CN1873477A - 涂敷针、涂敷机构及涂敷方法、缺陷修正装置及缺陷修正方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能正确、快速、容易地涂敷液状材料的涂敷针。该涂敷针(1)在前端部形成为锥状，在前端设有平坦面(3)，在前端部的外周面形成槽(4)。当前端的平坦面(3)与基板(6)接触时，存积在锥部(2)上部和槽(4)内的油墨(5)因毛细管现象而向前端流出。因此，能快速容易地涂敷大量的油墨(5)。

Description

涂敷针、涂敷机构及涂敷方法、缺陷修正装置及缺陷修正方法

(1)技术领域

本发明涉及一种涂敷针、使用涂敷针的涂敷机构、缺陷修正装置、涂敷方法及液晶显示面板用滤色镜的缺陷修正方法，尤其是涉及前端部附着有液状材料、前端与基板上的微细区域接触以涂敷液状材料的涂敷针、使用该涂敷针的涂敷机构、缺陷修正装置、涂敷方法及液晶显示面板用滤色镜的缺陷修正方法。

(2)背景技术

近年来随着LCD(液晶显示器)的大型化、高精细化，象素数也增加，因而难以制造无缺陷的LCD，缺陷发生的概率逐渐增加。在这样的情况下为了提高产品的合格率，对LCD的滤色镜在制造工序中发生的缺陷进行修正的缺陷修正装置对生产线来说是必不可少的。

而且，最近市场上也销售37～45英寸程度的LCD，1个象素的尺寸也从小型面板的60μm×200μm左右增大至200μm×600μm左右。随着象素尺寸的增大，缺陷尺寸也逐渐增大，修正尺寸也逐渐增大。在这样的情况下，以往小的修正尺寸时不成为问题的修正品质在大的修正尺寸时就会成为目视可见的区域，因而成为问题的情况逐渐呈现。

图45(a)～(c)是表示在LCD的滤色镜制造工序中发生的缺陷的图。在图45(a)～(c)中，滤色镜包括：透明基板；在其表面形成的称为黑色矩阵300的格子状的图案；多组R(红色)象素301、G(绿色)象素302、及B(蓝色)象素303。在滤色镜的制造工序中，会发生图45(a)所示的象素或黑色矩阵300的颜色脱落而造成的白缺陷304、图45(b)所示的与相邻的象素颜色混合或黑色矩阵300渗出到象素内而造成的黑缺陷305、图45(c)所示的杂物附着在象素上而造成的杂物缺陷306等。

已有以下修正白缺陷304的方法：将与存在白缺陷304的象素相同颜色的油墨附着在涂敷针的前端部上，将针前端的圆形平坦面的油墨层转印在白缺陷304上，用圆形的油墨层覆盖白缺陷304(例如参照专利文献1)。也有以下修正黑缺陷305和杂物缺陷306的方法：对缺陷部分进行激光切除后形成矩形的白缺陷304，利用具有矩形前端平坦面的涂敷针将矩形的油墨层转印在矩形的白缺陷304上(例如参照专利文献2)。

【专利文献1】日本专利特开平9-61296号公报

【专利文献2】日本专利特开平9-262520号公报

但是，专利文献1的方法中，如图46所示，因为用比白缺陷304大的圆形油墨层覆盖白缺陷304，故白缺陷304周围的正常部分也涂敷有油墨，产生油墨的重叠部307。如上所述，当修正尺寸增大时，有时会出现该重叠部307在目视检查中被判断为不合格的情况。

而且，仅将附着在涂敷针前端的平坦面上的油墨进行转印涂敷，故存在1次可涂敷的油墨量少的问题。若重复涂敷多次则可增加油墨的涂敷量，但每次涂敷，涂敷针都需要在油墨罐与缺陷之间进行往复移动，从而修正时间变长。

在专利文献2的方法中，因为将涂敷针前端的形状做成了矩形，因而可将油墨涂敷成与激光切除部相同的形状，但需要将涂敷针前端高精度地定位在激光切除部上。但是，近年来随着基板的大型化，在基板整个面上进行高精度的定位不是件容易的事情。

因为由涂敷针前端的尺寸来决定涂敷尺寸，故在激光切除尺寸发生变化时，需要更换涂敷针，作业方便性差。

与专利文献1相同，仅将附着在涂敷针前端的平坦面上的油墨进行转印涂敷，故存在1次可涂敷的油墨量少的问题。

(3)发明内容

本发明的主要目的在于提供一种能正确、快速、容易地涂敷液状材料的涂敷针、使用该涂敷针的涂敷机构、缺陷修正装置、涂敷方法及液晶显示面板用滤色镜的缺陷修正方法。

本发明的涂敷针，在前端部附着有液状材料的情况下，使前端与基板上的微细区域接触以涂敷液状材料，其特征在于，在前端部形成有朝着前端变细的锥部，在前端形成有平坦面，在锥部形成有用于将附着在前端部上的液状材料供给前端的液状材料供给部。

液状材料供给部最好是槽。

槽的一部分最好形成为比其他部分的槽的宽度大。

液状材料供给部最好是平坦面。

平坦面最好分割成多个区域，在多个区域之间设有台阶。

液状材料供给部最好是凹曲面。

凹曲面最好分割成多个区域，在多个区域之间设有台阶。

锥部最好分割成多个部分，液状材料供给部是设在多个部分之间的台阶。

本发明的涂敷机构，其特征在于，包括：所述涂敷针；保持液状材料的容器；以及驱动部，该驱动部使涂敷针移动，使涂敷针的前端部停止在下述至少2个部位：涂敷针的前端部与容器内的液状材料接触的待机位置、以及涂敷针的前端部离开待机位置接近基板的涂敷位置。

驱动部最好具有对涂敷针以相对于基板以规定角度倾斜的形态予以保持的保持构件，涂敷针前端的平坦面形成为，在涂敷针由保持构件倾斜地予以保持时与基板平行。

在容器的底部开设有直径与涂敷针大致相同的通孔，驱动部使涂敷针沿其轴线方向相对于容器相对移动，使涂敷针的前端部停止在下述至少2个部位：涂敷针的前端部与容器内的液状材料接触的待机位置、以及涂敷针的前端部穿过通孔朝容器的底部下方伸出的涂敷位置。

本发明的缺陷修正装置中，基板上的微细区域是形成在基板上的微细图案的缺陷部。该缺陷修正装置，其特征在于，包括：修正头，具有所述涂敷机构、用于观察缺陷部的观察光学系统、照射激光以除去缺陷部的激光照射机构；载放基板的基板台；以及使修正头和基板台相对移动来进行定位的定位机构，将附着在涂敷针前端部的液状材料涂敷在缺陷部上进行修正。

驱动部最好包括：使涂敷针沿其轴线方向或与基板垂直的方向移动的第1副驱动部；以及使涂敷针与基板大致平行地移动的第2副驱动部，在待机位置，涂敷针的前端部处于观察光学系统的视野外，而在涂敷位置，涂敷针的前端部处于观察光学系统的视野内。

