CN1877138A - 真空设备和用于真空设备的过滤器的制造方法 - Google Patents

Abstract

主体部分(12)具有用于除去包含于压力流体内的灰尘或类似物的过滤器(50)，和用于减小当压力流体从喷射器(14)排出时产生的排放声音的消音器(74)，其中所述喷射器(14)用作真空发生装置。过滤器(50)形成为具有基本上伸长的圆形横截面，该横截面具有一对圆弧部分(58a，58b)。此外，过滤器(50)形成为由内层(50a)和外层(50b)组成的两层结构，这是通过缠绕分别具有不同材料性质的纤维材料获得的。

Description

真空设备和用于真空设备的过滤器的制造方法

技术领域

本发明涉及一种为工作装置例如吸垫(suction pad)提供负压的真空设备，并且还涉及一种用在这种真空设备中的过滤器的制造方法。特别地，本发明涉及一种真空设备，它具有能够在供给和切断负压之间转换的电磁操纵阀部分，以及一种用在真空设备中的过滤器的制造方法。

背景技术

例如，可用作工件的定位装置以及输送装置的真空设备到迄今为止已知。可这样操作这种真空设备，即，将抽吸装置例如吸垫连接到设备主体上，并且在从设备主体供给的负压作用下，由抽吸装置吸引工件。在使工件保持为吸引状态的同时，将其移位并且输送，并通过释放该工件而使其在预定位置处脱离。

本申请人已经提出了一种真空设备，它包括设备主体、产生负压的真空发生装置，以及转换抽吸装置的吸引状态的压力开关。在这种真空设备中，压力流体被供给到设备主体中。通过将压力流体从设备主体导入到真空发生装置而产生负压，这样，将负压供给到抽吸装置。在这个过程中，压力流体通过设于设备主体内的过滤器。因此，可将压力流体中包含的灰尘或者类似物去除。此外，可用于减小排放压力流体时产生的排放声的消音器被设于排放口内，压力流体通过所述排放口被排放到外部(参见日本公开专利NO.11-114862)。

通常，在许多情况下，多个前述真空设备平行布置。然而，当真空设备以这种对齐的方式布置时，将增加宽度方向上的尺寸。因此，优选的是每一单独的真空设备宽度方向上的尺寸被减小，由此，当真空设备平行布置时，可使其宽度方向上的尺寸减小。

此外，真空设备的构件的数目应该优选地是被减少，以改善组装操作，并且降低真空设备的制造成本。

发明内容

本发明的总体目的在于提供一种真空设备以及用在这种真空设备中的过滤器的制造方法，其中可减少零部件数目从而降低生产成本，改善组装操作，并且实现真空设备尺寸的紧凑性。

结合附图并通过以下的说明，本发明上面的和其它的目的、特征以及优点将变得更为明显，其中在所述附图中，本发明的优选实施例仅以示例的方式示出。

附图说明

图1为根据本发明实施例的真空设备外观的透视图；

图2为图1中所示真空设备的垂直剖视图；

图3为将过滤器从图1中的真空设备中取出的状态的局部分解透视图；

图4为单独将图3所示过滤器示出的垂直剖视图；和

图5为当制造图4中所示过滤器时所执行的生产步骤的示意图。

具体实施方式

参照图1，附图标记10表示根据本发明实施例的真空设备。

如图1至3所示，真空设备10包括由树脂材料制成的主体部分12、连接到主体部分12的侧部上并且作为真空发生装置的喷射器14、检测喷射器14压力状态的真空转换部分16以及设于主体部分12上部的电磁操纵阀部分22，其中所述电磁操纵阀部分22具有供给导向阀(供给方向控制阀)18和真空破坏导向阀(真空破坏方向控制阀)20。

供给口(压力流体供给口)24和真空口26形成于主体部分12的侧表面上，其中所述供给口24将压力流体(例如，压缩空气)供给到喷射器14，而真空口26以预定间距与供给口24相分隔，并且由喷射器14产生的负压被供给到该真空口26。未示出的吸垫通过管或者类似物连接到真空口26。

在供给口24和喷射器14之间建立连通的供给通道28形成在主体部分12内。相关于喷射器14在供给和切断压力流体之间进行转换的供给阀30被设于第一安装孔32内，其中所述第一安装孔32设在供给通道28的中间位置处。使真空口26解除真空状态的真空破坏阀(breaker valve)36被设于第二安装孔34内，所述第二安装孔34以预定距离与第一安装孔32分隔。

