在细孔内浸透处理液。
<6A>接着，将过剩的处理液从容器排出，然后再次将腔室内减压至133Pa(1Torr)，在150℃×1小时下加热基板。
由此，在斜向蒸镀膜的表面和细孔的内面，使1-辛醇和2-丙醇形成化学键。
<7A>在加热结束后，在维持减压状态的同时进行放冷。
其中，就得到的取向膜而言，其平均厚度为45nm。
对所制作的带取向膜TFT基板中的3个分别加热至200℃，用GC-MS(株式会社岛津制作所制，“GC-MS QP5050A”)分析产生的气体。
此外，根据得到的GC-MS的曲线图，对源自丙烯和辛烯的峰的面积进行时间积算，求出产生的丙烯和辛烯的量(以下相同)。
其结果，丙烯∶辛烯＝90∶10。
其中，产生的丙烯和辛烯的量与已在斜向蒸镀膜上形成化学键的2-丙醇和1-辛醇的量分别成比例。
因此，在无机氧化物膜上形成化学键的醇的平均分子量为123。
(样品No.12)
准备1-辛醇，使用过滤器除去离子性杂质，然后通过氮发泡除去含有的微量水分，制备处理液，并使用该处理液，除此之外，与上述样品No.11一样，制造带取向膜TFT基板。
(样品No.13)
准备2-丙醇，使用过滤器除去离子性杂质，然后通过氮发泡除去含有的微量水分，制备处理液，并使用该处理液，除此之外与上述样品No.11一样，制造带取向膜TFT基板。
(样品No.14)
斜向蒸镀Al2O3来代替SiO2，形成取向膜，除此之外，与上述样品No.11一样，制造带取向膜TFT基板。
GC-MS分析的结果，丙烯∶辛烯＝93∶7。
因此，在无机氧化物膜上形成化学键的醇的平均分子量为125。
(样品No.15)
斜向蒸镀Al2O3来代替SiO2，形成取向膜，除此之外，与上述样品No.12一样，制造带取向膜TFT基板。
(样品No.16)
斜向蒸镀Al2O3来代替SiO2，形成取向膜，除此之外，与上述样品No.13一样，制造带取向膜TFT基板。
2.带取向膜的液晶面板用对向基板的制作
下面，分别制作各样品No.的带取向膜液晶面板用对向基板各10个。
(样品No.21)
<1B>首先，准备图1所示的液晶面板用对向基板，设置在真空蒸镀装置，并使基板面相对于蒸镀源的夹角为50°。
此外，对蒸镀装置内减压(10-4Pa)，斜向蒸镀SiO2，制作带有斜向蒸镀膜(无机氧化物膜)的液晶面板用对向基板。
其中，就得到的斜向蒸镀膜而言，其细孔相对于液晶面板用对向基板的上面的角度约为70°。
<2B>接着，在清洁炉中，在200℃×90分钟下对带有斜向蒸镀膜的液晶面板用对向基板进行加热，在加热结束后，马上移动至干燥的氮气气氛中，直接放置。
<3B>接着，准备2-丙醇，使用过滤器除去离子性杂质，然后通过氮发泡除去含有的微量水分，制备处理液。
<4B>接着，在图3所示的处理装置内，搬入带有斜向蒸镀膜的液晶面板用对向基板，在容器(聚四氟乙烯制)内，设置成使斜向蒸镀膜朝上。
此外，密闭腔室之后，向容器内提供已准备好的处理液，将带有斜向蒸镀膜的液晶面板用对向基板浸渍在处理液中。
<5B>接着，在上述工序<4B>的状态下，将腔室内减压至100Pa。
由此，将斜向蒸镀膜的细孔内的气体置换成处理液。即，在细孔内浸透处理液。
<6B>接着，将过剩的处理液从容器排出，然后再次将腔室内减压至133Pa(1Torr)，在150℃×1小时下加热基板。
由此，在斜向蒸镀膜的表面和细孔的内面，使2-丙醇形成化学键。
<7B>在加热结束后，在维持减压状态的同时进行放冷。
其中，就得到的取向膜而言，其平均厚度为43nm。
(样品No.22)
准备1-辛醇，使用过滤器除去离子性杂质，然后通过氮发泡除去含有的微量水分，制备处理液，并使用该处理液，除此之外与上述样品No.21一样，制造带取向膜的液晶面板用对向基板。
(样品No.23)
准备2-丙醇(分子量：60)和乙醇(分子量：46)的混合液(重量比＝75∶25)，使用过滤器除去离子性杂质，然后通过氮发泡除去含有的微量水分，制备处理液。
GC-MS分析的结果，丙烯∶乙烯＝75∶25。
因此，在无机氧化物膜上形成化学键的醇的平均分子量为57。
(样品No.24)
斜向蒸镀Al2O3来代替SiO2，形成取向膜，除此之外，与上述样品No.21一样，制造带取向膜的液晶面板用对向基板。
(样品No.25)
斜向蒸镀Al2O3来代替SiO2，形成取向膜，除此之外，与上述样品No.22一样，制造带取向膜的液晶面板用对向基板。
(样品No26)
斜向蒸镀Al2O3来代替SiO2，形成取向膜，除此之外，与上述样品No.23一样，制造带取向膜的液晶面板用对向基板。
GC-MS分析的结果，丙烯∶乙烯＝70∶30。
因此，在无机氧化物膜上形成化学键的醇的平均分子量为56。
3.液晶面板的制造
下面，分别制造各实施例和各比较例的液晶面板。
(实施例1A)
首先，对于样品No.11的带取向膜TFT基板，沿着已形成取向膜的面的外周部，残留成为液晶注入口的部分，印刷热固化型胶粘剂(日本化药公司制，“ML3804P”)，以80℃×10分钟加热，除去溶剂。
其中，热固化型胶粘剂是混合了直径约为3μm的二氧化硅球的环氧树脂。
接着，使样品No.21的带取向膜的液晶面板用对向基板的已形成取向膜的面为内侧，在压接2个基板的同时，通过以140℃×1小时加热，进行贴合。
另外，配置2个基板使取向膜的取向成180°。