本发明的涂敷方法，其特征在于，使液状材料附着在所述涂敷针的前端部上，通过表面张力使锥部上部产生积液部后，使涂敷针的前端与基板接触，涂敷针前端的液状材料附着在基板上而产生表面张力不均匀，从积液部通过液状材料供给部向涂敷针前端与基板的接触部供给液状材料。

最好是在涂敷针的前端与基板接触的状态下，使涂敷针与基板相对移动，在基板上线状地涂敷液状材料。

最好使相对于基板以规定角度倾斜保持的涂敷针前端部上附着液状材料，通过使涂敷针前端在观察光学系统的视野内与基板接触，从而一边观察涂敷状态一边进行涂敷。

本发明的液晶显示面板用滤色镜的缺陷修正方法，是利用所述涂敷针对液晶显示面板用滤色镜的缺陷进行修正的方法，液晶显示面板用滤色镜含有形成在基板上的滤色镜膜。该缺陷修正方法，其特征在于，在比涂敷针前端的平坦面大且含有缺陷的区域利用激光除去滤色镜膜，使前端部附着有修正用液状材料的涂敷针前端在除去的区域内侧、且在涂敷针的前端与区域周围正常的部分不接触的位置进行接触，将与除去的滤色镜膜的大小对应的量的修正用液状材料进行涂敷。

本发明的另一液晶显示面板用滤色镜的缺陷修正方法，是利用所述涂敷针对液晶显示面板用滤色镜的缺陷进行修正的方法，其特征在于，液晶显示面板用滤色镜含有形成在基板上的滤色镜膜，在比涂敷针前端的平坦面大且含有缺陷的区域利用激光除去滤色镜膜，使前端部附着有修正用液状材料的涂敷针前端在除去的区域内侧进行接触，在该区域内侧使涂敷针的前端沿基板表面相对移动以涂敷修正用液状材料。

本发明的涂敷针在前端部形成朝着前端变细的锥部，前端形成有平坦面，在锥部形成有用于将附着在前端部上的液状材料向前端供给的液状材料供给部。因此，使涂敷针前端的平坦面与基板接触后，则存积在锥部上部的液状材料就会通过液状材料供给部向前端供给，从而涂敷在基板上。因此，与仅将涂敷针前端的平坦面上的液状材料转印在基板上的现有方法相比，能快速、容易地将大量液状材料进行涂敷。例如，将油墨涂敷在滤色镜的白缺陷上时，通过使涂敷针前端与白缺陷内接触，就能正确、快速、容易地将油墨涂敷在整个白缺陷上。

(4)附图说明

图1是表示本发明的实施形态1的涂敷针前端部的构成的图。

图2是表示实施形态1的变形例的图。

图3是表示实施形态1的另一变形例的图。

图4是表示实施形态1的再一变形例的图。

图5是表示使用了图1～图4所说明的涂敷针的油墨涂敷方法的图。

图6是表示使用了图1～图4所说明的涂敷针的油墨涂敷方法的另一图。

图7是表示使用了图1～图4所说明的涂敷针的油墨涂敷方法的再一图。

图8是表示使用了图1～图4所说明的涂敷针的油墨涂敷方法的又一图。

图9是表示使用了作为比较例的涂敷针的油墨涂敷方法的图。

图10是表示使用了作为比较例的涂敷针的油墨涂敷方法的另一图。

图11是表示使用了图1～图8所说明的涂敷针的油墨涂敷机构的构成的图。

图12是表示具有图11所示的油墨涂敷机构的缺陷修正装置的整体构成的图。

图13是表示本发明的实施形态2的油墨涂敷方法的图。

图14是用于说明图13所示的油墨涂敷方法的效果的图。

图15是表示图14所示的涂敷针与物镜的干涉避免方法的图。

图16是表示本发明的实施形态3的缺陷修正装置的整体构成的图。

图17是表示图16所示的油墨涂敷机构的构成及动作的图。

图18是表示本发明的实施形态4的涂敷针前端部的构成的图。

图19是表示图18所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图20是表示实施形态4的变形例的图。

图21是表示图20所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图22是表示实施形态4的另一变形例的图。

图23是表示图22所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图24是表示实施形态4的再一变形例的图。

图25是表示图24所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图26是用于说明图18～图25所示的涂敷针的制造方法的图。

图27是用于说明图18～图25所示的涂敷针的制造方法的另一图。

图28是表示实施形态4的又一变形例的图。

图29是表示图28所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图30是表示实施形态4的又一变形例的图。

图31是表示图30所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图32是表示本发明的实施形态5的涂敷针前端部的构成的图。

图33是表示图32所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图34是表示本发明的实施形态6的涂敷针前端部的构成的图。

图35是表示图34所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图36是表示实施形态6的变形例的图。

图37是表示图36所示的涂敷针前端部的油墨附着状态的图。

图38是表示利用本发明的实施形态7的图案修正方法所修正的白缺陷的图。

图39是用于说明对图38所示的白缺陷进行修正时存在的问题的图。

图40是用于说明对图38所示的白缺陷进行修正时存在的问题的另一图。

图41是表示本发明的实施形态7的图案修正方法的图。

图42是表示实施形态7的变形例的图。

图43是表示实施形态7的另一变形例的图。

图44是用于说明对图43所示的白缺陷进行修正时存在的问题的图。

图45是表示滤色镜上产生的缺陷的图。

图46是表示现有油墨涂敷方法所存在的问题的图。

(元件符号说明)

1、11、91、95、96  涂敷针   2、12、92  锥部

3、13、51、93、94  平坦面   4  槽

5  油墨                     6、105  基板

7、10、14、52  油墨层       8  滤色镜膜

9  激光切除部               12a、12b  部分

12c、94c、97c  台阶         21、65  油墨涂敷机构

22  涂敷针驱动缸体          23  驱动轴

24、54  保持构件            25  旋转台

26  旋转轴                  27  缺口部

28～31  油墨罐              32  洗净装置

33  空气吹净装置            34  电动机

35  分度板                  36  分度用传感器

37  原点回归用传感器        40、62  观察光学系统

41  CCD照相机               42  激光

43  油墨固化用照明          44  Z轴载物台

45  X轴载物台               46  Y轴载物台

47、69  控制用计算机        48  操作面板

53  物镜                    55  副X轴载物台

61  缺陷修正装置            63  监视器

64  切除用激光部            66  基板加热部

67  图像处理部              68  主计算机

70  XY载物台                71  夹持部

72  Z载物台                 73  涂敷缸体

73a、80a  输出轴            74  涂敷组件

75  线性导向器              75a  导轨部

75b  滑动部                 76  限制器

78  容器                    78a、78b  孔

80  缸体部                            81  壳体

12a、12b、94a、94b、97a、97b  区域    100、300  黑色矩阵

101、301  R象素                       102、302  G象素

103、303  B象素                       104、304  白缺陷

305  黑缺陷                           306  杂物缺陷

307  重叠部

(5)具体实施方式

(实施形态1)

图1(a)是表示本发明的实施形态1的涂敷针1的前端部的主视图，图1(b)是其仰视图，图1(c)是图1(b)的A部放大图，图1(d)是图1(a)的ID-ID线剖视图，图1(e)是图1(d)的B部放大图。