供给阀30包括活塞部分38a和阀部分42a，其中，所述活塞部分38a在第一安装孔32内可轴向移动，并且与第一安装孔32的内周面滑动接触，而所述阀部分42a与活塞部分38a相连，并且被就位到设于第一安装孔32内的阀座40a上以及与其分离。缸腔44a形成在活塞部分38a的端面和第一安装孔32之间，其中，导向压力在供给导向阀18的帮助下被供给到缸腔44a。阀部分42a通过活塞部分38a并在供给到缸腔44a的导向压力所产生的挤压作用下与阀座40a分离(阀的开启状态)。

即，当供给阀30处于阀开启状态下时，供给口24通过第一安装孔32与喷射器14连通。相反地，当供给阀30处于阀关闭状态下时，供给口24和喷射器14之间的连通被切断。

另一方面，真空破坏阀36包括活塞部分38b和阀部分42b，其中，所述活塞部分38b在第二安装孔34内可轴向移动，并且与第二安装孔34的内周面滑动接触，而所述阀部分42b与活塞部分38b相连，并且被就位到设于第二安装孔34内的阀座40b上以及与其分离。缸腔44b形成在活塞部分38b的端面和第二安装孔34之间，其中，导向压力通过真空破坏导向阀20被供给到缸腔44b。阀部分42b通过活塞部分38b并在供给到缸腔44b的导向压力所产生的挤压作用下与阀座40b分离(阀的开启状态)。供给阀30和真空破坏阀36基本上平行布置，并位于供给通道28中的中间位置处，从而供给阀30位于喷射器14那一侧。

即，当真空破坏阀36处于阀开启状态下时，压缩空气通过第二安装孔34从供给通道28流到与过滤器50相通的破坏通道54。当真空破坏阀36处于阀关闭状态下时，通过破坏通道54在第二安装孔34和过滤器50之间建立的连通被切断。

流量调节阀48被设于主体部分12上部处的阀孔46内，其中，所述阀孔46在主体部分12的一个侧面上敞开。流量调节阀48基本上与供给口24平行布置。流量调节阀48被螺接(screw-engaged)在阀孔46中，并且可相对于阀孔46轴向移动。

阀孔46形成于破坏通道54内的中间位置处，其中，所述破坏通道54使第二安装孔34和过滤器孔52互连，在过滤器孔52内安装有过滤器50(正如之后所要描述的)。阀孔46与过滤器孔52和第二安装孔34相通。因此，当流量调节阀48被旋动并在轴向移动时，经由阀孔46流向过滤器孔52的压力流体的流量可被调节。

如图3所示，过滤器50安装在主体部分12的基本上中部内。例如，吸入到主体部分12内的空气中含有的灰尘和水可通过过滤器50而被去除，其中，所述过滤器50被设于真空口26和喷射器14之间。过滤器50由例如由聚丙烯或者聚乙烯构成的纤维材料制成，其中，所述纤维材料被卷绕成具有预定宽度的圆筒形状。过滤器50被安装在主体部分12的过滤器孔52内。

特别地，如图4所示，过滤器50具有两层式结构，其中，内周部分和外周部分分别由不同的材料构成。形成的过滤器50为：内层(第一层)50a的厚度基本上等于外层(第二层)50b的厚度。外层50b内的孔大于内层50a内的孔。这里所指的过滤器50的孔由间隙构成，其中，当具有不同直径的多个纤维材料被缠绕以形成过滤器50时，所述间隙存在于纤维材料线(string)之间。

过滤器50的横截面形状为伸长的圆形，由一对以预定距离彼此间隔的平表面部分56a、56b和一对分别与平表面部分56a、56b的端部相互连接的圆弧部分58a、58b构成。一对圆弧部分58a、58b之间的间距L1例如可被设置为平表面部分56a、56b之间的间距L2的大约3倍(L1≈L2×3)。即，过滤器50形成为伸长的圆形形状，它具有狭窄的宽度方向的尺寸(L2)，其中，圆弧部分58a、58b形成在平表面部分56a、56b的端部，并且所述平表面部分56a、56b分别延伸预定的长度。

如图2所示，过滤器50的一端与过滤器盖60相接合，其中，所述过滤器盖60安装在主体部分12的侧表面上，由此将过滤器孔52封闭。过滤器盖60由紧固螺栓64固定在主体部分12上，其中，所述紧固螺栓64插入到过滤器盖60的插入孔62内。因此，过滤器50被置于过滤器盖60和主体部分12的内壁之间，从而过滤器50被可靠地保持在主体部分12内。