接着，向贴合2个基板而形成的内侧的空间，通过真空注入法从液晶注入口注入氟系的负的电感应各向异性液晶(メルク公司制，“MLC-6610”)。
接着，使用丙烯酸系的UV胶粘剂(ヘンケルジヤパン公司制，“LPD-204”)，以3000mJ/cm2照射波长365nm的UV，使液晶注入口固化，密封液晶注入口。
如上所述，制造液晶面板。
(实施例2A)
除了使用样品No.12的带取向膜TFT基板和样品No.21的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
(实施例3A)
除了使用样品No.11的带取向膜TFT基板和样品No.23的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
(比较例1A)
除了使用样品No.13的带取向膜TFT基板和样品No.21的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
(比较例2A)
除了使用样品No.12的带取向膜TFT基板和样品No.22的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
(实施例1B)
除了使用样品No.14的带取向膜TFT基板和样品No.24的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
(实施例2B)
除了使用样品No.15的带取向膜TFT基板和样品No.24的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
(实施例3B)
除了使用样品No.14的带取向膜TFT基板和样品No.26的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
(比较例1B)
除了使用样品No.16的带取向膜TFT基板和样品No.24的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
(比较例2B)
除了使用样品No.15的带取向膜TFT基板和样品No.25的带取向膜的液晶面板用对向基板之外，与上述实施例1A一样，制造液晶面板。
4.液晶面板的耐光性试验和残像确认试验
就耐光性试验而言，分别设置在各实施例和各比较例中制造的液晶面板，作为图4所示的投射型显示装置的蓝色用的液晶光阀，将液晶面板的表面温度保持在55℃，连续点亮光源，对直至出现显示异常的时间进行测定。
其中，光源使用130WUHP灯(フイリツプス公司制)。
另外，就残像确认试验而言，分别将在各实施例和各比较例中制造的液晶面板设置在残像评价装置上，在60℃的恒温条件下，施加5V-60Hz的电压1小时，使同一画面进行输出，随后进行设置，作为图4所示的投射型显示装置的绿色用的液晶光阀，目视确认在投影画面是否发生残像。
其结果显示于下述表1。
表1
  斜向蒸镀膜的构成材料   TFT基板侧的取向膜   液晶面板用对向基板侧的取向膜   直到出现显示异常的时间(相对值)   残像确认结果
  实施例1A   SiO2   2-丙醇+1-辛醇   2-丙醇   9.2   ○
  实施例2A   1-辛醇   2-丙醇   8.3   ○
  实施例3A   2-丙醇+1-辛醇   乙醇+2-丙醇   9.8   ○
  比较例1A   2-丙醇   2-丙醇   1.0   △
  比较例2A   1-辛醇   1-辛醇   8.2   ×
  实施例1B   Al2O3   2-丙醇+1-辛醇   2-丙醇   10.0   ○
  实施例2B   1-辛醇   2-丙醇   9.1   ○
  实施例3B   2-丙醇+1-辛醇   乙醇+2-丙醇   10.5   ○
  比较例1B   2-丙醇   2-丙醇   1.0   △
  比较例2B   1-辛醇   1-辛醇   9.0   ×
其中，在表1中，将直到在比较例1A的液晶面板中出现显示异常为止的时间设为“1.0”，分别用相对值表示直到在实施例1A～3A和比较例2A的液晶面板中出现显示异常为止的时间。另外，将直到在比较例1B的液晶面板中出现显示异常为止的时间设为“1.0”，分别用相对值表示直到在实施例1B～3B和比较例2B的液晶面板中出现显示异常为止的时间。
另外，关于残像，将没有残像的情况设为“○”，将稍微有残像的情况设为“△”，将有相当量残像的情况设为“×”。
由表1可知，实施例1A～3A的液晶面板，相对于比较例1A的液晶面板，其直到出现显示异常为止的时间都延长，另外，实施例1B～3B的液晶面板，相对于比较例1B的液晶面板，其直到出现显示异常为止的时间都延长。
另外，可知实施例1A～3A和1B～3B的液晶面板，都难以出现残像。与此相对，比较例1A、2A、1B、2B的液晶面板都在短时间内出现残像。

Claims (11)

1.一种液晶面板，具有第一基板、与该第一基板对向的第二基板、在所述第一基板上设置的第一取向膜、在所述第二基板上设置的第二取向膜、介于所述第一取向膜与所述第二取向膜之间的液晶层，其特征在于，