在图1(a)～(e)中，在该涂敷针1的前端部设有锥部2，该锥部2在不受油墨表面张力影响的长度范围内，使涂敷针1的截面积从涂敷针1的前端朝着基端逐渐扩大，在涂敷针1的前端设有平坦面3，而且，在涂敷针1的前端部外周面上，从前端至锥部2的上部形成规定尺寸的槽4。

这样，通过在前端部设置锥部2、平坦面3及槽4，当将涂敷针1从油墨罐提起时，锥部2的上部因表面张力而产生油墨存积部，平坦面3及其附近由薄的油墨层覆盖，槽4内存积有油墨。当使涂敷针1前端的平坦面3与基板表面接触时，因油墨附着在基板表面而产生表面张力的不均衡，存积在锥部2的上部和槽4内的油墨因毛细管现象而通过槽4向前端供给并涂敷在基板上。例如，将油墨涂敷在滤色镜的白缺陷上时，通过使涂敷针1的前端与白缺陷中央部接触，能正确、快速、容易地将油墨涂敷在整个白缺陷上。

槽4可如图1(a)～(c)所示贯通至平坦面3，但只要形成至以下位置，即在涂敷针1前端的平坦面3与基板表面接触、附着在平坦面3上的油墨被挤向外周时，该挤出的油墨与存积在槽4内的油墨能充分相连的位置，则也可不贯通至平坦面3。

槽4的截面形状既可是图1(a)～(e)所示的四方形，也可是图2(a)所示的半圆形，也可是图2(b)所示的楔形，任何形状都可以。

槽4的个数，既可如图1(a)～(e)所示是1个，也可如图3(a)所示是2个，也可是图3(b)所示的3个，图3(c)所示的4个，也可是5个以上。槽4的个数增加则存积在槽4内的油墨量增加，向涂敷针1与基板的接触部流出的油墨量增加。能在更短的时间内流出大量的油墨，也可缩短修正时间。

槽4的宽度，既可如图1(a)～(e)所示，在槽4的全长上相同，也可如图4(a)所示从涂敷针1的前端朝着基端逐渐扩大。也可如图4(b)所示，在槽4的中央部形成多角形的宽幅部，也可如图4(c)所示，在槽4的中央部形成圆形的宽幅部。这样，通过扩大槽4的宽度，能增加槽4的容积，能取得与上述增加槽4的个数的情况相同的效果。在增加槽4的个数的方法中，涂敷针1的前端直径较小时，槽4的个数受到限制。在这样的情况下，通过本方法这样在涂敷针1前端的上部扩大槽4的宽度，就可增加存积在1个槽4内的油墨量。

图5(a)是表示在图1～图4所示的涂敷针1的前端部上附着有油墨5的状态的剖视图，图5(b)是图5(a)的VB-VB线剖视图。作为涂敷针1，例示了图3(a)所示的具有2个槽4的结构。当在涂敷针1的前端部粘上油墨5后，因表面张力而在锥部2的上部产生油墨的存积，且油墨5进入形成于前端部外周面上的槽4内，成为油墨5积蓄在槽4内的状态。

图6(a)～(e)是表示利用图5(a)(b)所示的涂敷针1将油墨5涂敷在基板6表面上的动作的剖视图，图6(f)～(j)分别是图6(a)～(e)所示的涂敷针1前端的放大图。

首先，如图6(a)(f)所示，将前端部附着有油墨5的涂敷针1相对于基板6的表面垂直地予以保持，且将涂敷针1的前端例如定位在白缺陷的中央部上方。接着，如图6(b)(g)所示，使涂敷针1前端的平坦面3与基板6的表面接触并加以保持。由此，附着在涂敷针1前端的平坦面3上的油墨5被挤向平坦面3的外周。此时，被挤出的油墨5与槽4内存积的油墨5相连，从而油墨5的表面张力产生不均衡，存积的油墨及槽4内存积的油墨5因毛细管现象而如图6(c)(h)所示向涂敷针1与基板6的接触部流出。向该接触部流出的油墨5的量随着时间的推移而增多，可通过涂敷针1与基板6接触保持的时间来管理从涂敷针1向基板6的表面流出的油墨5的量。

如图6(d)(e)(i)(j)所示，当使涂敷针1朝上方移动后就会在基板6表面形成油墨层7。当使涂敷针1朝上方移动、基板6表面与涂敷针1前端的平坦面3之间产生间隙时，油墨5也流入该间隙内。此时油墨5的流动速度由油墨5的粘度和相对于基板6表面的湿润性等特性决定，通过根据这些情况，调节涂敷针1朝上方移动的速度，就可调节涂敷在基板6表面上的油墨5的量和油墨层7的厚度。

如上所述，槽4下端(涂敷针1的前端方向的端)只要形成至以下部分即可，即在将涂敷针1保持为与基板6表面接触时、可确保从平坦面3挤向外周的油墨5与存积在槽4内的油墨5能充分相连的部分，并不一定要贯通至涂敷针1前端的平坦面3。

图7(a)～(e)是表示利用图5(a)(b)所示的涂敷针1将油墨5涂敷在基板6的表面上的另一动作的剖视图。在图7(a)～(e)中，在基板6的表面形成有滤色镜膜8，例如黑缺陷被激光切除后使滤色镜膜8的一部分被去除而形成为矩形。以往是利用具有比激光切除部9大的圆形平坦面的涂敷针将圆形油墨层进行转印以覆盖激光切除部9的，或者是利用具有与激光切除部9相同尺寸的矩形平坦面的涂敷针将矩形油墨层转印在激光切除部9上的。本发明中，使用具有比激光切除部9小的平坦面3的涂敷针1。

首先，如图7(a)所示，将前端部附着有与滤色镜膜8相同颜色的油墨5的涂敷针1相对于基板6的表面垂直地予以保持，且将涂敷针1的前端定位在激光切除部9的中央部上方。接着，如图7(b)所示，使涂敷针1前端的平坦面3与基板6的表面接触并加以保持。由此，附着在涂敷针1前端的平坦面3上的油墨5被挤向平坦面3的外周。此时，被挤出的油墨5与槽4内存积的油墨5相连，存积在槽4内的油墨5因毛细管现象而如图7(c)所示向涂敷针1与基板6的接触部流出。向该接触部流出的油墨5的量随着时间的推移而增多，可通过涂敷针1与基板6接触保持的时间来管理从涂敷针1向基板6的表面流出的油墨5的量。油墨5的量是根据激光切除的滤色镜膜8的面积及厚度来设定的。

向涂敷针1与基板6的接触部流出的油墨5通过毛细管现象而被吸入到激光切除后的滤色镜膜8的台阶角部内，并在整个激光切除部9内扩散、充填。因此，即使涂敷位置有一些偏差也可将油墨5充填在整个激光切除部9内，涂敷针1的前端不会损伤周围的正常部。因此，即使涂敷位置精度不是以往那样的高精度也可实现高品质的缺陷修正。如图7(d)(e)所示，使涂敷针1朝上方移动，结束滤色镜膜8的修正。