如图2和3所示，防脱离环66基本上安装在紧固螺栓64轴向上的中部。防脱离环66比插入孔62的直径大。因此，可防止紧固螺栓64与过滤器盖60脱离。此外，由弹性材料制成的密封环68被插入到紧固螺栓64上。当过滤器盖60固定到主体部分12上时，将密封环68安装到插入孔62的内部。因此，防止了任何包含在过滤器孔52内的流体经由插入孔62泄漏到外部。

过滤器孔52分别与一对凹槽70a、70b连通，其中，所述凹槽70a、70b形成在与喷射器14相连的主体部分12的侧部处。过滤器孔52通过凹槽70a、70b与喷射器14的内部连通。

另一方面，与喷射器14连通以用于排放从喷射器14进给的压力流体的排放口72形成于主体部分12的下部。消音器(消音部分)74被设于排放口72内，用于减小当压力流体从喷射器14排放时的排放声音。

喷射器14叠置于主体部分12的一个侧表面上，所述的那对凹槽70a、70b形成于该侧表面上。喷射器14通过设于喷射器14侧部的盖件76而被一体地连接到主体部分12上。

喷射器14包括连接到主体部分12上的壳体78、限定在壳体78内并与供给通道28连通的供给腔80、与排放口72连通的排放腔82、形成于供给腔80和排放腔82之间的第一和第二扩散腔84、86，以及布置于供给腔80内的喷嘴88。供给腔80、排放腔82以及第一和第二扩散腔84、86各自形成并且彼此独立。

喷嘴88安装在壳体78的上部内。在轴向上贯穿的第一通道90形成在喷嘴88内。第一通道90形成为锥形，其直径朝着与第一扩散腔84相邻设置的端部方向逐渐增大。第一通道90经由供给腔80而与主体部分12的供给通道28连通。

第一和第二扩散腔84、86形成在喷嘴88下方、与形成于主体部分12侧部的凹槽70a、70b对应的各个位置处。第二通道92形成于第一扩散腔84和第二扩散腔86之间。第三通道94在竖直方向上形成在第二扩散腔86和排放腔82之间。

第二通道92形成在与第一通道90相对的位置处。设于正对着喷嘴88的一侧上的第二通道92的一个端部形成为锥形，其直径朝着喷嘴88的方向逐渐增大。因此，以巨大的力从喷嘴88的第一通道90喷出的流体可被第二通道92恰当地捕获。

被导入到第二扩散腔86内的压力流体经由第三通道94流到排放腔82，由此，流体然后流向排放口72。第一、第二和第三通道90、92、94基本上在喷射器14的竖直方向上沿直线布置和对齐。

另一方面，塞子96安装在壳体78的下部中，从而将排放腔82封闭。塞子96保持壳体78内部的气密性。

真空转换部分16被连接到将喷射器14的一个侧部封闭的盖件76上。连通真空转换部分16包括穿过盖件76与喷射器14的内部连通的连通通道98、紧接于连通通道98布置并且检测喷射器14内压力的压力传感器100，以及被电连接到电磁操纵阀部分22上的控制单元(未示出)。

压力传感器100通过连通通道98检测喷射器14的内部压力。所获得的压力值作为输出信号被输出到控制单元。根据所获得的压力值，控制信号从控制单元被输出到供给导向阀18和真空破坏导向阀20。

电磁操纵阀部分22通过板102而被连接到主体部分12的上部。供给导向阀18和真空破坏导向阀20彼此相邻布置。供给导向阀18和真空破坏导向阀20通过各自的导线104而被连接到真空转换部分16的控制单元(未示出)上。当根据从控制单元输送的控制信号对螺线管进行励磁的时候，未示出的阀塞进行开闭动作。

作为导向压力的压力流体从未示出的压力流体供给源被供给到供给导向阀18。导向压力通过开/闭阀塞而经导向通道(未示出)被供给到第一安装孔32。

位于第一安装孔32内的供给阀30的阀部分42a根据供给到第一安装孔32的缸腔44a的导向压力而在轴向上移动。阀部分42a就位于阀座40a上或者与其分离，从而分别在阀开启和阀关闭状态之间进行转换。

以和在供给导向阀18中相同的方式，作为导向压力的压力流体从压力流体供给源(未示出)被供给到真空破坏导向阀20。通过对未示出的阀塞进行开启/关闭，导向压力经导向通道(未示出)被供给到第二安装孔34。