所述第一取向膜和所述第二取向膜，均是使醇与存在于通过斜向蒸镀法形成并且具有多个细孔的无机氧化物膜的至少表面上的羟基化学键合而形成的取向膜，
所述第一取向膜的醇的平均分子量和所述第二取向膜的醇的平均分子量不同。
2.如权利要求1所述的液晶面板，其特征在于，
所述第一基板具有驱动用元件，
所述第一取向膜的醇的平均分子量比所述第二取向膜的醇的平均分子量大。
3.如权利要求2所述的液晶面板，其特征在于，
所述第一取向膜的醇的平均分子量为100～400。
4.如权利要求3所述的液晶面板，其特征在于，
所述第一取向膜的醇主要是碳原子数为6～30的醇。
5.如权利要求2～4中任意一项所述的液晶面板，其特征在于，
所述第二取向膜的醇的平均分子量为32～70。
6.如权利要求5所述的液晶面板，其特征在于，
所述第二取向膜的醇主要是碳原子数为1～4的醇。
7.如权利要求1～6中任意一项所述的液晶面板，其特征在于，
所述第一取向膜和所述第二取向膜，均是在所述无机氧化物膜的细孔的内面的羟基也与所述醇化学键合而形成的取向膜。
8.如权利要求1～7中任意一项所述的液晶面板，其特征在于，
所述第一取向膜的醇和所述第二取向膜的醇中的至少一方，含有多种醇。
9.如权利要求1～7中任意一项所述的液晶面板，其特征在于，
所述第一取向膜的醇和所述第二取向膜的醇中的任一方含有多种醇，另一方由一种醇构成，
所述一方的取向膜的醇含有与所述另一方的取向膜的醇同种的醇。
10.如权利要求1～7中任意一项所述的液晶面板，其特征在于，
所述第一取向膜的醇和所述第二取向膜的醇双方均含有多种醇，
所述第一取向膜的醇和所述第二取向膜的醇含有同种醇。
11.一种电子设备，其特征在于，
具备权利要求1～10中任意一项所述的液晶面板。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102789082A (zh) * 2012-08-10 2012-11-21 京东方科技集团股份有限公司 液晶显示面板及液晶显示装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4670452B2 (ja) * 2005-04-19 2011-04-13 セイコーエプソン株式会社 液晶パネルの製造方法
JP4297088B2 (ja) * 2005-07-04 2009-07-15 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器
JP4701888B2 (ja) * 2005-07-14 2011-06-15 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4030997A (en) * 1975-04-21 1977-06-21 Hughes Aircraft Company Method of aligning liquid crystals
US5011267A (en) * 1986-10-14 1991-04-30 Hughes Aircraft Company Method for tilted alignment of liquid crystals with improved photostability
JPH04345126A (ja) * 1991-05-22 1992-12-01 Fuji Photo Film Co Ltd 液晶表示素子
EP0518333B1 (en) * 1991-06-14 2002-08-28 Hughes Aircraft Company Method for inducing tilted perpendicular alignment in liquid crystals
JP3132193B2 (ja) 1991-11-08 2001-02-05 日本ビクター株式会社 液晶表示デバイス及び液晶表示デバイスの製造方法
CA2123658C (en) * 1993-05-19 1999-01-19 Willis H. Smith, Jr. Inducing tilted parallel alignment in liquid crystals
JPH11160711A (ja) 1997-11-25 1999-06-18 Victor Co Of Japan Ltd 液晶配向膜の製造方法及びその装置
JP2000047211A (ja) * 1998-07-31 2000-02-18 Sony Corp 液晶素子及びその製造方法
JP2001100210A (ja) * 1999-09-28 2001-04-13 Nec Kagoshima Ltd 液晶表示装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102789082A (zh) * 2012-08-10 2012-11-21 京东方科技集团股份有限公司 液晶显示面板及液晶显示装置
CN102789082B (zh) * 2012-08-10 2015-10-21 京东方科技集团股份有限公司 液晶显示面板及液晶显示装置

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