图8(a)(b)是表示利用图5(a)(b)所示的涂敷针1将油墨5涂敷在基板6的表面上的又一动作的剖视图。在图8(a)(b)中，在涂敷针1前端的平坦面3与基板6表面接触的状态下，使涂敷针1与基板6相对朝水平方向移动，可在基板6的表面上线状地涂敷油墨5。

图9(a)是表示作为比较例的涂敷针11的前端部附着有油墨5的状态的剖视图，图9(b)是图9(a)的IXB-IXB线剖视图。在图9(a)(b)中，在该涂敷针11的前端部设有锥部12，该锥部12在不受油墨5的表面张力影响的长度范围内，使涂敷针11的截面积从涂敷针11的前端朝着基端逐渐扩大，在涂敷针11的前端设有平坦面13。不过，没有形成涂敷针1那样的槽。这样，通过在前端部设置锥部12和平坦面13，一旦将涂敷针11从油墨罐提起，则因表面张力而在锥部12的上部产生油墨存积部，平坦面3及其附近被薄的油墨层覆盖。

图10(a)～(e)是表示利用图9(a)(b)所示的涂敷针11将油墨5涂敷在基板6的表面上的动作的剖视图，图10(f)～(j)分别是图10(a)～(e)所示的涂敷针11前端的放大图。

首先，如图10(a)(f)所示，将前端部附着有油墨5的涂敷针11相对于基板6的表面垂直地予以保持，且将涂敷针11的前端定位在规定位置。接着，如图10(b)(c)(g)(h)所示，使涂敷针11前端的平坦面3与基板6的表面接触并加以保持。由此，附着在涂敷针11前端的平坦面3上的油墨5被挤向平坦面3的外周。此时，即使涂敷针11与基板6的接触保持时间延长，流向涂敷针11与基板6的接触部的油墨5的量也几乎没有变化。这是由于仅将附着在涂敷针11前端的平坦面13上的油墨5进行转印涂敷的缘故。如图10(d)(e)(i)(j)所示，当使涂敷针11朝上方移动时，在基板6的表面形成油墨层14。采用该涂敷针11时，即使延长涂敷针11与基板6的接触保持时间，流向涂敷针11与基板6的接触部的油墨5的量也几乎没有变化，因而无法进行图7及图8所示那样的油墨涂敷。

图11是表示利用图1～图8所示的涂敷针1涂敷油墨5的油墨涂敷机构21的构成的一部分省略后的立体图。在图11中，该油墨涂敷机构21包括油墨涂敷用涂敷针1、用于垂直驱动涂敷针1的涂敷针驱动缸体22。涂敷针1通过保持构件24设置在涂敷针驱动缸体22的驱动轴23的前端部上。

该油墨涂敷机构21包括水平设置的旋转台25，在旋转台25上沿圆周方向依次配置有多个油墨罐28～31，而且，在旋转台25上设有洗净装置32和空气吹净装置33。在旋转台25的中心立设有旋转轴26。另外，在旋转台25上形成油墨涂敷时用于穿过针1的缺口部27。在油墨罐28～31中分别适宜地注入R(红)、G(绿)、B(蓝)及黑色的油墨5。洗净装置32用于除去附着在涂敷针1上的油墨5，空气吹净装置33用于吹掉附着在涂敷针1上的洗净液。

该油墨涂敷机构21还具有用于使旋转台25的旋转轴26旋转的分度用电动机34，还设有：与旋转轴26一起旋转的分度板35、通过分度板35检测旋转台25的旋转位置用的分度用传感器36、通过分度板35检测旋转台25的旋转位置回归到原点用的原点回归用传感器37。电动机34根据传感器36、37的输出得到控制，使旋转台25旋转，使缺口部27、油墨罐28～31、洗净装置32及空气吹净装置33中任何1个位于涂敷针1的下方。

涂敷针驱动缸体22和电动机34固定在Z轴载物台(未图示)上，Z轴载物台和作为缺陷修正对象的滤色镜基板通过涂敷针1下方的XY载物台(未图示)进行相对定位。

接着对该油墨涂敷机构21的动作进行说明。首先，驱动XY载物台及Z轴载物台，将涂敷针1的前端定位在滤色镜基板的缺陷部上方的规定位置上。接着，通过电动机34使旋转台25旋转，使所需的油墨罐(例如28)移动到涂敷针1的下方。接着，通过涂敷针驱动缸体22上下驱动涂敷针1，使涂敷针1的前端部附着有油墨5。

接着，通过电动机34使旋转台25旋转，使缺口部27移动到涂敷针1的下方。接着，利用涂敷针驱动缸体22上下驱动涂敷针1，将附着在涂敷针1前端部上的油墨5涂敷在滤色镜基板的缺陷部上。

在涂敷针1洗净时，利用电动机34使旋转台25旋转，使洗净装置32移动到涂敷针1的下方。接着，利用涂敷针驱动缸体22上下驱动涂敷针1，洗净附着在涂敷针1上的油墨5。接着，利用电动机34使旋转台25旋转，使空气吹净装置33移动到涂敷针1的下方。接着，利用涂敷针驱动缸体22上下驱动涂敷针1，吹掉附着在涂敷针1上的洗净液。

图12是表示装载了图11所示的油墨涂敷机构21的缺陷修正装置的整体构成的图。在图12中，该缺陷修正装置大致分类的话，包括：由观察光学系统40、CCD照相机41、激光42、油墨涂敷机构21及油墨固化用照明43构成的缺陷修正头部；使该缺陷修正头部相对于基板6沿垂直方向(Z轴方向)移动的Z轴载物台44；装载Z轴载物台44并使其沿X轴方向移动用的X轴载物台45；装载基板6并使其沿Y轴方向移动用的Y轴载物台46；对装置整体的动作进行控制的控制用计算机47；将来自作业人员的指令输入到控制用计算机47中用的操作面板48。

观察光学系统40用于观察基板6的表面状态和用油墨涂敷机构21进行的油墨涂敷状态。利用观察光学系统40观察到的图像通过CCD照相机41变换为电信号，显示在控制用计算机47的监视画面上。油墨固化用照明43照射光以使由油墨涂敷机构21涂敷后的油墨5固化。若油墨5是紫外线固化型的话，则选择紫外线照明作为油墨固化用照明43装载在装置上。而当油墨5为热固化型时，则选择卤素照明作为油墨固化用照明43装载在装置上。激光42用于除去黑缺陷和杂物缺陷。通过本装置的构成，可修正滤色镜上产生的白缺陷、黑缺陷、杂物缺陷。

本实施形态1中，当涂敷针1前端的平坦面3与基板6表面接触后，存积在涂敷针1前端部的槽4内的油墨5因毛细管现象而流向接触部。因此，可将油墨5充填涂敷在激光切除部9内，没有以往成为问题的油墨层与正常部的重叠，可进行高品质的缺陷修正。

流向接触部的油墨量随着涂敷针1与基板6的接触时间延长而增加，故不需要以往那样进行多次涂敷，可缩短修正节拍。

在将油墨5充填涂敷在激光切除部9内时，被充填的油墨5因毛细管现象而被吸入至被激光切除后的滤色镜膜8的四边的角部，并向激光切除部9整体扩散，故涂敷针1的油墨涂敷位置只要在激光切除部9内的大致中心附近即可，不需要以往那样高精度地对涂敷位置进行定位，能廉价地制作整个装置。