位于第二安装孔34内的真空破坏阀36的阀部分42b根据供给到第二安装孔34的缸腔44b的导向压力而在轴向上移动。阀部分42b就位于阀座40b上或者与该阀座分离，从而分别在阀开启和阀关闭状态之间进行转换。

根据本发明实施例的真空设备10基本上如上所述地被构造。接下来，将参照图5进行详述，涉及一种容纳于真空设备10内的过滤器50的制造方法。

首先，构成过滤器50的纤维材料(例如，热粘合或者热粘接的复合纤维)被以预定的厚度缠绕在圆柱形的模具106周围，其中，所述模具106具有理想的圆形横截面。过滤器50由包括多个纤维材料的两层组成，以提供具有不同尺寸的孔。因此，将第一纤维材料以预定的厚度缠绕在模具106的外周表面。然后，将第二纤维材料以预定的厚度缠绕以将第一纤维材料覆盖，其中，所述第二纤维材料具有更大的纤维直径，这样与缠绕的第一纤维材料的孔相比产生更大的孔。其它要说明的是，所采用的第一纤维材料的纤维直径比第二纤维材料的纤维直径小。

这样就形成圆筒形部件108，其中，由第一和第二纤维材料形成的两层以基本恒定的宽度被缠绕在模具106的外周表面上(参见图5所示的第一步)。换句话说，第一纤维材料形成了模具106表面上的内层，而第二纤维材料形成了外层，并且外层形成在内层的外周表面之上。

以这种布置方式，构成外层(第二层)50b的第二纤维材料的纤维直径大于构成内层(第一层)50a的纤维直径。因此，与内层50a相比，外层50b中纤维材料线之间的间隙(孔)更大。即，外层50b的孔比内层50a的孔更大。

随后，将模具106从圆筒部件108中取出，并且将成型夹具110插入到圆筒部件108内。成型夹具110具有一对轴部112a、112b。轴部112a、112b能够自由地彼此相互靠近和彼此分离。此外，轴部112a、112b的直径分别小于模具106的直径。

这对轴部112a、112b在彼此分离的方向上被移动，同时轴部112a、112b分别邻靠圆筒部件108的内周表面(参见图5中所示的第二步)。轴部112a、112b在彼此分离的方向上进一步被移动，并且相应地，圆筒部件108通过轴部112a、112b发生变形，从而圆筒部件108从邻靠着轴部112a、112b的基点处开始基本上在水平方向上被伸长。

这样，通过轴部112a、112b使圆筒部件108变形为伸长的圆形，该圆形具有基本上彼此平行的平表面部分56a、56b和一对圆弧部分58a、58b，其中，所述圆弧部分58a、58b位于平表面部分56a、56b的端部处并且具有与轴部112a、112b基本相同的半径(参见图5中所示的第三步)。在这个步骤中，对轴部112a、112b彼此分离的移动速度进行控制，从而使轴部112a、112b的移动速度基本上彼此相等。

最后，在圆筒部件108处于通过那对轴部112a、112b而已被变形成伸长的圆形横截面的状态期间，以预定的温度(例如，150℃)并且持续预定的时间(例如，15分钟)对圆筒部件108进行热处理(例如，烧结处理)。圆筒部件108被形成，其横截面被永久变形成伸长圆形。因此，当轴部112a、112b与圆筒部件108脱离时，过滤器50就被制成为变形的圆筒部件108(参见图5所示的第四步)。

如上所述，利用成型夹具110使采用纤维材料缠绕而成的圆筒部件108变形，并且然后对该圆筒部件108进行热处理，可制成具有基本为伸长圆形横截面的过滤器50。因此，与圆筒部件具有理想的圆形横截面的情况相比，可制得更薄型的过滤器50。

为了制造上述的伸长圆形过滤器50，以前就已经采用了以下制造方法。即，制造具有与过滤器50的形状对应的伸长圆形横截面的模具，将纤维材料缠绕在该模具的周向表面上。然而，在这种情况下，分别需要与不同过滤器50的形状对应的几个模具。因此，就出现了模具成本增加的问题。与以前的制造方法相比，在根据本发明实施例的过滤器50的情况下，利用可被不昂贵地制造的理想的圆形模具106，预先缠绕纤维材料以制造圆筒部件108。然后，利用成型夹具110将该圆筒部件108变形成伸长的圆形。因此，与传统的过滤器50相比，就可以不昂贵的方式来制造根据本发明实施例的过滤器50。