(实施形态2)

图13(a)～(k)是表示本发明的实施形态2的油墨涂敷方法的图，尤其是图13(a)～(f)是表示利用涂敷针1将油墨5涂敷在基板6的表面上的动作的剖视图，图13(b)是图13(a)的XIIIB-XIIIB线剖视图，图13(g)～(k)是图13(a)～(f)所示的涂敷针1前端的放大图。

在图13(a)～(k)中，该油墨涂敷方法中，涂敷针1相对于基板6的表面不是垂直、而是以某一角度(例如涂敷针1的中心轴与基板6的表面之间的角度为45度)倾斜地予以保持并进行涂敷。在涂敷针1的前端形成平坦面51，在将涂敷针1倾斜保持时平坦面51与基板6的表面平行。在涂敷针1的前端部形成槽4，该槽4沿着在将涂敷针1倾斜保持并使涂敷针1前端的平坦面51与基板6表面抵接时最接近基板6表面的线形成。

首先，如图13(a)(b)(g)所示，将前端部附着有油墨5的涂敷针1相对于基板6的表面以规定的角度倾斜地予以保持，且使涂敷针1前端例如定位在白缺陷的中央部上方。接着，如图13(c)(h)所示，使涂敷针1前端的平坦面51与基板6的表面接触并加以保持。由此，附着在涂敷针1前端的平坦面51上的油墨5被挤向平坦面51的外周。此时，被挤出的油墨5与槽4内存积的油墨5相连，存积在槽4内的油墨5因毛细管现象而如图13(d)(i)所示向涂敷针1与基板6的接触部流出。向该接触部流出的油墨5的量随着时间的推移而增多，可通过涂敷针1与基板6接触保持的时间来管理向基板6的表面涂敷的油墨5的量。如图13(e)(f)(j)(k)所示，当使涂敷针1朝上方移动后就会在基板6表面形成油墨层52。

这样，即使涂敷针1相对于基板6的表面不是垂直而是倾斜安装，也可通过保持涂敷针1与基板6表面的接触，涂敷从槽4流出的油墨5。

图14是表示图13所示的油墨涂敷方法的效果的图。如图14所示，通过使涂敷针1相对于基板6的表面不是垂直而是倾斜地保持，可将观察光学系统40的物镜53配置在与基板6表面接触的涂敷针1的前端部的上方，可观察利用涂敷针1对基板6表面涂敷油墨5的状态。由此，缺陷修正时，可监视油墨5对缺陷部的充填状态等，提高作业方便性。

图15是表示倾斜保持的涂敷针1与观察光学系统30的物镜的干涉避免方法的图。在图15中，安装在油墨涂敷机构21的涂敷针驱动缸体22的驱动轴23下端的保持构件54将涂敷针1相对于基板6表面以规定角度倾斜地予以保持。利用如此倾斜保持的涂敷针1在物镜53视野内进行油墨涂敷时，若涂敷针1始终处于物镜53的视野内的话，则物镜53更换时涂敷针1会与物镜53干涉。为此，设置使油墨涂敷机构21沿X轴方向移动的副X轴载物台55，可使油墨涂敷机构21在涂敷位置P1和不与物镜53产生干涉的待机位置P2之间移动，可防止涂敷针1与物镜53的干涉。副X轴载物台55装载在Z轴载物台44上。

(实施形态3)

图16是表示本发明的实施形态3的缺陷修正装置61的整体构成的图。在图16中，该缺陷修正装置61大致分类的话，包括：观察基板表面的观察光学系统62、放映所观察到的图像的监视器63、借助观察光学系统62激光切除基板表面缺陷的切除用激光部64、利用涂敷针1将油墨5涂敷在缺陷上的油墨涂敷机构65、对涂敷在缺陷上的油墨5进行加热干燥的基板加热部66、识别缺陷的图像处理部67、对装置整体进行控制的主计算机68、对装置机构部的动作进行控制的控制用计算机69。而且，此外还设有：装载带有缺陷的基板6的XY载物台70、将基板保持在XY载物台70上的夹持部71、上下驱动观察光学系统62和油墨涂敷机构65的Z载物台72等。

XY载物台70用于使基板6相对移动至涂敷修正所需的位置或想利用观察光学系统62进行观察的位置，是移动基板6本身的方式。但是，随着基板6尺寸的大型化，较多时候采用将基板6保持在成为非可动部的固定的夹持部71上、使称为龙门型的XY载物台在固定的夹持部71上移动的方式。龙门型是指将门型形状的Y载物台设置成横跨夹持部71的形状、在门型上部装载X轴、在该X轴载物台上装载Z轴的结构。因此，并不局限于图16所示的XY载物台70的构成，XY载物台70定义为能使观察光学系统62和油墨涂敷机构65相对于基板6相对移动的结构。

图17(a)～(d)是表示图16所示的油墨涂敷机构65的构成及动作的图。图17(a)～(d)表示对形成于基板6表面的滤色镜膜8的激光切除部9进行修正的情况。油墨涂敷机构65由涂敷缸体73和涂敷组件74构成，涂敷缸体73的输出轴73a可相对于基板6沿垂直方向进退。可直动的线性导向器75的导轨部75a与输出轴73a并行地固定在涂敷缸体73的输出轴73a上，涂敷组件74固定在线性导向器75的滑动部75b上。涂敷缸体73的输出轴73a具有使涂敷组件74相对于基板6在垂直方向进行上下运动的功能，作为涂敷缸体73可使用电动缸体或气缸，但在要求涂敷精度时最好使用由直动轴承引导的缸体。

线性导向器75是将滚珠等滚动体在滑动部75b与导轨部75a之间循环地夹设的轴承结构，滑动部75b可在导轨部75a上任意地进退，在该安装状态下涂敷组件74可相对于基板6在垂直方向上进退自如地移动。

通过采用上述结构，线性导向器75的滑动部75b由于滑动部75b和涂敷组件74的自重而下降，成为与为了不使滑动部75b从导轨部75a脱出而设置在导轨部75b端部的限制器76抵接的状态。若预先对线性导向器75赋予防止滑动部75b脱出的功能的话，则不需要设置限制器76。在此，导轨部75a固定在输出轴73a侧，但也可将滑动部75b固定在输出轴73上，将涂敷组件74固定在导轨部75a上。

涂敷组件74由充填有用于修正激光切除部9的油墨5的容器78和上下驱动涂敷针1的缸体部80构成，涂敷针1与输出轴80同轴地固定在缸体部80的输出轴80a上，缸体部80由壳体81固定保持。

在容器78的上表面和底面上同轴地开设有涂敷针1可贯穿的孔78a、78b，作为容器78的材质可使用特氟隆等树脂、或不会因油墨5而腐蚀的金属材料、或在金属容器内部形成特氟隆等树脂的涂层。容器78的孔78a、78b比涂敷针1的外径稍大，起到不使涂敷针1倾斜的滑动导向面的功能。

涂敷针1的外径在1mm以下，其前端的平坦面3的直径在30μm至70μm左右。通常使用的涂敷针1的外径为0.7～0.4mm左右。在容器78的底面开设有孔78b，但该孔78b很微小，油墨5的粘度比水大，由于油墨5的表面张力和与容器78的不沾性，油墨5不会从孔78b泄漏。

在不进行油墨涂敷的待机状态下，如图17(a)所示，涂敷针1贯穿容器78上表面的孔78a，涂敷针1的前端1a处于浸渍在油墨5的液体中的状态。油墨5为了适合于涂敷而使用稀释液调节为最佳粘度后充填在容器78内。例如，油墨5的粘度设定在30cP(厘泊)左右。油墨5的充填量为涂敷针前端1a浸入的程度即可，1次涂敷修正所使用的油墨5为pl(微微升)单位，很少，故只要有在一定期间可涂敷的量即可，例如，充填1ml以下的微量。

进行油墨涂敷时，如图17(b)所示，使缸体部80的输出轴80a下降，使涂敷针1的前端1a从容器78的底面上的孔78b伸出。此时，在涂敷针1的前端1a附着有油墨5。涂敷针1从设于容器78底面的孔78b伸出时，该孔78b起到引导涂敷针1的功能，且擦拭附着在涂敷针1侧面的油墨5，故可抑制油墨5向容器78外泄漏。

在涂敷针1伸出的状态下，如图17(c)所示，使涂敷缸体73的输出轴73a下降，直到涂敷针前端1a与激光切除部9的中央部露出的基板6表面接触。输出轴73a的下降量设定为比涂敷针前端1a与基板6表面的距离稍大，涂敷针前端1a与基板6表面接触后，滑动部75b在线性导向器75的导轨部75a上朝上方移动进行避让，涂敷组件74也对应地上升，故涂敷针前端1a不会以过大的力按压基板6，基板6也不会破损。此时作用于涂敷针前端1a的载荷是滑动部75b和涂敷组件74的合计重量。

涂敷缸体73的输出轴73a在到达目标的最下降端的状态下待机规定时间。由此，油墨5通过涂敷针1的槽4向激光切除部9内供给，油墨5充填在激光切除部9内。此后，如图17(d)所示，使输出轴73a上升至原来的位置，使涂敷针前端1a返回油墨5中，结束1次涂敷。

这样，除了修正动作时以外，涂敷针前端1a处于油墨5内，故可防止涂敷针前端1a上附着的油墨5干燥。油墨5除了在容器78的上表面和底面上开设的孔78a、78b以外被密闭，容器78的上表面的孔78a始终处于涂敷针1以微小间隙插入的状态，故可减少油墨5与大气直接接触的面积，防止油墨5的蒸发。因此，可延长油墨5可使用的天数，降低缺陷修正装置61的维护次数。

(实施形态4)

图18(a)是表示本发明的实施形态4的涂敷针91的前端部的侧视图，图18(b)是其主视图，图18(c)是其仰视图，图18(d)是图18(b)的XVIIID-XVIIID线剖视图，图18(e)是图18(b)的XVIIIE-XVIIIE线剖视图，图18(f)是图18(b)的XVIIIF-XVIIIF线剖视图。图19(a)是表示附着有油墨5的涂敷针91的前端部的主视图，图19(b)是图19(a)的XIXB-XIXB线剖视图，图19(c)是图19(a)的XIXC-XIXC线剖视图，图19(d)是图19(a)的XIXD-XIXD线剖视图。

在图18(a)～(f)中，在该涂敷针91的前端部设有锥部92，该锥部92在不受油墨的表面张力影响的长度范围内，使涂敷针91的截面积从涂敷针91的前端朝着基端逐渐扩大，在涂敷针91的前端设有平坦面93，而且，在锥部92的外周面上，从前端至锥部92的上部形成规定尺寸的平坦面94。

这样，通过在前端部设置锥部92和平坦面93、94，当将涂敷针91从油墨罐提起时，如图19(a)～(d)所示，锥部92的上部因表面张力而产生油墨存积部，前端的平坦面93及其附近由薄的油墨层覆盖，在锥部92的平坦面94上因油墨5的表面张力而比平坦面94以外的外周面保持更多的油墨5。油墨5的粘度越高保持在平坦面94上的油墨5的量就越多，油墨5的粘度低时油墨5的量就减少。

当使涂敷针91前端的平坦面93与基板表面接触时，由于油墨5附着在基板表面上而产生表面张力的不均衡，保持在锥部92的上部和平坦面94上的油墨5向前端的平坦面93与基板的接触部供给并涂敷在基板上。

本实施形态4也可得到与实施形态1相同的效果。

图18(a)～(f)中，在锥部92的外周面设置了1个平坦面94，但也可设置多个平坦面94。即，既可如图20(a)～(f)及图21(a)～(d)所示，在锥部92的外周面设置2个平坦面94，也可如图22(a)～(f)及图23(a)～(d)所示设置3个平坦面94，也可如图24(a)～(f)及图25(a)～(d)所示设置4个平坦面94。当设置3个平坦面94时，前端的平坦面93成为三角形，当设置4个平坦面94时，前端的平坦面93成为四方形。通过增加平坦面94的个数，则保持在平坦面94上的油墨5就会增加，供给涂敷针91前端与基板6的接触面的油墨5的量也增加，能在更短的时间内供给大量的油墨5。

也可在锥部92外周面上设置5个以上的平坦面94。不过，进一步增加平坦面94的个数时，涂敷针91的前端部接近圆锥形，故在平坦面94上的油墨5的保持量减少。平坦面94为4个的情况加工比较简单，保持在平坦面94上的油墨5也多，能更均匀地将油墨5供给涂敷针91前端与基板6的整个接触面。

对于图18(a)～图25(d)的涂敷针91是如此制作的，首先如图26(a)～(d)所示准备圆柱状的针91，接着如图27(a)～(d)所示使针91的前端部形成为朝着前端逐渐变细的锥状，然后在锥部92的外周面形成平坦面94。

但是，也可如图28(a)～(f)及图29(a)～(d)所示，在针91的圆柱状的前端部直接形成4个平坦面94。由此，可省去将针91的前端加工成锥状的工序，能更廉价地制作涂敷针91。使用利用本方式加工的涂敷针91对基板6涂敷油墨5，具有与图24(a)～(f)的涂敷针91相同的油墨供给能力。

图30(a)～(f)及图31(a)～(e)是表示实施形态4的变形例的图，是与图18(a)～(f)及图19(a)～(d)对比的图。该变形例与实施形态4的不同之处在于，平坦面94被分割成涂敷针91的基端侧的区域94a和前端侧的区域94b，在2个区域94a、94b的边界上，前端侧的区域94b形成得比基端侧的区域94a低，2个区域94a、94b之间形成台阶94c。该变形例中，在台阶94c也保持有油墨5，故与无台阶94c的情况相比，能保持更多的油墨5。

在该变形例中，将锥部92的平坦面94分割成2个区域94a、94b，但也可将平坦面94沿涂敷针91的长度方向分割成3个以上的区域，在各相邻的2个区域的边界上使前端侧的区域形成得比基端侧的区域低，在2个区域之间设置台阶。

(实施形态5)