此外，该过滤器50具有两层式结构，这两层式的结构具有不同的孔尺寸。因此，与其它迄今为止具有单层的传统过滤器相比，本发明的过滤器50可具有多个尺寸的孔。即，在传统过滤器的情况下，孔仅仅具有单一的孔尺寸。因此，以前难于设计具有除了单一预定值之外尺寸的孔，以避免由于灰尘或者类似物造成的堵塞情况。

作为对比，在本发明实施例的过滤器50中，提供了两层式结构，其中内层50a和外层50b由两种具有不同纤维直径的纤维材料组成。与传统的过滤器的孔相比，外层50b的孔可相对较大，而内层50a的孔可较小。因此，与传统过滤器相比，过滤器50的外层50b的孔隙度或者孔隙百分比可增加，由此避免由灰尘或者类似物引起的堵塞。这样，可提高过滤器50的耐用性。同时，可通过降低内层50a的孔隙度来更加可靠地将灰尘或类似物去除。孔隙度被定义为孔相对于过滤器50的表面积的比率。

接下来，将对真空设备10的操作、功能和效果进行说明，其中所述真空设备10包含如上所述制造的过滤器50。

当输送未示出的工件时，通过包含在真空转换部分16中的控制单元(未示出)将控制信号输出到供给导向阀18。导向压力从供给导向阀18被供给到第一安装孔32。活塞部分38a在由导向压力施加的挤压作用下被向下挤压，并且供给阀30的阀部分42a与阀座40a分离。因此，供给阀30处于开的状态(阀开启状态)。此时，真空破坏阀36处于阀关闭状态。因此，压力流体不流向破坏通道54。

相应地，压力流体从供给口24经主体部分12的供给通道28被供给到喷射器14。压力流体顺序地流经第一至第三通道90、92和94，因此产生负压。负压流体从喷射器14经凹槽70a、70b以及过滤器孔52被供给到真空口26。负压流体被供给到与真空口26相连的吸垫(未示出)。

在这个过程中，负压流体流经过滤器孔52的内部并且通过过滤器50。这样，负压流体内所含的灰尘、水或者类似物被去除。特别地，压力流体从过滤器50的外部流向内部。因此，首先，当负压流体经过外层50b时，大的灰尘颗粒或者类似物被外层50b去除。当负压流体经过内层50a时，任何残留的灰尘或者类似物被去除，其中，内层50a的孔比外层50b的孔小。因此，过滤器50以阶段式的方式将灰尘或者类似物去除。这样，就可能减少可能在过滤器50内产生的堵塞。

当未示出的吸垫在提供的负压流体的负压作用下将工件(未示出)吸引住时，并且由喷射器14产生的负压被增加时，那么，与喷射器14相通的压力传感器100将检测到负压的增加。当压力超过之前建立的预定压力时，输出信号被输出到控制单元，因此，控制单元确认工件已经可靠地被吸垫吸引和吸住。

接下来，将对这样一个过程进行说明，其中在此过程中，由吸垫实施的对工件的吸引被保持，然后在工件利用未示出的机械手或者类似物已经被移动后，取消负压流体的供给，从而使工件可在预定位置处脱离。

停止信号从未示出的控制单元被输出到供给导向阀18，于是，供给导向阀18的操作被停止。因此，供给阀30与供给导向阀18配合工作，以产生关状态(阀关闭状态)。这样，一直在从供给口24供给到喷射器14的压力流体的供给被停止。相应地，经真空口26从喷射器14向吸垫(未示出)的负压流体供给也被停止。

另一方面，当控制信号从控制单元被输出到真空破坏导向阀20以操作真空破坏导向阀20时，导向压力被供给到真空破坏阀36。导向压力向下挤压活塞部分38b。相应地，阀部分42b与阀座40b分离，并且真空破坏阀36被置于开状态(阀开启状态)。这样，从供给口24供给的压力流体经第二安装孔34流向破坏通道54。供给阀30处于阀关闭状态，并且因此流向喷射器14的压力流体被切断。

压力流体从破坏通道54流向过滤器孔52，这样压力流体经真空口26被供给到吸垫(未示出)。因此，工件从被吸垫吸引的状态释放。在此过程中，以与负压流体被供给到真空口26的过程相同的方式，压力流体内所含的灰尘或类似物被过滤器50恰当地去除。流经破坏通道54的压力流体的流量可通过流量调节阀48被任意调节。