图32(a)是表示本发明的实施形态5的涂敷针95的前端部的主视图，图32(b)是其仰视图，图32(c)是图32(a)的XXXIIC-XXXIIC线剖视图，图32(d)是图32(a)的XXXIID-XXXIID线剖视图。图33(a)是表示附着有油墨5的涂敷针95的前端部的主视图，图33(b)是图33(a)的XXXIIIB-XXXIIIB线剖视图，图33(c)是图33(a)的XXXIIIC-XXXIIIC线剖视图。

在图32(a)～(d)中，该涂敷针95与图9(a)(b)的涂敷针11的不同之处在于，锥部12被分割成涂敷针95基端侧的部分12a和前端侧的部分12b，在2个部分12a、12b的边界上，前端侧的部分12b形成得比基端侧的部分12a细，2个部分12a、12b之间形成台阶12c。

这样，通过在前端部设置锥部12和台阶12c，将涂敷针95从油墨罐提起时，如图33(a)～(c)所示，在锥部12的上部因表面张力而产生油墨存积部，平坦面13及其附近被薄的油墨层覆盖，因油墨5的表面张力，台阶12c能比台阶12c以外的外周面保持更多的油墨5。

当涂敷针95前端的平坦面13与基板表面接触后，油墨5附着在基板表面上，表面张力产生不均衡，保持在锥部12的台阶12c上的油墨5向前端的平坦面13与基板的接触部供给并涂敷在基板上。

本实施形态5也能得到与实施形态1相同的效果。

在本实施形态5中，将锥部12分割成2个部分12a、12b，但也可将锥部12沿涂敷针95的长度方向分割成3个以上的部分，在各相邻的2个部分的边界上使前端侧的部分形成得比基端侧的部分细，在2个部分之间设置台阶。

(实施形态6)

图34(a)是表示本发明的实施形态6的涂敷针96的前端部的主视图，图34(b)是其仰视图，图34(c)是图34(a)的XXXIVC-XXXIVC线剖视图，图34(d)是图34(a)的XXXIVD-XXXIVD线剖视图，图34(e)是图34(a)的XXXIVE-XXXIVE线剖视图。图35(a)是表示附着有油墨5的涂敷针96的前端部的主视图，图35(b)是图35(a)的XXXVB-XXXVB线剖视图，图35(c)是图35(a)的XXXVC-XXXVC线剖视图，图35(d)是图35(a)的XXXVD-XXXVD线剖视图。

在图34(a)～(e)中，该涂敷针96与图28(a)～(e)的涂敷针91的不同之处在于，平坦面94被替换为凹曲面97。这样，通过在前端部设置凹曲面97和平坦面93，当将涂敷针96从油墨罐提起时，如图35(a)～(d)所示，在锥部的上部因表面张力而产生油墨存积部，平坦面93及其附近被薄的油墨层覆盖，因油墨5的表面张力，凹曲面97能比凹曲面97以外的外周面保持更多的油墨5。

当涂敷针96前端的平坦面93与基板表面接触后，油墨5附着在基板表面上，表面张力产生不均衡，保持在锥部的上部和凹曲面97上的油墨5向前端的平坦面93与基板的接触部供给并涂敷在基板上。

本实施形态6也能得到与实施形态1相同的效果。

在本实施形态6中，设置了4个凹曲面97，但也可设置3个凹曲面97或5个以上的凹曲面97。也可用凹曲面97替换图18(a)～图25(d)所示的涂敷针91的平坦面94。

图36(a)～(e)及图37(a)～(d)是表示实施形态6的变形例的图，是与图34(a)～(e)及图35(a)～(d)对比的图。该变形例与实施形态6的不同之处在于，凹曲面97被分割成涂敷针96基端侧的区域97a和前端侧的区域97b，在2个区域97a、97b的边界上，前端侧的区域97b形成得比基端侧的区域97a低，2个区域97a、97b之间形成台阶97c。该变形例中，在台阶97c上也保持有油墨5，故与无台阶97c的情况相比，能保持更多的油墨5。

在该变形例中，将凹曲面97分割成2个区域97a、97b，但也可将凹曲面97沿涂敷针96的长度方向分割成3个以上的区域，在各相邻的2个区域的边界上使前端侧的区域形成得比基端侧的区域低，在2个区域之间设置台阶。

(实施形态7)

如图38(a)所示，LCD的滤色镜包括透明基板、形成于其表面的称为黑色矩阵100的格子状的图案、多组R(红色)象素101、G(绿色)象素102、及B(蓝色)象素103。在滤色镜的制造工序中，在G象素102中产生杂物缺陷，如图38(b)所示，G象素102整体被激光切除，G象素102变换为白缺陷104。在白缺陷104中，滤色镜的透明基板105露出。

在修正这种大的白缺陷104时，如图39(a)～(c)所示，使附着有油墨5的涂敷针1的前端与白缺陷104的中心接触后，虽然想一次就将油墨5充填在整个白缺陷104内，但在油墨5的粘度高、油墨5的流动性差的情况下，油墨5先向白缺陷104的宽度狭窄方向的黑色矩阵100等挤出，不能完全将油墨5涂敷在整个白缺陷104上。

即使在油墨5的粘度高、油墨5的流动性差的情况下，如图40(a)～(c)所示，若在白缺陷104的宽度大的方向的多处(图中为3处)使涂敷针1的前端与基板105接触并涂敷油墨5的话，则可将油墨5涂敷在整个白缺陷104上。但是，会在与涂敷针1的前端接触的各位置P上产生油墨5的凸部，油墨5的凹凸平整化需要花费时间，有可能还未平整化就已固化。一旦涂敷的油墨5存在凹凸就会产生色斑，故需要使油墨5尽可能均匀地进行涂敷。

为此，本实施形态7中，如图41(a)～(c)所示，使涂敷针1的前端与白缺陷104的一个端部接触，在该状态下使涂敷针1沿白缺陷104的宽度大的方向且在与基板105的表面水平的方向上相对于基板105作相对移动，对白缺陷104整体进行涂敷。在此，在使涂敷针1的前端一度与基板105的表面接触、从油墨存积部开始向涂敷针1与基板105的接触部供给油墨5后，即使涂敷针1与基板105之间存在稍许间隙也可供给油墨5，故在使涂敷针1水平移动时不需要使涂敷针1的前端与基板105的表面完全接触。由此，即使在油墨5的粘度高、油墨5的流动性差的情况下也可将油墨5在短时间内均匀地涂敷在白缺陷104上。

也可如图42(a)～(c)所示，使涂敷针1的前端与白缺陷104的一个端部接触，在该状态下使涂敷针1移动至白缺陷104的中央，将油墨5涂敷在白缺陷104的一半区域上，当在涂敷针1上补充了油墨5后，使涂敷针1的前端与白缺陷104的另一个端部接触，在该状态下使涂敷针1移动至白缺陷104的中央，将油墨5涂敷在白缺陷104的剩下的一半区域上。也可用涂敷针91、95、96取代涂敷针1。