当工件与吸垫分离时，喷射器14的内部从负压状态发生改变并被置于大气压力状态。因此，当压力传感器100检测到喷射器14内的压力时，工件与吸垫的脱离被确认。

如上所述，在此实施例中使用了由纤维材料制成的伸长的圆形过滤器50。因此，通过抑制容纳过滤器50的主体部分12宽度方向上的尺寸W(参见图1)，可将真空设备10制得更薄。因此，通过减小真空设备10宽度方向上的尺寸，可获得更为紧凑的尺寸。

减小当排放压力流体时产生的排放声音的消音器74可被一体地布置在主体部分12的下部。因此，与那种将用于固定消音器的一个单独部件装配在主体部分12上的传统真空设备相比，可减少零部件的数目，并且还可改善装配的操作。

虽然已经示出并且详细描述了本发明的某些优选实施例，但是应该理解的是，在不偏离所附权利要求范围的前提下可进行各种改变和改进。

Claims (8)

1.一种真空设备，它包括：

主体部分(12)，该主体部分(12)包括压力流体供给口(24)和真空口(26)，还包括用于将从所述压力流体供给口(24)供给的压力流体中包含的灰尘去除的过滤器(50)，以及用于减小当所述压力流体被排放到外部时所产生的排放声音的消音器部分(74)；

真空发生装置(14)，它在所述压力流体的作用下产生负压；

电磁操纵阀部分(22)，它由真空破坏方向控制阀(20)和供给方向控制阀(18)组成，用于将供给到所述真空口(26)的所述压力流体的压力在负压状态和正压状态之间进行转换；和

真空转换部分(16)，它被设于所述真空发生装置(14)和所述真空口(26)之间，并且当所述负压达到预定值时将所述真空破坏方向控制阀(20)从关状态转换成开状态，

其中，所述过滤器(50)包括由具有不同材料性质的纤维材料所构成的多个层，并且所述过滤器(50)的横截面形状被形成为伸长的圆形，该圆形具有一对圆弧部分(58a，58b)。

2.如权利要求1所述的真空设备，其特征在于，形成在所述过滤器(50)的所述多个层的内层(50a)内的孔小于形成在所述内层(50a)外部的外层(50b)的孔。

3.如权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述过滤器(50)具有基本为伸长圆形的横截面，该横截面具有所述那对圆弧部分(58a，58b)以及与一个圆弧部分(58a)和另一个圆弧部分(58b)互相连接的平表面部分(56a，56b)。

4.如权利要求3所述的真空设备，其特征在于，所述过滤器(50)被设计成，使所述那对圆弧部分(58a，58b)之间的间距(L1)大于所述平表面部分(56a，56b)之间的间距(L2)。

5.如权利要求4所述的真空设备，其特征在于，所述过滤器(50)被安装成，使所述平表面部分(56a，56b)基本上与所述主体部分(12)的竖直方向平行。

6.如权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述消音器部分(74)被容纳于所述主体部分(12)之内。

7.一种用于制造用在真空设备(10)内的过滤器的制造方法，所述真空设备(10)由真空发生装置(14)在从压力流体供给口(24)供给的压力流体的作用下产生负压并且将所述负压供给到真空口(26)，所述过滤器被安装在所述真空设备(10)内以将包含于所述压力流体内的灰尘去除，用于制造所述过滤器的方法包括以下步骤：

将第一纤维材料绕着具有理想圆形横截面的模具(106)的周向表面缠绕，以形成第一层(50a)；

将第二纤维材料绕着所述第一层(50a)的外周表面缠绕，以形成圆筒部件(108)，其中，所述第二层(50b)被叠置在所述第一层(50a)的所述外周表面上，所述第二纤维材料的直径大于所述第一纤维材料的直径；

使所述模具(106)与由所述第一和第二层(50a，50b)组成的所述圆筒部件(108)脱离，并且将成型夹具(110)插入到所述圆筒部件(108)内，所述成型夹具(110)具有一对轴部(112a，112b)；

在使所述轴部(112a，112b)邻靠在位于所述圆筒部件(108)内周侧上的所述第一层(50a)的内周表面部分上的同时，使所述轴部(112a，112b)在彼此分离的方向上移动，从而使所述圆筒部件(108)变形成具有伸长圆形横截面；以及

在所述变形后的圆筒部件(108)被所述那对轴部(112a，112b)保持的状态下执行热处理。

8.如权利要求7所述的用于制造用在所述真空设备内的所述过滤器的制造方法，其特征在于，对所述圆筒部件(108)的所述热处理包括烧结处理。

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