如图43(a)所示，在对将G象素102的一部分较大地激光切除为正方形后形成的白缺陷104进行修正的情况下，若使涂敷针1的前端仅与白缺陷104的中央接触一次涂敷油墨5的话，则在油墨5的粘度高、油墨5的流动性差的情况下，油墨5要想扩散至整个白缺陷104则需花费时间。因此，如图44所示，尽管可涂敷在整个白缺陷104上，但涂敷的油墨5的量增加，涂敷的油墨5的中央成为隆起的状态。在这样的情况下，修正部位的颜色比周围的正常部的颜色深。涂敷膜厚也比周围的正常部的膜厚厚，修正品质下降。

为此，在该变形例中，如图43(b)～(d)所示，使涂敷针1的前端在白缺陷104内以接触状态描绘圆弧，一边相对于基板105进行相对移动一边涂敷油墨5。在此，在使涂敷针1的前端一度与基板105的表面接触、从油墨存积部开始向涂敷针1与基板105的接触部供给油墨5后，即使涂敷针1与基板105之间存在稍许间隙也可供给油墨5，故使涂敷针1移动时不需要使涂敷针1的前端与基板105的表面完全接触。由此，可使油墨5在短时间内扩散在整个白缺陷104上，故如图43(c)所示，能进行没有隆起的均匀的油墨涂敷。

在该变形例中，涂敷针1是作圆弧状移动的，但只要油墨5能在整个白缺陷104上扩散，则可使涂敷针1进行任意的移动。例如，也可沿白缺陷104的4边作四方形移动。

上述公开的实施形态仅是例示，并不进行限制。本发明的范围并不局限于上述说明，而是如权利要求所述，包含与权利要求等同的意思及权利要求内的所有变更。

Claims (18)

1、一种涂敷针，在前端部附着有液状材料的情况下，使前端与基板上的微细区域接触以涂敷所述液状材料，其特征在于，

在所述前端部形成有朝着所述前端变细的锥部，

在所述前端形成有平坦面，

在所述锥部形成有用于将附着在所述前端部上的所述液状材料供给所述前端的液状材料供给部。

2、如权利要求1所述的涂敷针，其特征在于，所述液状材料供给部是槽。

3、如权利要求2所述的涂敷针，其特征在于，所述槽的一部分形成为比其他部分的槽的宽度大。

4、如权利要求1所述的涂敷针，其特征在于，所述液状材料供给部是平坦面。

5、如权利要求4所述的涂敷针，其特征在于，所述平坦面分割成多个区域，在所述多个区域之间设有台阶。

6、如权利要求1所述的涂敷针，其特征在于，所述液状材料供给部是凹曲面。

7、如权利要求6所述的涂敷针，其特征在于，所述凹曲面分割成多个区域，在所述多个区域之间设有台阶。

8、如权利要求1所述的涂敷针，其特征在于，所述锥部分割成多个部分，

所述液状材料供给部是设在所述多个部分之间的台阶。

9、一种涂敷机构，其特征在于，包括：

权利要求1至权利要求8中任一项所述的涂敷针；

保持所述液状材料的容器；以及

驱动部，该驱动部使所述涂敷针移动，使所述涂敷针的前端部停止在下述至少2个部位：所述涂敷针的前端部与所述容器内的液状材料接触的待机位置、以及所述涂敷针的前端部离开所述待机位置接近所述基板的涂敷位置。

10、如权利要求9所述的涂敷机构，其特征在于，所述驱动部具有对所述涂敷针以相对于所述基板以规定角度倾斜的形态予以保持的保持构件，

所述涂敷针前端的平坦面形成为，在所述涂敷针由所述保持构件倾斜地予以保持时与所述基板平行。

11、如权利要求9所述的涂敷机构，其特征在于，

在所述容器的底部开设有直径与所述涂敷针大致相同的通孔，

所述驱动部使所述涂敷针沿其轴线方向相对于所述容器相对移动，使所述涂敷针的前端部停止在下述至少2个部位：所述涂敷针的前端部与所述容器内的液状材料接触的待机位置、以及所述涂敷针的前端部穿过所述通孔朝所述容器的底部下方伸出的涂敷位置。

12、一种缺陷修正装置，所述基板上的微细区域是形成在所述基板上的微细图案的缺陷部，其特征在于，包括：

修正头，具有权利要求9所述的涂敷机构、用于观察所述缺陷部的观察光学系统、照射激光以除去所述缺陷部的激光照射机构；

载放所述基板的基板台；

以及使所述修正头和所述基板台相对移动来进行定位的定位机构，

将附着在所述涂敷针前端部的所述液状材料涂敷在所述缺陷部上进行修正。

13、如权利要求12所述的缺陷修正装置，其特征在于，所述驱动部包括：

使所述涂敷针沿其轴线方向或与所述基板垂直的方向移动的第1副驱动部；

以及使所述涂敷针与所述基板大致平行地移动的第2副驱动部，

在所述待机位置，所述涂敷针的前端部处于所述观察光学系统的视野外，而在所述涂敷位置，所述涂敷针的前端部处于所述观察光学系统的视野内。

14、一种涂敷方法，其特征在于，使所述液状材料附着在权利要求1至权利要求8中任一项所述的涂敷针的前端部上，通过表面张力使锥部上部产生积液部后，使所述涂敷针的前端与所述基板接触，所述涂敷针前端的液状材料附着在所述基板上而产生表面张力不均匀，从所述积液部通过所述液状材料供给部向所述涂敷针前端与所述基板的接触部供给所述液状材料。

15、如权利要求14所述的涂敷方法，其特征在于，在所述涂敷针的前端与所述基板接触的状态下，使所述涂敷针与所述基板相对移动，在所述基板上线状地涂敷所述液状材料。

16、如权利要求14所述的涂敷方法，其特征在于，使相对于所述基板以规定角度倾斜保持的所述涂敷针前端部上附着所述液状材料，通过使所述涂敷针前端在观察光学系统的视野内与所述基板接触，从而一边观察涂敷状态一边进行涂敷。

17、一种液晶显示面板用滤色镜的缺陷修正方法，是利用权利要求1至权利要求8中任一项所述的涂敷针对液晶显示面板用滤色镜的缺陷进行修正的方法，其特征在于，

所述液晶显示面板用滤色镜含有形成在所述基板上的滤色镜膜，

在比所述涂敷针前端的所述平坦面大且含有所述缺陷的区域利用激光除去所述滤色镜膜，

使前端部附着有修正用液状材料的所述涂敷针前端在除去的区域内侧、且在所述涂敷针前端与所述区域周围正常的部分不接触的位置进行接触，将与除去的滤色镜膜的大小对应的量的修正用液状材料进行涂敷。

18、一种液晶显示面板用滤色镜的缺陷修正方法，是利用权利要求1至权利要求8中任一项所述的涂敷针对液晶显示面板用滤色镜的缺陷进行修正的方法，其特征在于，

所述液晶显示面板用滤色镜含有形成在所述基板上的滤色镜膜，

在比所述涂敷针前端的所述平坦面大且含有所述缺陷的区域利用激光除去所述滤色镜膜，

使前端部附着有修正用液状材料的所述涂敷针前端在除去的区域内侧进行接触，在该区域内侧使所述涂敷针的前端沿所述基板表面相对移动以涂敷修正用液状材料。

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